JP6698867B2 - 荷電粒子線装置および試料観察方法 - Google Patents
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Description
Transmission Electron Microscope)、走査イオン顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡、光学顕微鏡、レーザ顕微鏡等に適用することも可能である。
Claims (11)
- 荷電粒子源と、前記荷電粒子源から放出する一次荷電粒子線を集束するための集束レンズと、前記一次荷電粒子線を試料の上に集束するための対物レンズと、前記一次荷電粒子線を前記試料の上で走査するための偏向コイルと、前記一次荷電粒子線の前記試料への照射によって発生した二次荷電粒子を検出する検出器とを有する荷電粒子光学系と、
操作者の制御を受け付ける操作盤と、
複数の表示領域を有する画像表示装置と、
前記操作盤及び前記画像表示装置と接続され、装置制御部と表示制御部とを有する制御装置と、
前記荷電粒子光学系により撮影した画像データを記憶する記憶装置とを有し、
前記装置制御部は、前記操作盤からの制御を受け付けて前記荷電粒子光学系を制御して画像データを取得し、
前記表示制御部は、前記荷電粒子光学系から取得されるライブ画像を前記画像表示装置の第1表示領域に、前記記憶装置に記憶された比較画像を前記画像表示装置の第2表示領域に表示し、
前記表示制御部は、前記第2表示領域にボタンを表示し、表示された前記ボタンが前記操作盤から第1の制御を受けることにより、前記第1表示領域のサイズにあわせた前記比較画像を半透明化して前記ライブ画像に重畳した重畳画像を前記画像表示装置の前記第1表示領域の位置に表示する荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記表示制御部は、第1の透過度とした前記ライブ画像の画像データと前記第1の透過度と異なる第2の透過度とした前記比較画像の画像データとを合成して前記重畳画像の画像データを生成する荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記画像表示装置の前記第1表示領域の位置に、前記重畳画像を表示する前記第2表示領域を表示する荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記表示制御部は、前記第1表示領域に前記重畳画像を表示する荷電粒子線装置。 - 請求項2において、
前記表示制御部は、前記ボタンが前記操作盤から第2の制御を受けることにより、前記透過度を調整する透過度調整ツールを表示する荷電粒子線装置。 - 荷電粒子源と、前記荷電粒子源から放出する一次荷電粒子線を集束するための集束レンズと、前記一次荷電粒子線を試料の上に集束するための対物レンズと、前記一次荷電粒子線を前記試料の上で走査するための偏向コイルと、前記一次荷電粒子線の前記試料への照射によって発生した二次荷電粒子を検出する検出器とを有する荷電粒子光学系と、
操作者の制御を受け付ける操作盤と、
複数の表示領域を有する画像表示装置と、
前記操作盤及び前記画像表示装置と接続され、装置制御部と表示制御部とを有する制御装置と、
前記荷電粒子光学系により撮影した画像データを記憶する記憶装置とを有し、
前記装置制御部は、前記操作盤からの制御を受け付けて前記荷電粒子光学系を制御して画像データを取得し、
前記表示制御部は、前記荷電粒子光学系から取得されるライブ画像を前記画像表示装置の第1表示領域に、前記記憶装置に記憶された比較画像を前記画像表示装置の第2表示領域に、前記記憶装置に記憶された複数の撮影済画像を縮小画像として前記画像表示装置の第3表示領域に表示し、
前記表示制御部は、前記操作盤からの制御を受け付けて、前記第1表示領域のサイズにあわせた前記比較画像を半透明化して前記ライブ画像に重畳した重畳画像を前記画像表示装置の前記第1表示領域の位置に表示し、
前記表示制御部は、第1の透過度とした前記ライブ画像の画像データと前記第1の透過度と異なる第2の透過度とした前記比較画像の画像データとを合成して前記重畳画像の画像データを生成し、
前記表示制御部は、前記操作盤により選択された前記複数の撮影済画像の一つを前記比較画像として、前記第2表示領域に表示し、
前記透過度は、前記複数の撮影済画像に共通の値が設定される荷電粒子線装置。 - 操作者の制御を受け付ける操作盤と、複数の表示領域を有する画像表示装置と、試料ステージと、荷電粒子光学系と、前記荷電粒子光学系により撮影した画像データを記憶する記憶装置とを備えた荷電粒子線装置を用いた試料観察方法であって、
サブステージを介して試料を前記試料ステージの上に配置し、
前記荷電粒子光学系から取得されるライブ画像を前記画像表示装置の第1表示領域に表示し、
前記記憶装置に記憶された比較画像を前記画像表示装置の第2表示領域に表示し、
所定の作用を前記試料に加えるように前記サブステージを制御し、
前記操作盤からの制御を受けて、前記第1表示領域のサイズにあわせた前記比較画像を半透明化して前記ライブ画像に重畳した重畳画像を前記画像表示装置の前記第1表示領域の位置に表示する試料観察方法。 - 請求項7において、
第1の透過度とした前記ライブ画像の画像データと前記第1の透過度と異なる第2の透過度とした前記比較画像の画像データとを合成して前記重畳画像の画像データを生成する試料観察方法。 - 請求項8において、
前記第2表示領域にボタンを表示し、表示された前記ボタンが前記操作盤から第1の制御を受けることにより、前記重畳画像を前記画像表示装置の前記第1表示領域の位置に表示する試料観察方法。 - 請求項9において、
前記ボタンが前記操作盤から第2の制御を受けることにより、前記透過度を調整する透過度調整ツールを表示する試料観察方法。 - 請求項8において、
前記記憶装置に記憶された複数の撮影済画像を縮小画像として前記画像表示装置の第3表示領域に表示し、
前記操作盤により選択された前記複数の撮影済画像の一つを前記比較画像として、前記第2表示領域に表示し、
前記透過度は、前記複数の撮影済画像に共通の値が設定される試料観察方法。
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