JP6692164B2 - 成膜方法 - Google Patents
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Claims (4)
- 成膜対象物をその表面に原子量が90以上の金属で構成される金属層を有するものとし、この金属層の表面にカーボン電極膜をスパッタリング法により成膜する成膜方法において、
成膜対象物に0.2W/cm2以下のバイアス電力を投入して前記金属層の表面に第1カーボン電極層を成膜する第1工程と、
成膜対象物に0.2W/cm2を超えるバイアス電力を投入して前記第1カーボン電極層の表面に第2カーボン電極層を成膜する第2工程とを含むことを特徴とする成膜方法。 - 前記第1工程はバイアス電力を徐々に上昇させる工程を有することを特徴とする請求項1記載の成膜方法。
- 前記第1工程は、前記金属層が前記第1カーボン電極層で覆われる時間行われることを特徴とする請求項1又は2記載の成膜方法。
- 前記金属は、Ta、Pt、W、Ru、Nb及びMoの中から選択され、前記カーボン電極膜はパイロカーボン製ターゲットをスパッタリングして成膜することを特徴とする請求項1〜3の何れか1項記載の成膜方法。
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