JP6755108B2 - 水晶振動子 - Google Patents
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Description
<水晶振動子100の構成>
図1は、2回回転カットの水晶片110の説明図である。図1では、水晶の結晶軸がX軸、Y軸、Z軸として表されている。2回回転カットの水晶片110は、水晶の結晶軸であるZ軸を中心にして水晶の結晶軸であるX軸をφ度回転したX’軸、及びX’軸を中心にしてZ軸をθ度回転したZ’軸に平行に水晶が切断されることにより形成される。そのため、2回回転カットの水晶片110は、X’Z’面が主面となるように形成される。また、図1では、X’軸及びZ’軸に垂直なY’軸が示されている。
水晶振動子100では、二重電極を形成することによりCI値を低減させている。以下に二重電極の効果について説明する。
図4(a)は、水晶振動子100aの概略平面図である。水晶振動子100aは、水晶片110aと励振電極120とを有している。水晶振動子100aにはその他にも引出電極等が形成されるが、図4(a)では、水晶片110aと励振電極120のみが示されている。
水晶片及び励振電極は様々な形状に形成することができる。以下に、水晶片及び励振電極の変形例について説明する。
図5(a)は、水晶振動子200aの平面図である。水晶振動子200aは、正方形状の平面を有する水晶片210と、水晶片210の両主面に形成される励振電極120と、各励振電極120から引き出される引出電極221aと、を有している。水晶片110(図2(a)参照)は長方形状に形成されていたが、短辺及び長辺の長さが等しい正方形状に形成されても形状を整えることが容易であり製造コストを低く抑えることができるため好ましい。水晶片210は、Z’軸に平行な1本の対角線211を有しており、励振電極120の第2領域120bの長軸が対角線211に沿うように形成されている。励振電極の面積は大きいほど電気定数が安定するため好ましいが、励振電極120が対角線211に沿って形成されることにより、決められた大きさの水晶片210において励振電極120の面積を大きく形成することができるため好ましい。また、水晶振動子200aでは、引出電極221aが水晶片210の+X’軸側及び−X’軸側の水晶片210の対角線上の角にそれぞれ引き出されている。
図6(a)は、励振電極320の平面図である。励振電極320は、図4(a)に示される励振電極120と、図4(b)に示される励振電極220とを互いの中心を合わせて重ね合わせた形状に形成されている。すなわち、励振電極320は、第1領域120aを有し、第2領域が第2領域120bと第2領域120cとの中心を合わせて重ねた形状に形成されている。第2領域120bの長軸の長さをZB、短軸の長さをXB、第2領域120cの長軸の長さをXC、短軸の長さをZCとすると、図2(a)に示される励振電極120と同様に、第2領域120bの長軸の長さZBは短軸の長さXBの1.1倍から2.0倍の範囲となり、第2領域120cの長軸の長さXCは短軸の長さZCの1.1倍から2.0倍の範囲となるように励振電極320が形成されている。第2領域120bと第2領域120cとの短軸同士及び長軸同士の長さは、同じであっても異なっていても良い。
図7(a)は、水晶振動子400の平面図である。水晶振動子400は、水晶片110と、励振電極420と、引出電極121と、を有しており、励振電極420は外形が円形状である第1領域420aと、第1領域420aの周囲に形成され第1領域420aよりも厚さが薄く外形が楕円形状である第2領域420bと、を含んでいる。第2領域420bは第2領域120b(図2(a)参照)と同じく長軸がZ’軸方向に伸び、短軸がX’軸方向に伸びるように形成されており、第2領域420bの長軸の長さがZA、第2領域420bの短軸の長さがXA、第2領域420bの長半径と第1領域420aの半径との差がZDとして示されており、長軸の長さZAが短軸の長さXAの1.1倍から2.0倍の範囲になるように形成されている。
励振電極の周囲に表面が傾いている傾斜部が形成されることによっても、屈曲振動の反射波を抑制することができる。以下に、傾斜部が形成された水晶振動子について説明する。
図8(a)は、水晶振動子500の平面図である。水晶振動子500は、水晶片110と、励振電極520と、引出電極121と、を有している。励振電極520は図2(a)に示される励振電極120と同じ楕円形状に形成されているが、第1領域520a及び第2領域520bの外周に傾斜が形成されている点が励振電極120とは異なっている。
Amm角の水晶片に厚さが1400Åであり直径0.6Ammの単層の励振電極を形成し、30MHzで発振させた場合に、傾斜長さを変えてCI値と温度との関係を測定して求めた結果を図9(a)から図9(c)に示す。以下に、傾斜部が形成されていない図3(a)の水晶振動子と図9(a)から図9(c)の水晶振動子とを比較しながら、励振電極に傾斜部を形成することの効果について説明する。
110、110a、110b、210、310a、310b … 水晶片
120、220、320、420 … 励振電極
120a、420a、520a … 第1領域
120b、120c、420b、520b … 第2領域
