JP6649747B2 - 圧電振動片および圧電振動子 - Google Patents

Description

本発明は、圧電振動片および圧電振動子に関するものである。

従来より、ＡＴカット水晶基板より形成される圧電振動片において、圧電板の表裏それぞれの主面にメサ部を形成したメサ型の圧電振動片が知られている（特許文献１）。メサ型の圧電振動片では、振動領域としての圧電板の中央領域の厚みを、圧電板の周縁部の厚みよりも厚くすることで、振動エネルギーを振動領域内に閉じ込めることが可能になる。よって、圧電振動片のクリスタルインピーダンス（以下、ＣＩ値）を低減することが可能になる。

特開２０１３−１９７８２４号公報

しかしながら、近年、圧電振動片の小型化への要求が益々高まりつつある。その結果、メサ部に形成される振動領域を狭くせざるを得なくなり、ＣＩ値の上昇を招くといった課題がある。つまり、従来技術では、メサ型を有する圧電振動片において、小型化とＣＩ値の低減とを両立させることは困難である。

そこで本発明は、小型化とＣＩ値の低減とを両立可能なメサ型の圧電振動片、及び圧電振動子を提供することを目的とする。

本発明の圧電振動片は、表裏のそれぞれの主面に少なくとも一段のメサ部が形成された圧電板を有し、それぞれの前記メサ部の側面は少なくとも１つが斜面であって、かつ前記側面は、前記主面側から順に、下段側端縁と上段側端縁とを有しており、前記圧電板を平面視した場合において、一のメサ部の側面の前記下段側端縁と、前記一のメサ部の裏面側において前記一のメサ部に対応して形成される他のメサ部の側面の前記下段側端縁とが、前記圧電板の端部から中央部に向かう方向に沿って順に形成されており、かつ、前記一のメサ部の側面の前記上段側端縁と、前記他のメサ部の側面の前記上段側端縁とが、前記圧電板の端部から中央部に向かう方向に沿って順に形成されているか、又は同じ位置に形成されていることを特徴とする。
本発明者らの鋭意検討によれば、圧電振動片のＣＩ値は、圧電振動片の厚み変化率と関連性があることが判明した。即ち、圧電振動片の厚みが急激に変化する場合（＝厚み変化率が大きい場合）は、厚み変化率が小さい場合と比較すると、ＣＩ値が高いことが判明した。よって、本発明によれば、メサ部の側面の少なくとも１つが斜面であることで、メサ部における圧電振動片の厚み変化を滑らかにすることが可能になり、よって、従来と比較するとＣＩ値を低減することが可能になる。
さらに、一のメサ部の側面の下段側端縁と、一のメサ部の裏側において一のメサ部に対応して形成される他のメサ部の側面の下段側端縁とが、圧電板の端部から中央部に向かう方向に沿って順に形成されており、かつ一のメサ部の側面の上段側端縁と、他のメサ部の側面の上段側端縁とが、圧電板の端部から中央部に向かう方向に沿って順に形成されているか、又は同じ位置にあることにより、メサ部における厚み変化率を低減することができる。
よって、小型化とＣＩ値の低減を両立することが可能になる。なお、ここで「一のメサ部に対応して形成される他のメサ部」とは、例えば表面に形成された一段目のメサ部に対しては、裏面に形成された一段目のメサ部を指し、表面の二段目のメサ部に対しては、裏面の二段目のメサ部のことを指すものとする。三段目以上も同様である。

上記の圧電振動片において、前記圧電板を平面視した場合において、前記一のメサ部の側面の前記上段側端縁と、前記他のメサ部の側面の前記上段側端縁とが、前記圧電板の端部から中央部に向かう方向に沿って順に形成されている場合は、前記一のメサ部の側面の前記上段側端縁と、前記他のメサ部の側面の前記上段側端縁とが、前記圧電板の端部から中央部に向かう方向において５μｍ以上ずれていることが望ましい。
本発明によれば、一のメサ部の側面の上段側端縁と、他のメサ部の側面の上段側端縁とが、圧電板の端部から中央部に向かう方向において５μｍ以上ずれていることにより、設計誤差に関わらず、確実にメサ部における厚み変化率を低減し、ＣＩ値を低減することが可能になる。
圧電板の表裏それぞれにメサ部を形成する際には、表裏それぞれに対してエッチング加工を施すことになるが、平面視においてメサ部の側面の上段側端縁はエッチング加工によって凹凸が生じる（明確な綾線が発現しにくい）。ここで、凹凸のある場合の上段側端縁は、凹凸の中心線とする。凹凸がある場合においても、一のメサ部の側面の上段側端縁と、他のメサ部の上段側端縁とをある距離ずらしておくことで、メサ部において急激に厚さが変化することを回避できるが、両者の距離が近いと、凹凸の形成具合によっては、メサ部において急激に厚さが変化する。即ち、一のメサ部の側面の上段側端縁と、他のメサ部の側面の上段側端縁とが、圧電板の端部から中央部に向かう方向において５μｍ以上ずれていることにより、上段側端縁に凹凸がある場合においても、確実にメサ部における厚み変化率を低減でき、小型化とＣＩ値の低減を両立することが可能となる。

上記の圧電振動片において、前記圧電板の長手方向において、前記一のメサ部では、一方の側の側面が斜面に形成されており、前記他のメサ部では、他方の側の側面が斜面に形成されていることが望ましい。
本発明によれば、斜面が形成された表面の、その裏側には斜面が形成されないことになる。即ち、表裏両方に斜面が形成された場合は、圧電振動片を実装する際に導電性接着剤等の接合材が斜面を伝って濡れ広がり、振動特性の低下を招く可能性があるが、圧電振動片の表裏において、一方の面で斜面が形成され、その裏側では斜面が形成されていないので、斜面が形成されていない方の面で圧電振動片を実装することで、接合材の濡れ広がりを防止することが可能になる。よって小型化とＣＩ値低下を両立しつつ、さらに実装による電気特性低下を防止することができる。

上記の圧電振動片において、前記主面に複数段のメサ部が形成されている場合において、下段のメサ部の側面が有する斜面の傾斜角よりも、上段のメサ部の側面が有する斜面の傾斜角の方が大きいことが望ましい。
本発明によれば、主面に複数段のメサ部が形成されている場合において、下段のメサ部の側面が有する斜面の傾斜角よりも、上段のメサ部の側面が有する斜面の傾斜角の方が大きいことにより、電気特性の向上を図ることができる。即ち、斜面における励振電極の線切れの観点からは、斜面の傾斜角は小さい（滑らか）な方が好ましいが、一方で、傾斜角を小さくすると、メサ部の頂面の面積が小さくなり、十分な励振領域を確保できない、といった課題がある。そこで本発明では、下段のメサ部の側面の傾斜角を小さくして斜面における線切れ防止を図りつつ、上段のメサ部の側面では斜面の傾斜角を大きくして、従来では狭くなりがちな上段のメサ部の頂面の面積が出来るだけ大きくなるようにしている。したがって、電気特性の向上を達成することが可能になる。

