JP6555346B2 - 弾性波フィルタ装置 - Google Patents
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Description
IDT電極の電極指交差幅=15λ
電極指の対数=83対
λ=2μm。λは電極指ピッチで定まる波長。
後述するオフセット長L=2λ
IDT電極におけるデューティ=0.6
IDT電極の膜厚=0.08λ
LiTaO3膜の膜厚=0.3λ
接合材層を構成している酸化ケイ素膜の膜厚=0.35λ
ギャップ寸法G=0.5μm
2…高音速支持基板
2A…支持基板
2B…高音速膜
3…低音速膜
4…圧電膜
5,6…IDT電極
6a,6b…第1,第2のバスバー
6c,6d…第1,第2の電極指
7,8…反射器
9A〜9D…IDT電極
11…弾性波フィルタ装置
12…アンテナ端子
13…送信端子
14…受信端子
15…送信フィルタ
16…受信フィルタ
17…縦結合共振子型弾性波フィルタ
31〜39…IDT電極
P1〜P4…並列腕共振子
S1〜S5…直列腕共振子
P11,P12…並列腕共振子
S11,S12…直列腕共振子
L1〜L3…インダクタ
Claims (14)
- 圧電膜を有する弾性波フィルタ装置であって、
前記圧電膜を伝搬するメインモードの弾性波の音速よりも、伝搬するバルク波の音速が高速である高音速部材と、
圧電単結晶からなり、前記高音速部材上に直接または間接に積層された前記圧電膜と、
前記圧電膜に接するように設けられた複数のIDT電極とを備え、
入力端と、出力端と、前記入力端と前記出力端とを結ぶ直列腕と、前記直列腕とグラウンド電位とを結ぶ並列腕とを有し、
前記複数のIDT電極により、少なくとも1つの直列腕共振子と、少なくとも1つの並列腕共振子とが構成されており、
前記少なくとも1つの直列腕共振子及び前記少なくとも1つの並列腕共振子を構成している前記IDT電極が、複数本の第1の電極指と、前記第1の電極指と間挿し合っている複数本の第2の電極指とを有し、前記圧電単結晶のオイラー角(φ,θ,ψ)により規定される、前記IDT電極により励振される弾性波の伝搬方向ψに対し、前記複数本の第1の電極指の先端を結ぶ方向及び前記複数本の第2の電極指の先端を結ぶ方向が、傾斜角度νをなすように傾斜しており、
前記少なくとも1つの直列腕共振子における前記傾斜角度をν1、前記少なくとも1つの並列腕共振子における傾斜角度をν2としたとき、前記傾斜角度ν1と前記傾斜角度ν2とが異なる、弾性波フィルタ装置。 - 前記傾斜角度ν1<前記傾斜角度ν2である、請求項1に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記傾斜角度ν1が2.5°以上、15°以下である、請求項2に記載の弾性波フィルタ装置。
- すべての前記直列腕共振子における傾斜角度ν1<すべての前記並列腕共振子の傾斜角度ν2である、請求項2または3に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記傾斜角度ν1>前記傾斜角度ν2である、請求項1に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記傾斜角度ν2が、2.5°以上、9.0°以下である、請求項5に記載の弾性波フィルタ装置。
- すべての前記直列腕共振子における傾斜角度ν1>すべての前記並列腕共振子の傾斜角度ν2である、請求項5または6に記載の弾性波フィルタ装置。
- 相対的に通過帯域が高い第1の帯域通過型フィルタと、
前記第1の帯域通過型フィルタの通過帯域よりも通過帯域が低い、第2の帯域通過型フィルタとを有し、
前記第1の帯域通過型フィルタが、前記少なくとも1つの直列腕共振子及び前記少なくとも1つの並列腕共振子を有している、請求項2〜7のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。 - 相対的に通過帯域が高い第1の帯域通過型フィルタと、
前記第1の帯域通過型フィルタの通過帯域よりも通過帯域が低い、第2の帯域通過型フィルタとを有し、
前記第2の帯域通過型フィルタが、前記少なくとも1つの直列腕共振子及び前記少なくとも1つの並列腕共振子を有している、請求項2〜7のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。 - 前記第1の帯域通過型フィルタが受信フィルタであり、前記第2の帯域通過型フィルタが送信フィルタであり、デュプレクサが構成されている、請求項8または9に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記高音速部材上に積層されており、前記圧電膜を伝搬するメインモードの弾性波の音速よりも、伝搬するバルク波の音速が低速である低音速膜をさらに備え、前記高音速部材上に間接に前記圧電膜が積層されている、請求項1〜10のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記高音速部材上に直接前記圧電膜が積層されている、請求項1〜10のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 前記少なくとも1つの直列腕共振子及び前記少なくとも1つの並列腕共振子により、ラダー型フィルタが構成されている、請求項1〜12のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
- 縦結合共振子型弾性波フィルタをさらに備え、前記縦結合共振子型弾性波フィルタに、前記少なくとも1つの直列腕共振子及び前記少なくとも1つの並列腕共振子を有するラダー型フィルタが接続されている、請求項1〜12のいずれか1項に記載の弾性波フィルタ装置。
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