JP2015119244A - 弾性波フィルタ装置 - Google Patents

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通正 増田
Michimasa Masuda
通正 増田
英樹 岩本
Hideki Iwamoto
英樹 岩本
岡田　圭司
Keiji Okada
圭司 岡田
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Abstract

【課題】狭ピッチ電極指部を有する５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ装置において、フィルタ特性の急峻性を高める。
【解決手段】第１〜第５のＩＤＴ１１ａ〜１１ｅを有する弾性波フィルタ装置であって、第１の領域及び第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の総数をそれぞれＮｘ、第２の領域及び第３の領域における狭ピッチ電極指部の電極指の総数をそれぞれＮｙとしたときに、電極指の総数Ｎｘと電極指の総数Ｎｙうち電極指の総数が多い方の領域にある狭ピッチ電極指部は、電極指の総数が少ない方の領域にある狭ピッチ電極指部よりも、電極指の周期の平均値が大きくされており、第１，第３及び第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｃ，１１ｅのうち、電極指の総数が多い方の領域に含まれるＩＤＴ電極が、電極指の総数が少ない方の領域に含まれるＩＤＴ電極よりも狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が小さくされている。
【選択図】図４

Description

本発明は、例えば、携帯電話機のＲＦ段帯域フィルタなどに用いられる弾性波フィルタ装置に関し、より詳細には、第１〜第５のＩＤＴ電極を有する縦結合共振子型の弾性波フィルタ装置に関する。
帯域フィルタでは、通過帯域と阻止域との間の領域におけるフィルタ特性の急峻性を高めることが強く求められている。下記の特許文献１には、フィルタ特性の急峻性を高め得る弾性波表面波フィルタ装置が開示されている。特許文献１に記載の弾性表面波フィルタ装置では、３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部に直列または並列に弾性波共振子が接続されている。直列または並列に接続された弾性波共振子の共振周波数や***振周波数の位置をコントロールすることにより、通過帯域低域側及び通過帯域高域側におけるフィルタ特性の急峻性が高められている。
しかしながら、このような弾性波共振子の周波数特性を利用した方法では、急峻性改善効果は弾性波共振子のＱ値に依存する。ここで、弾性波共振子のＱ値は、圧電基板材料や電極材料でほぼ決定される。従って、弾性波共振子のＱ値を高めることによりフィルタ特性の急峻性をより一層高めるには、限界があった。
他方、下記の特許文献２には、平衡−不平衡変換機能を有する５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ装置が開示されている。図２７は、特許文献２に記載の弾性表面波フィルタ装置を示す模式的平面図である。弾性表面波フィルタ装置１００１は、圧電基板１００２を有する。圧電基板１００２上に、図示の電極構造が形成されている。この電極構造は、不平衡端子１００３と、第１，第２の平衡端子１００４，１００５との間に接続されている。不平衡端子１００３に、５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１０１０が接続されている。縦結合共振子型弾性波フィルタ部１０１０は、第１〜第５のＩＤＴ電極１０１１〜１０１５と、反射器１０１６，１０１７とを有する。ここでは、第１〜第５のＩＤＴ電極１０１１〜１０１５は、他のＩＤＴ電極に隣接している側の端部に、それぞれ、狭ピッチ電極指部Ｎ１０１１、Ｎ１０１２ａ、Ｎ１０１２ｂ、Ｎ１０１３ａ、Ｎ１０１３ｂ、Ｎ１０１４ａ、Ｎ１０１４ｂ及びＮ１０１５を有している。
また、縦結合共振子型弾性波フィルタ部１０１０の後段には、弾性表面波共振子１０２１，１０２２がそれぞれ接続されている。
ここでは、第１の平衡端子１００４に接続されている第１のＩＤＴ電極１０１１及び第２の平衡端子１００５に接続されている第５のＩＤＴ電極１０１５の狭ピッチ電極指部Ｎ１０１１，Ｎ１０１５と、第３のＩＤＴ電極１０１３の狭ピッチ電極指部Ｎ１０１３ａ，Ｎ１０１３ｂとにおいて、狭ピッチ電極指部における電極指の本数が多い側の狭ピッチ電極指部の電極指ピッチが、狭ピッチ電極指部における電極指の本数が少ない方の狭ピッチ電極指部の電極指ピッチよりも大きくされている。それによって、通過帯域内におけるリップルを低減することができるとされている。しかしながら、このような構成では、フィルタ特性の急峻性を十分に高めることはできなかった。
また、下記の特許文献３には、狭ピッチ電極指部を有しない５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ装置が開示されている。ここでは、中央に位置するＩＤＴ電極における電極指の本数及び電極指ピッチが、中央に位置するＩＤＴ電極の両側のＩＤＴ電極における電極指の本数及び電極指ピッチよりも小さくされている。それによって、通過帯域低域側における阻止域の減衰量を拡大し、フィルタ特性の急峻性を高めることができるとされている。
特開平４−５４０１１号公報 ＷＯ２００６／０６８０８６Ａ１ ＷＯ２００７／０８３５０３Ａ１
上記のように、特許文献１に記載の弾性表面波フィルタ装置では、フィルタ特性の急峻性を高めるのに限度があった。従って、近年求められているフィルタ特性の高い急峻性を実現することはできなかった。
他方、特許文献２に記載の縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ装置では、上記のように狭ピッチ電極指部における電極指ピッチや電極指の本数をコントロールすることにより、通過帯域内に表れるリップルの抑圧が図られているにすぎなかった。特許文献２では、フィルタ特性の急峻性を高める構成については特に言及されていない。
また、特許文献３に記載の弾性表面波フィルタ装置では、狭ピッチ電極指部を有しない縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ装置において、中央のＩＤＴ電極における電極指の本数及び電極指ピッチと、両側のＩＤＴ電極における電極指の本数及び電極指ピッチを調整することにより、フィルタ特性の急峻性を高め得る旨が示されている。しかしながら、なおフィルタ特性の急峻性は十分に高くはなく、より一層の改善が求められていた。
本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、狭ピッチ電極指部を有する５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ装置において、フィルタ特性の急峻性をより一層高めることにある。
本発明に係る弾性波フィルタ装置は、圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造を備えた積層基板と、前記積層基板上において、弾性波伝搬方向に沿って順に配置された第１〜第５のＩＤＴ電極と、前記第１〜第５のＩＤＴ電極が設けられている領域の弾性波伝搬方向両側に配置された第１，第２の反射器とを備え、前記第１〜第５のＩＤＴ電極と前記第１，第２の反射器とにより縦結合共振子型弾性波フィルタ部が構成されており、前記第１〜第５のＩＤＴ電極は、他のＩＤＴ電極に隣接している端部に、電極指の周期が残りの部分における電極指の周期よりも小さくされている狭ピッチ電極指部とを有する。ここで、前記第１のＩＤＴ電極と、前記第２のＩＤＴ電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第１のＩＤＴ電極側部分とからなる領域を第１の領域、前記第２のＩＤＴ電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第３のＩＤＴ電極側の部分と、前記第３のＩＤＴ電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第２のＩＤＴ電極側の部分とからなる領域を第２の領域、前記第３のＩＤＴ電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第４のＩＤＴ電極側の部分と、前記第４のＩＤＴ電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第３のＩＤＴ電極側の部分とからなる領域を第３の領域、前記第４のＩＤＴ電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第５のＩＤＴ電極側の部分と、前記第５のＩＤＴ電極とからなる領域を第４の領域とする。本発明では、前記第１の領域における狭ピッチ電極指部の電極指の総数及び前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の総数をそれぞれＮｘ、前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の総数及び前記第３の領域における狭ピッチ電極指部の電極指の総数をＮｙとしたときに、電極指の総数Ｎｘと電極指の総数Ｎｙとは異なっており、電極指の総数Ｎｘと電極指の総数Ｎｙのうち前記電極指の総数が多いほうの領域にある狭ピッチ電極指部は、電極指の総数が少ないほうの領域にある狭ピッチ電極指部より、電極指の周期の平均値が大きくされており、前記第１のＩＤＴ電極、前記第３のＩＤＴ電極、および前記第５のＩＤＴ電極のうち、前記電極指の総数が多いほうの領域に含まれるＩＤＴ電極が、前記電極指の総数が少ないほうの領域に含まれるＩＤＴ電極よりも、狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が小さくされている。
本発明に係る弾性波フィルタ装置の第１の特定の局面では、前記第１の領域における狭ピッチ電極指部は、前記第２の領域における狭ピッチ電極指部より電極指の総数が少なくされており、前記第３の領域における狭ピッチ電極指部は、前記第４の領域における狭ピッチ電極指部より電極指の総数が多くされている。
上記第１の特定の局面でのある実施態様では、前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている。
上記第１の特定の局面の他の実施態様では、前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている。
上記第１の特定の局面の別の実施態様では、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている。
上記第１の特定の局面のさらに他の実施態様では、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている。
本発明の第１の局面のさらに別の実施態様では、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている。
本発明の第２の特定の局面では、前記第１の領域における狭ピッチ電極指部は、前記第２の領域における狭ピッチ電極指部より電極指の総数が多くされており、前記第３の領域における狭ピッチ電極指部は、前記第４の領域における狭ピッチ電極指部より電極指の総数が少なくされている。
本発明の第２の特定の局面のある実施態様では、前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも大きくされている。
第２の特定の局面の他の実施態様では、前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも大きくされている。
本発明の第２の特定の局面の別の実施態様では、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも大きくされている。
本発明の第２の特定の局面のさらに他の特定の実施態様では、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも大きくされている。
本発明の第２の特定の局面のさらに別の実施態様によれば、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも大きくされている。
本発明によれば、第１〜第５のＩＤＴ電極を有する５ＩＤＴ型の弾性波装置において、上記電極指の総数Ｎｘと電極指の総数Ｎｙとが異なるため、通過帯域低域側におけるフィルタ特性の急峻性を効果的に高めることが可能となる。
また、上記電極指の総数Ｎｘと電極指の総数Ｎｙのうち電極指の総数が多い方の領域にある狭ピッチ電極指部は、電極指の総数が少ない方の領域にある狭ピッチ電極指部よりも電極指の周期の平均値が大きくされているため、通過帯域内におけるスパイクリップルを低減することも可能となる。
さらに、上記第１、第３及び第５のＩＤＴ電極のうち、電極指の総数が多い方の領域に含まれるＩＤＴ電極が、電極指の総数が少ない方の領域に含まれるＩＤＴ電極よりも狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が小さくされているため、通過帯域低域側におけるフィルタ特性の急峻性をより効果的に高めることが可能となる。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波フィルタ装置を示す模式的平面図である。 図２（Ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の多層基板を示す模式的平面図である。図２（Ｂ）、図２（Ｃ）は、その変形例である。 図３は、本発明において狭ピッチ電極指部の位置を特定するための５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の概略構成を示す図である。 図４は、本発明の第１の実施形態における第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の狭ピッチ電極指部の構造を説明するための模式的平面図である。 図５は、本発明の第１の実施形態及び比較例の弾性波フィルタ装置のフィルタ特性を示す図である。 図６は、５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の０次モード、２次モード及びＩＤＴ電極−ＩＤＴ電極間モードの共振点を説明するための図である。 図７は、本発明の第１の実施形態において、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数と、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数とを異ならせた場合のリップルＹ及びリップルＺの変化を示す図である。 図８は、本発明の第１の実施形態において、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期とを変化させた場合の共振モードの変化を示す図である。 図９は、本発明の第１の実施形態において、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期とを変化させた場合の共振モードの変化を示し、特に、リップルＺの変化を示す図である。 