上記の圧電振動片において、前記圧電板はＡＴカット水晶基板より形成され、前記圧電板の長手方向が水晶結晶軸におけるＺ´軸方向となることが望ましい。
本発明によれば、圧電板の長手方向をＡＴカット水晶基板のＺ´軸方向に沿うようにすることで、小型化においても低いＣＩを維持できる。
ＡＴカット水晶基板はＸ軸とＺ´軸で構成される。ここで、ＡＴカット水晶基板が厚み滑り振動をしているとき、Ｘ軸とＺ´軸では電気偏極が生じる。電気偏極は電荷の偏りであり、Ｘ軸では正弦波状、Ｚ´軸では直線状になる。電気偏極が直線状になるＺ´軸を長辺とすることで、最も強い電荷が生じる辺を長くすることができる。強い電荷が生じる領域が広がれば、よりＣＩは低くなる。したがって、Ｚ´軸を長辺とすることでより低いＣＩを維持することが可能となる。

上記の圧電振動片において、前記他のメサ部において一段目のメサ部の側面の前記下段側端縁と、それに対向する前記圧電板の端縁と、の間に形成されたマウント電極において基板上に実装可能に形成されることが望ましい。
本発明によれば、一段目の他のメサ部の側面の下段側端縁と、それに対向する圧電板の端縁との間に形成されたマウント電極において実装可能に形成されることにより、圧電振動片の実装強度を確保することができる。即ち、一のメサ部のうち一段目のメサ部の側面の下段側端縁とそれに対向する圧電板の端縁との間よりも、他のメサ部のうち一段目のメサ部の側面の下段側端縁と、それに対向する圧電板の端縁との間の方が広くなるように形成されている。よって、本発明によれば、マウント電極の形成領域を充分に確保することができるので、圧電振動片の実装強度を確保することができる。
また、上記の圧電振動片において、前記圧電板の長手方向に離間した２つの角部に、前記圧電板の面方向に平行であって、かつ前記圧電板の外部方向に突出する突出部が形成されており、前記突出部に形成されたマウント電極において基板上に実装可能に形成されていることが望ましい。
これによれば、励振領域から離間した突出部において圧電振動片を基板上に実装できるので、励振領域で生じた振動エネルギーが基板上に漏れる「振動漏れ」を低減することが可能になる。

本発明の圧電振動子によれば、上記の圧電振動片と、前記圧電振動片が実装されるパッケージと、を備えることを特徴とする。
本発明によれば、上述した圧電振動片を備えているので、小型化とＣＩ値の低減とを両立可能な圧電振動子が得られる。

本発明によれば、小型化とＣＩ値の低減とを両立可能なメサ型の圧電振動片、及び圧電振動子を提供することが可能になる。

第１実施形態に係る圧電振動片の平面図である。 第１実施形態に係る圧電振動片の説明図であり、（ａ）は図１のＩＩ−ＩＩ線における断面図であり、（ｂ）は図１のＩＩ−ＩＩ線における圧電板の厚さを示すグラフである。 第１実施形態に係る圧電振動片の説明図であり、（ａ）は図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図であり、（ｂ）は図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線における圧電板の厚さを示すグラフである。 第１実施形態に係る圧電振動子の分解斜視図である。 図４のＶ−Ｖ線における断面図である。 第１実施形態の第１変形例に係る圧電振動片の説明図であり、（ａ）は図１のＩＩ−ＩＩ線に相当する部分における断面図であり、（ｂ）は図１のＩＩ−ＩＩ線に相当する部分における圧電板の厚さを示すグラフである。 第１実施形態の第２変形例に係る圧電振動片の説明図であり、（ａ）は図１のＩＩ−ＩＩ線に相当する部分における断面図であり、（ｂ）は図１のＩＩ−ＩＩ線に相当する部分における圧電板の厚さを示すグラフである。 第２実施形態に係る圧電振動片の説明図であり、図１のＩＩ−ＩＩ線に相当する部分における断面図である。 第２実施形態に係る他の圧電振動片の説明図であり、図１のＩＩ−ＩＩ線に相当する部分における断面図である。 第２実施形態に係る他の圧電振動片の説明図であり、図１のＩＩ−ＩＩ線に相当する部分における断面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図の構成を説明する際には、ＸＹ´Ｚ´座標系を用いる。このＸＹ´Ｚ´座標系における各軸は、後述する水晶の結晶軸と以下の関係を有している。即ち、Ｘ軸が電気軸であり、Ｚ´軸が光学軸であるＺ軸に対してＸ軸周りに３５度１５分だけ傾いた軸であり、Ｙ´軸がＸ軸およびＺ´軸に直交する軸である。また、Ｘ軸方向、Ｙ´軸方向およびＺ´軸方向は、図中矢印方向を＋方向とし、矢印とは反対の方向を−方向として説明する。

［第１実施形態］
最初に、第１実施形態の圧電振動片および圧電振動子について説明する。
図１は、第１実施形態に係る圧電振動片の平面図である。
図１に示すように、圧電振動片１０は、厚みすべりモードで振動する圧電振動片であって、圧電板１１と、圧電板１１上に形成された電極膜５０と、を備えている。
圧電板１１は、ＡＴカット水晶基板により平面視長方形状に形成されている。ここで、ＡＴカットは、人工水晶の結晶軸である電気軸（Ｘ軸）、機械軸（Ｙ軸）および光学軸（Ｚ軸）の３つの結晶軸のうち、Ｚ軸に対してＸ軸周りに３５度１５分だけ傾いた方向（Ｚ´軸方向）に切り出す加工手法である。ＡＴカットによって切り出された圧電板１１を有する圧電振動片１０は、周波数温度特性が安定しており、構造や形状が単純で加工が容易であり、ＣＩ値が低いという利点がある。圧電板１１は、長手方向がＺ´軸方向に沿うように形成されている。また、圧電板１１は、Ｙ´軸方向が厚さ方向であり、Ｙ´軸方向の両面に第１主面１１Ａおよび第２主面１１Ｂを有している。

図２は、第１実施形態に係る圧電振動片の説明図であり、（ａ）は図１のＩＩ−ＩＩ線における断面図であり、（ｂ）は図１のＩＩ−ＩＩ線における圧電板の厚さを示すグラフである。図３は、第１実施形態に係る圧電振動片の説明図であり、（ａ）は図１にＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図であり、（ｂ）は図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線における圧電板の厚さを示すグラフである。各図の（ｂ）における横軸は、圧電板の端部からの距離を示し、縦軸は圧電板の厚さを示したものである。
圧電板１１は、第１主面１１Ａに突出形成された第１メサ部２０（一のメサ部）と、第２主面１１Ｂに突出形成された第２メサ部３０（他のメサ部）と、を有する（図２（ａ）および図３（ａ）参照）。
第１メサ部２０は、第１主面１１Ａの略中央において、Ｙ´軸方向に突出するように形成されている。第１メサ部２０は、平面視矩形状に形成されている。第１メサ部２０は、第１頂面２１と、第１頂面２１と第１主面１１Ａとを接続する第１側面２２と、を有する。第１頂面２１は、平面視長方形状であり、長手方向がＺ´軸方向に沿うように形成されている。第１頂面２１は、第１主面１１Ａと平行な平面となっている。第１側面２２は、第１頂面２１の周囲に形成されている。第１側面２２は、−Ｚ´方向に面する−Ｚ´側第１側面２３と、＋Ｚ´方向に面する＋Ｚ´側第１側面２４と、−Ｘ方向に面する−Ｘ側第１側面２５と、＋Ｘ方向に面する＋Ｘ側第１側面２６と、を含んでいる。第１側面２２は、Ｙ´軸方向（板厚方向）に対して傾斜する斜面である（図２（ａ）および図３（ａ）参照）。

