JP6247377B2 - 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 - Google Patents
弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6247377B2 JP6247377B2 JP2016500013A JP2016500013A JP6247377B2 JP 6247377 B2 JP6247377 B2 JP 6247377B2 JP 2016500013 A JP2016500013 A JP 2016500013A JP 2016500013 A JP2016500013 A JP 2016500013A JP 6247377 B2 JP6247377 B2 JP 6247377B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- reflector
- fingers
- electrode fingers
- interval
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02866—Means for compensation or elimination of undesirable effects of bulk wave excitation and reflections
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14576—Transducers whereby only the last fingers have different characteristics with respect to the other fingers, e.g. different shape, thickness or material, split finger
- H03H9/14582—Transducers whereby only the last fingers have different characteristics with respect to the other fingers, e.g. different shape, thickness or material, split finger the last fingers having a different pitch
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6483—Ladder SAW filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る弾性波素子の一例として弾性表面波(SAW:Surface Acoustic Wave)を用いた弾性波素子1の構成を示す平面図である。以下、弾性波素子1をSAW素子1と略して記載する。図2は図1のIc−Ic線における断面図である。SAW素子1は、図1に示すように、圧電基板2、圧電基板2の上面2Aに設けられた励振電極3(以下、IDT(Interdigital Transducer)電極3と記載する)および反射器4を有している。
材料:42°YカットX伝搬LiTaO3基板
[IDT電極3]
材料:Al−Cu合金
(ただし、圧電基板2と導電層15との間には6nmのTiからなる下地層がある。)
厚さ(Al−Cu合金層):154nm
IDT電極3の電極指32:
(本数)200本
(ピッチPt1)1.06μm
(デューティー:w1/Pt1)0.5
(交差幅W)20λ (λ=2×Pt1)
[反射器4]
材料:Al−Cu合金
(ただし、圧電基板2と導電層15との間には6nmのTiからなる下地層がある)
厚さ(Al−Cu合金層):154nm
反射電極指42の本数:30本
反射電極指42の交差幅:20λ (λ=2×Pt1)
反射電極指42のピッチPt2:Pt1
IDT電極3との間隔G:Pt1
[保護層5]
材料:SiO2
厚さ:15nm
上述のようなSAW素子1の特性改善について検証した。上述の通り、反射器4がシフト部を備えることで、IDT電極3の端部と反射器4の端部との間で弾性波の位相がマッチングすることで、***振点よりも高周波側の損失が小さくなることが考えられる。
上述では、SAW素子1において、IDT電極3および反射器4の間隔Gを狭くする場合について説明したが、図9に示す通り、反射電極指42を仮想電極指位置よりもIDT電極3側に配置する方法として、一部の反射電極指42のピッチPt2を狭くしてもよい。
また、SAW素子1において、反射電極指42を、IDT電極3を構成する複数の電極指32のピッチよりもIDT電極3側に配置する方法として、図12に示すように、IDT電極3の電極指32のピッチPt1を狭くしてもよい。
図14は、本発明の実施形態に係る通信装置101の要部を示すブロック図である。通信装置101は、電波を利用した無線通信を行なうものである。分波器7は、通信装置101において送信周波数の信号と受信周波数の信号とを分波する機能を有している。
Claims (12)
- 圧電基板と、
該圧電基板上に配置された、複数の電極指を有する励振電極と、
前記圧電基板上に配置された、複数の反射電極指を有し、弾性波の伝搬方向において前記励振電極を挟む2つの反射器とを備え、
前記励振電極は、複数の前記電極指の並びの中心付近に複数の前記電極指の中心間の間隔が一様に第1間隔である主領域を有しており、
複数の前記反射電極指は、前記励振電極の側に位置している第1反射電極指と該第1反射電極指に隣接して前記励振電極の反対側に位置している第2反射電極指とを有し、
前記励振電極の前記電極指のうち、前記反射器に最も近い電極指と、前記反射器の前記反射電極指のうち最も前記励振電極に近い反射電極指との中心間間隔は前記第1間隔であり、
前記励振電極の前記電極指のうち、前記反射器の側に位置して隣接している少なくとも2本の前記電極指の中心間の間隔、もしくは、前記第1反射電極指および前記第2反射電極指の中心間の間隔が特異的に前記第1間隔よりも狭くなっていることで、