図１０は、本発明の第１の実施形態において、第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の電極指部における電極指の周期と、第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の電極指部における電極指の周期とを変化させた場合のリップルＹ及びリップルＺの変化を示す図である。 図１１は、本発明の第１の実施形態の変形例における５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の狭ピッチ電極指部の構造を説明するための模式的平面図である。 図１２は、本発明の第１の実施形態の変形例において、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数と、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数とを異ならせた場合のリップルＹ及びリップルＺの変化を示す図である。 図１３は、本発明の第１の実施形態の変形例において、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期とを変化させた場合の共振モードの変化を示す図である。 図１４は、本発明の第１の実施形態の変形例において、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期とを変化させた場合の共振モードの変化を示し、特に、リップルＺの変化を示す図である。 図１５は、本発明の第１の実施形態の変形例において、第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の電極指部における電極指の周期と、第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の電極指部における電極指の周期とを変化させた場合のリップルＹ及びリップルＺの変化を示す図である。 図１６は、本発明の第２の実施形態における第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の狭ピッチ電極指部の構造を説明するための模式的平面図である。 図１７は、本発明の第２の実施形態及び比較例の弾性波フィルタ装置のフィルタ特性を示す図である。 図１８は、本発明の第２の実施形態において、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数と、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数とを異ならせた場合のリップルＹ及びリップルＺの変化を示す図である。 図１９は、本発明の第２の実施形態において、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期とを変化させた場合の共振モードの変化を示す図である。 図２０は、本発明の第２の実施形態において、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期とを変化させた場合の共振モードの変化を示し、特に、リップルＺの変化を示す図である。 図２１は、本発明の第２の実施形態において、第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期と、第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期とを変化させた場合のリップルＹ及びリップルＺの変化を示す図である。 図２２は、本発明の第２の実施形態の変形例における５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の狭ピッチ電極指部の構造を説明するための模式的平面図である。 図２３は、本発明の第２の実施形態の変形例において、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数と、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数とを異ならせた場合のリップルＹ及びリップルＺの変化を示す図である。 図２４は、本発明の第２の実施形態の変形例において、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期とを変化させた場合の共振モードの変化を示す図である。 図２５は、本発明の第２の実施形態の変形例において、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期とを変化させた場合の共振モードの変化を示し、特に、リップルＺの変化を示す図である。 図２６は、本発明の第２の実施形態の変形例において、第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期と、第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期とを変化させた場合のリップルＹ及びリップルＺの変化を示す図である。 図２７は、従来の弾性波フィルタ装置の一例を説明するための模式的平面図である。 図２８は、本発明の第３の実施形態における第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の狭ピッチ電極指部の構造を説明するための模式的平面図である。 図２９は、本発明の第３の実施形態及び比較例の弾性波フィルタ装置のフィルタ特性を示す図である。 図３０は、本発明の第３の実施形態の変形例における第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部の狭ピッチ電極指部の構造を説明するための模式的平面図である。
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
〔本発明の第１の実施形態に係る弾性波フィルタ装置〕
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波フィルタ装置を示す模式的平面図である。図２は、第１の実施形態に係る弾性波フィルタ装置の積層基板を示す断面図である。
本実施形態の弾性波フィルタ装置１は、圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造を備えた積層基板２を有する。積層基板２上に図示の電極構造が形成されており、それによって、平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ装置が構成されている。
本実施形態の弾性波フィルタ装置１は、携帯電話機のＵＭＴＳ−Ｂａｎｄ２の受信側フィルタとし用いられるものである。ＵＭＴＳ−Ｂａｎｄ２の送信周波数帯域は１．８５０〜１．９１０ＧＨｚであり、受信側周波数帯域は、１．９３０〜１．９９０ＧＨｚである。
弾性波フィルタ装置１は、不平衡端子３と、第１，第２の平衡端子４，５とを有する。不平衡端子３側のインピーダンスは５０Ωであり、第１，第２の平衡端子４，５側のインピーダンスは１００Ωである。すなわち、弾性波フィルタ装置１は、平衡−不平衡変換機能だけでなく、インピーダンス変換機能をも有している。
上述のとおり、本発明の弾性波フィルタ装置は、圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造からなる積層基板を備え、その基板上にＩＤＴ電極が形成された構造からなる。
図２に、第１の実施形態に係る弾性波フィルタ装置１の積層基板２を示す。
積層基板２は、支持基板２１を有する。支持基板２１上に、音速が相対的に高い高音速膜２２が積層されている。高音速膜２２上に、音速が相対的に低い低音速膜２３が積層されている。また、低音速膜２３上に圧電膜２４が積層されている。この圧電膜２４の上面にＩＤＴ電極１１ａ〜１１ｅ、反射器１１ｆ、１１ｇが積層されている。なお、圧電膜５４の下面にＩＤＴ電極１１ａ〜１１ｅ、反射器１１ｆ、１１ｇが積層されていてもよい。
上記積層基板２は、高音速膜２２、低音速膜２３、圧電膜２４及びＩＤＴ電極１１ａ〜１１ｅ、反射器１１ｆ、１１ｇを有する積層構造を支持し得る限り、適宜の材料により構成することができる。このような材料としては、サファイア、リチウムタンタレート、リチュウムニオベイト、水晶等の圧電体、アルミナ、マグネシア、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト等の各種セラミック、ガラス等の誘電体またはシリコン、窒化ガリウム等の半導体及び樹脂基板等を用いることができる。本実施形態では、支持基板２１は、ガラスからなる。
上記高音速膜２２は、弾性表面波を圧電膜２４及び低音速膜２３が積層されている部分に閉じ込め、高音速膜２２より下の構造に漏れないように機能する。本実施形態では、高音速膜２２は、窒化アルミニウムからなる。もっとも、上記弾性波を閉じ込め得る限り、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、ＤＬＣ膜またはダイヤモンド、前記材料を主成分とする媒質、前記材料の混合物を主成分とする媒質等のさまざまな高音速材料を用いることができる。弾性表面波を圧電膜２４及び低音速膜２３が積層されている部分に閉じ込めるには、高音速膜２２の膜厚は厚いほど望ましく、弾性表面波の波長のλの０．５倍以上、さらには１．５倍以上であることが望ましい。
なお、本明細書において、高音速膜とは、圧電膜２４を伝搬する表面波や境界波の弾性波よりも、該高音速膜中のバルク波の音速が高速となる膜を言うものとする。また、低音速膜とは、圧電膜２４を伝搬するバルク波よりも、該低音速膜中のバルク波の音速が低速となる膜を言うものとする。また、ある構造上のＩＤＴ電極からは様々な音速の異なるモードの弾性波が励振されることになるが、圧電膜２４を伝搬する弾性波とは、フィルタや共振子の特性を得るために利用する特定のモードの弾性波を示す。上記バルク波の音速を決定するバルク波のモードは、圧電膜２４を伝搬する弾性波の使用モードに応じて定義される。高音速膜２２及び低音速膜２３がバルク波の伝搬方向に関し等方性の場合には、下記の表１に示すようになる。すなわち、下記の表１の左軸の弾性波の主モードに対し下記の表１の右軸のバルク波のモードにより、上記高音速及び低音速を決定する。Ｐ波は縦波であり、Ｓ波は横波である。
なお、下記の表１において、Ｕ１はＰ波を主成分とし、Ｕ２はＳＨ波を主成分とし、Ｕ３はＳＶ波を主成分とする弾性波を意味する。
Figure 2015119244
 上記低音速膜２３を構成する材料としては圧電膜２４を伝搬するバルク波よりも低音速のバルク波音速を有する適宜の材料を用いることができる。このような材料としては、酸化ケイ素、ガラス、酸窒化ケイ素、酸化タンタル、また、酸化ケイ素にフッ素や炭素やホウ素を加えた化合物など、前記材料を主成分とした媒質を用いることができる。
上記低音速膜及び高音速膜は、上記のように決定される高音速及び低音速を実現し得る適宜の誘電体材料からなる。
圧電膜２４は、本実施形態では、３８．５°ＹカットのＬｉＴａＯ3すなわちオイラー角で（０°，１２８．５°、０°）のＬｉＴａＯ3からなり、膜厚は、ＩＤＴ電極１１ａ〜１１ｅの電極周期で定まる弾性表面波の波長をλとすると、０．２５λである。もっとも、圧電膜２４は、他のカット角のＬｉＴａＯ3、例えば５０°ＹカットのＬｉＴａＯ3等により形成してもよく、あるいはＬｉＴａＯ3以外の圧電単結晶により形成してもよい。
本発明では、上記高音速膜２２と、圧電膜２４との間に上記低音速膜２３が配置されているため、弾性波の音速が低下する。弾性波は本質的に低音速な媒質にエネルギーが集中する。従って、圧電膜２４内及び弾性波が励振されているＩＤＴ電極内への弾性波エネルギーの閉じ込め効果を高めることができる。そのため、低音速膜２３が設けられていない場合に比べて、本実施形態によれば、損失を低減し、Ｑ値を高めることができる。また、高音速膜２２は、弾性波を圧電膜２４及び低音速膜２３が積層されている部分に閉じ込め、高音速膜２２より下の構造に漏れないように機能している。即ち、本願の構造では、フィルタや共振子の特性を得るために利用する特定のモードの弾性波のエネルギーは圧電膜２４及び低音速膜２３の全体に分布し、高音速膜２２の低音速膜側の一部にも分布し、積層基板２には分布しないことになる。高音速膜により弾性波を閉じ込めるメカニズ
ムは非漏洩なＳＨ波であるラブ波型の表面波の場合と同様のメカニズムである。
図２（Ａ）では、圧電膜２４／低音速膜２３／高音速膜２２／支持基板２１、の積層構造で構成された積層基板を示したが、図２（Ｂ）に示すように、媒質層２５が、支持基板２１と高音速膜２２との間に積層されていてもよい。その他の構成は、第１の実施形態と同様である。従って、第１の実施形態の説明を援用することとする。従って、上から順に、ＩＤＴ電極、圧電膜２４、低音速膜２３、高音速膜２２、媒質層２５及び支持基板２１がこの順序で積層されている。
媒質層１５としては、誘電体、圧電体、半導体または金属などのいずれの材料を用いてもよい。その場合であっても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。もっとも、媒質層２５が金属からなる場合には、比帯域を小さくすることができる。従って、比帯域が小さい用途では、媒質層２５が金属からなることが好ましい。
また、図２（Ｃ）に示すように、支持基板２１と高音速膜２２との間に、媒質層２５及び媒質層２６が積層されていてもよい。すなわち、上から順に、ＩＤＴ電極、圧電膜２４、低音速膜２３、高音速膜２２、媒質層２５、媒質層２６及び支持基板２１がこの順序で積層されている。媒質層２５及び媒質層２６以外は、第１の実施形態と同様に構成されている。
媒質層２５，２６は、誘電体、圧電体、半導体または金属などのいずれの材料を用いてもよい。その場合であっても、第１の実施形態の弾性表面波装置と同様の効果を得ることができる。
本実施形態では、圧電膜２４、低音速膜２３、高音速膜２２及び媒質層２５からなる積層構造と、媒質層２６及び支持基板２１からなる積層構造を別々に作製した後、両積層構造を接合する。しかる後、ＩＤＴ電極を圧電膜２４上に形成する。それによって、各積層構造を作製する際の製造上の制約条件に依存せずに、本実施形態の弾性表面波装置を得ることができる。従って、各層を構成する材料の選択の自由度を高めることができる。
なお、上記２つの積層構造の接合に際しては、任意の接合方法を用いることができる。このような接合構造としては、親水化接合、活性化接合、原子拡散接合、金属拡散接合、陽極接合、樹脂やＳＯＧによる接合などの様々な方法を用いることができる。
上記のような構造からなる積層基板２上に形成されている電極構造は、本実施形態では、Ａｌからなるが、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｗ、Ｔａなどの様々な金属もしくは合金により形成され得る。またこれらの電極構造は、単一の金属膜により形成されていてもよく、複数の金属膜を積層してなる積層金属膜により形成されていてもよい。
再び、図１を参照して説明する。
不平衡端子３と、第１の平衡端子４との間には、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１が接続されている。また、不平衡端子３と第２の平衡端子５との間には、５ＩＤＴ型の第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１２が接続されている。