図２（ａ）および図３（ａ）に示すように、第２メサ部３０は、第２主面１１Ｂの略中央において、Ｙ´軸方向に突出するように形成されている。第２メサ部３０は、平面視矩形状に形成されている。第２メサ部３０は、第２頂面３１と、第２頂面３１と第２主面１１Ｂとを接続する第２側面３２と、を有する。第２頂面３１は、平面視長方形状であり、長手方向がＺ´軸方向に沿うように形成されている。第２頂面３１は、第２主面１１Ｂと平行な平面となっている。第２側面３２は、第２頂面３１の周囲に形成されている。第２側面３２は、−Ｚ´方向に面する−Ｚ´側第２側面３３と、＋Ｚ´方向に面する＋Ｚ´側第２側面（不図示）と、−Ｘ方向に面する−Ｘ側第２側面（不図示）と、＋Ｘ方向に面する＋Ｘ側第２側面３６と、を含んでいる。第２側面３２は、Ｙ´軸方向に対して傾斜する斜面である。

図２（ａ）に示すように、−Ｚ´側第１側面２３は、第１主面１１Ａと下段側端縁２３ａにおいて接続し、第１頂面２１と上段側端縁２３ｂにおいて接続している。また、−Ｚ´側第２側面３３は、第２主面１１Ｂと下段側端縁３３ａにおいて接続し、第２頂面３１と上段側端縁３３ｂにおいて接続している。
このとき、平面視において、−Ｚ´側第２側面３３の下段側端縁３３ａは、−Ｚ´側第１側面２３の下段側端縁２３ａよりも第１頂面２１側（＋Ｚ´方向）であって、−Ｚ´側第１側面２３の上段側端縁２３ｂよりも下段側端縁２３ａ側（−Ｚ´方向）に配置されている。また、平面視において、−Ｚ´側第２側面３３の上段側端縁３３ｂは、−Ｚ´側第１側面２３の上段側端縁２３ｂよりも第１頂面２１側（＋Ｚ´方向）に配置されている。即ち、第１メサ部２０の−Ｚ´側第１側面２３の下段側端縁２３ａと、第２メサ部３０の−Ｚ´側第２側面３３の下段側端縁３３ａとは、圧電板１１の−Ｚ´方向に面する端縁１１Ｃから、圧電板１１の中央部に向かう方向（＋Ｚ´方向）に沿って順に形成されている。また、第１メサ部２０の−Ｚ´側第１側面２３の上段側端縁２３ｂと、第２メサ部３０の−Ｚ´側第２側面３３の上段側端縁３３ｂとは、圧電板１１の端縁１１Ｃから圧電板１１の中央部に向かう方向（＋Ｚ´方向）に沿って順に形成されている。

これにより、−Ｚ´側第１側面２３および−Ｚ´側第２側面３３には、平面視において互いに重ならない領域が形成される。このため、圧電板１１は、−Ｚ´側第１側面および−Ｚ´側第２側面のうち少なくとも一方の側面が他方の側面に対して平面視で完全に重なる構成と比較して、第１メサ部２０および第２メサ部３０から−Ｚ´方向に向かうにしたがい厚さが滑らかに減少する（図２（ｂ）参照）。また、圧電板１１の端縁１１Ｃから第２メサ部３０までの距離は、端縁１１Ｃから第１メサ部２０までの距離よりも長くなっている。

また、図１および図３（ａ）に示すように、＋Ｘ側第１側面２６は、第１主面１１Ａと下段側端縁２６ａにおいて接続し、第１頂面２１と上段側端縁２６ｂにおいて接続している。また、＋Ｘ側第２側面３６は、第２主面１１Ｂと下段側端縁３６ａにおいて接続し、第２頂面３１と上段側端縁３６ｂにおいて接続している。
このとき、平面視において、＋Ｘ側第２側面３６の下段側端縁３６ａは、＋Ｘ側第１側面２６の下段側端縁２６ａよりも第１頂面２１側（−Ｘ方向）であって、＋Ｘ側第１側面２６の上段側端縁２６ｂよりも下段側端縁２６ａ側（＋Ｘ方向）に配置されている。また、平面視において、＋Ｘ側第２側面３６の上段側端縁３６ｂは、＋Ｘ側第１側面２６の上段側端縁２６ｂよりも第１頂面２１側（−Ｘ方向）に配置されている。
これにより、＋Ｘ側第１側面２６および＋Ｘ側第２側面３６には、平面視において互いに重ならない領域が形成される。このため、圧電板１１は、第１メサ部２０および第２メサ部３０から＋Ｘ方向に向かうにしたがい厚さが滑らかに減少する（図３（ｂ）参照）。

図１および図２（ａ）に示すように、電極膜５０は、金等の金属の単層膜や、クロム等の金属を下地層とし、金等の金属を上地層とした積層膜などで形成されている。電極膜５０は、一対の励振電極５１Ａ，５１Ｂと、一対のマウント電極５２，５３と、一対の引き回し配線５４Ａ，５４Ｂと、を有する。
第１励振電極５１Ａは、Ｙ´軸方向視矩形状で、第１頂面２１に形成されている。第２励振電極５１Ｂは、第２頂面３１に形成されている。第２励振電極５１Ｂは、平面視において第１励振電極５１Ａと重なるように形成されている。

第１マウント電極５２は、圧電板１１の平面視略中央から見て（＋Ｘ，−Ｚ´）方向に位置する角部に形成されている。第１マウント電極５２は、第１主面１１Ａ上における端縁１１Ｃと−Ｚ´側第１側面２３との間から、端縁１１Ｃを介して、第２主面１１Ｂ上における端縁１１Ｃと−Ｚ´側第２側面３３との間に亘って形成されている。第１マウント電極５２は、第１主面１１Ａ上において、第１励振電極５１Ａに対して引き回し配線５４Ａを介して接続されている。

