JP6576176B2 - プローブユニットおよび基板検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、プローブピンとプローブピンを支持する支持部とを備えたプローブユニット、およびそのプローブユニットを備えた基板検査装置に関するものである。

この種のプローブユニットとして、下記特許文献１において出願人が開示したプローブユニットが知られている。このプローブユニットは、一対のコンタクトプローブ、および各コンタクトプローブが固定されるプローブ保持部を備えて構成されている。各コンタクトプローブは、プローブピンと、リンク機構で構成されてプローブピンを先端部で保持する保持具とをそれぞれ備えて構成されている。このプローブユニットでは、各コンタクトプローブが固定されているため、一対のプローブピンを共に移動させて、１つのプロービング対象に対して各プローブピンを一度にプロービングさせることが可能となっている。この場合、このプローブユニットでは、各保持具の先端部の前方側から２つのプローブピンを見たときに、各プローブピンがＶ字をなすように各プローブピンが配置されており（図１５参照）、この構成により、プローブピンの先端部を互いに近接させることが可能となっている。

特開２００６−３３０００６号公報（第５−６頁、第１図）

ところが、上記のプローブユニットには、改善すべき以下の課題がある。すなわち、このプローブユニットでは、正面視したときにＶ字をなすように各プローブピンが配置されているため、正面視したときの各プローブピンの横幅（各プローブピンによって占有される幅方向のスペース）が各プローブピンの基端部に向かうに従って広くなっている。このため、このプローブユニットでは、基板におけるパッドやランドの近傍に部品が配設されていたり、凹部（キャビティ）が形成された基板の凹部の底面における壁面の近傍にパッドやランドが設けられたりする場合において、それらのパッドやランドをプロービング対象としてプロービングを行うときに、不都合が生じるおそれがある。具体的には、図１５に示すように、凹部（キャビティ）１０１を有する基板１００における壁部１０４の近傍にパッド１０３が設けられている場合において、そのパッド１０３に２つのプローブ３０１をプロービングさせようとしたときには、２つのプローブ３０１のうちの１つのプローブ３０１（同図における右側のプローブ３０１）が壁部１０４に接触することがあり、このときには、パッド１０３に対する各プローブ３０１のプロービングが困難となるおそれがある。

本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、２つのプローブピンによって占有されるスペースを減少させ得るプローブユニットおよび基板検査装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載のプローブユニットは、一対のプローブピンと、当該各プローブピンを支持する支持部とを備えたプローブユニットであって、前記支持部は、第１本体部および当該第１本体部から延出する帯状の第１のアーム部をそれぞれ有して前記各プローブピンをプロービング対象にプロービングさせる際のプロービングの向きに沿って互いに離間して対向する状態で配置されると共に当該各第１のアーム部の先端部に一方の前記プローブピンが固定された一対の第１板体と、第２本体部および当該第２本体部から延出する帯状の第２のアーム部をそれぞれ有して前記プロービングの向きに沿って互いに離間して対向する状態で配置されると共に当該各第２のアーム部の先端部に他方の前記プローブピンが固定された一対の第２板体と、前記各第１本体部および前記各第２本体部を保持する保持部とを備え、いずれかの前記アーム部には、前記プローブピンが挿通可能な挿通部が形成され、前記いずれかのアーム部以外の他の前記アーム部に固定されている前記プローブピンは、前記挿通部に挿通させられた状態で固定されている。

請求項２記載のプローブユニットは、請求項１記載のプローブユニットにおいて、前記各プローブピンは、前記各アーム部における各々の基端部から各々の前記先端部に向かう当該各アーム部の各延在方向の合成方向に沿って前記各プローブピンの先端部が並ぶように配置されている。

請求項３記載のプローブユニットは、請求項２記載のプローブユニットにおいて、前記支持部は、前記プロービングの向きとは逆向きへの前記プローブピンの直動または近似的な直動を許容する四節リンク機構を構成し、前記各アーム部は、前記先端部側に第１貫通孔がそれぞれ形成されると共に前記基端部側に第２貫通孔がそれぞれ形成されて、前記各第１貫通孔と前記各第２貫通孔との間の各中間部が前記四節リンク機構を構成する各リンクとして機能すると共に、前記各第１貫通孔の形成部位および前記各第２貫通孔の形成部位が前記四節リンク機構を構成するジョイントとして機能するように構成され、前記挿通部は、前記第１貫通孔で構成されている。