第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１と不平衡端子３との間には、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１に直列に弾性波共振子１３が接続されている。弾性波共振子１３は、直列トラップを形成するために設けられている。
第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１の出力側の第１の平衡端子４との間の接続点とグラウンド電位との間には、並列トラップを形成するために弾性波共振子１４が接続されている。
第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１２と不平衡端子３との間には、第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１２に直列に弾性波共振子１５が接続されている。弾性波共振子１５は、直列トラップを形成するために設けられている。
第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１２の出力側の第２の平衡端子５との間の接続点とグラウンド電位との間には、並列トラップを形成するために弾性波共振子１６が接続されている。
第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１は、弾性波伝搬方向に沿って、順に配置された第１〜第５のＩＤＴ電極１１ａ〜１１ｅを有する。ＩＤＴ電極１１ａ〜１１ｅが設けられている領域の弾性波伝搬方向における両側には、第１，第２の反射器１１ｆ，１１ｇが形成されている。
第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１２も、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１と同様に、第１〜第５のＩＤＴ電極１２ａ〜１２ｅと、第１，第２の反射器１２ｆ，１２ｇとを有する。もっとも、第１の平衡端子４から取り出される信号と第２の平衡端子５から取り出される信号の位相が１８０度異なるように、第１〜第５のＩＤＴ電極１１ａ〜１１ｅと、第１〜第５のＩＤＴ電極１２ａ〜１２ｅとが構成されている。具体的には、第２，第４のＩＤＴ電極１１ｂ，１１ｄの位相に対し、第２，第４の１２ｂ，１２ｅの位相が反転されており、それによって、第１，第２の平衡端子４，５から取り出される信号の位相が１８０度異ならされている。
第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１では、第１，第３，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｃ，１１ｅの各一端が共通接続され、弾性波共振子１３を介して不平衡端子３に接続されている。第１，第３及び第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｃ，１１ｅの各他端はグラウンド電位に接続されている。
第２，第４のＩＤＴ電極１１ｂ，１１ｄの各一端がグラウンド電位に接続されており、各他端が共通接続され、第１の平衡端子４に接続されている。
第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１２側も同様に構成されており、第１，第３及び第５のＩＤＴ電極１２ａ，１２ｃ，１２ｅの各一端が共通接続され、直列トラップを形成するための弾性波共振子１５を介して不平衡端子３に接続されている。ＩＤＴ電極１２ａ，１２ｃ及び１２ｅの各他端はグラウンド電位に接続されている。
第２及び第４のＩＤＴ電極１２ｂ，１２ｄの各一端はグラウンド電位に接続されており、他端同士が共通接続され、第２の平衡端子５に接続されている。
上記弾性波共振子１３〜１６は、いずれも１ポート型弾性波共振子であり、ＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向における両側に配置された第１，第２の反射器とを有する。
弾性波共振子１３〜１６は、通過帯域外における減衰量を拡大するために設けられている。より詳細には、弾性波共振子１３，１５の共振給周波数が、弾性波フィルタ装置１の通過帯域内に位置されており、***振周波数は通過帯域高域側端部近傍の減衰域に配置されている。それによって、通過帯域高域側の減衰域における減衰量の拡大が図られている。
他方、弾性波共振子１４，１６の共振周波数が通過帯域の低周波側端部近傍の減衰域に配置されており、***振周波数は通過帯域内に配置されている。従って、弾性波フィルタ装置１の通過帯域よりも低周波側の減衰域において、減衰量が拡大される。
本実施形態の弾性波フィルタ装置１の特徴は、第１，第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１，１２の第１〜第５のＩＤＴ電極１１ａ〜１１ｅ，１２ａ〜１２ｅの構造にある。これを、図３〜図１０を参照して説明する。
なお、図１では、第１，第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１，１２の第１〜第５のＩＤＴ電極１１ａ〜１１ｅ及び１２ａ〜１２ｅにおける電極指間のピッチは全て等しいように図示されているが、本実施形態の弾性波フィルタ装置では、実際には、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１は、図４に示す構造を有する。
図４に示すように、第１〜第５のＩＤＴ電極１１ａ〜１１ｅは、ＩＤＴ電極同士が隣り合っている端部に、相対的に電極指ピッチが残りの部分よりも狭い狭ピッチ電極指部を有する。これをより詳細に説明するために、このような狭ピッチ電極指部が設けられていない仮想の５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１０を図３に示し、図３に示す仮想の５ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１０を基に図４の構造を説明する。
図３では、狭ピッチ電極指部が設けられている位置を特定するために、第１〜第５のＩＤＴ電極１０ａ〜１０ｅにおける狭ピッチ電極指部が設けられ得る端部をそれぞれＡ〜Ｄ部分としている。具体的には、第１のＩＤＴ電極の第２のＩＤＴ電極側の端部をＡ部分としている。同様に、第５のＩＤＴ電極１０ｅの第４のＩＤＴ電極１０ｄ側の端部近傍部分をＡ部分としている。第２，第４のＩＤＴ電極１０ｂ，１０ｄの外側端部すなわち第１，第５のＩＤＴ電極１０ａまたは１０ｅに隣接する端部をＢ部分としている。第２，第４のＩＤＴ電極１０ｂ，１０ｄの内側端部すなわち第３のＩＤＴ電極１０ｃに隣接する側の端部をそれぞれＣ部分としている。そして、中央に位置する第３のＩＤＴ電極の両側の端部近傍部分をＤ部分としている。
本実施形態では、図４に示すように、上記Ａ部分〜Ｄ部分に狭ピッチ電極指部が設けられている。以下の説明において、Ａ部分、Ｂ部分、Ｃ部分及びＤ部分のそれぞれに設けられた狭ピッチ電極指部を、それぞれ狭ピッチ電極指部Ａ、狭ピッチ電極指部Ｂ、狭ピッチ電極指部Ｃ及び狭ピッチ電極指部Ｄとする。
なお、本明細書において、狭ピッチ電極指部とは、狭ピッチ電極指部以外のＩＤＴ電極内の残りの電極指部のピッチに対して電極指間ピッチが相対的に狭い電極指部をいうものとする。
図４に示されているように、狭ピッチ電極指部はＩＤＴ電極同士が隣り合っている部分に設けられており、両側にＩＤＴ電極が位置する第２，第４のＩＤＴ電極１１ｂ，１１ｄや第３のＩＤＴ電極１１ｃでは、ＩＤＴ電極の両端部に狭ピッチ電極指部が設けられている。
本実施形態の特徴は、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１において、第２のＩＤＴ電極１１ｂ及び第４のＩＤＴ電極１１ｄの第１または第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅ側の端部の狭ピッチ電極指部、すなわち狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数が、第２，第４のＩＤＴ電極１１ｂ及び１１ｄの第３のＩＤＴ電極１１ｃ側の狭ピッチ電極指部すなわち狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数よりも少なくされており、かつ狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期が、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも小さくされており、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、第１及び第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされていることにある。第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１２も第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１と同様に構成されている。それによって、弾性波フィルタ装置１では、通過帯域低域側におけるフィルタ特性の急峻性が効果的に高められる。これを、図５〜図９を参照して説明する。図５は、本実施形態の弾性波フィルタ装置のフィルタ特性を示す図であり、実線が本実施形態の結果を示し、破線は比較例として用意した弾性波フィルタ装置のフィルタ特性を示す図である。上記実施形態及び比較例における電極構造の詳細は以下の通りである。
〜第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１の仕様〜
なお、以下において、ＩＤＴ電極の電極指のピッチで定まる波長をλＩとする。
電極指交差幅＝１５．２λＩ
第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅ：電極指の本数各４０本、但し、４０本の内５本が狭ピッチ電極指部Ａの電極指
第３のＩＤＴ電極１１ｃ：電極指の本数７９本、但し、両端にそれぞれ５本の電極指を有する狭ピッチ電極指部Ｄが設けられている。
第２，第４のＩＤＴ電極１１ｂ，１１ｄ：電極指の本数４３本、但し、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数が３本であり、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数が７本であり、残りの部分における電極指の本数が各３３本とされている。
第１，第２の反射器１１ｆ，１１ｇにおける電極指の本数：各６５本
メタライゼーションレシオ：０．６８
電極膜厚：０．０９１λＩ
また、第２，第４のＩＤＴ電極１１ｂ，１１ｄの狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期は、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも０．１３μｍ小さくされている。
第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部Ｄ以外の部分における電極指の周期は、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ、１１ｅの狭ピッチ電極指部Ａ以外の部分における電極指の周期よりも０．０１μｍ小さくされている。
狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期は、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも０．１３μｍ小さくされている。
〜第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１２の仕様〜
第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１２は、前述したように、一部のＩＤＴ電極の位相が反転されていることを除いては、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１と同様に構成されている。
〜弾性波共振子１３，１５の仕様〜
なお、以下において、ＩＤＴ電極の電極指のピッチで定まる波長をλIIとする。
電極指交差幅：１１．０λII
ＩＤＴ電極における電極指の本数：７１本
反射器における電極指の本数：各１８本
メタライゼーションレシオ：０．６０
電極膜厚：０．０９５λII
〜弾性波共振子１４，１６の仕様〜
なお、以下において、ＩＤＴ電極の電極指のピッチで定まる波長をλIIIとする。
電極指交差幅：１５．０λIII
ＩＤＴ電極における電極指の本数：１１１本
反射器における電極指の本数：１８本
メタライゼーションレシオ：０．６０
電極膜厚：０．０９１λIII
なお、比較例として、狭ピッチ電極指部Ｄ及び狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数がいずれも４本とされており、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｃの周期とが同一とされていることを除いては、上記実施形態と同様にして構成された弾性波フィルタ装置を用意した。
図５から明らかなように、本実施形態によれば、比較例に対し、通過帯域である１．９３０〜１．９９０ＧＨｚの低域側端部近傍における急峻性が高められていることがわかる。すなわち、１．９３０ＧＨｚ近傍の阻止域、より具体的には、１．９００〜１．９３０ＧＨｚの周波数帯域において、急峻性が高められ、フィルタ特性のスルーレベルに対し、損失が３．５ｄＢから４７．０ｄＢに至る周波数間隔が、実施形態によれば、比較例に比べて２．５ＭＨｚ狭くなっている。この周波数間隔が狭くなると、製造ばらつきによる周波数ばらつきに対する交差が大きくなる。さらに、周囲温度が変化したとしても、挿入損失や減衰量の劣化が小さい弾性波フィルタ装置１を提供することができる。
上記のように、本実施形態において、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数及び電極指の周期を、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数及び周期よりも少なくまたは小さくしたことにより、上記のように通過帯域低域側近傍のフィルタ特性の急峻性が高められる理由を説明する。
図６は、上記比較例の弾性波フィルタ装置１において、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部のみの電気的特性を示し、１Ωに終端し、特性インピーダンスを除去して、共振モードの共振点を表わしたものである。図６において、Ｘ１が０次モード、Ｘ２が２次モード、及びＸ３がＩＤＴ電極−ＩＤＴ電極間に弾性波のエネルギー分布のピークを有する共振モードすなわちＩＤＴ電極−ＩＤＴ電極間モードの共振特性が表われている部分である。２次モードの共振点は、通過帯域外に配置され、通過帯域の形成には寄与していない。すなわち、５ＩＤＴ型の上記縦結合共振子型弾性波フィルタ部では、０次モードの共振点と、ＩＤＴ電極−ＩＤＴ電極間モードの共振点とにより通過帯域を形成している。