第２マウント電極５３は、圧電板１１の平面視略中央から見て（−Ｘ，−Ｚ´）方向に位置する角部に形成されている。第２マウント電極５３は、第１主面１１Ａ上における端縁１１Ｃと−Ｚ´側第１側面２３との間から、端縁１１Ｃを介して、第２主面１１Ｂ上における端縁１１Ｃと−Ｚ´側第２側面３３との間に亘って形成されている。第２マウント電極５３は、第２主面１１Ｂ上において、第２励振電極５１Ｂに対して引き回し配線５４Ｂを介して接続されている。

次いで、圧電振動片１０を備える圧電振動子１について説明する。
図４は、第１実施形態に係る圧電振動子の分解斜視図である。図５は、図４のＶ−Ｖ線における断面図である。なお、図５では、わかりやすくするために電極膜５０の膜厚を誇張して図示している。
図４に示すように、本実施形態の圧電振動子１は、パッケージ５のキャビティＣの内部に圧電振動片１０を収容したものである。パッケージ５は、ベース基板２とリッド基板３とを重ね合わせて形成されている。

ベース基板２は、矩形板状に形成された底壁部２ａと、底壁部２ａの周縁部から立設された側壁部２ｂと、を備えている。底壁部２ａおよび側壁部２ｂは、セラミック材料等により形成されている。
キャビティＣの内部における底壁部２ａの表面には、一対の内部電極７が形成されている。一対の内部電極７は、所定方向に離間して形成されている。また、キャビティＣの外部における底壁部２ａの表面には、一対の外部電極（不図示）が形成されている。そして、底壁部２ａを厚さ方向に貫通する貫通電極（不図示）により、内部電極７と外部電極とが接続されている。なお、貫通電極で接続するのではなく、セラミック層の層間に形成される層間電極によって、内部電極と外部電極とを接続する構成であってもよい。
リッド基板３は、セラミック材料や金属材料等により、矩形板状に形成されている。リッド基板３の周縁部は、ベース基板２の側壁部２ｂの端面に接着されている。そして、ベース基板２の底壁部２ａおよび側壁部２ｂとリッド基板３とで囲まれた領域に、キャビティＣが形成されている。

図５に示すように、キャビティＣの内部には、圧電振動片１０が収容されている。圧電振動片１０は、導電性接着剤等の実装部材９を利用して、ベース基板２の底壁部２ａに実装される。より具体的には、ベース基板２の底壁部２ａに形成された一対の内部電極７に対して、圧電振動片１０の第１マウント電極５２および第２マウント電極５３が実装部材９を介して実装される。これにより、圧電振動片１０は、パッケージ５に機械的に保持されると共に、第１マウント電極５２および第２マウント電極５３と内部電極７とがそれぞれ導通された状態となっている。

このとき、圧電振動片１０は、第２主面１１Ｂをベース基板２の底壁部２ａに対向させた状態で実装され、実装部材９が、第２主面１１Ｂ上におけるマウント電極５２，５３に接触している。ここで、圧電板１１の端縁１１Ｃから第２メサ部３０までの距離は、端縁１１Ｃから第１メサ部２０までの距離よりも長い。このため、実装部材９を、端縁１１Ｃと第２メサ部３０との間に形成された第２主面１１Ｂ上のマウント電極５２，５３上に接触させることで、実装部材９と第２メサ部３０との距離を長く確保することができる。

このように、本実施形態の圧電振動片１０は、表裏のそれぞれの主面１１Ａ，１１Ｂに一段のメサ部２０，３０が形成された圧電板１１を有する。第１メサ部２０の第１側面２２は、−Ｚ´側第１側面２３が斜面であって、−Ｚ´側第１側面２３は、第１主面１１Ａ側から順に、下段側端縁２３ａと上段側端縁２３ｂとを有している。第２メサ部３０の第２側面３２は、−Ｚ´側第１側面２３に対応して形成される−Ｚ´側第２側面３３が斜面であって、−Ｚ´側第２側面３３は、第２主面１１Ｂ側から順に、下段側端縁３３ａと上段側端縁３３ｂとを有している。圧電板１１を平面視した場合において、第１メサ部２０の−Ｚ´側第１側面２３の下段側端縁２３ａと、第２メサ部３０の−Ｚ´側第２側面３３の下段側端縁３３ａとが、圧電板１１の端部（端縁１１Ｃ）から中央部に向かう方向（＋Ｚ´方向）に沿って順に形成されており、かつ、第１メサ部２０の−Ｚ´側第１側面２３の上段側端縁２３ｂと、第２メサ部３０の−Ｚ´側第２側面３３の上段側端縁３３ｂとが、圧電板１１の端部（端縁１１Ｃ）から中央部に向かう方向（＋Ｚ´方向）に沿って順に形成されている。

この構成によれば、第１メサ部２０の第１側面２２の少なくとも１つ、および第２メサ部３０の第２側面３２の少なくとも１つが斜面であることで、第１メサ部２０および第２メサ部３０における圧電振動片１０の厚み変化を滑らかにすることが可能になる。よって、従来と比較するとＣＩ値を低減することが可能になる。
さらに、第１メサ部２０の−Ｚ´側第１側面２３の下段側端縁２３ａと、第２メサ部３０の−Ｚ´側第２側面３３の下段側端縁３３ａとが、圧電板１１の端部から中央部に向かう方向（＋Ｚ´方向）に沿って順に形成されており、かつ、第１メサ部２０の−Ｚ´側第１側面２３の上段側端縁２３ｂと、第２メサ部３０の−Ｚ´側第２側面３３の上段側端縁３３ｂとが、圧電板１１の端部から中央部に向かう方向（＋Ｚ´方向）に沿って順に形成されている。これにより、第１メサ部２０および第２メサ部３０における厚み変化率を低減することができる。

また、圧電板１１は、ＡＴカット水晶基板より形成され、圧電板１１の長手方向が水晶結晶軸におけるＺ´軸方向となっている。
ここで、ＡＴカット水晶基板が厚み滑り振動をしているとき、Ｘ軸とＺ´軸では電気偏極が生じる。電気偏極は電荷の偏りであり、Ｘ軸では正弦波状、Ｚ´軸では直線状になる。電気偏極が直線状になるＺ´軸を長辺とすることで、最も強い電荷が生じる辺を長くすることができる。強い電荷が生じる領域が広がれば、よりＣＩは低くなる。したがって、Ｚ´軸を長辺とすることでより低いＣＩを維持することが可能となる。
本実施形態では、圧電板１１の長手方向をＡＴカット水晶基板のＺ´軸方向に沿うようにすることで、小型化においても低いＣＩを維持できる。

また、第２メサ部３０において、第２メサ部３０の−Ｚ´側第２側面３３の下段側端縁３３ａと、それに対向する圧電板１１の端縁１１Ｃと、の間に形成されたマウント電極５２，５３においてパッケージ５の基板上に実装可能に形成されている。
ここで、第１メサ部２０の−Ｚ´側第１側面２３の下段側端縁２３ａと、圧電板１１の端縁１１Ｃとの間よりも、第２メサ部３０の−Ｚ´側第２側面３３の下段側端縁３３ａと、圧電板１１の端縁１１Ｃとの間の方が広くなっている。
本実施形態によれば、圧電振動片１０は、第２メサ部３０の−Ｚ´側第２側面３３の下段側端縁３３ａと、圧電板１１の端縁１１Ｃとの間に形成されたマウント電極５２，５３において実装可能に形成されている。このため、マウント電極５２，５３の形成領域を充分に確保することができるので、圧電振動片１０の実装強度を確保することができる。

