JPS5957512A - 水晶振動子 - Google Patents
水晶振動子Info
- Publication number
- JPS5957512A JPS5957512A JP16670382A JP16670382A JPS5957512A JP S5957512 A JPS5957512 A JP S5957512A JP 16670382 A JP16670382 A JP 16670382A JP 16670382 A JP16670382 A JP 16670382A JP S5957512 A JPS5957512 A JP S5957512A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- plate
- crystal
- angle
- ratio
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 40
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 241000218645 Cedrus Species 0.000 description 1
- 241001415846 Procellariidae Species 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/177—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of the energy-trap type
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02157—Dimensional parameters, e.g. ratio between two dimension parameters, length, width or thickness
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
- H03H9/132—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials characterized by a particular shape
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(1)発明の技術分野
本発明は水都振動子、特にスプリアス発振が抑圧される
ようにした2向回転Y板厚みすべり膨水 −晶振動子に
関する。
ようにした2向回転Y板厚みすべり膨水 −晶振動子に
関する。
(2)従来技術と間願点
一般に、水晶振動子においてX軸を電気軸、y軸を機械
軸、2軸を光軸とした場合にX軸と2軸を含む平面をX
軸を中心にしである角度だけ回転しこの面内で一辺がX
軸に対して所定の角度をなすように切り出し、かつy軸
に垂直に切って厚みすべり振動に適用するようにした水
晶振動子を2向回転Y板厚みすべり膨水晶振動子と称し
、主に発振器に使用されている。
軸、2軸を光軸とした場合にX軸と2軸を含む平面をX
軸を中心にしである角度だけ回転しこの面内で一辺がX
軸に対して所定の角度をなすように切り出し、かつy軸
に垂直に切って厚みすべり振動に適用するようにした水
晶振動子を2向回転Y板厚みすべり膨水晶振動子と称し
、主に発振器に使用されている。
従来の発振器用としての2向回転Y板厚みすべり膨水晶
振動子の構造は第1図に示すように、円板状の水晶板1
0の上面と底面にそれぞれ円形の電極21.22を蒸着
形成したものであった。
振動子の構造は第1図に示すように、円板状の水晶板1
0の上面と底面にそれぞれ円形の電極21.22を蒸着
形成したものであった。
しかし、電極21.22の形状が円形であるため、従来
の上記水晶振動子の共振モードは第2図に示す分布とな
る。即ち主振動に対して横軸に同波数比縦軸に相対レベ
ルをとると、周波数比10(主振動)の場合にスローモ
ードS及びインノー−モニックモードIが現われるが、
その近傍である周波数1.1に対応してスプリアスモー
ドであるファーストモードfが現われ、これが2向回転
Y板厚みすべυ膨水晶振動子におけるスプリアス発振の
原因となるという間顧点がある。
の上記水晶振動子の共振モードは第2図に示す分布とな
る。即ち主振動に対して横軸に同波数比縦軸に相対レベ
ルをとると、周波数比10(主振動)の場合にスローモ
ードS及びインノー−モニックモードIが現われるが、
その近傍である周波数1.1に対応してスプリアスモー
ドであるファーストモードfが現われ、これが2向回転
Y板厚みすべυ膨水晶振動子におけるスプリアス発振の
原因となるという間顧点がある。
(3)発明の目的
本発明の目的は、スプリアスモードが水晶板及び電極の
形状並びに電気軸に対する電極の角度位置に依存するこ
とに着眼して、水晶振動子の構造を変えることによりス
プリアス発振を抑圧することにある。
