JP6643663B2 - ダイシング装置及びダイシング方法 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態のダイシング装置10の全体斜視図である。
図2は、加工部18の構造を示す斜視図である。図3は、加工部18の構成を示したブロック図である。
図4は、ダイシング加工前の矩形の半導体ウェーハWを示した斜視図である。半導体ウェーハWは、上面に粘着層が形成された厚さ100μm程度のダイシングテープ(テープ)50の中央部に裏面が貼着される。ダイシングテープ50の外周部は、剛性の高いリング状のフレームに固定される。よって、半導体ウェーハWは、ダイシングテープ50を介してフレーム52にマウントされている。
図5は、ピックアップ工程で使用されるエキスパンド装置のエキスパンドステージ56を示した側面図である。
本発明の発明者は、エキスパンド工程でダイシングテープ50を拡張したときに、ダイシングテープ50のうち半導体ウェーハが貼着された貼着領域において、貼着領域の外縁部から中央部に向かうに従ってチップ間隔が狭くなることを、換言すればダイシングテープ50の拡張量が減少していくことを実験にて確認した。また、貼着領域の中央部のチップ間隔を、ピックアップに必要な最小限のチップ間隔に広げるために、ダイシングテープ50の拡張量を増加させると、もともとチップ間隔が確保されていた貼着領域の外縁部に位置するダイシングテープ50が局所的に破断することも実験にて確認した。
ダイシングテープ50のうち半導体ウェーハWが貼着された貼着領域において、ブレード12によるダイシングテープ50の切り込み溝の深さが、貼着領域の外縁部よりも中央部が深くなるようにブレード12の切り込み量を制御する。つまり、図3の制御部26が、テーブル16のX方向の移動に同期させて、切り込み量を調整する駆動装置48を制御し、ブレード12によるダイシングテープ50の切り込み溝の深さが、貼着領域の外縁部よりも中央部が深くなるようにブレード12の切り込み量を制御する。
ダイシングテープ50には、直交する2方向のマシンダイレクション(MD:Machine Direction)方向とトランスバースダイレクション(TD:Transverse Direction)方向とが存在する。ダイシングテープ50は、マシンダイレクション方向の伸び量が、トランスバースダイレクション方向の伸び量と比較して小さい。このままでは、エキスパンド工程において、ダイシングテープ50をより均等に拡張することが難しい。このため、マシンダイレクション方向の伸び量をトランスバースダイレクション方向の伸び量と等しくすべく、直交する2本の切り込み溝のうち、マシンダイレクション方向の切り込み溝よりも、トランスバースダイレクション方向の切り込み溝を深くすることが好ましい。以下、MD、TDによるダイシングテープ50の伸び量比率に基づいた制御方法について説明する。
図3の制御部26は、ブレード12によってダイシングテープ50に切り込まれる直交する2本の切り込み溝の深さを、ダイシングテープ50のMD方向及びTD方向の伸び量比率に基づいて変化させる。
図14に実線で示すTD方向に沿った切り込み溝R1〜R6の深さB2は、図14の二点鎖線で示すMD方向に沿った切り込み溝R1〜R6の深さBと比較して大きくなる。これによって、MD方向の伸び量がTD方向の伸び量と等しくなる。
ここで、BはMD方向に沿ったチップ短辺長(S)方向の切り込み溝の深さを示し、B2はTD方向に沿ったチップ長辺長(L)方向の切り込み溝の深さを示している。この場合、Nの大きさによって、切り込み溝の深さB2が、切り込み溝の深さBよりも浅くなる場合がある。
図15は、円形の半導体ウェーハWの外周部付近の拡大図である。外周付近の三角形のチップT1については、ダイシングテープ50(図4参照)の拡張量が少ない場合にチップ間隔の確保が困難となる場合が発生する。この場合には、チップT1の貼着領域の切り込み溝68の深さを局所的に深くすることで均一なチップ間隔を確保することができる。