本実施形態の圧電振動子１は、圧電振動片１０と、圧電振動片１０が実装されるパッケージ５と、を備えているため、小型化しつつＣＩ値を低減できる圧電振動子１が得られる。

なお、本実施形態では、平面視において、第１メサ部２０の−Ｚ´側第１側面２３の上段側端縁２３ｂと、第２メサ部３０の−Ｚ´側第２側面３３の上段側端縁３３ｂとが、圧電板１１の端部から中央部に向かう方向（＋Ｚ´方向）に沿って順に形成されている。しかしながらこれに限定されず、平面視において、第１メサ部２０の−Ｚ´側第１側面２３の上段側端縁２３ｂと、第２メサ部３０の−Ｚ´側第２側面３３の上段側端縁３３ｂとが、同じ位置に形成されている場合であっても、上記の作用効果を得ることができる。

また、図１に示すように、第１メサ部２０の＋Ｚ´側第１側面２４および第２メサ部３０の＋Ｚ´側第２側面（不図示）には、−Ｚ´側第１側面２３および−Ｚ´側第２側面３３と同様に、平面視において互いに重ならない領域が形成されていてもよい。
例えば、＋Ｚ´側第２側面が、平面視において＋Ｚ´側第１側面２４よりも−Ｚ´方向に配置されていてもよい。具体的には、平面視において、＋Ｚ´側第２側面における第２主面１１Ｂ側の下段側端縁が、＋Ｚ´側第１側面２４における第１主面１１Ａ側の下段側端縁２４ａよりも、第１頂面２１側に配置されている。さらに、平面視において、＋Ｚ´側第２側面における第２頂面３１側の上段側端縁が、＋Ｚ´側第１側面２４における第１頂面２１側の上段側端縁２４ｂよりも、第１頂面２１側に配置されている。これにより、＋Ｚ´側第１側面２４および＋Ｚ´側第２側面には、平面視において互いに重ならない領域が形成される。

また、＋Ｚ´側第１側面２４が、平面視において＋Ｚ´側第２側面よりも−Ｚ´方向に配置されていてもよい。具体的には、平面視において、＋Ｚ´側第１側面２４の下段側端縁２４ａが、＋Ｚ´側第２側面の下段側端縁よりも、第２頂面３１側に配置されている。さらに、平面視において、＋Ｚ´側第１側面２４の上段側端縁２４ｂが、＋Ｚ´側第２側面の上段側端縁よりも、第２頂面３１側に配置されている。これにより、＋Ｚ´側第１側面２４および＋Ｚ´側第２側面には、平面視において互いに重ならない領域が形成される。

また、第１メサ部２０の−Ｘ側第１側面２５および第２メサ部３０の−Ｘ側第２側面（不図示）には、＋Ｘ側第１側面２６および＋Ｘ側第２側面３６と同様に、平面視において互いに重ならない領域が形成されていてもよい。
例えば、−Ｘ側第２側面が、平面視において−Ｘ側第１側面２５よりも＋Ｘ方向に配置されていてもよい。具体的には、平面視において、−Ｘ側第２側面における第２主面１１Ｂ側の下段側端縁が、−Ｘ側第１側面２５における第１主面１１Ａ側の下段側端縁２５ａよりも、第１頂面２１側に配置されている。さらに、平面視において、−Ｘ側第２側面における第２頂面３１側の上段側端縁が、−Ｘ側第１側面２５における第１頂面２１側の上段側端縁２５ｂよりも、第１頂面２１側に配置されている。これにより、−Ｘ側第１側面２５および−Ｘ側第２側面には、平面視において互いに重ならない領域が形成される。

また、−Ｘ側第１側面２５が、平面視において−Ｘ側第２側面よりも＋Ｘ方向に配置されていてもよい。具体的には、平面視において、−Ｘ側第１側面２５の下段側端縁２５ａが、−Ｘ側第２側面の下段側端縁よりも、第２頂面３１側に配置されている。さらに、平面視において、−Ｘ側第１側面２５の上段側端縁２５ｂが、−Ｘ側第２側面の上段側端縁よりも、第２頂面３１側に配置されている。これにより、−Ｘ側第１側面２５および−Ｘ側第２側面には、平面視において互いに重ならない領域が形成される。

［第１実施形態の第１変形例］
次に、第１実施形態の第１変形例の圧電振動片について説明する。
図６は、第１実施形態の第１変形例に係る圧電振動片の説明図であり、（ａ）は図１のＩＩ−ＩＩ線に相当する部分における断面図であり、（ｂ）は図１のＩＩ−ＩＩ線に相当する部分における圧電板の厚さを示すグラフである。（ｂ）における横軸は、圧電板の端部からの距離を示し、縦軸は圧電板の厚さを示したものである。
図２（ａ）に示す第１実施形態では、−Ｚ´側第１側面２３および−Ｚ´側第２側面３３には、平面視において互いに重なる領域が形成されていた。これに対して、図６（ａ）に示す第１変形例では、第１メサ部１２０の−Ｚ´側第１側面１２３および第２メサ部１３０の−Ｚ´側第２側面１３３は、平面視において互いに重ならないように形成されている点で、第１実施形態と異なっている。なお、第１実施形態と同様の構成については、同一符号を付して詳細な説明を省略する（以下の変形例についても同様）。

図６（ａ）に示すように、圧電振動片１１０の圧電板１１１は、第１主面１１１Ａに突出形成された第１メサ部１２０と、第２主面１１１Ｂに突出形成された第２メサ部１３０と、を有する。
第１メサ部１２０は、−Ｚ´方向に面する−Ｚ´側第１側面１２３を有する。−Ｚ´側第１側面１２３は、第１主面１１１Ａと下段側端縁１２３ａにおいて接続し、第１頂面１２１と上段側端縁１２３ｂにおいて接続している。
第２メサ部１３０は、−Ｚ´方向に面する−Ｚ´側第２側面１３３を有する。−Ｚ´側第２側面１３３は、第２主面１１１Ｂと下段側端縁１３３ａにおいて接続し、第２頂面１３１と上段側端縁１３３ｂにおいて接続している。

平面視において、−Ｚ´側第２側面１３３の下段側端縁１３３ａは、−Ｚ´側第１側面１２３の下段側端縁１２３ａおよび上段側端縁１２３ｂよりも第１頂面１２１側（＋Ｚ´方向）に配置されている。また、平面視において、−Ｚ´側第２側面１３３の上段側端縁１３３ｂは、−Ｚ´側第１側面１２３の上段側端縁１２３ｂよりも第１頂面１２１側（＋Ｚ´方向）に配置されている。
これにより、−Ｚ´側第１側面１２３および−Ｚ´側第２側面１３３は、平面視において互いに重ならないように形成される。このため、圧電板１１１は、第１メサ部１２０および第２メサ部１３０から−Ｚ´方向に向かうにしたがい厚さが滑らかに減少する（図６（ｂ）参照）。