形状並びに電気軸に対する電極の角度位置に依存するこ
とに着眼して、水晶振動子の構造を変えることによりス
プリアス発振を抑圧することにある。
(4)発明の構成
本発明によれば、円板状水晶板の円形上面と円形下面に
それぞれ電極が形成されている2回回転Y板厚みすべυ
膨水晶振動子において、上記水晶板の板厚寸法に対する
上面と下面の直径寸法の比と厚みすべり振動の次数との
積が50以下、電極の短辺寸法に対する′長辺寸法の比
が2以上、水晶板の電気軸に対する雷、枠長辺方向中心
線のなす角度が30÷度ケ以下であることを特徴とする
水晶振動子が提供される。
それぞれ電極が形成されている2回回転Y板厚みすべυ
膨水晶振動子において、上記水晶板の板厚寸法に対する
上面と下面の直径寸法の比と厚みすべり振動の次数との
積が50以下、電極の短辺寸法に対する′長辺寸法の比
が2以上、水晶板の電気軸に対する雷、枠長辺方向中心
線のなす角度が30÷度ケ以下であることを特徴とする
水晶振動子が提供される。
(5)発明の実施例
以下、本発明を実施例により添付図面を参照して説明す
る。
る。
第6図は本発明に係る水晶振動子の平面図(第3図(2
))と側面図(第6図(1))である。第3図の水晶振
動子は板厚寸法tに対する直径寸法φが一定の比率を有
する円板状の水晶板210の上面と底面にそれぞれ蒸着
された電極210と220を有し、各電極は長辺寸法A
と短辺寸法Bの比率が一定でおシかつ電気軸Xに対して
所定の角度θをなしている。
))と側面図(第6図(1))である。第3図の水晶振
動子は板厚寸法tに対する直径寸法φが一定の比率を有
する円板状の水晶板210の上面と底面にそれぞれ蒸着
された電極210と220を有し、各電極は長辺寸法A
と短辺寸法Bの比率が一定でおシかつ電気軸Xに対して
所定の角度θをなしている。
水晶板100は円板形状を有し、上面と下面の直径寸法
φと側面の板厚寸法tの比率が一定になるように形成さ
れている。第4図(1)は、電極210゜220の長辺
寸法Aと短辺寸法Bの比率人を4とし、電極210,2
20の長辺方向中心線CLを電気軸Xと一致させ即ちθ
=0° とした場合のスプリアス発振が水晶板寸法に対
しどのように依存しているかを表わすグラフである。
φと側面の板厚寸法tの比率が一定になるように形成さ
れている。第4図(1)は、電極210゜220の長辺
寸法Aと短辺寸法Bの比率人を4とし、電極210,2
20の長辺方向中心線CLを電気軸Xと一致させ即ちθ
=0° とした場合のスプリアス発振が水晶板寸法に対
しどのように依存しているかを表わすグラフである。
上記第4図のグラフにおいて、水晶板寸法は横奇数m=
=1.3.5・・・であり4常はm=1.3゜5である
。mはオーバトーン次数と呼ばれ、@4図(2)で示す
ように厚みの方向へ伝播する振動波αまたはbの半波長
分の数を表わす。第4図(2)はm=1の場合であって
、厚みすべり振動の状態を示し、実線矢印の方向へ振動
する振動波aと破線矢印の方向へ振動する振動波すとが
交互に繰り返され、上下面に平行で節Nを通る中心線C
1に対し上側をプラス極性■とすれば下側はマイナス極
性Oとなる。
=1.3.5・・・であり4常はm=1.3゜5である
。mはオーバトーン次数と呼ばれ、@4図(2)で示す
ように厚みの方向へ伝播する振動波αまたはbの半波長
分の数を表わす。第4図(2)はm=1の場合であって
、厚みすべり振動の状態を示し、実線矢印の方向へ振動
する振動波aと破線矢印の方向へ振動する振動波すとが
交互に繰り返され、上下面に平行で節Nを通る中心線C
1に対し上側をプラス極性■とすれば下側はマイナス極
性Oとなる。
またスプリアス発振の基準とし、ては縦軸にファースト
モード(第2図)での共振抵抗Rfast トスロー
モード(第2図)の共振抵抗”glow O比で表わ
されている。第4図(1)においてプリアス発振が抑圧
されることがわかる。
モード(第2図)での共振抵抗Rfast トスロー
モード(第2図)の共振抵抗”glow O比で表わ
されている。第4図(1)においてプリアス発振が抑圧
されることがわかる。
第5図はスプリアス発振の電極寸法依存性を示すグラフ
である。til[i21貼 220の長辺方向中心線C
Lの′電気軸Xとの外す角度θは0°・ 水晶板100
の直径寸法φと板厚寸法tの比に次数mを架した値m!
!!−は59°でおる。長辺寸法Aとは抑圧される。第
6図はスプリアス発振のX軸方向依存性を示すグラフで
あって、?[E極の長辺寸法116の場合は0≦θ≦1
80°の範囲で従って、上記第4図から;’86図まで
のグラフから明らかなように、2回回転Y板厚みすべり
彩水尚、第7図は、本発明水晶振動子の変形例であって
、第3図と異なるのは電極の形状を矩形でな発振器とし
て用いた揚台の外部負荷容量による1hI波数可変量が
大きくとれる。
である。til[i21貼 220の長辺方向中心線C
Lの′電気軸Xとの外す角度θは0°・ 水晶板100
の直径寸法φと板厚寸法tの比に次数mを架した値m!