請求項４記載の基板検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載のプローブユニットと、当該プローブユニットの前記各プローブピンを介して入出力する電気信号に基づいて検査対象を検査する検査部とを備えている。

請求項１記載のプローブユニット、および請求項４記載の基板検査装置では、いずれかのアーム部に形成した挿通部にそのアーム部以外の他のアーム部に固定されているプローブピンが挿通させられている。このようにプローブピンを固定したことにより、各アーム部を、各々の先端部が平面視状態において互いに重なり合うように配置することができるため、各プローブピンの基端部側同士を十分に近接させることができる。この結果、このプローブユニットおよび基板検査装置によれば、プローブユニットを正面視したときに各プローブピンの横幅（各プローブピンによって占有される幅方向のスペース）を各プローブピンの基端部側においても狭くすることができる。したがって、このプローブユニットおよび基板検査装置によれば、例えば、凹部を有する基板における凹部を構成する壁部の近傍にプロービング対象が設けられている場合においても、壁部に各プローブピンを接触させることなく、各プローブピンをプロービング対象に確実にプロービングさせることができる。

請求項２記載のプローブユニット、および請求項４記載の基板検査装置では、各アーム部における各々の基端部から各々の先端部に向かう各アーム部の各延在方向の合成方向に沿って各プローブピンの先端部が並ぶように各プローブピンが配置されている。このように各プローブピンを配置することにより、プローブユニットを正面視したときに横方向（合成方向Ｂに直交する方向）に沿って各先端部が並ぶように各プローブピンを配置する構成と比較して、プローブユニットを正面視したときの各プローブピンの横幅をさらに（例えば、いずれかのプローブピンの直径に相当する分だけ）狭くすることができる。

請求項３記載のプローブユニット、および請求項４記載の基板検査装置では、各アーム部の各先端部側に第１貫通孔がそれぞれ形成されると共に各基端部側に第２貫通孔がそれぞれ形成されて、各アーム部の各中間部がリンクとして機能すると共に、各貫通孔の形成部位がジョイントとして機能する四節リンク機構が支持部によって構成されている。このため、このプローブユニットおよび基板検査装置によれば、プロービングの際に四節リンク機構によって各プローブピンにおける先端部の直動または近似的直動が許容される結果、各プローブピンの先端部がプロービング対象の表面上を移動することによる傷の発生を確実に防止することができる。また、このプローブユニットおよび基板検査装置では、プローブピンを挿通させる挿通部が第１貫通孔で構成されている、つまり第１貫通孔を挿通部として用いている。このため、このプローブユニットおよび基板検査装置によれば、挿通部としての孔や切り欠きを第１貫通孔とは別に形成する必要がないため、各アーム部の構成をその分簡略化することができる。

基板検査装置２００の構成を示す構成図である。 プローブユニット１の斜視図である。 プローブユニット１の平面図である。 プローブユニット１の正面図である。 プローブユニット１の分解斜視図である。 第１板体３１ａの平面図である。 第１板体３１ｂの平面図である。 第２板体３２ａの平面図である。 第２板体３２ｂの平面図である。 保持部３３を不図示にしたプローブユニット１の平面図である。 第１アーム部５１ａ，５１ｂ、第２アーム部５２ａ，５２ｂおよびプローブピン１１，１２の側面断面図である。 基板検査装置２００の動作を説明する説明図である。 プローブユニットの第２の構成例を示す側面断面図である。 プローブユニットの第３の構成例を示す側面断面図である。 従来のプローブユニットの構成を説明する説明図である。

以下、プローブユニットおよび基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、基板検査装置の一例としての基板検査装置２００の構成について説明する。図１に示す基板検査装置２００は、検査対象（例えば、同図および図１２に示す基板１００）を検査する基板検査装置であって、基板固定台２０１、移動機構２０２、測定部２０３、操作部２０４、記憶部２０５、制御部２０６、および一対のプローブユニット１を備えて構成されている。