このとき、平面視において、−Ｚ´側第２側面１３３と−Ｚ´側第１側面１２３との間には、間隙Ｇが設けられている。即ち、平面視において、−Ｚ´側第２側面１３３の下段側端縁１３３ａは、−Ｚ´側第１側面１２３の上段側端縁１２３ｂに対して、間隙Ｇを設けて、第１頂面１２１側（＋Ｚ´方向）に形成されている。間隙ＧのＺ´軸方向における距離は、５μｍ以上となっている。

このように、本変形例の圧電振動片１１０では、平面視した場合において、第１メサ部１２０の−Ｚ´側第１側面１２３の上段側端縁１２３ｂと、第２メサ部１３０の−Ｚ´側第２側面１３３の上段側端縁１３３ｂとが、圧電板１１１の端部から中央部に向かう方向において５μｍ以上ずれている。
圧電板１１１の表裏それぞれに第１メサ部１２０および第２メサ部１３０を形成する際には、表裏それぞれに対してエッチング加工を施すことになるが、平面視において第１メサ部１２０の−Ｚ´側第１側面１２３の上段側端縁１２３ｂおよび第２メサ部１３０の−Ｚ´側第２側面１３３の上段側端縁１３３ｂには、エッチング加工によって凹凸が生じる（明確な綾線が発現しにくい）。ここで、凹凸のある場合の上段側端縁１２３ｂ，１３３ｂは、凹凸の中心線とする。凹凸がある場合においても、第１メサ部１２０の−Ｚ´側第１側面１２３の上段側端縁１２３ｂと、第２メサ部１３０の−Ｚ´側第２側面１３３の上段側端縁１３３ｂとをある距離ずらしておくことで、第１メサ部１２０および第２メサ部１３０において急激に厚さが変化することを回避できるが、両者の距離が近いと、凹凸の形成具合によっては、第１メサ部１２０および第２メサ部１３０において急激に厚さが変化する。

本変形例によれば、第１メサ部１２０の−Ｚ´側第１側面１２３の上段側端縁１２３ｂと、第２メサ部１３０の−Ｚ´側第２側面１３３の上段側端縁１３３ｂとが、圧電板１１１の端部から中央部に向かう方向（Ｚ´方向）において５μｍ以上ずれている。これにより、設計誤差に関わらず、確実に第１メサ部１２０および第２メサ部１３０における厚み変化率を低減し、ＣＩ値を低減することが可能になる。

［第１実施形態の第２変形例］
次に、第１実施形態の第２変形例の圧電振動片について説明する。
図７は、第１実施形態の第２変形例に係る圧電振動片の説明図であり、（ａ）は図１のＩＩ−ＩＩ線に相当する部分における断面図であり、（ｂ）は図１のＩＩ−ＩＩ線に相当する部分における圧電板の厚さを示すグラフである。（ｂ）における横軸は、圧電板の端部からの距離を示し、縦軸は圧電板の厚さを示したものである。
図２（ａ）に示す第１実施形態では、−Ｚ´側第２側面３３がＹ´軸方向に対して傾斜した斜面となっていた。これに対して、図７（ａ）に示す第２変形例では、第２メサ部２３０の−Ｚ´側第２側面２３３がＹ´軸方向に沿う垂直面となっている点で、第１実施形態と異なっている。

図７（ａ）に示すように、圧電振動片２１０の圧電板２１１は、第１主面２１１Ａに突出形成された第１メサ部２２０と、第２主面２１１Ｂに突出形成された第２メサ部２３０と、を有する。
第１メサ部２２０は、−Ｚ´方向に面する−Ｚ´側第１側面２２３を有する。−Ｚ´側第１側面２２３は、第１主面２１１Ａと下段側端縁２２３ａにおいて接続し、第１頂面２２１と上段側端縁２２３ｂにおいて接続している。
第２メサ部２３０は、−Ｚ´方向に面する−Ｚ´側第２側面２３３を有する。−Ｚ´側第２側面２３３は、第２主面２１１Ｂと下段側端縁２３３ａにおいて接続し、第２頂面２３１と上段側端縁２３３ｂにおいて接続している。

−Ｚ´側第２側面２３３は、Ｙ´軸方向に沿って形成されている。−Ｚ´側第２側面２３３の下段側端縁２３３ａおよび上段側端縁２３３ｂは、−Ｚ´側第１側面２２３の上段側端縁２２３ｂよりも第１頂面２２１側（＋Ｚ´方向）に配置されている。
これにより、−Ｚ´側第１側面２２３および−Ｚ´側第２側面２３３は、平面視において互いに重ならないように形成される。

このように、−Ｚ´側第２側面２３３がＹ´軸方向に沿い、第２主面２１１Ｂに対して垂直に形成された構成であっても、−Ｚ´側第２側面２３３の上段側端縁２３３ｂが、−Ｚ´側第１側面２２３の上段側端縁２２３ｂよりも第１頂面２２１側（＋Ｚ´方向）に配置されることで、圧電板２１１の厚み変化を滑らかにすることができる（図７（ｂ）参照）。したがって、圧電振動片２１０のＣＩ値を低減させることができる。

また、−Ｚ´側第１側面および−Ｚ´側第２側面の両方に斜面が形成された場合は、圧電振動片を実装する際に導電性接着剤等の接合材が斜面を伝って濡れ広がり、振動特性の低下を招く可能性がある。これに対して、圧電振動片２１０の表裏において、−Ｚ´側第１側面２２３に斜面が形成され、−Ｚ´側第２側面２３３には斜面が形成されていないので、−Ｚ´側第２側面２３３が形成された第２主面２１１Ｂで圧電振動片２１０を実装することで、接合材の濡れ広がりを防止することが可能になる。よって小型化とＣＩ値低下を両立しつつ、さらに実装による電気特性低下を防止することができる。
なお、本変形例では、−Ｚ´側第２側面２３３がＹ´軸方向に沿う垂直面として形成されているが、−Ｚ´側第１側面２２３がＹ´軸方向に沿う垂直面として形成されてもよい。

［第２実施形態］
次に第２実施形態の圧電振動片について説明する。
図８は、第２実施形態に係る圧電振動片の説明図であり、図１のＩＩ−ＩＩ線に相当する部分における断面図である。
図２（ａ）に示す第１実施形態では、第１メサ部２０および第２メサ部３０は、一段に形成されていた。これに対して、図８に示す第２実施形態では、第１メサ部３２０および第２メサ部３３０は、二段に形成されている点で、第１実施形態と異なっている。なお、第１実施形態と同様の構成については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。

