JP6619596B2 - Adhesive sheet - Google Patents

Description

本発明は、接着シートに関する。   The present invention relates to an adhesive sheet.

従来、仮着した剥離シートから剥離され、被着体に貼付される接着シートが知られている（例えば、特許文献１参照）。   Conventionally, an adhesive sheet that is peeled off from a temporarily attached release sheet and attached to an adherend is known (see, for example, Patent Document 1).

特開２０１４−１７３５７号公報JP 2014-17357 A

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の接着シートは、剥離シートから剥離が開始される剥離開始端縁が直線形状を有しているため、接着シートが剥離シートから剥離され難く、剥離シートから接着シートを確実に剥離することができないという不都合がある。
一方、接着シートの剥離開始端縁を円弧形状にすると、当該剥離開始端縁を被着体に貼付した際、接着シートに付与される張力によって当該接着シートに皺が生じてしまうという不都合がある。 However, the conventional adhesive sheet described in Patent Document 1 has a linear shape at the peeling start edge at which peeling starts from the release sheet, and thus the adhesive sheet is hardly peeled off from the release sheet. There is a disadvantage that the adhesive sheet cannot be reliably peeled from the sheet.
On the other hand, when the peeling start edge of the adhesive sheet is formed in an arc shape, there is a disadvantage that wrinkles are generated in the adhesive sheet due to the tension applied to the adhesive sheet when the peeling start edge is attached to the adherend. .

本発明の目的は、剥離シートから確実に剥離することができ、被着体に貼付する際に皺が生じることを防止することができる接着シートを提供することにある。   An object of the present invention is to provide an adhesive sheet that can be surely peeled off from a release sheet and can prevent wrinkles from being formed on an adherend.

本発明の接着シートは、仮着した剥離シートから剥離され、被着体に貼付される接着シートであって、所定形状に形成された外縁部を備え、前記外縁部は、前記剥離シートから剥離が開始される第１頂点部と、前記第１頂点部からのびる複数の第１線部と、前記第１線部に連なり、当該第１線部とで第２頂点部を形成する複数の第２線部と、前記第２線部に連なり、円弧形状を有する第３線部とを備え、前記第１頂点部は、前記第３線部を形成する仮想円の内側に設けられていることを特徴とする。 The adhesive sheet of the present invention is an adhesive sheet that is peeled off from a temporarily attached release sheet and is attached to an adherend, and includes an outer edge portion formed in a predetermined shape, and the outer edge portion is peeled off from the release sheet. A plurality of first vertexes, a plurality of first line portions extending from the first vertex portions, and a plurality of second line portions that form a second vertex portion with the first line portions. a two-wire unit, Ri Tsurana the second line portion, and a third line portion that have a circular arc shape, the first apex portion is provided inside the virtual circle forming the third line portion It is characterized in that is.

本発明の接着シートにおいて、前記第１線部および前記第２線部は、それぞれ直線形状を有し、前記第１線部の夾角は、前記第２線部の夾角よりも大きいことが好ましい。
本発明の接着シートにおいて、前記第２線部は、直線形状を有し、前記第２線部の夾角は、鈍角とされていることが好ましい。 In the adhesive sheet of the present invention, it is preferable that each of the first line portion and the second line portion has a linear shape, and an included angle of the first line portion is larger than an included angle of the second line portion.
In the adhesive sheet of the present invention, it is preferable that the second line portion has a linear shape , and the depression angle of the second line portion is an obtuse angle .

以上のような本発明によれば、第１頂点部をきっかけとして接着シートを剥離することができるので、剥離シートから接着シートを確実に剥離することができる。
また、接着シートの外縁部が第２頂点部を有することにより、第１頂点部で第１線部が成す角度を大きくすることができるので、第１頂点部を直線形状に近付けることができ、被着体に貼付する際に接着シートに皺が生じることを防止することができる。 According to the present invention as described above, since the adhesive sheet can be peeled off using the first vertex as a trigger, the adhesive sheet can be reliably peeled from the release sheet.
Further, since the outer edge portion of the adhesive sheet has the second vertex portion, the angle formed by the first line portion at the first vertex portion can be increased, so that the first vertex portion can be brought close to a linear shape, It is possible to prevent wrinkles from being generated on the adhesive sheet when being applied to the adherend.