121、221a、221b、321a、321b … 引出電極
122 … 第1層、123 … 第2層
524a、524b … 平坦部
525a、525b … 傾斜部
XA … 第2領域120bの短軸の長さ
XB … 第2領域120bの短軸の長さ
XC … 第2領域120cの長軸の長さ
YA … 水晶片110の厚さ
YB1 … 励振電極120の第1領域120aの厚さ
YB2 … 励振電極120の第2領域120bの厚さ
ZA … 第2領域120bの長軸の長さ
ZB … 第2領域120bの長軸の長さ
ZC … 第2領域120cの短軸の長さ
ZD … 第2領域120bの長半径と第1領域120aの半径との差
ZE … 傾斜部525aの傾斜長さ
ZF … 傾斜部525bの傾斜長さ
ZG … 傾斜部525a、平坦部524b、及び傾斜部525bの電極長手方向の長さ
Claims (10)
- 水晶の結晶軸であるZ軸を中心にして水晶の結晶軸であるX軸を15度から25度の範囲で回転したX’軸及び前記X’軸を中心にして前記Z軸を33度から35度の範囲で回転したZ’軸に平行な主面を有する平板状で且つ長方形の水晶片と、
前記水晶片の各前記主面に形成される励振電極と、を有し、
前記励振電極は、外形が円形状である第1領域と、前記第1領域の周囲に形成され外形が楕円形状であり前記第1領域よりも厚さが薄い第2領域と、を含み、
前記長方形の水晶片の長辺は前記X’軸と平行に伸び、
前記楕円形状の長軸が、前記長方形の水晶片の長辺方向に対して、−5度から+15度の範囲の方向に伸びる水晶振動子。 - 水晶の結晶軸であるZ軸を中心にして水晶の結晶軸であるX軸を15度から25度の範囲で回転したX’軸及び前記X’軸を中心にして前記Z軸を33度から35度の範囲で回転したZ’軸に平行な主面を有する平板状で且つ長方形もしくは正方形の水晶片と、
前記水晶片の前記主面に形成される励振電極と、を有し、
前記励振電極は、外形が円形状である第1領域と、前記第1領域の周囲に形成され外形が楕円形状であり前記第1領域よりも厚さが薄い第2領域と、を含み、
前記長方形の水晶片の長辺は前記Z’軸と平行に、又は前記正方形の水晶片の一辺は前記Z’軸の45度方向に伸び、
前記楕円形状の長軸が、前記長方形の水晶片の長辺方向に対して、又は前記正方形の水晶片の前記Z’軸方向に対して、±5度の範囲の方向に伸びる水晶振動子。 - 1本の対角線がZ′軸に対し±10°の範囲にある正方形若しくは長方形、又は1つの辺が前記Z′軸に対し±10°の範囲にある長方形に形成される請求項2に記載の水晶振動子(ただし、正方形、長方形とは、水晶片の角部がR状等である略正方形、略長方形も含む)。
- 前記長軸と前記楕円形状の短軸との比が、1.1:1から2.0:1の範囲である請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の水晶振動子。
- 前記水晶片は所定の周波数で振動し、
前記楕円形状の中心と前記円形状の中心とは重なり、
前記楕円形状の長半径と前記円形状の半径との差は、前記振動と共に生じる屈曲振動の波長の自然数倍である請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の水晶振動子。 - 水晶の結晶軸であるZ軸を中心にして水晶の結晶軸であるX軸を15度から25度の範囲で回転したX’軸及び前記X’軸を中心にして前記Z軸を33度から35度の範囲で回転したZ’軸に平行な主面を有する平板状で且つ正方形の水晶片と、
前記水晶片の前記主面に形成される励振電極と、を有し、
各前記励振電極は、外形が円形状である第1領域と、前記第1領域の周囲に形成され前記第1領域よりも厚さが薄い第2領域と、を含み、
前記正方形の水晶片の一辺は前記Z’軸と平行に、もしくは前記Z’軸の45度方向に伸び、
前記第2領域の外形は、前記X’軸が伸びる方向に対して−5度から+15度の範囲の方向に長軸が伸びる第1楕円形状と、前記Z’軸が伸びる方向に対して±5度の範囲の方向に長軸が伸びる第2楕円形状と、が合成された形状に形成される水晶振動子。 - 前記第1楕円形状の長軸と短軸との比が、1.1:1から2.0:1の範囲であり、前記第2楕円形状の長軸と短軸との比が、1.1:1から2.0:1の範囲である請求項6に記載の水晶振動子。
- 前記水晶片は所定の周波数で振動し、
前記第1楕円形状の中心と、前記第2楕円形状の中心と、前記円形状の中心とは重なり、
前記第1楕円形状の長半径と前記円形状の半径との差及び前記第2楕円形状の長半径と前記円形状の半径との差は、それぞれ前記振動と共に生じる屈曲振動の波長の自然数倍である請求項6又は請求項7に記載の水晶振動子。 - 前記第1領域の厚さは、前記水晶片の厚さに対して0.02%から0.13%の範囲内である請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の水晶振動子。
- 前記第1領域と前記第2領域との厚さの差が前記第2領域の厚さに対して1/4倍から1倍の範囲内に形成される請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の水晶振動子。
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