この比較例に対し、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数と、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数とを異ならせた場合の上記共振モードの変化を図７に示す。図７において、実線は上記比較例と同様に、狭ピッチ電極指部Ｂ及び狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数がいずれも４本である場合の結果を示す。他方、破線は狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数が３本であり、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数が５本の場合の結果を示す。一点鎖線は、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数が３本であり、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数が７本である場合の結果を示す。狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数と、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数との差が大きくなるに従って、通過帯域低域側端部近傍において大きなリップルＹが発生することがわかる。リップルＹは、０次モードの共振点と、２次モードの共振点の間に発生する。従って、設計パラメータを調整し、リップルＹの周波数位置を調整することにより、リップルＹを通過帯域低域側のスロープ部分に位置させることができる。すなわち、リップルＹを利用して、通過帯域低域側におけるフィルタ特性の急峻性を高めることができる。
もっとも、同時に、０次モードの共振点と、ＩＤＴ電極−ＩＤＴ電極間モードの共振点との間にもリップルＺが発生している。リップルＺが発生すると、通過帯域内に大きなスパイク状リップルが表われることとなる。従って、リップルＺを低減することが求められる。
そこで、リップルＺを低減する手法について検討した結果、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期と異ならせることが有効であることを見出した。
図８は、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｃの周期とを異ならせた場合の共振モードの変化を示す図である。
図８において、実線は、狭ピッチ電極指部Ｂの周期と、狭ピッチ電極指部Ｃの狭ピッチ電極指部とが同じである場合の結果を示し、破線は狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期が、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも０．０４μｍ小さくされている場合の結果を示し、一点鎖線は、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期が狭ピッチ電極指部Ｃに比べて０．０８μｍ小さくされている場合の結果を示す。
図８から明らかなように、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を、狭ピッチ電極指部Ｃの周期よりも小さくすることにより、リップルＺを低減し得ることがわかる。特に、両者の電極指の周期の差を大きくすることにより、リップルＺをより一層小さくし得ることがわかる。
なお、図８では、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期に対して小さくしたが、逆に、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期に対して大きくすると、リップルＺは大きくなってしまう。すなわち、狭ピッチ電極指部Ｂ及び狭ピッチ電極指部Ｃの内、狭ピッチ電極指部における電極指の本数を小さくした側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期を相対的に小さくすることにより、リップルＺを低減しつつ、リップルＹを利用してフィルタ特性の急峻性を効果的に高めることができる。
従って、上記実施形態とは逆に、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数が、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数よりも多くされている場合には、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも大きくすればよく、この場合においても、上記実施形態と同様の効果が得られる。
また、上記狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期と狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期とが等しくとも、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期を異ならせることにより、同様の効果を得ることができる。これを図９を参照して説明する。
図９は、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期に対して異ならせた場合のリップルＹの変化を示す図である。ここでは、狭ピッチ電極指部Ｂ及び狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期及びピッチは等しくされている。
図９において実線は、狭ピッチ電極指部Ａ及び狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期が同じである場合の結果を示し、破線は、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期に比べて、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期を０．０４μｍ小さくした場合の結果を、一点破線は狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｄに比べて０．０８μｍ小さくした場合の結果を示す。図９から明らかなように、狭ピッチ電極指部Ｄに比べて、狭ピッチ電極指部Ａの周期を小さくしていくにつれて、すなわち周期の差を大きくするにつれ、リップルＺがより一層小さくなることがわかる。
図９では、狭ピッチ電極指部Ｄに対し、狭ピッチ電極指部Ａの周期を小さくしたが、逆に、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｄに対して相対的に大きくすると、リップルＺが大きくなってしまう。すなわち、狭ピッチ電極指部Ａと狭ピッチ電極指部Ｄとのうち、狭ピッチ電極指部Ｂと狭ピッチ電極指部Ｃとのうちの電極指の本数が少ない方と対向する方の部分における電極指の周期を小さくすることが必要である。
図８及び図９から明らかなように、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも小さくするか、または狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期を、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期よりも小さくすることにより、リップルＺを低減し得るものの、この場合は、リップルＹも小さくなる傾向にある。リップルＹが小さくなると、通過帯域低域側の急峻性を改善する効果が小さくなる。
そこで、さらに検討した結果、リップルＹを大きくするには、第１、第３及び第５のＩＤＴ電極１１ａ、１１ｃ、１１ｅの狭ピッチ電極指部以外の残りの電極指部すなわちフィルタの周波数を決定するメインの電極指部における電極指の周期を調整することが効果的であることを見出した。
図１０は、第１のＩＤＴ電極１１ａ及び第５のＩＤＴ電極１１ｅにおける電極指の周期と、第３のＩＤＴ電極１１ｃにおける電極指の周期を異ならせた場合のリップルＹ及びリップルＺの変化を示す図である。より具体的には、図１０において、実線は第３のＩＤＴ電極１１ｃと第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ、１１ｅの狭ピッチ電極指部以外の部分（メインの電極指部）における電極指の周期が等しい場合の結果を示し、破線は、中央のＩＤＴ電極である第３のＩＤＴ電極１１ｃにおける電極指の周期を第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅにおける電極指の周期よりも０．０３μｍ小さくした場合の結果を、一点鎖線は、中央の第３のＩＤＴ電極１１ｃにおける電極指の周期を第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅのメインの電極指部における電極指の周期よりも０．０６μｍ小さくした場合の結果を示す。
図１０から明らかなように、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅと、第３のＩＤＴ電極１１ｃにおける電極指の周期の差が大きくなるにつれて、リップルＹが大きくなっていくことがわかる。この場合、リップルＺはほとんど変化しない。従って、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期を、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期と異ならせることが望ましいことがわかる。
なお、図１０では、第１及び第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅに対し、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期を相対的に小さくしたが、逆に、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期を相対的に大きくした場合には、リップルＹが小さくなってしまう。すなわち、リップルＹを大きくするためには、狭ピッチ電極指部Ｂ及び狭ピッチ電極指部Ｃのうちの電極指の本数が少ない方の部分と対向するＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外のメインの電極指部における電極指の周期を相対的に大きくすることが必要である。従って、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数が狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数よりも多い場合には、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ、１１ｅの狭ピッチ電極指部以外のメインの電極指部における電極指の周期を、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部以外のメインの電極指部における電極指の周期よりも小さくすることが望ましい。
次に、上記実施形態の変形例を図１１〜図１５を参照して説明する。図１１は、上記実施形態の変形例に係る弾性波フィルタ装置における第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１の狭ピッチ電極指部の構造を説明するための模式的平面図である。
本変形例では、上記実施形態と狭ピッチ電極指部における電極指の本数及び周期の関係が逆とされている。すなわち、図１１に示すように、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数が狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数よりも多くされており、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期は、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも大きくされている。そして、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている。それによって、上記実施形態と同様にリップルＹを大きくしてフィルタ特性の低域側における急峻性を高めることができ、しかも、リップルＺを低減することができる。これを、図１２〜図１５に示す。
図１２は、狭ピッチ電極指部Ｂ、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数を異ならせた場合のリップルＹ及びリップルＺの変化を示す図である。図１２において、実線が狭ピッチ電極指部Ｂ及び狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数がいずれも４本とされている場合の結果を、破線が狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数を５本、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数を３本とした場合の結果を示し、一点鎖線は、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数を７本、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数を３本とした場合の結果を示す。
図１２から明らかなように、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数を狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数に対して相対的に多くしていくほど、リップルＹを大きくし得ることがわかる。
もっとも、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数を狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数に対して相対的に多くしていくほどリップルＺも大きくなっている。
図１３は、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期とリップルＹ及びリップルＺの関係を示す図である。図１３において、実線が、狭ピッチ電極指部Ｂ及び狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期が同一である場合の結果を示し、破線が狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を、相対的に０．０４μｍ広くした場合の結果を示し、一点鎖線は、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を相対的に０．０８μｍ大きくした場合の結果を示す。