また、第１線部の夾角を第２線部の夾角よりも大きくすれば、第１頂点部をより直線形状に近付けることができる。
さらに、第３線部で形成される仮想円の内側に第１頂点部を設ければ、接着シートの長さを短くすることができるので、より多くの接着シートを形成することができる。 Moreover, if the depression angle of the first line portion is made larger than the depression angle of the second line portion, the first vertex portion can be brought closer to a linear shape.
Furthermore, since the length of an adhesive sheet can be shortened if a 1st vertex part is provided inside the virtual circle formed with a 3rd line part, more adhesive sheets can be formed.

本発明の一実施形態に係る接着シートの平面図。The top view of the adhesive sheet which concerns on one Embodiment of this invention. 図１の接着シートを被着体に貼付した状態の平面図。The top view of the state which affixed the adhesive sheet of FIG. 1 on the to-be-adhered body. 本発明の変形例に係る接着シートの平面図。The top view of the adhesive sheet which concerns on the modification of this invention.

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｚ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸と平行な図１中手前方向で「下」がその逆方向、「左」がＹ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＸ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
In this embodiment, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other, the X axis and the Y axis are axes in a predetermined plane, and the Z axis is an axis that is orthogonal to the predetermined plane. To do. Furthermore, in the present embodiment, when viewed from the front side in FIG. 1 parallel to the Z axis, the “up” is the front side in FIG. 1 parallel to the Z axis. In the opposite direction, “left” is the Y-axis arrow direction, “right” is the opposite direction, “front” is the X-axis arrow direction, and “rear” is the opposite direction.

図１において、接着シートＡＳは、仮着した剥離シートＲＬから剥離され、被着体としてのリングフレームＲＦおよび被着体としてのウエハＷＦに貼付される接着シートＡＳであって、所定形状に形成された外縁部ＥＤを備え、外縁部ＥＤは、剥離シートＲＬから剥離が開始される第１頂点部ＴＰ１と、第１頂点部ＴＰ１からのびる複数の第１線部としての第１直線部ＬＰ１と、第１直線部ＬＰ１に連なり、当該第１直線部ＬＰ１とで第２頂点部ＴＰ２を形成する複数の第２線部としての第２直線部ＬＰ２と、第２直線部ＬＰ２に連なる第３線部としての円弧部ＬＰ３とを備えている。なお、接着シートＡＳは、剥離シートＲＬの一方の面に第１頂点部ＴＰ１が前方となる向きで仮着された原反ＲＳとされている。   In FIG. 1, an adhesive sheet AS is an adhesive sheet AS that is peeled off from a temporarily attached release sheet RL and is attached to a ring frame RF as an adherend and a wafer WF as an adherend, and is formed in a predetermined shape. The outer edge portion ED includes a first vertex portion TP1 at which peeling is started from the release sheet RL, and a first straight portion LP1 as a plurality of first line portions extending from the first vertex portion TP1. The second straight line portion LP2 as a plurality of second line portions that are connected to the first straight line portion LP1 and form the second vertex portion TP2 with the first straight line portion LP1, and the third line continuous to the second straight line portion LP2. And an arc portion LP3 as a portion. The adhesive sheet AS is an original fabric RS that is temporarily attached to one surface of the release sheet RL with the first apex portion TP1 facing forward.

第１頂点部ＴＰ１は、２つの第１直線部ＬＰ１の交点部分であり、円弧部ＬＰ３を形成する仮想円ＣＲの内側の位置に設けられている。
第１直線部ＬＰ１は、第１頂点部ＴＰ１から仮想円ＣＲの外側にのびる直線形状を有している。第１直線部ＬＰ１の夾角θ１は、鈍角とされ、第２直線部ＬＰ２の夾角θ２よりも大きく形成されている。
第２頂点部ＴＰ２は、仮想円ＣＲの中心ＣＰよりも第１頂点部ＴＰ１側であって、仮想円ＣＲの外側の位置に設けられている。
第２直線部ＬＰ２は、第２頂点部ＴＰ２から仮想円ＣＲの接線方向にのびる直線形状を有し、当該仮想円ＣＲ上で円弧部ＬＰ３に連なっている。本実施形態の場合、第２直線部ＬＰ２の夾角θ２は、鈍角とされている。
円弧部ＬＰ３は、仮想円ＣＲの中心ＣＰよりも第１頂点部ＴＰ１側に一端と他端とを有し、中心ＣＰを囲うように連なった円弧形状を有している。 The first vertex portion TP1 is an intersection portion of the two first linear portions LP1, and is provided at a position inside the virtual circle CR that forms the arc portion LP3.
The first straight line portion LP1 has a straight shape extending from the first vertex portion TP1 to the outside of the virtual circle CR. The depression angle θ1 of the first straight line portion LP1 is an obtuse angle, and is formed larger than the depression angle θ2 of the second straight line portion LP2.
The second vertex portion TP2 is provided on the first vertex portion TP1 side with respect to the center CP of the virtual circle CR and outside the virtual circle CR.
The second straight line portion LP2 has a straight shape extending from the second vertex portion TP2 in the tangential direction of the virtual circle CR, and continues to the arc portion LP3 on the virtual circle CR. In the present embodiment, the depression angle θ2 of the second straight line portion LP2 is an obtuse angle.
The arc portion LP3 has one end and the other end on the first vertex portion TP1 side with respect to the center CP of the virtual circle CR, and has an arc shape continuous so as to surround the center CP.

