JP2008107645A - 画像表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】モニタ105には表示画面200が設けられ、表示画面200には、光学系103から送られた観察画像201および被検体101上の現在の観察位置202aが記されたマップ202を表示するとともに、観察画像201の視野位置203aが重ね合わされた位置確認用画像203を観察画像201およびマップ202とともに表示する。
【選択図】 図1
Description
図5において、画像表示装置506には、光学系503から送られた観察画像を格納する観察画像用画像メモリ507および表示画像処理部508が設けられている。ここで、表示画像処理部508は、光学系503から送られた倍率情報およびXYステージ502から送られた位置情報に基づいて観察位置をマップ上に表示しながら、観察画像用画像メモリ507に格納された観察画像を表示画像に加工してモニタ505に表示させることができる。
図6において、モニタ505には表示画面600が設けられ、表示画面600には、光学系503から送られた観察画像601および被検体501上の現在の観察位置602aが記されたマップ602が表示される。
そして、被検体501を観察する場合、被検体501をXYステージ502上に載置する。そして、光学系503を介して被検体501を観察しながら、XYステージ502を操作し、被検体501の観察位置を調整するとともに、倍率切替機構504にて被検体501の倍率を調整する。
また、例えば、特許文献1には、ウェハ上において互いに平行でない2つの軸方向にほぼ規則的に配置されたダイ内のパターンを検査するため、ダイが仮想的に配置されるべき等間隔グリッドを生成し、各ダイの実際の位置座標を求め、等間隔グリッドと各ダイの位置誤差を算出し、各ダイの画像が等間隔グリッドに沿って配置されるように各ダイの位置誤差の値に基づいて、各ダイの画像の位置補正をして画像を取得する方法が開示されている。
そのため、高倍率で観察画像601を確認するためには、観察者は低倍率で観察画像601をモニタ505に表示させ、拡大して観察したい箇所を確認した後、拡大しても観察したい箇所が視野から外れないようにXYステージ502を操作しながら倍率を徐々に上げるという作業を繰り返し行わなくてはならないことから、作業効率が低下するという問題があった。
そこで、本発明の目的は、高倍率画像を表示させた場合においても、その高倍率画像に対応した視野の位置を効率よく確認することが可能な画像表示装置を提供することである。
図1は、本発明の第1実施形態に係る画像表示装置の概略構成を示すブロック図である。
図1において、画像表示装置106には、光学系103から送られた観察画像を記憶する観察画像用画像メモリ107、観察画像の視野を確認するための位置確認用画像を記憶する位置確認用画像メモリ109および表示画像処理部108が設けられている。ここで、表示画像処理部108は、光学系103から送られた倍率情報およびXYステージ102から送られた位置情報に基づいて、位置確認用画像上に観察画像の視野位置を重ね合わせて観察画像とともに同一表示画面上に表示させることができる。
なお、位置確認用画像は、ユーザインターフェース110を介して外部から取り込むようにしてもよいし、光学系103から送られた観察画像よりも低倍率の画像を用いるようにしてもよい。また、画像表示装置106としては、例えば、パーソナルコンピュータを用いることができる。
図2において、モニタ105には表示画面200が設けられ、表示画面200には、光学系103から送られた観察画像201および被検体101上の現在の観察位置202aが記されたマップ202が表示される。さらに、表示画面200には、観察画像201の視野位置203aが重ね合わされた位置確認用画像203が観察画像201およびマップ202とともに表示される。
そして、光学系103にて観察される観察画像101は観察画像用画像メモリ107に送られ、観察画像用画像メモリ107に順次格納される。そして、観察画像用画像メモリ107に格納された観察画像201は表示画像処理部108にて表示画像に加工され、表示画像処理部108からモニタ105に送られることで、観察画像201がモニタ105に表示される。
なお、位置確認画像202はユーザインターフェース110を介して位置確認用画像メモリ109に取り込むようにしてもよい。
そして、モニタ105に表示された位置確認画像203を観察することにより、現在の視野位置203aを確認しながら視野位置を見たい部分に合わせ、被検体101の見たい部分を拡大して観察することができる。
図3において、画像表示装置306には、顕微鏡システム303から送られた観察画像を記憶する観察画像用画像メモリ307、観察画像の視野を確認するための位置確認用画像を記憶する位置確認用画像メモリ309および表示画像処理部308が設けられている。ここで、表示画像処理部308は、顕微鏡システム303から送られた倍率情報およびXYステージ302から送られた位置情報に基づいて、観察画像の視野位置を位置確認用画像上に重ね合わせて観察画像とともに同一表示画面上に表示させることができる。