基板固定台２０１は、検査対象の基板１００を載置可能に構成されると共に、図外のクランプによって基板１００を固定可能に構成されている。

移動機構２０２は、制御部２０６の制御に従い、基板固定台２０１に固定されている基板１００の表面に沿った方向（ＸＹ方向）、および基板１００に接離する方向（Ｚ方向）にプローブユニット１を移動させて、プロービング対象としての基板１００のパッド１０３（図１２参照）にプローブユニット１におけるプローブピン１１，１２の先端部をプロービングさせるプロービング処理を実行する。

測定部２０３は、制御部２０６の制御に従い、基板１００のパッド１０３にプロービングさせられているプローブユニット１のプローブピン１１，１２を介して入出力する電気信号に基づき、被測定量（例えば、パッド１０３に接続されている図外の導体パターンの抵抗値）を測定する測定処理を実行する。

操作部２０４は、各種のスイッチやキーを備えて構成され、これらが操作されたときに操作信号を出力する。記憶部２０５は、プロービング対象の（プローブユニット１のプローブピン１１，１２をプロービングさせるべき）パッド１０３の位置を示す位置データを記憶する。また、記憶部２０５は、基板１００（基板１００に形成されている図外の導体パターン）の検査に用いる抵抗値の基準値を記憶する。

制御部２０６は、移動機構２０２および測定部２０３を制御する。また、制御部２０６は、測定部２０３と共に検査部として機能して、測定部２０３によって測定された抵抗値に基づいて基板１００を検査する。

プローブユニット１は、図２〜図４に示すように、一対のプローブピン１１，１２と、各プローブピン１１，１２を支持する支持部２１とを備えて構成されている。

プローブピン１１，１２は、図２〜図４に示すように、先端部（図２，４における下端部）が尖った円柱状にそれぞれ形成されている。このプローブピン１１，１２は、移動機構２０２（図１参照）によってプローブユニット１が移動させられたときにプロービング対象（例えば、図１２に示す基板１００のパッド１０３）に先端部がプロービング（接触）させられる。

支持部２１は、プローブピン１１，１２を支持可能に構成されている。具体的には、支持部２１は、図２〜図５に示すように、一対の第１板体３１ａ，３１ｂ（以下、区別しないときには「第１板体３１」ともいう）、一対の第２板体３２ａ，３２ｂ（以下、区別しないときには「第２板体３２」ともいう）、および保持部３３を備えて構成されている。

第１板体３１ａは、図６に示すように、第１本体部４１ａおよび第１アーム部５１ａを備えて構成されている。また、第１板体３１ａは、例えば金属等の導電性を有する材料で板状に形成されている。また、第１本体部４１ａには、保持部３３のネジ６２（図５参照）を挿通させる挿通孔Ｏｉが形成されている。また、第１アーム部５１ａは、図６に示すように、第１本体部４１ａから延出する帯状に形成されている。また、第１アーム部５１ａの先端部５１ａｔには、第１貫通孔Ｈ１ｆａが形成され、先端部５１ａｔの基端部５１ａｒには、第２貫通孔Ｈ１ｓａが形成されている。また、第１アーム部５１ａにおける第１貫通孔Ｈ１ｆａの形成位置よりもさらに先端側には、プローブピン１１を固定する固定孔Ｏｆが形成されている。

第１板体３１ｂは、図７に示すように、第１本体部４１ｂ（以下、第１板体３１ａの第１本体部４１ａと第１本体部４１ｂとを区別しないときには「第１本体部４１」ともいう）および第１アーム部５１ｂ（以下、第１板体３１ａの第１アーム部５１ａと第１アーム部５１ｂとを区別しないときには「第１アーム部５１」ともいう）を備えて構成されている。また、第１板体３１ｂは、第１板体３１ａを構成する材料と同じ材料で板状に形成されている。また、第１本体部４１ｂには、保持部３３のネジ６２を挿通させる挿通孔Ｏｉが形成されている。また、第１アーム部５１ｂは、同図に示すように、第１本体部４１ｂから延出する帯状に形成されている。また、第１アーム部５１ｂの先端部５１ｂｔ（以下、第１アーム部５１ａの先端部５１ａｔと先端部５１ｂｔとを区別しないときには「先端部５１ｔ」ともいう）には、第１貫通孔Ｈ１ｆｂが形成され、先端部５１ｂｔの基端部５１ｂｒ（以下、第１アーム部５１ａの基端部５１ａｒと基端部５１ｂｒとを区別しないときには「基端部５１ｒ」ともいう）には、第２貫通孔Ｈ１ｓｂが形成されている。また、第１アーム部５１ｂにおける第１貫通孔Ｈ１ｆｂの形成位置よりもさらに先端側には、プローブピン１１を固定する固定孔Ｏｆが形成されている。