前記反射器は、前記主領域の前記電極指から前記第1間隔で繰り返して設定される仮想電極指位置に対して少なくとも1本の前記反射電極指が前記励振電極の側にシフトしているシフト部を有している弾性波素子。 - 前記励振電極の複数の前記電極指の中心間の間隔および前記反射器の複数の前記反射電極指の中心間の間隔は、
前記第1間隔よりも狭くなっている、前記励振電極の前記電極指のうち、前記反射器の側に位置して隣接している少なくとも2本の前記電極指の中心間の間隔、もしくは、前記第1反射電極指および前記第2反射電極指の中心間の間隔以外は、全て前記第1間隔である、請求項1に記載の弾性波素子。 - 前記シフト部における前記反射電極指は、前記励振電極における弾性波の波長をλとすると、前記仮想電極指位置から0.1λ以下の範囲で前記励振電極の側にシフトしている請求項1または2に記載の弾性波素子。
- 前記第1反射電極指および前記第2反射電極指の中心間の間隔が前記第1間隔よりも狭くなっており、前記第1反射電極指は、前記反射器のうち前記励振電極の側の端部に位置している請求項1〜3に記載の弾性波素子。
- 前記励振電極の前記電極指のうち、前記反射器の側に位置して隣接している少なくとも2本の前記電極指の中心間の間隔が前記第1間隔よりも狭くなっており、
前記励振電極のうち前記反射器の側に位置して隣接している少なくとも2本の前記電極指は、
前記励振電極のうち前記反射器側の端部に位置している前記電極指と、それと隣り合う一本内側の前記電極指と、である、
請求項1〜4のいずれかに記載の弾性波素子。 - 前記シフト部における前記反射電極指は、前記仮想電極指位置から前記第1間隔の0.8倍以上0.975倍以下の範囲で前記励振電極の側にシフトしている請求項1〜5のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記シフト部における前記反射電極指は、前記励振電極における弾性波の波長をλとすると、前記仮想電極指位置から0.025λ以上0.075λ以下の範囲で前記励振電極の側にシフトしている、請求項1〜5のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記反射器は前記反射電極指を10本以上有しており、前記第1反射電極指が前記反射器のうち前記励振電極の側の端部から6本目までの間に位置している、請求項1〜3のいずれかに記載の弾性波素子。
- 前記シフト部は、前記主領域を挟んだ両側にある、請求項1〜8のいずれかに記載の弾性波素子。
- 入出力端子間に接続された少なくとも1つの直列腕共振子および少なくとも1つの並列腕共振子を備えるフィルタ素子であって、前記並列腕共振子が請求項1〜9のいずれかに記載の弾性波素子であるフィルタ素子。
- 前記並列腕共振子は、第1並列腕共振子と、該第1並列腕共振子よりも共振周波数が高い第2並列腕共振子とを含み、
前記第1並列腕共振子が前記弾性波素子である、請求項10に記載のフィルタ素子。 - アンテナと、
該アンテナに電気的に接続された請求項10または11に記載のフィルタ素子と、
該フィルタ素子に電気的に接続されたRF−ICとを備える通信装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014154480 | 2014-07-30 | ||
JP2014154480 | 2014-07-30 | ||
PCT/JP2015/071595 WO2016017730A1 (ja) | 2014-07-30 | 2015-07-30 | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017218816A Division JP6526155B2 (ja) | 2014-07-30 | 2017-11-14 | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016017730A1 JPWO2016017730A1 (ja) | 2017-04-27 |
JP6247377B2 true JP6247377B2 (ja) | 2017-12-13 |
Family
ID=55217627
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016500013A Active JP6247377B2 (ja) | 2014-07-30 | 2015-07-30 | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 |
JP2017218816A Active JP6526155B2 (ja) | 2014-07-30 | 2017-11-14 | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017218816A Active JP6526155B2 (ja) | 2014-07-30 | 2017-11-14 | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10333487B2 (ja) |
EP (1) | EP3176948B1 (ja) |
JP (2) | JP6247377B2 (ja) |
CN (1) | CN106664074B (ja) |
WO (1) | WO2016017730A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI715265B (zh) | 2019-10-24 | 2021-01-01 | 英屬開曼群島商睿能創意公司 | 電動助力車、傳動裝置及控制方法 |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109661777B (zh) * | 2016-09-02 | 2023-05-16 | 株式会社村田制作所 | 弹性波滤波器装置、高频前端电路以及通信装置 |
JP7008633B2 (ja) * | 2016-10-13 | 2022-01-25 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