図１３から明らかなように、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を相対的に大きくしていくに従って、所望でないリップルＺを小さくすることができ、その場合リップルＹの大きさはさほど変化していないことがわかる。
図１４は、本変形例において、狭ピッチ電極指部Ａ及び狭ピッチ電極指部Ｄの電極指のピッチを変化した場合のリップルＺの変化を示す図であり、実線は狭ピッチ電極指部Ａ及び狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期が同じである場合の結果を示し、破線は狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期が狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期に対して相対的に０．０４μｍ大きい場合の結果を示し、一点鎖線は、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期が狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期に対して相対的に０．０８μｍ大きい場合の結果を示す。
図１４から明らかなように、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期を大きくしていくにつれて、すなわち狭ピッチ電極指部における電極指の本数が狭ピッチ電極指部Ｃに比べて相対的に多い狭ピッチ電極指部Ｂに対向している狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期を、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期よりも大きくすることにより、リップルＺを小さくしていくことができることがわかる。
図１５は、本変形例において、第３のＩＤＴ電極１１ｃと、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅとの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期とリップルＹとの関係を示す図である。
図１５において、第３のＩＤＴ電極１１ｃと、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期を全て等しくした場合の結果を示し、破線は、第３のＩＤＴ電極１１ｃにおける電極指の周期を相対的に０．０３μｍ大きくした場合の結果を示し、一点鎖線は、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期を相対的に０．０６μｍ大きくした場合の結果を示す。
図１５から明らかなように、図１０の場合と同様に、狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期を第１のＩＤＴ電極１１ａ及び第５のＩＤＴ電極１１ｅと、第３のＩＤＴ電極１１ｃとで異ならせることにより、リップルＹの大きさもコントロールし得ることがわかる。この場合においても、狭ピッチ電極指部における電極指の本数が相対的に大きい狭ピッチ電極指部Ｂに対向している部分側の第１，第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期を、狭ピッチ電極指部における電極指の本数が相対的に少ない狭ピッチ電極指部Ｃに対向している第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくすることにより、リップルＹを大きくし得ることがわかる。それによって、フィルタ特性の急峻性を効果的に高めることができる。
なお、上記変形例では、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも大きく設定する例について説明したが、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも大きくする代わりに、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期よりも大きく設定してもよい。
なお、本発明では、狭ピッチ電極指部における電極指の周期が一定である場合について説明した。但し、狭ピッチ電極指部における電極指の周期は必ずしも一定でなくてもよい。例えば、狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、特表２００２−５２８９８７号公報に記載のように徐々に変化していてもよいし、特開２００３−２４３９６５号公報に記載のように、狭ピッチ電極指部に、電極指の周期が異なる部分が複数設けられていてもよい。このように、狭ピッチ電極指部における電極指の周期が一定ではない場合は、狭ピッチ電極指部における電極指の周期の平均値が上記実施形態において説明した大小関係を満足していれば、本発明の効果が得られる。すなわち、本発明において、狭ピッチ電極指部における電極指の周期とは、狭ピッチ電極指部における電極指の周期が一定ではない場合は、狭ピッチ電極指部における電極指の周期の平均値を意味する。
また、上記実施形態及び変形例では、弾性表面波を利用した弾性表面波フィルタ装置につき説明したが、本発明は、電極構造に特徴を有するものであるため、弾性表面波だけでなく、弾性境界波を利用した弾性境界波フィルタ装置にも同様に適用することができ、同様にフィルタ特性の急峻性を高めることができる。
〔本発明の第２の実施形態に係る弾性波フィルタ装置〕
以下に、本発明の第２の実施形態について説明する。なお、第２の実施形態も第１の実施形態と同じく、図１に示した構造を有しているので、第１の実施形態と共通する部分は、同一符号を使用することで、説明を省略する。
図１６に示すように、本実施形態の特徴は、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１において、第１及び第５のＩＤＴ電極１１ａ、１１ｅの端部に設けられた狭ピッチ電極指部、すなわち狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数が、第３のＩＤＴ電極１１ｃの両端部に設けられた狭ピッチ電極指部、すなわち、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数よりも少なく、第２及び第４のＩＤＴ電極１１ｂ、１１ｄの第１及び第５のＩＤＴ電極１１ａ、１１ｅ側の端部に設けられた狭ピッチ電極指部、すなわち、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期が、第２及び第４のＩＤＴ電極１１ｂ、１１ｄの第３のＩＤＴ電極１１ｃ側の端部に設けられた狭ピッチ電極指部、すなわち、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも小さく、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部Ｂ，Ｃ以外の部分における電極指の周期が、第１及び第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部Ａ以外の部分における電極指の周期よりも小さいことにある。第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１２も第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１と同様に構成されている。これにより、弾性波フィルタ装置１では、通過帯域低域側におけるフィルタ特性の急峻性が効果的に高められる。これを、図１７〜図２０を参照して説明する。
図１７は、本実施形態の弾性波フィルタ装置のフィルタ特性を示す図であり、実線が本実施形態の結果を示し、一点破線は比較例として用意した弾性波フィルタ装置のフィルタ特性を示す図である。上記実施形態及び比較例における電極構造の詳細は以下の通りである。なお、以下において、ＩＤＴ電極の電極指の周期で定まる波長をλＩとする。
〜第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１の仕様〜
電極指交差幅＝１４．９λＩ
第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅ：電極指の本数各３７本、但し、３７本の内３本が狭ピッチ電極指部Ａの電極指
第３のＩＤＴ電極１１ｃ：電極指の本数８５本、但し、両端にそれぞれ７本の電極指を有する狭ピッチ電極指部Ｄが設けられている。
第２，第４のＩＤＴ電極１１ｂ，１１ｄ：電極指の本数４１本、但し、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数が４本であり、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数が４本であり、残りの部分における電極指の本数が３３本とされている。
第１，第２の反射器１１ｆ，１１ｇにおける電極指の本数：各６５本
メタライゼーションレシオ：０．６８
電極膜厚：０．０９１λＩ
第２，第４のＩＤＴ電極１１ｂ，１１ｄの狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期は、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも０．１４μｍ小さい。
第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部Ｄ以外の部分における電極指の周期は、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ、１１ｅの狭ピッチ電極指部Ａ以外の部分における電極指の周期よりも０．０１μｍ小さくされている。
第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１２は、前述したように、一部のＩＤＴ電極の位相が反転されていることを除いては、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１と同様に構成されている。
なお、比較例として、狭ピッチ電極指部Ｄ及び狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数がいずれも４本とされており、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｃの周期とが同一とされていることを除いては、上記実施形態と同様にして構成された弾性波フィルタ装置を用意した。
図１７から明らかなように、本実施形態によれば、比較例に対し、通過帯域である１．９３０〜１．９９０ＧＨｚの低域側端部近傍における急峻性が高められていることがわかる。すなわち、１．９３０ＧＨｚ近傍の阻止域、より具体的には、１．９００〜１．９３０ＧＨｚの周波数帯域において、急峻性が高められ、フィルタ特性のスルーレベルに対し、損失が３．５ｄＢから４７．０ｄＢに至る周波数間隔が、実施形態によれば、比較例に比べて２．１ＭＨｚ狭くなっている。この周波数間隔が狭くなると、製造ばらつきによる周波数ばらつきに対する交差が大きくなる。さらに、周囲温度が変化したとしても、挿入損失や減衰量の劣化が小さい弾性波フィルタ装置１を提供することができる。
この比較例に対し、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数と、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数とを異ならせた場合の上記共振モードの変化を図１８に示す。図１８において、実線は上記比較例と同様に、狭ピッチ電極指部Ｂ及び狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数がいずれも４本である場合の結果を示す。破線は狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数が３本であり、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数が５本の場合の結果を示す。一点鎖線は、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数が３本であり、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数が７本である場合の結果を示す。
図１８に示す結果から、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数と、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数との差が大きくなるに従って、通過帯域低域側端部近傍において大きなリップルＹが発生することがわかる。リップルＹは、０次モードの共振点と、２次モードの共振点の間に発生する。従って、設計パラメータを調整し、リップルＹの周波数位置を調整することにより、リップルＹを通過帯域低域側のスロープ部分に位置させることができる。すなわち、リップルＹを利用して、通過帯域低域側におけるフィルタ特性の急峻性を高めることができる。
もっとも、同時に、０次モードの共振点と、ＩＤＴ電極−ＩＤＴ電極間モードの共振点との間にもリップルＺが発生している。リップルＺが発生すると、通過帯域内に大きなスパイク状リップルが表われることとなる。従って、リップルＺを低減することが求められる。
そこで、リップルＺを低減する手法について検討した結果、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期と異ならせることが有効であることを見出した。
図１９は、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｃの周期とを異ならせた場合の共振モードの変化を示す図である。
図１９において、実線は、狭ピッチ電極指部Ｂの周期と、狭ピッチ電極指部Ｃの狭ピッチ電極指部とが同じである場合の結果を示し、破線は狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期が、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも０．０４μｍ小さい場合の結果を示し、一点鎖線は、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期が狭ピッチ電極指部Ｃに比べて０．０８μｍ小さい場合の結果を示す。
図１９から明らかなように、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を、狭ピッチ電極指部Ｃの周期よりも小さくすることにより、リップルＺを低減し得ることがわかる。特に、両者の電極指の周期の差を大きくすることにより、リップルＺをより一層小さくし得ることがわかる。
なお、図１９では、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期に対して小さくしたが、逆に、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期に対して大きくすると、リップルＺは大きくなってしまう。すなわち、狭ピッチ電極指部Ｂ及び狭ピッチ電極指部Ｃのうち、狭ピッチ電極指部Ａと狭ピッチ電極指部Ｄとのうちの電極指の本数が少ない方に対向する狭ピッチ電極指部の周期を相対的に小さくすることにより、リップルＺを低減しつつ、リップルＹを利用してフィルタ特性の急峻性を効果的に高めることができる。