また、第１板体３１ａ，３１ｂは、図２，１１に示すように、プローブピン１１，１２をプロービングさせる際のプロービングの向き（両図における下向き）に沿って互いに離間して各板面同士が対向する状態で配置されている。また、第１板体３１ａ，３１ｂは、図１１に示すように、プローブピン１１を支持している。この場合、プローブピン１１は、第１板体３１ａにおける第１アーム部５１ｂの固定孔Ｏｆに基端部（同図における上端部）が固定されると共に、第１板体３１ｂにおける第１アーム部５１ａの固定孔Ｏｆに中間部（基端部と先端部との間の部分）が固定されている。

第２板体３２ａは、図８に示すように、第２本体部４２ａおよび第２アーム部５２ａを備えて構成されている。また、第２板体３２ａは、第１板体３１ａを構成する材料と同じ材料で板状に形成されている。また、第２本体部４２ａには、保持部３３のネジ６２を挿通させる挿通孔Ｏｉが形成されている。また、第２アーム部５２ａは、同図に示すように、第２本体部４２ａから延出する帯状に形成されている。また、第２アーム部５２ａの先端部５２ａｔには、第２貫通孔Ｈ２ｆａが形成され、第２アーム部５２ａの基端部５２ａｒには、第２貫通孔Ｈ２ｓａが形成されている。また、第２アーム部５２ａにおける第２貫通孔Ｈ２ｆａの形成位置よりもさらに先端側には、プローブピン１２を固定する固定孔Ｏｆが形成されている。

第２板体３２ｂは、図９に示すように、第２本体部４２ｂ（以下、第２板体３２ａの第２本体部４２ａと第２本体部４２ｂとを区別しないときには「第２本体部４２」ともいう）および第２アーム部５２ｂ（以下、第２板体３２ａの第２アーム部５２ａと第２アーム部５２ｂとを区別しないときには「第２アーム部５２」ともいう）を備えて構成されている。また、第２板体３２ｂは、第１板体３１ａを構成する材料と同じ材料で板状に形成されている。また、第２本体部４２ｂには、保持部３３のネジ６２を挿通させる挿通孔Ｏｉが形成されている。また、第２アーム部５２ｂは、同図に示すように、第２本体部４２ｂから延出する帯状に形成されている。また、第２アーム部５２ｂの先端部５２ｂｔ（以下、第２アーム部５２ａの先端部５２ａｔと先端部５２ｂｔとを区別しないときには「先端部５２ｔ」ともいう）には、第２貫通孔Ｈ２ｆｂが形成され、第２アーム部５２ｂの基端部５２ｂｒ（以下、第２アーム部５２ａの基端部５２ａｒと基端部５２ｂｒとを区別しないときには「基端部５２ｒ」ともいう）には、第２貫通孔Ｈ２ｓｂが形成されている。また、第２アーム部５２ｂにおける第２貫通孔Ｈ２ｆｂの形成位置よりもさらに先端側には、プローブピン１２を固定する固定孔Ｏｆが形成されている。

また、第２板体３２ａ，３２ｂは、図２，１１に示すように、プローブピン１１，１２をプロービングさせる際のプロービングの向き（両図における下向き）に沿って互いに離間して各板面同士が対向する状態で配置されている。また、第２板体３２ａ，３２ｂは、図１１に示すように、プローブピン１２を支持している。この場合、プローブピン１２は、第２板体３２ａにおける第２アーム部５２ｂの固定孔Ｏｆに基端部（同図における上端部）が固定されると共に、第２板体３２ｂにおける第２アーム部５２ａの固定孔Ｏｆに中間部（基端部と先端部との間の部分）が固定されている。

保持部３３は、図５に示すように、複数の保持材料６１およびネジ６２を備えて構成されている。この場合、保持部３３は、板面を水平にした（プロービングの向きに直交させた）状態における各第１板体３１の各第１本体部４１および各第２板体３２の各第２本体部４２を各保持材料６１で挟み込んでネジ６２を締め込むことで第１板体３１および第２板体３２を保持する（図４参照）。

