JP6598737B2 - ウエハ検査装置 - Google Patents
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Description
(ウエハ検査装置の構成)
図1は、本実施の形態1におけるウエハ検査装置100の構成を示す断面図である。ウエハ検査装置100は、筐体1と、筐体1に固定されたウエハホルダー2とを備える。ウエハホルダー2は検査対象のウエハを支持する支持手段の一例である。図2はウエハホルダー2の拡大図である。図1に示すウエハ検査装置100は、図2に示すウエハホルダーのウエハ設置位置2cにウエハ3を設置した状態を示し、図1におけるウエハ設置位置2cはウエハ3の被検査面3aに相当する。ウエハホルダー2は、ウエハ3の外周を支持してウエハ3をウエハ設置位置2cに静止可能な支持部2aと、ホルダー本体2bとを含む。支持部2aは、ウエハ3の外周の全てを支持する構成であっても良いし、少なくとも一部の外周を支持する構成であっても良い。また、本実施の形態1においては、ウエハホルダー2は、図2に示すように、支持部2aよりも内側に中空構造2dを含む。
本実施の形態1において、ウエハ3は、図1に示すように、被検査面3aを下方すなわち−z方向側に向けて、裏面3bを上方すなわち+z方向側に向けて、図2に示したウエハ設置位置2cに設置される。これにより、光学検査装置4はウエハ3の被検査面3aと対向し、被検査面3aを検査することが可能となる。また、ウエハ3は外周が支持部2aに支持され、ウエハホルダー2に静止して設置される。被検査面3aおよび裏面3bにおいて、支持部2aよりも内側の領域は他に接するものがなく非接触状態である。
ウエハ検査装置100は、支持部2aよりも内側の被検査面3aおよび裏面3bを非接触の状態で検査できる。よって、ウエハ検査装置100は、被検査面3aおよび裏面3bにキズの形成や異物付着等が発生する頻度を低減することができる。また、ウエハ検査装置100は、検査位置の移動の際、従来のウエハ検査装置よりも、ウエハ3の振動を抑えることができ、ウエハ3を静止した状態に保つことができる。ウエハ検査装置100は、通常よりもウエハの厚さが薄いウエハを検査する際にも、搬送による振動がウエハに伝達されることを低減できる。その結果、ウエハを含むホルダーやステージを駆動させる従来のウエハ検査装置よりも、本実施の形態1のウエハ検査装置100はウエハ3の検査速度を向上させることができる。
本実施の形態2におけるウエハ検査装置について説明する。なお、実施の形態1と同様の構成および動作については説明を省略する。本実施の形態2におけるウエハ検査装置は、光学検査装置4の構成が、実施の形態1に記載したウエハ検査装置とは異なる。その他の構成は実施の形態1と同様である。本実施の形態2におけるウエハ検査装置が備える光学検査装置4は光学顕微鏡(図示せず)を含む。図3は、その光学顕微鏡が含む対物レンズ13を示す図である。光学検査装置4は、ウエハ設置位置2cに対し垂直な方向に光軸を含む対物レンズ13と、対物レンズ13のウエハ設置位置2c側にレンズ保護カバー11とを含む。レンズ保護カバー11は固定具12により対物レンズ13に固定される。レンズ保護カバーは、例えば光学素子を含む。また、レンズ保護カバー11は、例えばガラスである。また、レンズ保護カバー11の透過率は、光学検査装置がウエハ3の検査に用いる検査波長域において透明である。また、例えば、レンズ保護カバー11の検査波長域における透過率は、検査波長域外における透過率よりも高透過率である。
このように構成された対物レンズ13は、レンズ保護カバー11の表面に微小な付着物が発生しても、対物レンズ13が有する焦点深度に付着物が含まれないため、ウエハ検査装置100が取得する検査画像への異物の映り込みを低減することができる。また、レンズ保護カバー11は、対物レンズ13にキズや汚れが発生することを防ぐ。また、レンズ保護カバー11は、検査波長域において透明であるため、検査画像へ悪影響を及ぼさない。
本実施の形態3におけるウエハ検査装置について説明する。なお、実施の形態1または実施の形態2と同様の構成および動作については説明を省略する。本実施の形態3におけるウエハ検査装置は、光学検査装置4が含む光学レンズまたは実施の形態3に示したレンズ保護カバーに気体を噴射するブロー装置14をさらに備える。図4は、光学検査装置4が含む対物レンズ13とブロー装置14との配置を示す図である。ブロー装置14は、実施の形態1に示したウエハ設置位置2cより離れた位置に配置される。そのブロー装置14は、対物レンズ13またはレンズ保護カバー11の表面に気体15を噴射する。なお、気体15とは例えば空気である。また、図4に示す対物レンズ13は一例であり、ブロー装置14は光学検査装置4が含む光学レンズに気体を噴射しても良い。
以上をまとめると、本実施の形態3のウエハ検査装置は、光学検査手段が含む光学レンズ(対物レンズ13)またはレンズ保護カバー11に気体15を噴射するブロー装置14をさらに備える。以上のような構成により、ウエハ検査装置は、対物レンズ13またはレンズ保護カバー11の表面に付着した付着物を取り除くことができ、検査感度を維持することができる。
Claims (5)
- ウエハの少なくとも一部の外周を支持して前記ウエハをウエハ設置位置に静止可能な支持部を含む支持手段と、
前記ウエハ設置位置に対向して設けられ、前記支持手段に設置される前記ウエハを光学的に検査する光学検査手段と、
前記光学検査手段に接続し前記光学検査手段を移動させる駆動手段と、を備え、
前記支持部は、前記ウエハを水平方向に載置可能なように前記ウエハの前記少なくとも一部の前記外周を支持する水平面を含み、
前記支持部は、前記ウエハ設置位置が前記水平方向に移動しないように固定されているウエハ検査装置。 - 前記支持手段は、前記支持部よりも内側に中空構造を含み、
前記光学検査手段は、前記ウエハ設置位置の下方に設けられる請求項1に記載のウエハ検査装置。 - 前記支持手段と前記駆動手段との間を接続する振動伝達経路上に設けられ、前記駆動手段による振動が前記支持手段に伝達することを低減する振動低減手段をさらに備える請求項1もしくは請求項2に記載のウエハ検査装置。
- 前記光学検査手段は、前記ウエハ設置位置に対し垂直な方向に光軸を含む光学レンズと、前記光学レンズの前記ウエハ設置位置側にレンズ保護カバーとを含み、
前記レンズ保護カバーは、前記光学検査手段が前記ウエハの検査に用いる検査波長域に対して透明である請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のウエハ検査装置。 - 前記光学検査手段が含む前記光学レンズまたは前記レンズ保護カバーに気体を噴射するブロー装置をさらに備える請求項4に記載のウエハ検査装置。
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ID=60889342
Family Applications (1)
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