!!−は59°でおる。長辺寸法Aとは抑圧される。第
6図はスプリアス発振のX軸方向依存性を示すグラフで
あって、?[E極の長辺寸法116の場合は0≦θ≦1
80°の範囲で従って、上記第4図から;’86図まで
のグラフから明らかなように、2回回転Y板厚みすべり
彩水尚、第7図は、本発明水晶振動子の変形例であって
、第3図と異なるのは電極の形状を矩形でな発振器とし
て用いた揚台の外部負荷容量による1hI波数可変量が
大きくとれる。
(6)発明の効果
本発明によれば、水晶板の構造と電極の形状及び1!極
の電、四軸に対する角度住僧″をP)+定の大きさにす
ることにより、2回回転Y板厚みすべり膨水晶撮動子の
スプリアス発振を抑圧できる。
の電、四軸に対する角度住僧″をP)+定の大きさにす
ることにより、2回回転Y板厚みすべり膨水晶撮動子の
スプリアス発振を抑圧できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の2回回転Y板杉水晶振動子の斜視図、第
2図は第1図の水晶振動子のスペクトル分布図、第6図
は本発明に係る水晶振動子の平面図と側面図、第4図は
スプリアス発振の水晶板寸法依存性を示すグラフ、第5
図はスプリアス発振の雷、極寸法依存性を示すグラフ、
第6図はスプリアス発振のX軸方向依存性を示すグラフ
、第7図は本発明振動子の変形例を示す平面図である。 100・・・水晶板、210,220・・・電極、A・
・・電極の長辺、B・・・1セ極の短辺、φ・・・水晶
板の直径、t・・・水晶板の板咋、θ・・・電気軸に対
する電極の角度、X・・・電気軸、Y・・・機械軸、2
・・・光軸。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 青−木 四 弁理士西舘和之 弁理士内田幸男 弁理士山口昭之 第2図 第4図 第5図 第6図 第7図
2図は第1図の水晶振動子のスペクトル分布図、第6図
は本発明に係る水晶振動子の平面図と側面図、第4図は
スプリアス発振の水晶板寸法依存性を示すグラフ、第5
図はスプリアス発振の雷、極寸法依存性を示すグラフ、
第6図はスプリアス発振のX軸方向依存性を示すグラフ
、第7図は本発明振動子の変形例を示す平面図である。 100・・・水晶板、210,220・・・電極、A・
・・電極の長辺、B・・・1セ極の短辺、φ・・・水晶
板の直径、t・・・水晶板の板咋、θ・・・電気軸に対
する電極の角度、X・・・電気軸、Y・・・機械軸、2
・・・光軸。 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 青−木 四 弁理士西舘和之 弁理士内田幸男 弁理士山口昭之 第2図 第4図 第5図 第6図 第7図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 円板状水晶板の円形上面と円形下向にそれぞれ電極が形
成されている2回同転Y板)準みすべり膨水晶振動子に
おいて、 上記水晶板の板厚寸法に対する上面と下面の肉径寸法の
比と厚みすべり振動の次数との呻が50以下、′1極の
短辺寸法に対する長辺寸法の比が2以上、水晶板の電気
軸に対する電極長辺方向中心線のなす角度が30+1.
v:+以下であることを特徴とする水晶振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16670382A JPS5957512A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | 水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16670382A JPS5957512A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | 水晶振動子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5957512A true JPS5957512A (ja) | 1984-04-03 |
Family
ID=15836186
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16670382A Pending JPS5957512A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | 水晶振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5957512A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017158146A (ja) * | 2016-03-04 | 2017-09-07 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動子 |
JP2017175315A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動子 |
-
1982
- 1982-09-27 JP JP16670382A patent/JPS5957512A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017158146A (ja) * | 2016-03-04 | 2017-09-07 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動子 |
CN107154789A (zh) * | 2016-03-04 | 2017-09-12 | 日本电波工业株式会社 | 晶体振子 |
JP2017175315A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動子 |
CN107231139A (zh) * | 2016-03-23 | 2017-10-03 | 日本电波工业株式会社 | 晶体振子 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS62149210A (ja) | 音波装置 | |
JPS5829890B2 (ja) | オ−バト−ン水晶として使用される厚みすべり振動子 | |
JPS5945286B2 (ja) | 弾性表面波先振器用素子 | |
TWI664813B (zh) | At切割晶片、晶體共振器及晶體振子 | |
JPH0211043B2 (ja) | ||
US3401283A (en) | Piezoelectric resonator | |
JPS5957512A (ja) | 水晶振動子 | |
JP2001267880A (ja) | Saw共振子 | |
US4112323A (en) | Circular flexural mode piezoelectric vibrator with integral support arms | |
JPH04127709A (ja) | Atカット水晶振動子 | |
JPS6357967B2 (ja) | ||
JPS60137115A (ja) | 圧電振動子 | |
JPS6216611A (ja) | 平板状厚みすべり水晶振動子 | |
JPH1051262A (ja) | 圧電振動子とその製造方法 | |
JPH0870232A (ja) | 弾性表面波素子及び発振器 | |
JPS6382113A (ja) | 弾性表面波素子 | |
JPH0817303B2 (ja) | リ−キ−saw共振子 | |
JPS5837150Y2 (ja) | 圧電型水晶共振子 | |
JPS6382114A (ja) | 弾性表面波素子 | |
RU2246791C1 (ru) | Пьезоэлектрический резонатор | |
JPS5824503Y2 (ja) | 幅すべり結晶振動子 | |
JPS5912810Y2 (ja) | 圧電振動子 | |
JPS61281612A (ja) | 弾性表面波共振装置 | |
JPS62173812A (ja) | 薄膜弾性波共振子 | |
JPS6173409A (ja) | 弾性表面波装置 |