JP6576176B2 - プローブユニットおよび基板検査装置 - Google Patents
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Description
11,12 プローブピン
21 支持部
31a,31b 第1板体
32a,32b 第2板体
33 保持部
41a,41b 第1本体部
42a,42b 第2本体部
51a,51b 第1アーム部
51ar,51br,52ar,52br 基端部
51ai,51bi,52ai,52bi 中間部
51at,51bt,52at,52bt 先端部
52a,52b 第2アーム部
100 基板
103 パッド
203 測定部
206 制御部
H1fa,H1fb,H2fa,H2fb 第1貫通孔
H2sa,H2sb,H1sa,H1sb 第2貫通孔
Claims (4)
- 一対のプローブピンと、当該各プローブピンを支持する支持部とを備えたプローブユニットであって、
前記支持部は、第1本体部および当該第1本体部から延出する帯状の第1のアーム部をそれぞれ有して前記各プローブピンをプロービング対象にプロービングさせる際のプロービングの向きに沿って互いに離間して対向する状態で配置されると共に当該各第1のアーム部の先端部に一方の前記プローブピンが固定された一対の第1板体と、第2本体部および当該第2本体部から延出する帯状の第2のアーム部をそれぞれ有して前記プロービングの向きに沿って互いに離間して対向する状態で配置されると共に当該各第2のアーム部の先端部に他方の前記プローブピンが固定された一対の第2板体と、前記各第1本体部および前記各第2本体部を保持する保持部とを備え、
いずれかの前記アーム部には、前記プローブピンが挿通可能な挿通部が形成され、
前記いずれかのアーム部以外の他の前記アーム部に固定されている前記プローブピンは、前記挿通部に挿通させられた状態で固定されているプローブユニット。 - 前記各プローブピンは、前記各アーム部における各々の基端部から各々の前記先端部に向かう当該各アーム部の各延在方向の合成方向に沿って前記各プローブピンの先端部が並ぶように配置されている請求項1記載のプローブユニット。
- 前記支持部は、前記プロービングの向きとは逆向きへの前記プローブピンの直動または近似的な直動を許容する四節リンク機構を構成し、
前記各アーム部は、前記先端部側に第1貫通孔がそれぞれ形成されると共に前記基端部側に第2貫通孔がそれぞれ形成されて、前記各第1貫通孔と前記各第2貫通孔との間の各中間部が前記四節リンク機構を構成する各リンクとして機能すると共に、前記各第1貫通孔の形成部位および前記各第2貫通孔の形成部位が前記四節リンク機構を構成するジョイントとして機能するように構成され、
前記挿通部は、前記第1貫通孔で構成されている請求項2記載のプローブユニット。 - 請求項1から3のいずれかに記載のプローブユニットと、当該プローブユニットの前記各プローブピンを介して入出力する電気信号に基づいて検査対象を検査する検査部とを備えている基板検査装置。
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JP2017053695A JP2017053695A (ja) | 2017-03-16 |
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JP7387285B2 (ja) * | 2019-04-26 | 2023-11-28 | 日置電機株式会社 | プローブ装置 |
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