以上の接着シートＡＳは、第１頂点部ＴＰ１が繰出方向先端部となるようにして、原反ＲＳに張力を付与しながら繰り出される。そして、剥離板やローラ等の剥離手段で剥離シートＲＬを折り曲げることにより、接着シートＡＳが第１頂点部ＴＰ１を剥離開始端縁として剥離シートＲＬから剥離されながら、図２に示すように、押圧ローラ、ブレード材、エア噴き付け等の押圧手段ＰＭにより、接着シートＡＳがリングフレームＲＦおよびウエハＷＦに押圧されて貼付される。   The above adhesive sheet AS is fed out while applying tension to the original fabric RS so that the first vertex portion TP1 becomes the tip portion in the feeding direction. Then, by bending the release sheet RL with a release means such as a release plate or a roller, the adhesive sheet AS is peeled from the release sheet RL with the first vertex TP1 as the peeling start edge, as shown in FIG. The adhesive sheet AS is pressed and stuck to the ring frame RF and the wafer WF by pressing means PM such as a roller, a blade material, and air spraying.

以上のような実施形態によれば、第１頂点部ＴＰ１をきっかけとして接着シートＡＳを剥離することができるので、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを確実に剥離することができる。また、接着シートＡＳの外縁部ＥＤが第２頂点部ＴＰ２を有することにより、第１頂点部ＴＰ１で第１直線部ＬＰ１が成す角度を大きくすることができるので、第１頂点部ＴＰ１を直線形状に近付けることができ、リングフレームＲＦおよびウエハＷＦに貼付する際に接着シートＡＳに皺が生じることを防止することができる。   According to the embodiment as described above, since the adhesive sheet AS can be peeled off using the first vertex portion TP1 as a trigger, the adhesive sheet AS can be reliably peeled from the release sheet RL. Further, since the outer edge portion ED of the adhesive sheet AS has the second vertex portion TP2, the angle formed by the first straight portion LP1 at the first vertex portion TP1 can be increased, so that the first vertex portion TP1 has a linear shape. It is possible to prevent the adhesive sheet AS from being wrinkled when it is attached to the ring frame RF and the wafer WF.

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。   As described above, the best configuration, method and the like for carrying out the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited to this. That is, the invention has been illustrated and described with particular reference to certain specific embodiments, but without departing from the spirit and scope of the invention, Various modifications can be made by those skilled in the art in terms of material, quantity, and other detailed configurations. In addition, the description limited to the shape, material, etc. disclosed above is an example for easy understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member which remove | excluded the limitation of some or all of such restrictions is included in this invention.

例えば、接着シートＡＳは、図３に示すように、第１頂点部ＴＰ１が仮想円ＣＲの外側に設けられてもよい。
接着シートＡＳは、図１、３中二点鎖線で示すように、第１頂点部ＴＰ１、第２頂点部ＴＰ２、第１直線部ＬＰ１および第２直線部ＬＰ２を後方にも設けたり、左右の一方または両方その他の位置にも設けたりしてもよい。
接着シートＡＳは、左右対称に形成されていなくてもよく、例えば、第２頂点部ＴＰ２の位置が左右で異なっていてもよい。
接着シートＡＳは、第３線部に連なる第４線部を備えてもよい。この場合、第４線部は、直線、円弧、波型その他の形状であってもよい。 For example, as shown in FIG. 3, the adhesive sheet AS may have the first vertex portion TP1 provided outside the virtual circle CR.
1 and 3, the adhesive sheet AS is provided with a first vertex portion TP1, a second vertex portion TP2, a first straight portion LP1 and a second straight portion LP2 at the rear, One or both may be provided at other positions.
The adhesive sheet AS may not be formed symmetrically, and for example, the position of the second vertex portion TP2 may be different on the left and right.
The adhesive sheet AS may include a fourth line portion that continues to the third line portion. In this case, the fourth line portion may be a straight line, a circular arc, a wave shape, or other shapes.