従って、上記実施形態とは逆に、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数が、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数よりも多くされている場合には、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも大きくすればよく、この場合においても、上記実施形態と同様に、リップルＺを低減しつつ、リップルＹを利用してフィルタ特性の急峻性を効果的に高めることができる。
また、上記狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期と狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期とが等しくとも、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期を異ならせることにより、同様に、リップルＺを低減することができる。これを図２０を参照して説明する。
図２０は、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期に対して異ならせた場合のリップルＹの変化を示す図である。ここでは、狭ピッチ電極指部Ｂ及び狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期及びピッチは等しくされている。
図２０において実線は、狭ピッチ電極指部Ａ及び狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期が同じである場合の結果を示し、破線は、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期に比べて、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期を０．０４μｍ小さくした場合の結果を、一点破線は狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｄに比べて０．０８μｍ小さくした場合の結果を示す。図２０から明らかなように、狭ピッチ電極指部Ｄに比べて、狭ピッチ電極指部Ａの周期を小さくしていくにつれて、すなわち周期の差を大きくするにつれ、リップルＺがより一層小さくなることがわかる。
図２０では、狭ピッチ電極指部Ｄに対し、狭ピッチ電極指部Ａの周期を小さくしたが、逆に、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｄに対して相対的に大きくすると、リップルＺが大きくなってしまう。すなわち、狭ピッチ電極指部Ａと狭ピッチ電極指部Ｄとのうち、電極指の本数が少ない方の狭ピッチ電極指部における電極指の周期を小さくすることが必要である。
図１９及び図２０から明らかなように、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも小さくするか、または狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期を、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期よりも小さくすることにより、リップルＺを低減し得るものの、この場合は、リップルＹも小さくなる傾向にある。リップルＹが小さくなると、通過帯域低域側の急峻性を改善する効果が小さくなる。
そこで、さらに検討した結果、リップルＺを小さくすることなく、リップルＹを大きくするには、第１、第３及び第５のＩＤＴ電極１１ａ、１１ｃ、１１ｅの狭ピッチ電極指部以外の残りの電極指部すなわちフィルタの周波数を決定するメインの電極指部における電極指の周期を調整することが効果的であることを見出した。
図２１は、第１のＩＤＴ電極１１ａ及び第５のＩＤＴ電極１１ｅのメインの電極指部における電極指の周期と、第３のＩＤＴ電極１１ｃのメインの電極指部における電極指の周期を異ならせた場合のリップルＹ及びリップルＺの変化を示す図である。より具体的には、図２１において、実線は第３のＩＤＴ電極１１ｃと第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ、１１ｅの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が等しい場合の結果を示し、破線は、中央のＩＤＴ電極である第３のＩＤＴ電極１１ｃにおける電極指の周期を第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅにおける電極指の周期よりも０．０３μｍ小さくした場合の結果を、一点鎖線は、中央の第３のＩＤＴ電極１１ｃにおける電極指の周期を第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅのメインの電極指部における電極指の周期よりも０．０６μｍ小さくした場合の結果を示す。
図２１から明らかなように、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅと、第３のＩＤＴ電極１１ｃにおける電極指の周期の差が大きくなるにつれて、リップルＹが大きくなっていくことがわかる。この場合、リップルＺはほとんど変化しない。従って、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期を、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期と異ならせることが望ましいことがわかる。
なお、図２１では、第１及び第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅに対し、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期を相対的に小さくしたが、逆に、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期を相対的に大きくした場合には、リップルＹが小さくなってしまう。すなわち、リップルＹを大きくするためには、第１及び第３のＩＤＴ電極１１ａ、１１ｃのうち、狭ピッチ電極指部の電極指の本数が多い方のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外のメインの電極指部における電極指の周期を相対的に小さくすることが必要である。従って、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数が狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数よりも多い場合には、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ、１１ｅの狭ピッチ電極指部以外のメインの電極指部における電極指の周期を、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部以外のメインの電極指部における電極指の周期よりも小さくすることが望ましい。
次に、上記実施形態の変形例を図２２〜図２６を参照して説明する。図２２は、上記実施形態の変形例に係る弾性波フィルタ装置における第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１の狭ピッチ電極指部の構造を説明するための模式的平面図である。
本変形例では、上記実施形態と狭ピッチ電極指部における電極指の本数及び周期の関係が逆とされている。すなわち、図２２に示すように、本変形例では、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数が、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数よりも多く、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期が、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも大きく、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部Ｂ，Ｃ以外の部分における電極指の周期が、第１及び第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部Ａ以外の部分における電極指の周期よりも大きい。これにより、上記実施形態と同様にリップルＹを大きくしてフィルタ特性の低域側における急峻性を高めることができ、しかも、リップルＺを低減することができる。これを、図２３〜図２６に示す。
図２３は、狭ピッチ電極指部Ａ、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数を異ならせた場合のリップルＹ及びリップルＺの変化を示す図である。図２３において、実線が狭ピッチ電極指部Ａ及び狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数がいずれも４本とされている場合の結果を、破線が狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数を７本、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数を３本とした場合の結果を示し、一点鎖線は、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数を９本、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数を３本とした場合の結果を示す。
図２３から明らかなように、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数を狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数に対して相対的に多くしていくほど、リップルＹを大きくし得ることがわかる。
もっとも、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数を狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数に対して相対的に多くしていくほどリップルＺも大きくなっている。
図２４は、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期と、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期とリップルＹ及びリップルＺの関係を示す図である。図２４において、実線が、狭ピッチ電極指部Ｂ及び狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期が同一である場合の結果を示し、破線が狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を、相対的に０．０２μｍ広くした場合の結果を示し、一点鎖線は、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を相対的に０．０４μｍ大きくした場合の結果を示す。
図２４から明らかなように、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を相対的に大きくしていくに従って、所望でないリップルＺを小さくすることができ、その場合リップルＹの大きさはさほど変化していないことがわかる。
図２５は、本変形例において、狭ピッチ電極指部Ａ及び狭ピッチ電極指部Ｄの電極指の周期を変化した場合のリップルＺの変化を示す図であり、実線は狭ピッチ電極指部Ａ及び狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期が同じである場合の結果を示し、破線は狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期が狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期に対して相対的に０．０２μｍ大きい場合の結果を示し、一点鎖線は、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期が狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期に対して相対的に０．０４μｍ大きい場合の結果を示す。
図２５から明らかなように、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期を相対的に大きくしていくにつれて、リップルＺが小さくなることがわかる。すなわち、狭ピッチ電極指部Ａと狭ピッチ電極指部Ｄとのうち電極指の本数が多い方の狭ピッチ電極指部における電極指の周期を大きくするほどリップルＺが小さくなることがわかる。
図２６は、本変形例において、第３のＩＤＴ電極１１ｃと、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅとの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期とリップルＹとの関係を示す図である。
図２６において、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期と、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期とを等しくした場合の結果を示し、破線は、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期を、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも０．０３μｍ大きくした場合の結果を示し、一点鎖線は、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期を、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも０．０６μｍ大きくした場合の結果を示す。
図２６から明らかなように、図２１の場合と同様に、狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期を第１のＩＤＴ電極１１ａ及び第５のＩＤＴ電極１１ｅと、第３のＩＤＴ電極１１ｃとで異ならせることにより、リップルＹの大きさもコントロールし得ることがわかる。具体的には、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ、１１ｅ及び第３のＩＤＴ電極１１ｃのうち、狭ピッチ電極指部における電極指の本数が多い方のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期を、他方のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくすることにより、リップルＹを大きくし得ることがわかる。それによって、フィルタ特性の急峻性を効果的に高めることができる。