Claims (10)
- 回転するブレードとテープに裏面が貼着されたワークとを相対的に移動させ、前記ワークの表面に形成された割断ラインを、前記ブレードによって切り込むことにより、前記ワークをチップ毎に分断するダイシング装置において、
前記割断ラインに対する前記ブレードの切り込み量を制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記テープのうち前記ワークが貼着された貼着領域において、前記テープの拡張の不均一を解消するために、前記ブレードによる前記テープの切り込み溝の深さが、前記貼着領域の外縁部よりも中央部が深くなるように前記ブレードの切り込み量を制御する、ダイシング装置。 - 前記制御部は、前記ワークが矩形の場合には、矩形の前記貼着領域の短辺に沿う前記テープの第1の切り込み溝の深さよりも、前記貼着領域の長辺に沿う前記テープの第2の切り込み溝の深さが深くなるように、かつ前記第1の切り込み溝の深さが、前記貼着領域の短辺側よりも前記貼着領域の長辺方向の中央部側が深くなるように、かつ前記第2の切り込み溝の深さが、前記貼着領域の長辺側よりも前記貼着領域の短辺方向の中央部側が深くなるように前記ブレードの切り込み量を制御する、請求項1に記載のダイシング装置。
- 前記制御部は、前記ワークが円形の場合には、前記ブレードによる前記テープの切り込み溝の深さが、円形の前記貼着領域の外周部よりも中央部が深くなるように前記ブレードの切り込み量を制御する、請求項1に記載のダイシング装置。
- 前記制御部は、前記貼着領域の外縁部から中央部に向かうに従って、前記ブレードによる前記テープの切り込み溝の深さが深くなるように前記ブレードの切り込み量を制御する、請求項1、2又は3に記載のダイシング装置。
- 前記制御部は、前記ブレードによって前記テープに切り込まれる直交する2本の前記切り込み溝の深さを、前記テープのマシンダイレクション方向及びトランスバースダイレクション方向の伸び量比率に基づいて変化させる、請求項1から4のいずれか1項に記載のダイシング装置。
- 回転するブレードとテープに裏面が貼着されたワークとを相対的に移動させ、前記ワークの表面に形成された割断ラインを、前記ブレードによって切り込むことにより、前記ワークをチップ毎に分断するダイシング方法において、
前記テープのうち前記ワークが貼着された貼着領域において、前記テープの拡張の不均一を解消するために、前記ブレードによる前記テープの切り込み溝の深さが、前記貼着領域の外縁部よりも中央部が深くなるように前記ブレードの切り込み量を制御する、ダイシング方法。 - 前記ワークが矩形の場合には、矩形の前記貼着領域の短辺に沿う前記テープの第1の切り込み溝の深さよりも、前記貼着領域の長辺に沿う前記テープの第2の切り込み溝の深さが深くなるように、かつ前記第1の切り込み溝の深さが、前記貼着領域の短辺側よりも前記貼着領域の長辺方向の中央部側が深くなるように、かつ前記第2の切り込み溝の深さが、前記貼着領域の長辺側よりも前記貼着領域の短辺方向の中央部側が深くなるように前記ブレードの切り込み量を制御する、請求項6に記載のダイシング方法。
- 前記ワークが円形の場合には、前記ブレードによる前記テープの切り込み溝の深さが、円形の前記貼着領域の外周部よりも中央部が深くなるように前記ブレードの切り込み量を制御する、請求項6に記載のダイシング方法。
- 前記貼着領域の外縁部から中央部に向かうに従って、前記ブレードによる前記テープの切り込み溝の深さが深くなるように前記ブレードの切り込み量を制御する、請求項6、7又は8に記載のダイシング方法。
- 前記ブレードによって前記テープに切り込まれる直交する2本の前記切り込み溝の深さを、前記テープのマシンダイレクション方向及びトランスバースダイレクション方向の伸び量比率に基づいて変化させる、請求項6から9のいずれか1項に記載のダイシング方法。
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