JP2014163712A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転するウェハ直上に固定(回転しない)物を設けるか、またはウェハと同じ回転数で回転する板を設けることにより、ウェハ直上の気流(ウェハの回転に誘起される流れ)を阻止し、流速を低下させて層流を保つことで、ウェハ近傍まで輸送された異物のウェハへの付着を阻止する。
【選択図】 図1
Description
2 ウェハ保持板
3 チャック
4 ステージ
5 レーザ光源
6 レーザ光
7 検出器
8 固定板
9 検査孔
10 固定ブロック
11 検出窓
13 回転板
Claims (17)
- 試料を搭載し、回転、及び直線移動させる搬送系と、
前記試料へ照明光を供給する照明光学系と、
前記試料からの光を検出する検出光学系と、
前記照明光学系、及び前記検出光学系と前記搬送系との間に配置された板を有し、
前記試料が回転した際に、前記試料と前記板との間の雰囲気の流速は、
前記板表面の流速よりも前記試料表面の流速が速い実質的な1次関数となる検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記板は、前記搬送系が前記試料を保持する大きさよりも大きい検査装置。 - 請求項2に記載の検査装置において、
前記板は、前記搬送系が前記試料を保持する大きさに前記試料が直線移動する距離を加味した値よりも大きい検査装置。 - 請求項3に記載の検査装置において、
前記試料が保持されるべき位置と前記板との間の距離は、前記板と前記照明光学系、及び前記検出光学系の少なくとも1つとの間の距離よりも短い検査装置。 - 請求項4に記載の検査装置において、
前記板には、前記照明光を前記試料へ供給するための開口が形成されている検査装置。 - 請求項4に記載の検査装置において、
前記板には、前記照明光に対して透明な透明部を有し、
前記照明光は前記透明部を通過して前記試料へ到達する検査装置。 - 請求項4に記載の検査装置において、
前記板は複数の板部材であり、前記板部材は、前記試料の外周側が搭載されるべき位置の上に配置される検査装置。 - 請求項4に記載の検査装置において、
前記板は実質的に固定される検査装置。 - 請求項4に記載の検査装置において、
前記板は回転する検査装置。 - 請求項9に記載の検査装置において、
前記板は、実質的に同じ向きに実質的に同じ回転数で回転する検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記試料が保持されるべき位置と前記板との間の距離は、前記板と前記照明光学系、及び前記検出光学系の少なくとも1つとの間の距離よりも短い検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記板には、前記照明光を前記試料へ供給するための開口が形成されている検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記板には、前記照明光に対して透明な透明部を有し、
前記照明光は前記透明部を通過して前記試料へ到達する検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記板は複数の板部材であり、前記板部材は、前記試料の外周側が搭載されるべき位置の上に配置される検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記板は実質的に固定される検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記板は回転する検査装置。 - 請求項16に記載の検査装置において、
前記板は、実質的に同じ向きに実質的に同じ回転数で回転する検査装置。
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JP2013032720A JP2014163712A (ja) | 2013-02-22 | 2013-02-22 | 検査装置 |
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JP2013032720A JP2014163712A (ja) | 2013-02-22 | 2013-02-22 | 検査装置 |
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JP2013032720A Pending JP2014163712A (ja) | 2013-02-22 | 2013-02-22 | 検査装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN112868093A (zh) * | 2018-11-07 | 2021-05-28 | 株式会社日立高新技术 | 检查装置 |
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US20040150820A1 (en) * | 2002-11-26 | 2004-08-05 | Mehrdad Nikoonahad | Optical system for measuring samples using short wavelength radiation |
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2013
- 2013-02-22 JP JP2013032720A patent/JP2014163712A/ja active Pending
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