また、このプローブユニット１では、例えば、図２，１０，１１に示すように、各第１アーム部５１の各先端部５１ｔおよび各第２アーム部５２の各先端部５２ｔが上下方向において互いに離間した状態で重なり合う（先端部５１ｔと先端部５２ｔとが交互に重なり合う）ように配置されると共に、プローブピン１２が第１アーム部５１ａの第１貫通孔Ｈ１ｆａ（挿通部に相当する）に挿通させられた状態で各第２アーム部５２に固定されている。

また、このプローブユニット１では、図１０に示すように、各基端部５１ｒから各先端部５１ｔに向かう各第１アーム部５１の延在方向Ａ１、および各基端部５２ｒから各先端部５２ｔに向かう各第２アーム部５２の延在方向Ａ２の合成方向Ｂに沿ってプローブピン１１，１２の先端部が並ぶように（図４に示すように、プローブユニット１を正面視したときにプローブピン１１の先端部が手前側に位置しつつ両プローブピン１１，１２の先端部が重なり合うように）プローブピン１１，１２が配置されている。

各第１アーム部５１、第２アーム部５２、およびプローブピン１１，１２を上記したように配置したことで、このプローブユニット１では、図４に示すように、プローブユニット１を正面視した状態において、プローブピン１１，１２の基端部（同図における上端部）側を互いに近接させることができる。このため、このプローブユニット１では、同図に示すように、プローブユニット１を正面視した状態におけるプローブピン１１，１２の横幅（プローブピン１１，１２によって占有される幅方向のスペース）が、プローブピン１１，１２の基端部側においても狭くなっている。

また、このプローブユニット１では、板状にそれぞれ形成した各第１板体３１および各第２板体３２の板面を水平にした状態で、各第１板体３１の各第１本体部４１および各第２板体３２の各第２本体部４２を各保持材料６１で挟み込むことで各第１板体３１および各第２板体３２を保持している。このような構成では、各第１板体３１および各第２板体３２の水平度の調整が容易なため、各第１板体３１における各第１アーム部５１の各先端部５１ｔ、および各第２板体３２の各第２アーム部５２の各先端部５２ｔによって支持されているプローブピン１１，１２の先端部の上下方向（プロービング方向）の位置合わせを正確かつ容易に行うことが可能となっている。

また、このプローブユニット１では、第１アーム部５１ａ，５１ｂに第１貫通孔Ｈ１ｆａ，Ｈ１ｆｂおよび第２貫通孔Ｈ１ｓａ，Ｈ１ｓｂ（以下、第１貫通孔Ｈ１ｆａ，Ｈ１ｆｂおよび第２貫通孔Ｈ１ｓａ，Ｈ１ｓｂを区別しないときには「貫通孔Ｈ」ともいう）を形成したことで、各貫通孔Ｈの形成部位の剛性が、第１アーム部５１ａ，５１ｂにおける他の部位の剛性よりも十分に低下し、これによって各貫通孔Ｈの形成部位において弾性変形がし易くなっている。このため、プローブユニット１では、第１アーム部５１ａ，５１ｂの中間部５１ａｉ，５１ｂｉ（図６，７参照：各貫通孔Ｈの間の部位であって、以下、区別しないときには「中間部５１ｉ」ともいう）がリンク（節）として機能すると共に、各貫通孔Ｈの形成部位がジョイント（関節または支点）として機能する四節リンク機構（四節回転機構）が、支持部２１（具体的には、各中間部５１ｉ、各貫通孔Ｈの形成部位、保持部３３およびプローブピン１１）によって構成される。