なお、位置確認用画像は、ユーザインターフェース310を介して外部から取り込むようにしてもよいし、顕微鏡システム303から送られた観察画像よりも低倍率の画像を用いるようにしてもよい。また、画像表示装置306としては、例えば、パーソナルコンピュータを用いることができる。
なお、顕微鏡システム303としては、光学顕微鏡の他、電子顕微鏡であってもよい。また、ズーム機能を持ったカメラシステムなどの他の光学系に使用するようにしてもよい。
図4において、モニタ305には表示画面400が設けられ、表示画面400には、顕微鏡システム303から送られた観察画像401および被検体301上の現在の観察位置402aが記されたマップ402が表示される。さらに、表示画面400には、観察画像401の視野位置403aが重ね合わされた位置確認用画像403が観察画像401およびマップ402とともに表示される。
そして、顕微鏡システム303にて観察される観察画像301は観察画像用画像メモリ307に送られ、観察画像用画像メモリ307に順次格納される。そして、観察画像用画像メモリ307に格納された観察画像401は表示画像処理部308にて表示画像に加工され、表示画像処理部308からモニタ305に送られることで、観察画像401がモニタ305に表示される。
なお、位置確認画像402はユーザインターフェース310を介して位置確認用画像メモリ309に取り込むようにしてもよい。
そして、マップ402上においてセル位置が特定されると、そのセル位置に対応した画像を位置確認画像402として位置確認用画像メモリ309に取り込ませることができる。
そして、XYステージ302および倍率切替機構304は、制御部311から出力された指令値に基づいて被検体301の位置および倍率をそれぞれ調整することで、マップ402上において特定されたセルに対応した画像を位置確認画像402としてモニタ305に表示させることができる。
102、302 XYステージ
103 光学系
104、304 倍率切替機構
105、305 モニタ
106、306 画像表示装置
107、307 観察画像用画像メモリ
108、308 表示画像処理部
109、309 位置確認用画像メモリ
110、310 ユーザインターフェース
200、400 表示画面
201、401 観察画像
202、402 マップ
203、403 位置確認画像
303 顕微鏡システム
311 制御部
Claims (2)
- 光学系から送られた観察画像を記憶する観察画像用画像記憶手段と、
前記観察画像の視野を確認するための位置確認用画像を記憶する位置確認用画像記憶手段と、
前記観察画像の視野位置を前記位置確認用画像上に重ね合わせて前記観察画像とともに同一表示画面上に表示させる表示画像処理手段とを備えることを特徴とする画像表示装置。 - 光学系から送られた観察画像を記憶する観察画像用画像記憶手段と、
前記光学系から送られた前記観察画像よりも低倍率の画像を、前記観察画像の視野を確認するための位置確認用画像として記憶する位置確認用画像記憶手段と、
前記観察画像の視野位置を前記位置確認用画像上に重ね合わせて前記観察画像とともに同一表示画面上に表示させる表示画像処理手段とを備えることを特徴とする画像表示装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2006291452A JP2008107645A (ja) | 2006-10-26 | 2006-10-26 | 画像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006291452A JP2008107645A (ja) | 2006-10-26 | 2006-10-26 | 画像表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008107645A true JP2008107645A (ja) | 2008-05-08 |
Family
ID=39441035
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006291452A Pending JP2008107645A (ja) | 2006-10-26 | 2006-10-26 | 画像表示装置 |
Country Status (1)
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2006
- 2006-10-26 JP JP2006291452A patent/JP2008107645A/ja active Pending
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