JP6556074B2 - 基板処理装置及び基板処理方法 - Google Patents
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Description
本実施形態の基板処理装置の一例について、図1に基づき説明する。図1は本実施形態の基板処理装置の一例を示す概略構成図であり、図1(a)は処理容器にウエハボートを搬入した状態を表し、図1(b)は処理容器からウエハボートを搬出した状態を表している。
次に、処理容器4からウエハボート28を搬出する際、蓋部14に取り付けられたシール部材16が外れることを抑制することが可能な、基板処理装置の動作について、第1実施形態から第3実施形態により説明する。
第1実施形態の基板処理装置の動作について説明する。第1実施形態では、制御部90が、マニホールド10の下端の開口部10aを開放する際、蓋部14が間欠動作を行うように昇降機構30の動作を制御する。以下、図2に基づき説明する。
第2実施形態の基板処理装置の動作について説明する。第2実施形態では、制御部90が、マニホールド10の下端からシール部材16が離間した後、蓋部14が連続動作を行うように昇降機構30の動作を制御する。以下、図3に基づき説明する。
第3実施形態の基板処理装置の動作について説明する。第3実施形態では、制御部90が、蓋部14が間欠動作を行う前に、蓋部14が連続動作を行うように昇降機構30の動作を制御する。以下、図4に基づき説明する。
次に、本実施形態の基板処理装置の動作を含む基板処理方法について説明する。
10 マニホールド
10a 開口部
14 蓋部
16 シール部材
28 ウエハボート
30 昇降機構
90 制御部
Claims (18)
- 基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段を収容する処理容器と、
前記基板保持手段が載置され、前記処理容器の一端に設けられた開口部を開閉する蓋部と、
前記処理容器の一端と前記蓋部との間を密封するシール部材と、
前記蓋部を移動させる駆動機構と、
前記駆動機構の動作を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記処理容器の前記開口部を開放する際、前記蓋部が前記シール部材を介して前記処理容器の一端に密着する位置から前記蓋部に取り付けられた前記シール部材が前記処理容器の一端から離間する位置よりも下方の位置に到達するまでの間、前記蓋部が移動及び停止を交互に繰り返す間欠動作を行うように前記駆動機構の動作を制御する、
基板処理装置。 - 前記シール部材は、前記蓋部に取り付けられている、
請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、前記処理容器の一端から前記シール部材が離間した後、前記蓋部が連続して移動する連続動作を行うように前記駆動機構の動作を制御する、
請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、前記連続動作の移動速度が、前記間欠動作の移動速度よりも速くなるように前記駆動機構の動作を制御する、
請求項3に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、前記蓋部が前記間欠動作を行う前に、前記蓋部が連続して移動する連続動作を行うように前記駆動機構の動作を制御する、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記間欠動作における前記停止の時間が前記移動の時間よりも長い、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記シール部材は、Oリングである、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記間欠動作は、予め定められた周期で行われる、
請求項1乃至7のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記間欠動作における前記蓋部の移動は、定速である、
請求項1乃至8のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 処理容器内に収容された基板保持手段に保持された基板に所定の処理を行った後、シール部材を介して前記処理容器の一端に設けられた開口部を密封していた蓋部を移動させて前記開口部を開放すると共に、前記開口部から前記基板保持手段を搬出する基板処理方法であって、
前記処理容器の前記開口部を開放する際、前記蓋部が前記シール部材を介して前記処理容器の一端に密着する位置から前記蓋部に取り付けられた前記シール部材が前記処理容器の一端から離間する位置よりも下方の位置に到達するまでの間、前記蓋部が移動及び停止を交互に繰り返す間欠動作を行う、
基板処理方法。 - 前記シール部材は、前記蓋部に取り付けられている、
請求項10に記載の基板処理方法。 - 前記処理容器の一端から前記シール部材が離間した後、前記蓋部が連続して移動する連続動作を行う、
請求項11に記載の基板処理方法。 - 前記連続動作の移動速度が、前記間欠動作の移動速度よりも速い、
請求項12に記載の基板処理方法。 - 前記蓋部が前記間欠動作を行う前に、前記蓋部が連続して移動する連続動作を行う、
請求項10乃至13のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記間欠動作における前記停止の時間が前記移動の時間よりも長い、
請求項10乃至14のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記所定の処理は、前記基板を加熱する処理を含む、
請求項10乃至15のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記間欠動作は、予め定められた周期で行われる、
請求項10乃至16のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記間欠動作における前記蓋部の移動は、定速である、
請求項10乃至17のいずれか一項に記載の基板処理方法。
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