同様にして、第２アーム部５２ａ，５２ｂに第１貫通孔Ｈ２ｆａ，Ｈ２ｆｂおよび第２貫通孔Ｈ２ｓａ，Ｈ２ｓｂ（以下、第１貫通孔Ｈ２ｆａ，Ｈ２ｆｂおよび第２貫通孔Ｈ２ｓａ，Ｈ２ｓｂを区別しないときには「貫通孔Ｈ」ともいう）を形成したことで、各貫通孔Ｈの形成部位の剛性が、第２アーム部５２ａ，５２ｂにおける他の部位の剛性よりも十分に低下し、これによって各貫通孔Ｈの形成部位において弾性変形がし易くなっている。このため、プローブユニット１では、第２アーム部５２ａ，５２ｂの中間部５２ａｉ，５２ｂｉ（図８，９参照：各貫通孔Ｈの間の部位であって、以下、区別しないときには「中間部５２ｉ」ともいう）がリンクとして機能すると共に、各貫通孔Ｈの形成部位がジョイントとして機能する四節リンク機構が、支持部２１（具体的には、各中間部５２ｉ、各貫通孔Ｈの形成部位、保持部３３およびプローブピン１２）によって構成される。

上記した四節リンク機構が構成されることにより、このプローブユニット１では、プローブピン１１，１２の先端部に対してプロービングの向きとは逆向き（図２，１１における上向き）に力が加わったときには、プローブピン１１，１２の先端部が直動または近似的直動する（先端部の直動または近似的直動が許容される）。

次に、基板検査装置２００を用いて検査対象としての基板１００を検査する方法、およびその際の基板検査装置２００の各部の動作について、図面を参照して説明する。なお、基板１００には、図１２に示すように、凹部１０１（キャビティ）が形成され、凹部１０１の底面１０２には、導体パターンに接続されているプロービング対象としてのパッド１０３が設けられているものとする。

まず、図１に示すように、基板固定台２０１に基板１００を載置し、次いで、図外のクランプによって基板１００を固定する。続いて、操作部２０４を操作して検査の開始を指示する。この際に、操作部２０４が操作信号を出力し、制御部２０６が操作信号に従って検査処理を実行する。この検査処理では、制御部２０６は、記憶部２０５から位置データを読み出して、記憶部２０５は、プロービング対象のパッド１０３の位置を位置データに基づいて特定する。

次いで、制御部２０６は、移動機構２０２を制御して、プロービング処理を実行させる。このプロービング処理では、移動機構２０２は、基板固定台２０１に固定されている基板１００の表面に沿った方向に各プローブユニット１を移動させて、プロービング対象のパッド１０３の上方に各プローブピン１１，１２の各先端部を位置させる。続いて、移動機構２０２は、図１２に示すように、基板１００に近接する向き（下向き）に各プローブユニット１を移動させて、プロービング対象としての基板１００のパッド１０３に各プローブピン１１，１２をプロービングさせる。なお、同図では、一方のプローブユニット１のプローブピン１１，１２だけを図示している。

ここで、このプローブユニット１では、上記したように、合成方向Ｂに沿って各プローブピン１１，１２が並ぶように、各プローブピン１１，１２が配置されている。このため、図１２に示すように、基板１００の凹部１０１を構成する壁部１０４の近傍にパッド１０３が設けられている場合においても、壁部１０４にプローブピン１１，１２を接触させることなく（壁部１０４にプローブピン１１，１２を十分に近づけて）、プローブピン１１，１２をパッド１０３にプロービングさせることが可能となっている。

続いて、移動機構２０２は、予め決められた距離だけプローブユニット１を下向きにさらに移動させた時点で移動を停止する。このプローブユニット１では、上記したように、プローブピン１１，１２における先端部の直動または近似的直動を許容する四節リンク機構が構成されているため、プローブピン１１，１２の先端部が基板１００における凹部１０１の底面１０２に接触してからプローブユニット１の移動が停止するまでの間では、最初の接触位置に位置した状態が維持される。このため、このプローブユニット１では、プローブピン１１，１２の先端部がパッド１０３の表面上を移動することによる傷の発生を確実に防止することが可能となっている。

一方、制御部２０６は、基板１００のパッド１０３にプローブピン１１，１２がプロービングさせられている状態で、図外の信号供給部を制御して検査用の電気信号を出力させる。次いで、制御部２０６は、測定部２０３を制御して、測定処理を実行させる。この測定処理では、測定部２０３は、各プローブピン１１，１２を介して入出力する電気信号に基づき、パッド１０３に接続されている図外の導体パターンの抵抗値を測定する。