なお、上記変形例では、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも大きく設定する例について説明したが、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも大きくする代わりに、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期を狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期よりも大きく設定してもよい。
〔本発明の第３の実施形態に係る弾性波フィルタ装置〕
以下に、本発明の第３の実施形態について説明する。なお、第３の実施形態も第１の実施形態と同じく、図１に示した構造を有しているので、第１の実施形態と共通する部分は、同一符号を使用することで、説明を省略する。
図２８に示すように、本実施形態の特徴は、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１において、第２のＩＤＴ電極１１ｂ及び第４のＩＤＴ電極１１ｄの第１または第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅ側の端部の狭ピッチ電極指部、すなわち狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数が、第２，第４のＩＤＴ電極１１ｂ及び１１ｄの第３のＩＤＴ電極１１ｃ側の狭ピッチ電極指部すなわち狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数よりも少なくされており、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期が、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも小さくされており、第１及び第５のＩＤＴ電極１１ａ、１１ｅの端部に設けられた狭ピッチ電極指部、すなわち狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数が、第３のＩＤＴ電極１１ｃの両端部に設けられた狭ピッチ電極指部、すなわち、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数よりも少なく、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期が、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期よりも小さく、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部Ｂ，Ｃ以外の部分における電極指の周期が、第１及び第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部Ａ以外の部分における電極指の周期よりも小さいことにある。第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１２も第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１と同様に構成されている。これにより、弾性波フィルタ装置１では、通過帯域低域側におけるフィルタ特性の急峻性が効果的に高められる。これを、図２９を参照して説明する。
図２９は、本実施形態の弾性波フィルタ装置のフィルタ特性を示す図であり、実線が本実施形態の結果を示し、一点破線は比較例として用意した弾性波フィルタ装置のフィルタ特性を示す図である。上記実施形態及び比較例における電極構造の詳細は以下の通りである。なお、以下において、ＩＤＴ電極の電極指の周期で定まる波長をλＩとする。
〜第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１の仕様〜
電極指交差幅＝１６．９λＩ
第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅ：電極指の本数各４２本、但し、４２本の内３本が狭ピッチ電極指部Ａの電極指
第３のＩＤＴ電極１１ｃ：電極指の本数５５本、但し、両端にそれぞれ５本の電極指を有する狭ピッチ電極指部Ｄが設けられている。
第２，第４のＩＤＴ電極１１ｂ，１１ｄ：電極指の本数４３本、但し、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数が３本であり、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数が７本であり、残りの部分における電極指の本数が３３本とされている。
第１，第２の反射器１１ｆ，１１ｇにおける電極指の本数：各６５本
メタライゼーションレシオ：０．６８
電極膜厚：０．０９１λＩ
第２，第４のＩＤＴ電極１１ｂ，１１ｄの狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期は、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも０．１７７μｍ小さい。
第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期は、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期よりも０．０７６μｍ小さい。
第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部Ｄ以外の部分における電極指の周期は、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ、１１ｅの狭ピッチ電極指部Ａ以外の部分における電極指の周期よりも０．０１μｍ小さくされている。
第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１２は、前述したように、一部のＩＤＴ電極の位相が反転されていることを除いては、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１と同様に構成されている。
なお、比較例として、狭ピッチ電極指部Ａ〜Ｄにおける電極指の本数がいずれも４本とされており、狭ピッチ電極指部Ａ〜Ｄにおける電極指の周期がことを除いては、上記実施形態と同様にして構成された弾性波フィルタ装置を用意した。
図２９から明らかなように、本実施形態によれば、比較例に対し、通過帯域である１．９３０〜１．９９０ＧＨｚの低域側端部近傍における急峻性が高められていることがわかる。すなわち、１．９３０ＧＨｚ近傍の阻止域、より具体的には、１．９００〜１．９３０ＧＨｚの周波数帯域において、急峻性が高められ、フィルタ特性のスルーレベルに対し、損失が３．５ｄＢから４７．０ｄＢに至る周波数間隔が、実施形態によれば、比較例に比べて３．８ＭＨｚ狭くなっている。この周波数間隔が狭くなると、製造ばらつきによる周波数ばらつきに対する交差が大きくなる。さらに、周囲温度がばらつい変化したとしても、挿入損失や減衰量の劣化が小さい弾性波フィルタ装置１を提供することができる。
第３の実施形態においても、第１、第２の実施形態と同様に、電極指の本数と周期の大小関係を逆にすることにより、同様の効果を奏する変形例を得ることができる。すなわち、第３の実施形態の変形例では、図３０に示すように、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数が狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数よりも多くされており、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期は、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも大きくされている。そして、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数が狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数よりも多くされており、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期は、狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期よりも大きくされている。さらに、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている。それによって、第３の実施形態と同様にリップルＹを大きくしてフィルタ特性の低域側における急峻性を高めることができ、しかも、リップルＺを低減することができる。
具体的には、以下のように、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１の仕様の一部を変更すればよい。
第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅ：電極指の本数各４２本、但し、４２本の内５本が狭ピッチ電極指部Ａの電極指である。
第３のＩＤＴ電極１１ｃ：電極指の本数５５本、但し、両端にそれぞれ３本の電極指を有する狭ピッチ電極指部Ｄが設けられている。
第２，第４のＩＤＴ電極１１ｂ，１１ｄ：電極指の本数４３本、但し、狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数が７本であり、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数が３本であり、残りの部分における電極指の本数が３３本とされている。
第２，第４のＩＤＴ電極１１ｂ，１１ｄの狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期は、狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期よりも０．１７７μｍ大きい。
第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅの狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期は、第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期よりも０．０７６μｍ大きい。
第３のＩＤＴ電極１１ｃの狭ピッチ電極指部Ｄ以外の部分における電極指の周期は、第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ、１１ｅの狭ピッチ電極指部Ａ以外の部分における電極指の周期よりも０．０１μｍ大きくされている。
第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１２も、一部のＩＤＴ電極の位相が反転されていることを除いては、第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部１１と同様に構成すればよい。
従って、上記第１〜３の実施形態及び変形例の結果をまとめると、以下の条件を満たすように、狭ピッチ電極指部Ａ〜Ｄにおける電極指の本数、周期並びに第３のＩＤＴ電極１１ｃと第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅにおける狭ピッチ電極指部以外のメインの電極指部における電極指の周期を設計すればよいことがわかる。
〜構成１（第１の特定の局面における上記第１の実施形態に相当）〜
１）狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数＜狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数
２）狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期＜狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期、または、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期＜狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期
３）第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅのメインの電極指部における電極指の周期＞第３のＩＤＴ電極１１ｃのメインの電極指部における電極指の周期
〜構成２（第１の特定の局面における上記第２の実施形態に相当）〜
１）狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数＜狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数
２）狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期＜狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期、または、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期＜狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期
３）第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅのメインの電極指部における電極指の周期＞第３のＩＤＴ電極１１ｃのメインの電極指部における電極指の周期
〜構成３（第１の特定の局面における上記第３の実施形態に相当）〜
１）狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数＜狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数
２）狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数＜狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数
３）狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期＜狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期
４）狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期＜狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期
５）第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅのメインの電極指部における電極指の周期＞第３のＩＤＴ電極１１ｃのメインの電極指部における電極指の周期
〜構成４（第２の特定の局面における上記第１の実施形態の変形例に相当）〜
