JP6677060B2 - 検査装置、記憶媒体、及びプログラム - Google Patents
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Description
上記実施形態では、算定部30が、表示画面11における光の発光位置の座標を示す発光位置座標情報と、撮像画像21における光の受光位置の座標を示す受光位置座標情報とに基づいて、撮像画像21における座標に対応する表示画面11における座標を算定するとして説明したが、算定部30が検査対象物2の三次元形状の座標を示す三次元形状データに基づいて算定するように構成することも可能である。このような構成を有する検査装置100の模式図が図6に示される。
2:検査対象物
10:照射部
11:表示画面
20:撮像画像取得部
21:撮像画像
30:算定部
40:検査パターン作製部
F:第1パターン
S:第2パターン
Claims (8)
- 表示画面内の所定の位置を発光させて検査対象物に光を照射する照射部と、
前記光が照射された前記検査対象物を撮像した撮像画像を取得する撮像画像取得部と、
前記表示画面における前記光の発光位置の座標を示す発光位置座標情報と、前記撮像画像における前記光の受光位置の座標を示す受光位置座標情報とに基づいて、前記撮像画像における座標に対応する前記表示画面における座標を算定する算定部と、
前記算定部の算定結果に基づいて、前記撮像画像において所定以上の明度からなる第1パターンと前記第1パターンの明度よりも暗い第2パターンとが交互に並ぶように前記表示画面に表示され、前記検査対象物の表面の欠陥の有無を検査する検査パターンを作製する検査パターン作製部と、
を備える検査装置。 - 前記検査パターン作製部は、前記撮像画像において前記第1パターン及び前記第2パターンの幅が一定になるように前記検査パターンを作製する請求項1に記載の検査装置。
- 前記照射部は、前記検査対象物に対して線状の光を照射するように構成されている請求項1又は2に記載の検査装置。
- 前記照射部は、前記検査対象物に対してドット状の光を照射するように構成されている請求項1から3のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記照射部は、前記検査対象物に対して線状の光を照射した結果、前記検査パターン作製部が前記検査パターンを作製することができない部分についてのみドット状の光を照射するように構成されている請求項3に記載の検査装置。
- 検査対象物の三次元形状の座標を示す三次元形状データを取得する取得部と、
前記検査対象物に表示画面内の所定の位置を発光させて照射部から光が照射されたとし、且つ、前記光が照射された前記検査対象物を撮像して撮像画像が取得されたとした場合の前記撮像画像における座標に対応する前記表示画面における座標を、前記表示画面における前記光の発光位置の座標を示す発光位置座標情報と、前記三次元形状データとに基づいて算定する算定部と、
前記算定部の算定結果に基づいて、前記撮像画像において所定以上の明度からなる第1パターンと前記第1パターンの明度よりも暗い第2パターンとが交互に並ぶように前記表示画面に表示され、前記検査対象物の表面の欠陥の有無を検査する検査パターンを作製する検査パターン作製部と、
を備える検査装置。 - 表示画面の所定の位置を発光させて検査対象物に光を照射する照射ステップと、
前記光が照射された前記検査対象物を撮像した撮像画像を取得する撮像画像取得ステップと、
前記表示画面における前記光の発光位置の座標を示す発光位置座標情報と、前記撮像画像における前記光の受光位置の座標を示す受光位置座標情報とに基づいて、前記撮像画像における座標に対応する前記表示画面における座標を算定する算定ステップと、
前記算定ステップの算定結果に基づいて、前記撮像画像において所定以上の明度からなる第1パターンと前記第1パターンの明度よりも暗い第2パターンとが交互に並ぶように前記表示画面に表示され、前記検査対象物の表面の欠陥の有無を検査する検査パターンを作製する検査パターン作製ステップと、
を備えるコンピュータに実行させるためのプログラムを記憶した記憶媒体。 - 表示画面の所定の位置を発光させて検査対象物に光を照射する照射ステップと、
前記光が照射された前記検査対象物を撮像した撮像画像を取得する撮像画像取得ステップと、
前記表示画面における前記光の発光位置の座標を示す発光位置座標情報と、前記撮像画像における前記光の受光位置の座標を示す受光位置座標情報とに基づいて、前記撮像画像における座標に対応する前記表示画面における座標を算定する算定ステップと、
前記算定ステップの算定結果に基づいて、前記撮像画像において所定以上の明度からなる第1パターンと前記第1パターンの明度よりも暗い第2パターンとが交互に並ぶように前記表示画面に表示され、前記検査対象物の表面の欠陥の有無を検査する検査パターンを作製する検査パターン作製ステップと、
を備えるコンピュータに実行させるためのプログラム。
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