続いて、制御部２０６は、記憶部２０５から抵抗値の基準値を読み出して、測定部２０３によって測定された抵抗値と基準値とを比較し、導体パターンの良否（断線や短絡）を検査する。次いで、制御部２０６は、図外の表示部に検査結果を表示させると共に、記憶部２０５に検査結果を記憶させる。

この場合、この基板検査装置２００では、上記したように、プロービング対象のパッド１０３に各プローブピン１１，１２を確実にプロービングさせることが可能となっている。このため、この基板検査装置２００では、基板１００の検査を正確に行うことが可能となっている。

このように、このプローブユニット１および基板検査装置２００では、第１アーム部５１ａ（いずれかのアーム部）に形成した第１貫通孔Ｈ１ｆａ（挿通部）にプローブピン１２（いずれかのアーム部以外の他のアーム部に固定されているプローブピン）が挿通させられている。このようにプローブピン１２を固定したことにより、各第１アーム部５１および各第２アーム部５２を、各々の先端部５１ｔと各々の先端部５２ｔとが平面視状態において互いに重なり合うように配置することができるため、プローブピン１１，１２の基端部側同士を十分に近接させることができる。この結果、このプローブユニット１および基板検査装置２００によれば、プローブユニット１を正面視したときにプローブピン１１，１２の横幅（プローブピン１１，１２によって占有される幅方向のスペース）をプローブピン１１，１２の基端部側においても狭くすることができる。したがって、このプローブユニット１および基板検査装置２００によれば、例えば、基板１００の凹部１０１を構成する壁部１０４の近傍にパッド１０３が設けられている場合においても、壁部１０４にプローブピン１１，１２を接触させることなく、プローブピン１１，１２をパッド１０３に確実にプロービングさせることができる。

また、このプローブユニット１および基板検査装置２００では、各第１アーム部５１および各第２アーム部５２における各々の基端部５１ｒ，５２ｒから各々の先端部５１ｔ，５２ｔに向かう各第１アーム部５１および各第２アーム部５２の各延在方向Ａ１，Ａ２の合成方向Ｂに沿って各先端部が並ぶようにプローブピン１１，１２が配置されている。このようにプローブピン１１，１２を配置することにより、プローブユニット１を正面視したときに横方向（合成方向Ｂに直交する方向）に沿って各先端部が並ぶようにプローブピン１１，１２を配置する構成と比較して、プローブユニット１を正面視したときのプローブピン１１，１２の横幅をさらに（例えば、プローブピン１１，１２のいずれかの直径（詳しくは、太い方のプローブピンと重なった状態における細い方のプローブピンの直径、同径のときは、いずれか一方の直径）に相当する分だけ）狭くすることができる。

また、このプローブユニット１および基板検査装置２００では、各第１アーム部５１の各先端部５１ｔ側および各基端部５１ｒ側、並びに各第２アーム部５２の各先端部５２ｔ側および各基端部５２ｒ側に貫通孔Ｈがそれぞれ形成されて、各第１アーム部５１の各中間部５１ｉおよび各第２アーム部５２の各中間部５２ｉがリンクとして機能すると共に、各貫通孔Ｈの形成部位がジョイントとして機能する四節リンク機構が支持部２１によって構成される。このため、このプローブユニット１および基板検査装置２００によれば、プロービングの際に四節リンク機構によってプローブピン１１，１２における先端部の直動または近似的直動が許容される結果、プローブピン１１，１２の先端部がプロービング対象としてのパッド１０３の表面上を移動することによる傷の発生を確実に防止することができる。また、このプローブユニット１および基板検査装置２００では、プローブピン１２を挿通させる挿通部が第１貫通孔Ｈ１ｆａで構成されている、つまり第１貫通孔Ｈ１ｆａを挿通部として用いている。このため、このプローブユニット１および基板検査装置２００によれば、挿通部としての孔や切り欠きを貫通孔Ｈとは別に形成する必要がないため、第１アーム部５１や第２アーム部５２の構成をその分簡略化することができる。