JP6798562B2 (ja) * | 2016-10-28 | 2020-12-09 | 株式会社村田製作所 | ラダー型フィルタ、デュプレクサ及び弾性波フィルタ装置 |
JP6832737B2 (ja) * | 2017-02-20 | 2021-02-24 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波共振子、分波器および通信装置 |
WO2018168836A1 (ja) * | 2017-03-15 | 2018-09-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性波素子、弾性波フィルタ装置およびマルチプレクサ |
CN111164888B (zh) * | 2017-09-29 | 2023-09-12 | 株式会社村田制作所 | 多工器、高频前端电路以及通信装置 |
CN111527696B (zh) * | 2017-12-19 | 2023-09-26 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
CN111903058B (zh) | 2018-03-28 | 2024-05-07 | 株式会社村田制作所 | 多工器、高频前端电路、通信装置以及弹性波滤波器 |
CN111937305A (zh) * | 2018-04-11 | 2020-11-13 | 京瓷株式会社 | 弹性波元件、弹性波滤波器、分波器以及通信装置 |
KR20190138096A (ko) * | 2018-06-04 | 2019-12-12 | (주)와이솔 | 표면 탄성파 소자 |
US11646714B2 (en) * | 2018-07-10 | 2023-05-09 | Texas Instruments Incorporated | Laterally vibrating bulk acoustic wave resonator |
CN112805919B (zh) * | 2018-10-18 | 2024-01-19 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置、带通型滤波器、双工器以及多工器 |
JP7237556B2 (ja) * | 2018-12-13 | 2023-03-13 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
US11177791B2 (en) * | 2019-02-01 | 2021-11-16 | Qorvo Us, Inc. | High quality factor transducers for surface acoustic wave devices |
CN113508496B (zh) * | 2019-03-06 | 2023-01-06 | 株式会社村田制作所 | 滤波器、多工器、高频前端电路以及通信装置 |
WO2022019169A1 (ja) * | 2020-07-21 | 2022-01-27 | 株式会社村田製作所 | ラダー型フィルタ |
WO2023282328A1 (ja) * | 2021-07-08 | 2023-01-12 | 株式会社村田製作所 | 弾性波素子、弾性波フィルタ装置およびマルチプレクサ |
WO2023149471A1 (ja) * | 2022-02-03 | 2023-08-10 | 京セラ株式会社 | 弾性波フィルタおよび通信装置 |
US20230336158A1 (en) * | 2022-04-13 | 2023-10-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave element, acoustic wave filter device, and multiplexer |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57101413A (en) | 1980-12-17 | 1982-06-24 | Toshiba Corp | Surface acoustic wave resonator |
JPH0513061Y2 (ja) * | 1987-07-27 | 1993-04-06 | ||
JPH06338756A (ja) * | 1993-05-27 | 1994-12-06 | Fujitsu Ltd | 共振子型弾性表面波フィルタ |
JP3728912B2 (ja) | 1998-02-17 | 2005-12-21 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
JP3695353B2 (ja) * | 2000-11-17 | 2005-09-14 | 株式会社村田製作所 | トランスバーサル型弾性表面波フィルタ |
JP2002176333A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波フィルタ |
JP2005045475A (ja) * | 2003-07-28 | 2005-02-17 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置、通信機 |
EP1515436A3 (en) * | 2003-08-29 | 2005-08-31 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave element and electronic equipment provided with the element |
JP4622860B2 (ja) * | 2004-01-09 | 2011-02-02 | パナソニック株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
JP2005204042A (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波共振子および弾性表面波フィルタ |