第１線部は、第１直線部ＬＰ１を４つ以上連ねて、複数の第１頂点部ＴＰ１を有する三角波形を形成してもよいし、２つの第１直線部ＬＰ１を一直線上に連ねて、第１頂点部ＴＰ１を内在させた１本の直線形状としてもよい。
第２線部は、円弧形状であってもよい。
第２直線部ＬＰ２は、円弧部ＬＰ３にその接線方向に連なっていなくてもよい。
第２、第３線部は、円弧形状と直線形状を組み合わせた形状であってもよい。
円弧部ＬＰ３は、仮想円ＣＲの中心ＣＰよりも第１頂点部ＴＰ１側に一端を有し、中心ＣＰよりも第１頂点部ＴＰ１の反対側に他端を有していてもよいし、仮想円ＣＲの中心ＣＰよりも第１頂点部ＴＰ１の反対側に一端と他端とを有していてもよいし、仮想円ＣＲの中心ＣＰと前後方向一直線上となる位置に一端と他端とを有していてもよい。
夾角θ１、θ２は、鋭角であってもよい。 The first line portion may form a triangular waveform having a plurality of first vertex portions TP1 by connecting four or more first linear portions LP1, or by connecting two first straight portions LP1 on a straight line. The first apex portion TP1 may have a single linear shape.
The second line portion may have an arc shape.
The second straight line portion LP2 may not be continuous with the arc portion LP3 in the tangential direction.
The second and third line portions may have a combination of an arc shape and a linear shape.
The arc portion LP3 may have one end on the first vertex portion TP1 side from the center CP of the virtual circle CR, and may have the other end on the opposite side of the first vertex portion TP1 from the center CP. One end and the other end may be provided on the opposite side of the first vertex portion TP1 from the center CP of the circle CR, and the one end and the other end may be positioned on a straight line with the center CP of the virtual circle CR. You may have.
The depression angles θ1 and θ2 may be acute angles.

リングフレームＲＦは、環状でない（外周が繋がっていない）フレームや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。   The ring frame RF may be a non-annular frame (the outer periphery is not connected), a circle, an ellipse, a polygon more than a triangle, or other shapes.

また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、リングフレームＲＦだけでもよいし、ウエハＷＦだけでもよいし、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。   In addition, the material and type of the adhesive sheet AS and the adherend in the present invention are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS may have an adhesive form such as pressure-sensitive adhesiveness or heat-sensitive adhesiveness. When the heat-sensitive adhesive sheet AS is employed, an appropriate coil for heating the adhesive sheet What is necessary is just to adhere | attach by appropriate methods, such as providing heating means, such as a heating side, such as a heater and a heat pipe. Such an adhesive sheet AS is, for example, a single layer having only an adhesive layer, an intermediate layer between the base sheet and the adhesive layer, a cover layer on the upper surface of the base sheet, etc. Three or more layers, or a so-called double-sided adhesive sheet that can peel the base sheet from the adhesive layer may be used. The double-sided adhesive sheet comprises a single-layer or multi-layer intermediate layer. It may be a single layer or a multilayer having no intermediate layer. Further, as the adherend, for example, only the ring frame RF or only the wafer WF may be used, and information recording of food wafers, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, circuit boards, optical disks, etc. Arbitrary forms of members and articles such as substrates, glass plates, steel plates, earthenware, wood plates or resin plates can also be targeted. In addition, the adhesive sheet AS is replaced with a functional and intended reading, for example, any information label, decorative label, protective sheet, dicing tape, die attach film, die bonding tape, recording layer forming resin sheet, etc. Arbitrary sheets, films, tapes and the like can be attached to any adherend as described above.