なお、プローブユニットおよび基板検査装置は、上記の構成に限定されない。例えば、上記のプローブユニット１では、第１アーム部５１ａに形成された挿通部としての第１貫通孔Ｈ１ｆａにプローブピン１２を挿通させているが、挿通部を設けるアーム部と、その挿通部に挿通させるプローブピンとの組み合わせや、各第１アーム部５１および各第２アーム部５２の上下方向（プロービング方向）の配置位置は任意に変更することができる。一例として、図１３に示すように、上下方向において、第２アーム部５２ａ，５２ｂが第１アーム部５１ａ，５１ｂの間に位置するように配置し、プローブピン１２を第１アーム部５１ａの貫通孔Ｈに挿通させる構成を採用することができる。また、他の一例として、図１４に示すように、第１アーム部５１ａが第２アーム部５２ａ，５２ｂの間に位置し、第１アーム部５１ｂが第２アーム部５２ｂの上方に位置するように配置し、プローブピン１１を第２アーム部５２ａの貫通孔Ｈおよび第２アーム部５２ｂの貫通孔Ｈの双方に挿通させる構成を採用することもできる。

また、貫通孔Ｈを挿通部として用いる（挿通部を貫通孔Ｈで構成した）例について上記したが、貫通孔Ｈとは別に挿通部としての挿通孔や切り欠きを形成する構成を採用することもできる。

１ プローブユニット
１１，１２ プローブピン
２１ 支持部
３１ａ，３１ｂ 第１板体
３２ａ，３２ｂ 第２板体
３３ 保持部
４１ａ，４１ｂ 第１本体部
４２ａ，４２ｂ 第２本体部
５１ａ，５１ｂ 第１アーム部
５１ａｒ，５１ｂｒ，５２ａｒ，５２ｂｒ 基端部
５１ａｉ，５１ｂｉ，５２ａｉ，５２ｂｉ 中間部
５１ａｔ，５１ｂｔ，５２ａｔ，５２ｂｔ 先端部
５２ａ，５２ｂ 第２アーム部
１００ 基板
１０３ パッド
２０３ 測定部
２０６ 制御部
Ｈ１ｆａ，Ｈ１ｆｂ，Ｈ２ｆａ，Ｈ２ｆｂ 第１貫通孔
Ｈ２ｓａ，Ｈ２ｓｂ，Ｈ１ｓａ，Ｈ１ｓｂ 第２貫通孔

Claims (4)

1. 一対のプローブピンと、当該各プローブピンを支持する支持部とを備えたプローブユニットであって、
   前記支持部は、第１本体部および当該第１本体部から延出する帯状の第１のアーム部をそれぞれ有して前記各プローブピンをプロービング対象にプロービングさせる際のプロービングの向きに沿って互いに離間して対向する状態で配置されると共に当該各第１のアーム部の先端部に一方の前記プローブピンが固定された一対の第１板体と、第２本体部および当該第２本体部から延出する帯状の第２のアーム部をそれぞれ有して前記プロービングの向きに沿って互いに離間して対向する状態で配置されると共に当該各第２のアーム部の先端部に他方の前記プローブピンが固定された一対の第２板体と、前記各第１本体部および前記各第２本体部を保持する保持部とを備え、
   いずれかの前記アーム部には、前記プローブピンが挿通可能な挿通部が形成され、
   前記いずれかのアーム部以外の他の前記アーム部に固定されている前記プローブピンは、前記挿通部に挿通させられた状態で固定されているプローブユニット。
2. 前記各プローブピンは、前記各アーム部における各々の基端部から各々の前記先端部に向かう当該各アーム部の各延在方向の合成方向に沿って前記各プローブピンの先端部が並ぶように配置されている請求項１記載のプローブユニット。
3. 前記支持部は、前記プロービングの向きとは逆向きへの前記プローブピンの直動または近似的な直動を許容する四節リンク機構を構成し、
   前記各アーム部は、前記先端部側に第１貫通孔がそれぞれ形成されると共に前記基端部側に第２貫通孔がそれぞれ形成されて、前記各第１貫通孔と前記各第２貫通孔との間の各中間部が前記四節リンク機構を構成する各リンクとして機能すると共に、前記各第１貫通孔の形成部位および前記各第２貫通孔の形成部位が前記四節リンク機構を構成するジョイントとして機能するように構成され、
   前記挿通部は、前記第１貫通孔で構成されている請求項２記載のプローブユニット。
4. 請求項１から３のいずれかに記載のプローブユニットと、当該プローブユニットの前記各プローブピンを介して入出力する電気信号に基づいて検査対象を検査する検査部とを備えている基板検査装置。

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