図８に示すように、圧電振動片３１０の圧電板３１１は、第１主面３１１Ａに突出形成された第１メサ部３２０と、第２主面３１１Ｂに突出形成された第２メサ部３３０と、を有する。
第１メサ部３２０は、下段側第１メサ部３２０Ａと、上段側第１メサ部３２０Ｂと、を有する。下段側第１メサ部３２０Ａは、第１主面３１１Ａの略中央において、Ｙ´軸方向に突出するように形成されている。下段側第１メサ部３２０Ａは、平面視矩形状に形成されている。下段側第１メサ部３２０Ａは、第１頂面３２１Ａと、第１頂面３２１Ａと第１主面３１１Ａとを接続する第１下段側面３２２と、を有する。上段側第１メサ部３２０Ｂは、下段側第１メサ部３２０Ａの第１頂面３２１Ａの内側において、Ｙ´軸方向に突出するように形成されている。上段側第１メサ部３２０Ｂは、平面視矩形状に形成されている。上段側第１メサ部３２０Ｂは、第１頂面３２１Ｂと、上段側第１メサ部３２０Ｂの第１頂面３２１Ｂと下段側第１メサ部３２０Ａの第１頂面３２１Ａとを接続する第１上段側面３２７と、を有する。第１上段側面３２７のうち、−Ｚ´方向に面する−Ｚ´側第１上段側面３２７ａの、第１主面３１１Ａに対する傾斜角は、第１下段側面３２２のうち、−Ｚ´方向に面する−Ｚ´側第１下段側面３２３の、第１主面３１１Ａに対する傾斜角よりも大きくなるように形成されている。

第２メサ部３３０は、下段側第２メサ部３３０Ａと、上段側第２メサ部３３０Ｂと、を有する。下段側第２メサ部３３０Ａは、第２主面３１１Ｂの略中央において、Ｙ´軸方向に突出するように形成されている。下段側第２メサ部３３０Ａは、平面視矩形状に形成されている。下段側第２メサ部３３０Ａは、第２頂面３３１Ａと、第２頂面３３１Ａと第２主面３１１Ｂとを接続する第２下段側面３３２と、を有する。上段側第２メサ部３３０Ｂは、下段側第２メサ部３３０Ａの第２頂面３３１の内側において、Ｙ´軸方向に突出するように形成されている。上段側第２メサ部３３０Ｂは、平面視矩形状に形成されている。上段側第２メサ部３３０Ｂは、第２頂面３３１Ｂと、上段側第２メサ部３３０Ｂの第２頂面３３１Ｂと下段側第２メサ部３３０Ａの第２頂面３３１Ａとを接続する第２上段側面３３７と、を有する。第２上段側面３３７のうち、−Ｚ´方向に面する−Ｚ´側第２上段側面３３７ａの、第２主面３１１Ｂに対する傾斜角は、第２下段側面３３２のうち、−Ｚ´方向に面する−Ｚ´側第２下段側面３３３の、第２主面３１１Ｂに対する傾斜角よりも大きくなるように形成されている。

このとき、−Ｚ´側第２下段側面３３３は、−Ｚ´側第１下段側面３２３よりも＋Ｚ´方向に形成されている。また、−Ｚ´側第２上段側面３３７ａは、−Ｚ´側第１上段側面３２７ａよりも＋Ｚ´方向に形成されている。さらに、−Ｚ´側第１上段側面３２７ａは、−Ｚ´側第２下段側面３３３よりも＋Ｚ´方向に形成されている。これにより、圧電板３１１の厚み変化が滑らかになる。

このように、本実施形態では、第１メサ部３２０において、下段側第１メサ部３２０Ａの−Ｚ´側第１下段側面３２３の傾斜角よりも、上段側第１メサ部３２０Ｂの−Ｚ´側第１上段側面３２７ａの傾斜角の方が大きい。また、第２メサ部３３０において、下段側第２メサ部３３０Ａの−Ｚ´側第２下段側面３３３の傾斜角よりも、上段側第２メサ部３３０Ｂの−Ｚ´側第２上段側面３３７ａの傾斜角の方が大きい。
斜面における励振電極の線切れの観点からは、斜面の傾斜角は小さい（滑らか）な方が好ましいが、一方で、傾斜角を小さくすると、メサ部の頂面の面積が小さくなり、十分な励振領域を確保できない、といった課題がある。そこで本実施形態では、下段側第１メサ部３２０Ａの第１下段側面３２２、および下段側第２メサ部３３０Ａの第２下段側面３３２の傾斜角を小さくして斜面における線切れ防止を図りつつ、上段側第１メサ部３２０Ｂの第１上段側面３２７、および上段側第２メサ部３３０Ｂの第２上段側面３３７の傾斜角を大きくして、従来では狭くなりがちな上段側第１メサ部３２０Ｂの第１頂面３２１Ｂ、および上段側第２メサ部３３０Ｂの第２頂面３３１Ｂの面積が出来るだけ大きくなるようにしている。したがって、圧電振動片３１０の電気特性の向上を達成することが可能になる。

なお、本実施形態では、第１メサ部３２０および第２メサ部３３０は、それぞれ二段に形成されていたが、三段以上に形成されていてもよい。即ち、第１メサ部および第２メサ部が複数段に形成されている場合において、下段のメサ部の側面が有する斜面の傾斜角よりも、上段のメサ部の側面が有する斜面の傾斜角の方が大きくなるように設定することで、上記の作用効果を得ることができる。

図９および図１０は、第２実施形態に係る他の圧電振動片の説明図であり、図１のＩＩ−ＩＩ線に相当する部分における断面図である。
また、第１上段側面３２７および第２上段側面３３７の両方がＹ´軸方向に対して傾斜した斜面であることに限定されない。例えば、図９に示すように、上段側第２メサ部３３０Ｂの−Ｚ´側第２上段側面３３７ａがＹ´軸方向に沿うように形成された垂直面であってもよい。さらに、図１０に示すように、下段側第２メサ部３３０Ａの−Ｚ´側第２下段側面３３３も、Ｙ´軸方向に沿うように形成された垂直面であってもよい。

[第３実施形態]
次に第３実施形態の圧電振動片について説明する。
上記第１、第２実施形態では、圧電板１１の平面視略中央から見て（＋Ｘ，−Ｚ´）方向に位置する角部に第１マウント電極５２を設け、平面視略中央から見て（−Ｘ，−Ｚ´）方向に位置する角部に第２マウント電極５３を設ける構成について説明した。しかしながら、本発明に係る圧電振動片の形態はこれに限られるものではない。

即ち、圧電板１１の平面視略中央からみて（−Ｘ、−Ｚ´）の角部と、（−Ｘ、＋Ｚ´）の角部のそれぞれから、圧電板１１の外部方向に突出する第１突出部、第２突出部を形成し、それぞれの突出部に第１マウント電極５２、第２マウント電極５３を形成する構成であってもよい。