基材シートおよび接着剤層としては、特に制限はなく、基材シートは、例えば上質紙、グラシン紙、コート紙などの紙類、これらの紙類にポリエチレンなどの熱可塑性樹脂をラミネートしたラミネート紙、ポリエステル（例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート）、ポリオレフィン（例えばポリプロピレン、ポリエチレン）、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリビニルアルコール、ポリウレタン、アクリル系樹脂などのプラスチック、セルローストリアセテート、セルロースジアセテート、セロハンなどのセルロース、天然ゴムやシリコンゴムなどのゴム、木材、金属、陶器、硝子、石材などで構成され、１μｍ〜１００ｍｍの厚みを有するものが例示でき、接着剤層は、アクリル系、ゴム系、シリコン系の粘着剤で構成され、１μｍ〜５ｍｍの厚みを有するものが例示できる。なお、これら基材シートおよび接着剤層の厚みは、技術常識に照らし合わせて前述した例示の厚み以上でもよいし、例示の厚み以下のものでもよい。   The base sheet and the adhesive layer are not particularly limited, and the base sheet is, for example, paper such as fine paper, glassine paper, and coated paper, and laminated paper obtained by laminating a thermoplastic resin such as polyethylene on these papers. , Polyester (eg, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate), polyolefin (eg, polypropylene, polyethylene), polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polystyrene, polycarbonate, polyvinyl alcohol, polyurethane, acrylic resin, cellulose triacetate, cellulose diacetate It can be exemplified by cellulose such as cellophane, rubber such as natural rubber and silicon rubber, wood, metal, ceramics, glass, stone, etc. and having a thickness of 1 μm to 100 mm. Acrylic type, rubber type, consists of a silicone-based adhesive, it can be exemplified those having a thickness of 1Myuemu～5mm. The thicknesses of the base sheet and the adhesive layer may be equal to or greater than the above-described exemplary thickness in light of technical common sense, or may be equal to or less than the exemplary thickness.

ＡＳ 接着シート
ＣＲ 仮想円
ＥＤ 外縁部
ＬＰ１ 第１直線部（第１線部）
ＬＰ２ 第２直線部（第２線部）
ＬＰ３ 円弧部（第３線部）
ＲＦ リングフレーム（被着体）
ＲＬ 剥離シート
ＴＰ１ 第１頂点部
ＴＰ２ 第２頂点部
ＷＦ ウエハ（被着体）
θ１ 夾角
θ２ 夾角
AS adhesive sheet CR virtual circle ED outer edge LP1 first straight part (first line part)
LP2 2nd straight line part (2nd line part)
LP3 Arc part (third line part)
RF ring frame (adherence)
RL Release sheet TP1 First vertex TP2 Second vertex WF Wafer (Substrate)
θ1 depression angle θ2 depression angle

Claims (3)

仮着した剥離シートから剥離され、被着体に貼付される接着シートであって、
所定形状に形成された外縁部を備え、
前記外縁部は、
前記剥離シートから剥離が開始される第１頂点部と、
前記第１頂点部からのびる複数の第１線部と、
前記第１線部に連なり、当該第１線部とで第２頂点部を形成する複数の第２線部と、
前記第２線部に連なり、円弧形状を有する第３線部とを備え、
前記第１頂点部は、前記第３線部を形成する仮想円の内側に設けられていることを特徴とする接着シート。 It is an adhesive sheet that is peeled off from the temporarily attached release sheet and attached to the adherend,
With an outer edge formed in a predetermined shape,
The outer edge is
A first apex portion where peeling starts from the release sheet;
A plurality of first line portions extending from the first vertex portion;
A plurality of second line portions connected to the first line portion and forming a second vertex portion with the first line portion;
Ri Tsurana the second line portion, and a third line portion that have a circular arc shape,
The adhesive sheet, wherein the first apex portion is provided inside a virtual circle forming the third line portion . 前記第１線部および前記第２線部は、それぞれ直線形状を有し、
前記第１線部の夾角は、前記第２線部の夾角よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の接着シート。 Each of the first line portion and the second line portion has a linear shape,
The adhesive sheet according to claim 1, wherein a depression angle of the first line portion is larger than a depression angle of the second line portion. 前記第２線部は、直線形状を有し、
前記第２線部の夾角は、鈍角とされていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の接着シート。 The second line portion has a linear shape ,
The adhesive sheet according to claim 1 or 2, wherein a depression angle of the second line portion is an obtuse angle .

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