JP6570084B2 - ステージ表面上の突起物の上面を検査するマクロ検査装置 - Google Patents
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Description
・ラインセンサの角度:40〜60度(WD:9〜20mm)
・ライン光源の角度:5〜40度、光軸からの距離:100〜300mm
(1)突起物:円柱形でその上面の径は約200μm
(2)PSL球状粒子:その径は平均約20μm
(3)ライン光源:図4のタイプのライン光源、ステージ表面から約10度の角度に配置、ラインセンサの光軸からの距離は約200mm
(4)ラインカメラ:CISカメラ、WDは9.9mm、画素サイズは43μm×86μm、ロッドレンズを含めた解像度は89μm
2 リニアモータ
3 ステージ・コントローラ
4 処理装置(PC)
5、50 ラインカメラ
6 光源用電源
7、70、80 ライン光源
10 突起物
11 突起物の上面
20 ビーズ(玉)
21 散乱光で明るい領域
22 散乱光が入らない暗い影の領域
52 受光素子
54 レンズ
74 光学系(レンズ、拡散板など)
82 発光素子
84 光学系(レンズ)
86 光ファイバ束
88 光学系(レンズ)
100 マクロ検査装置
Claims (5)
- 基板を載せるステージの表面上に配置された複数の突起物の上面を検査するマクロ検査装置であって、
前記ステージの表面から5〜40度の範囲で斜め上方に位置し、前記ステージ及び前記突起物の表面に光を照射するライン光源と、
前記ステージの表面から40〜60度の範囲で斜め上方に位置し、ワークディスタンス(WD)は9〜20mmの範囲にあり、前記ステージ及び前記突起物の表面からの反射光を受光するラインセンサカメラと、
前記ラインセンサカメラからの信号を処理して、前記突起物の上面の異物の有無を検出するための処理装置と、を備え、
前記ライン光源は、前記ステージの表面の前記ラインセンサカメラの光軸から100〜300mmの範囲の距離に位置し、
前記ライン光源と前記ラインセンサカメラの前記ステージの表面からの角度は、各々の前記範囲内において、前記突起物の上面以外からの反射光に起因するハレーションによる前記突起物の上面の検査への悪影響を抑制できる角度に設定される、マクロ検査装置。 - 前記ラインセンサカメラは、ラインセンサに前記反射光を導くロッドレンズを含む密着イメージセンサ(CIS)カメラからなる、請求項1に記載のマクロ検査装置。
- 前記ライン光源は、発光素子と、当該発光素子からの光を所定の幅に広げるための光ファイバ束とを含む、請求項1または2に記載のマクロ検査装置。
- 前記処理装置は、前記ラインセンサカメラからの信号からラインセンサの画素毎の輝度値を求め、その輝度値を所定のしきい値と比較することにより前記突起物の上面の異物の有無を検出する、請求項1〜3のいずれか一項に記載のマクロ検査装置。
- 前記ステージを所定の間隔で移動させることができる移動手段をさらに備え、
前記処理装置は、前記ステージが移動しながら得られるラインセンサからの信号を受け取り、前記ラインセンサの画素毎の輝度値から前記ステージの表面及び前記突起物の上面の輝度分布の画像を生成する、請求項4に記載のマクロ検査装置。
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