JP2005244669A (ja) | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波装置 |
JP2007214902A (ja) | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 弾性表面波素子 |
JP5172454B2 (ja) | 2008-04-30 | 2013-03-27 | 太陽誘電株式会社 | フィルタ、デュプレクサおよび通信機器 |
JP5356194B2 (ja) | 2009-11-30 | 2013-12-04 | 太陽誘電株式会社 | フィルタ、分波器、通信モジュール |
JP2012156741A (ja) | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Panasonic Corp | アンテナ共用器 |
JP5931507B2 (ja) * | 2012-02-29 | 2016-06-08 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 弾性表面波素子 |
JP6013829B2 (ja) * | 2012-08-17 | 2016-10-25 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波フィルタ、デュプレクサ及びモジュール |
-
2015
- 2015-07-30 EP EP15827302.9A patent/EP3176948B1/en active Active
- 2015-07-30 WO PCT/JP2015/071595 patent/WO2016017730A1/ja active Application Filing
- 2015-07-30 CN CN201580040419.2A patent/CN106664074B/zh active Active
- 2015-07-30 JP JP2016500013A patent/JP6247377B2/ja active Active
- 2015-07-30 US US15/500,474 patent/US10333487B2/en active Active
-
2017
- 2017-11-14 JP JP2017218816A patent/JP6526155B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI715265B (zh) | 2019-10-24 | 2021-01-01 | 英屬開曼群島商睿能創意公司 | 電動助力車、傳動裝置及控制方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3176948A1 (en) | 2017-06-07 |
EP3176948B1 (en) | 2021-03-17 |
US20170222624A1 (en) | 2017-08-03 |
CN106664074A (zh) | 2017-05-10 |
US10333487B2 (en) | 2019-06-25 |
JP6526155B2 (ja) | 2019-06-05 |
EP3176948A4 (en) | 2018-03-28 |
JP2018023174A (ja) | 2018-02-08 |
WO2016017730A1 (ja) | 2016-02-04 |
JPWO2016017730A1 (ja) | 2017-04-27 |
CN106664074B (zh) | 2020-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6247377B2 (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 | |
JP6595659B2 (ja) | 弾性波素子、分波器および通信装置 | |
WO2017188342A1 (ja) | 弾性波素子および通信装置 | |
JP6408592B2 (ja) | フィルタ,分波器および通信装置 | |
JP6573668B2 (ja) | 弾性波装置および通信装置 | |
JP6487458B2 (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 | |
US20130099875A1 (en) | Acoustic wave device and antenna duplexer employing the same | |
JP7433216B2 (ja) | 弾性波素子、弾性波フィルタ、分波器および通信装置 | |
JP7219315B2 (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 | |
JP6760480B2 (ja) | エクストラクタ | |
JP2014160888A (ja) | 弾性波共振器とこれを用いた弾性波フィルタおよびアンテナ共用器 | |
WO2018079574A1 (ja) | 弾性波素子 | |
CN108886351B (zh) | 弹性波元件以及通信装置 | |
JP7132841B2 (ja) | 弾性表面波素子、分波器および通信装置 | |
JP2018133615A (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170314 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170515 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171017 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171116 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6247377 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |