JP5265309B2 - スパッタリング方法 - Google Patents
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Description
1 真空チャンバ
2 ターゲット
5 直流電源(第1のスパッタ電源)
7 ステージ
8 高周波電源(第2のスパッタ電源)
10a、10b ガス源(スパッタガスまたは不活性ガス)
11 マスフローコントローラ
12 ガス管
S 基板
Claims (2)
- 真空チャンバ内で処理すべき基板の保持を可能とするステージと、前記ステージに対向配置されたターゲットと、前記ターゲットに直流電力を投入する第1のスパッタ電源と、前記ステージで保持された基板に高周波電力を投入する第2のスパッタ電源と、前記真空チャンバ内にスパッタガスを導入するガス導入手段とを備え、両スパッタ電源から電力投入すると、ターゲット側の直流プラズマと、基板側の高周波バイアスプラズマとが重畳されたプラズマが前記ターゲットと基板との間に発生するように、ターゲット及び基板を近接配置したスパッタリング装置を用い、
ステージで基板を保持させた状態で真空チャンバ内にスパッタガスを導入し、前記第1及び第2の各スパッタ電源から電力投入してプラズマ雰囲気を形成し、金属製のターゲットをスパッタリングして基板に成膜するスパッタリング方法であって、
スパッタリング中、真空チャンバ内の圧力が10〜30Paに保持されるようにスパッタガスを導入することを特徴とするスパッタリング方法。 - 前記金属製のターゲットがCu、Ti、Co、Ni、Al、WまたはTaの単体金属、またはこれらの中から選択された二種以上の合金から構成されることを特徴とする請求項1記載のスパッタリング方法。
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