第１突出部、第２突出部の厚さは、メサ部の厚さと同等であってもよいし、メサ部を除く圧電板１１の厚さと同等であってもよい。また、第１突出部、第２突出部が突出する方向は、圧電板１１の面方向と平行であって、Ｘ軸及びＺ´軸と略４５度をなす方向であると好適である。しかしながら、例えばＸ軸と平行な方向、又はＺ´軸と平行な方向に突出していてもよいし、さらには、（＋Ｘ、−Ｚ´）の角部、（＋Ｘ、＋Ｚ´）の角部から突出する構成であってもよい。また、第１突出部、第２突出部の長さは、圧電板１１の短辺方向の長さ（Ｘ軸に沿った長さ）の半分以下であってもよい。

このように、圧電板１１の角部に第１突出部、第２突出部を設け、これらの突出部に第１マウント電極５２、第２マウント電極５３を形成することで、励振領域であるメサ部から離れた領域で圧電板１１を実装することが可能になる。その結果、励振領域で生じた振動が第１マウント電極５２、第２マウント電極５３に伝達し、そこから圧電板１１の外部に漏れてしまう、所謂「振動漏れ」の課題を低減することができるので、ＣＩ値の低減を図ることができる。

また、圧電板１１を小型化すると、導電性接着剤の濡れ広がりにより、導電性接着剤が励振領域に接触し、圧電板１１の振動が阻害される虞があるが、本実施形態のように、圧電板１１の外部方向に突出する第１突出部、第２突出部で圧電板１１を実装することにより、濡れ広がった導電性接着剤が励振領域に接触することを回避することができる。

また、圧電板１１の長手方向に離間した角部に第１突出部、第２突出部を設け、それらの突出部で圧電板１１を実装しているので、短辺方向に離間した２点で圧電板１１を実装する場合と比較すると、圧電板１１をバランスよく支持することが可能になる。よって、外部衝撃等を受けた際の圧電板１１の傾きを低減したり、さらには実装強度を向上させることも可能になる。

なお、本発明は、図面を参照して説明した上述の実施形態に限定されるものではなく、その技術的範囲において様々な変形例が考えられる。
例えば、上記各実施形態では、第１メサ部の側面（第１側面）および第２メサ部の側面（第２側面）のうち、−Ｚ´方向に面する側面、および＋Ｘ´方向に面する側面について主に詳述した。しかしながらこれに限定されるものではなく、第１側面および第２側面のうち、ＸＺ´平面内における同一方向に面する一対の側面に、平面視において互いに重ならない領域が形成されることで、上述の作用効果を得ることができる。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。

１…圧電振動子 ５…パッケージ １０，１１０，２１０，３１０…圧電振動片 １１，１１１，２１１，３１１…圧電板 １１Ａ，１１１Ａ，２１１Ａ，３１１Ａ…第１主面 １１Ｂ，１１１Ｂ，２１１Ｂ，３１１Ｂ…第２主面 １１Ｃ…圧電板の端縁 ２０，１２０，２２０，３２０…第１メサ部（一のメサ部） ２３，１２３，２２３，３２３…−Ｚ´側第１側面（一のメサ部の側面） ２３ａ，１２３ａ，２２３ａ…−Ｚ´側第１側面の下段側端縁（一のメサ部の側面の下段側端縁） ２３ｂ，１２３ｂ，２２３ｂ…−Ｚ´側第１側面の上段側端縁（一のメサ部の側面の上段側端縁） ３０，１３０，２３０，３３０…第２メサ部（他のメサ部） ３３，１３３，２３３，３３３…−Ｚ´側第２側面（他のメサ部の側面） ３３ａ，１３３ａ，２３３ａ…−Ｚ´側第２側面の下段側端縁（一のメサ部の側面の上段側端縁） ３３ｂ，１３３ｂ，２３３ｂ…−Ｚ´側第２側面の上段側端縁（他のメサ部の側面の上段側端縁） ５２…第１マウント電極（マウント電極） ５３…第２マウント電極（マウント電極） ３２３…−Ｚ´側第１下段側面（下段のメサ部の側面） ３２７ａ…−Ｚ´側第１上段側面（上段のメサ部の側面） ３３３…−Ｚ´側第２下段側面（下段のメサ部の側面） ３３７ａ…−Ｚ´側第２上段側面（上段のメサ部の側面）

Claims (7)

1. 表裏のそれぞれの主面に少なくとも一段のメサ部が形成された圧電板を有し、それぞれの前記メサ部の側面は少なくとも１つが斜面であって、かつ前記側面は、前記主面側から順に、下段側端縁と上段側端縁とを有しており、
   前記圧電板を平面視した場合において、
   一のメサ部の側面の前記下段側端縁と、
   前記一のメサ部の裏面側において前記一のメサ部に対応して形成される他のメサ部の側面の前記下段側端縁とが、
   前記圧電板の端部から中央部に向かう方向に沿って順に形成されており、かつ、
   前記一のメサ部の側面の前記上段側端縁と、
   前記他のメサ部の側面の前記上段側端縁とが、
   前記圧電板の端部から中央部に向かう方向に沿って順に形成されているか、又は同じ位置に形成され、
   前記一のメサ部の頂面に形成された上段側第１メサ部の−Ｚ´側に面する第１上段側面は、前記他のメサ部の−Ｚ´側に面する第２下段側面よりも＋Ｚ´方向に形成され、
   前記各メサ部の−Ｚ´側に面する面は傾斜した斜面であり、
   下段のメサ部の側面が有する斜面の傾斜角よりも、上段のメサ部の側面が有する斜面の傾斜角の方が大きい、
   ことを特徴とする圧電振動片。
2. 前記圧電板を平面視した場合において、
   前記一のメサ部の側面の前記上段側端縁と、
   前記他のメサ部の側面の前記上段側端縁とが、
   前記圧電板の端部から中央部に向かう方向に沿って順に形成されている場合は、
   前記一のメサ部の側面の前記上段側端縁と、
   前記他のメサ部の側面の前記上段側端縁とが、
   前記圧電板の端部から中央部に向かう方向において５μｍ以上ずれている
   ことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
3. 前記圧電板の長手方向において、
   前記一のメサ部では、一方の側の側面が斜面に形成されており、
   前記他のメサ部では、他方の側の側面が斜面に形成されている
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電振動片。
4. 前記圧電板はＡＴカット水晶基板より形成され、
   前記圧電板の長手方向が水晶結晶軸におけるＺ´軸方向となる
   ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電振動片。
5. 前記他のメサ部において一段目のメサ部の側面の前記下段側端縁と、それに対向する前記圧電板の端縁と、の間に形成されたマウント電極において基板上に実装可能に形成される
   ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の圧電振動片。
6. 前記圧電板の長手方向に離間した２つの角部に、前記圧電板の面方向に平行であって、かつ前記圧電板の外部方向に突出する突出部が形成されており、前記突出部に形成されたマウント電極において基板上に実装可能に形成されている
   ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の圧電振動片。
7. 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の圧電振動片と、
   前記圧電振動片が実装されるパッケージと、
   を備えることを特徴とする圧電振動子。

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