１）狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数＞狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数
２）狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期＞狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期、または、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期＞狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期
３）第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅのメインの電極指部における電極指の周期＜第３のＩＤＴ電極１１ｃのメインの電極指部における電極指の周期
〜構成５（第２の特定の局面における上記第２の実施形態の変形例に相当）〜
１）狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数＞狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数
２）狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期＞狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期、または、狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期＞狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期
３）第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅのメインの電極指部における電極指の周期＜第３のＩＤＴ電極１１ｃのメインの電極指部における電極指の周期
〜構成６（第２の特定の局面における上記第３の実施形態の変形例に相当）〜
１）狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の本数＞狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の本数
２）狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の本数＞狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の本数
３）狭ピッチ電極指部Ｂにおける電極指の周期＞狭ピッチ電極指部Ｃにおける電極指の周期
４）狭ピッチ電極指部Ａにおける電極指の周期＞狭ピッチ電極指部Ｄにおける電極指の周期
５）第１，第５のＩＤＴ電極１１ａ，１１ｅのメインの電極指部における電極指の周期＜第３のＩＤＴ電極１１ｃのメインの電極指部における電極指の周期
本発明に係る弾性波フィルタ装置における電極指の本数および周期の関係を、図４を参照して要約する。図４に示すように、第１のＩＤＴ電極１１ａと、第２のＩＤＴ電極１１ｂにおける弾性波伝搬方向の中央部から第１のＩＤＴ電極１１ａ側部分とからなる領域を第１の領域とする。第２のＩＤＴ電極１１ｂにおける弾性波伝搬方向の中央部から第３のＩＤＴ電極１１ｃ側の部分と、第３のＩＤＴ電極１１ｃにおける、弾性波伝搬方向中央部から第２のＩＤＴ電極１１ｂ側の部分とからなる領域を第２の領域とする。第３のＩＤＴ電極１１ｃにおける、弾性波伝搬方向中央部から第４のＩＤＴ電極１１ｄ側の部分と、第４のＩＤＴ電極１１ｄにおける、弾性波伝搬方向中央部から第３のＩＤＴ電極１１ｃ側の部分とからなる領域を第３の領域とする。さらに、第４のＩＤＴ電極１１ｄにおける、弾性波伝搬方向中央部から第５のＩＤＴ電極１１ｅ側の部分と、第５のＩＤＴ電極１１ｅとからなる領域を第４の領域とする。
上記構成１〜３をまとめると、第１の特定の局面で提供される弾性波フィルタ装置は、第１の領域における狭ピッチ電極指部Ａ及びＢの電極指の総数が、第２の領域における狭ピッチ電極指部Ｃ及びＤの電極指の総数よりも少なくされており、第３の領域における狭ピッチ電極指部Ｃ及びＤの電極指の総数は、第４の領域における狭ピッチ電極指部Ａ及びＢの電極指の総数よりも多くされている。ここで、第１の領域における狭ピッチ電極指部の電極指の総数及び第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の総数をそれぞれＮｘ、前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の総数及び第３の領域における狭ピッチ電極指部の電極指の総数をそれぞれＮｙとしたときに、電極指の総数Ｎｘと電極指の総数Ｎｙとのうち電極指の総数が多い方の領域にある狭ピッチ電極指部は、電極指の総数が少ない方の領域にある狭ピッチ電極指部よりも、電極指の周期の平均値が大きくされており、第１のＩＤＴ電極１１ａ、第３のＩＤＴ電極１１ｃ及び第５のＩＤＴ電極１１ｅのうち、電極指の総数が多い方の領域に含まれるＩＤＴ電極が、電極指の総数が少ない方の領域に含まれるＩＤＴ電極よりも、狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が小さくされていることになる。
上記構成４〜構成６をまとめると、第２の特定の局面で提供される弾性波フィルタ装置は、第１の領域における狭ピッチ電極指部Ａ及びＢの電極指の総数が、第２の領域における狭ピッチ電極指部Ｃ及びＤの電極指の総数よりも少なくされており、第３の領域における狭ピッチ電極指部Ｃ及びＤの電極指の総数は、第４の領域における狭ピッチ電極指部Ａ及びＢの電極指の総数よりも多くされている。ここで、第１の領域における狭ピッチ電極指部Ａ及びＢの電極指の総数及び第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の総数をそれぞれＮｘ、前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の総数及び第３の領域における狭ピッチ電極指部の電極指の総数をそれぞれＮｙとしたときに、電極指の総数Ｎｘと電極指の総数Ｎｙとのうち電極指の総数が多い方の領域にある狭ピッチ電極指部は、電極指の総数が少ない方の領域にある狭ピッチ電極指部よりも、電極指の周期の平均値が大きくされており、第１のＩＤＴ電極１１ａ、第３のＩＤＴ電極１１ｃ及び第５のＩＤＴ電極１１ｅのうち、電極指の総数が多い方の領域に含まれるＩＤＴ電極が、電極指の総数が少ない方の領域に含まれるＩＤＴ電極よりも、狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が小さくされていることになる。
さらに、第１の特定の局面及び第２の特定の局面により提供される弾性表面波装置における電極指の本数および周期の関係を総合すると、前記第１の領域における狭ピッチ電極指部の電極指の総数及び前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の総数をそれぞれＮｘ、前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の総数及び前記第３の領域における狭ピッチ電極指部の電極指の総数をＮｙとしたときに電極指の総数Ｎｘと電極指の総数Ｎｙとは異なっており、電極指の総数Ｎｘと電極指の総数Ｎｙのうち前記電極指の総数が多いほうの領域にある狭ピッチ電極指部は、電極指の総数が少ないほうの領域にある狭ピッチ電極指部より、電極指の周期の平均値が大きくされており、前記第１のＩＤＴ電極、前記第３のＩＤＴ電極、および前記第５のＩＤＴ電極のうち、前記電極指の総数が多いほうの領域に含まれるＩＤＴ電極が、前記電極指の総数が少ないほうの領域に含まれるＩＤＴ電極よりも、狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が小さくされている構成であればよいことがわかる。
１ … 弾性波フィルタ装置
２ … 積層基板（圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板を備える）
２１ … 支持基板
２２ … 高音速膜
２３ … 低音速膜
２４ … 圧電膜
２５、２６ … 媒質層
３ … 不平衡端子
４ … 第１の平衡端子
５ … 第２の平衡端子
１０ … 縦結合共振子型弾性波フィルタ部
１０ａ… 第１のＩＤＴ電極
１０ｂ… 第２のＩＤＴ電極
１０ｃ… 第３のＩＤＴ電極
１０ｄ… 第４のＩＤＴ電極
１０ｅ… 第５のＩＤＴ電極
１１ … 第１の縦結合共振子型弾性波フィルタ部
１１ａ… 第１のＩＤＴ電極
１１ｂ… 第２のＩＤＴ電極
１１ｃ… 第３のＩＤＴ電極
１１ｄ… 第４のＩＤＴ電極
１１ｅ… 第５のＩＤＴ電極
１１ｆ… 第１の反射器
１１ｇ… 第２の反射器
１２ … 第２の縦結合共振子型弾性波フィルタ部
１２ａ… 第１のＩＤＴ電極
１２ｂ… 第２のＩＤＴ電極
１２ｃ… 第３のＩＤＴ電極
１２ｄ… 第４のＩＤＴ電極
１２ｅ… 第５のＩＤＴ電極
１２ｆ… 第１の反射器
１２ｇ… 第２の反射器

Claims (13)

  1. 圧電膜／低音速膜／高音速膜／支持基板の積層構造を備えた積層基板と、
    前記積層基板上において、弾性波伝搬方向に沿って順に配置された第１〜第５のＩＤＴ電極と、
    前記第１〜第５のＩＤＴ電極が設けられている領域の弾性波伝搬方向両側に配置された第１，第２の反射器とを備え、
    前記第１〜第５のＩＤＴ電極と前記第１，第２の反射器とにより縦結合共振子型弾性波フィルタ部が構成されており、
    前記第１〜第５のＩＤＴ電極は、他のＩＤＴ電極に隣接している端部に、電極指の周期が残りの部分における電極指の周期よりも小さくされている狭ピッチ電極指部とを有し、
    前記第１のＩＤＴ電極と、前記第２のＩＤＴ電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第１のＩＤＴ電極側部分とからなる領域を第１の領域、
    前記第２のＩＤＴ電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第３のＩＤＴ電極側の部分と、前記第３のＩＤＴ電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第２のＩＤＴ電極側の部分とからなる領域を第２の領域、
    前記第３のＩＤＴ電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第４のＩＤＴ電極側の部分と、前記第４のＩＤＴ電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第３のＩＤＴ電極側の部分とからなる領域を第３の領域、
    前記第４のＩＤＴ電極における弾性波伝搬方向の中央部から前記第５のＩＤＴ電極側の部分と、前記第５のＩＤＴ電極とからなる領域を第４の領域とすると、
    前記第１の領域における狭ピッチ電極指部の電極指の総数及び前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の総数をそれぞれＮｘ、前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の総数及び前記第３の領域における狭ピッチ電極指部の電極指の総数をＮｙとしたときに、電極指の総数Ｎｘと電極指の総数Ｎｙとは異なっており、
    電極指の総数Ｎｘと電極指の総数Ｎｙのうち前記電極指の総数が多いほうの領域にある狭ピッチ電極指部は、電極指の総数が少ないほうの領域にある狭ピッチ電極指部より、電極指の周期の平均値が大きくされており、
    前記第１のＩＤＴ電極、前記第３のＩＤＴ電極、および前記第５のＩＤＴ電極のうち、前記電極指の総数が多いほうの領域に含まれるＩＤＴ電極が、前記電極指の総数が少ないほうの領域に含まれるＩＤＴ電極よりも、狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が小さくされている、弾性波フィルタ装置。
  2. 前記第１の領域における狭ピッチ電極指部は、前記第２の領域における狭ピッチ電極指部より電極指の総数が少なくされており、
    前記第３の領域における狭ピッチ電極指部は、前記第４の領域における狭ピッチ電極指部より電極指の総数が多くされている、請求項１に記載の弾性波フィルタ装置。
  3. 前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
    前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
    前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
    前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている、請求項２に記載の弾性波フィルタ装置。
  4. 前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
    前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
    前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている、請求項２に記載の弾性波フィルタ装置。
  5. 前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
    前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
    前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている、請求項２に記載の弾性波フィルタ装置。
  6. 前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
    前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている、請求項２に記載の弾性波フィルタ装置。
  7. 前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
    前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
    前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
    前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
    前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
    前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも小さくされている、請求項２に記載の弾性波フィルタ装置。
  8. 前記第１の領域における狭ピッチ電極指部は、前記第２の領域における狭ピッチ電極指部より電極指の総数が多くされており、
    前記第３の領域における狭ピッチ電極指部は、前記第４の領域における狭ピッチ電極指部より電極指の総数が少なくされている、請求項１に記載の弾性波フィルタ装置。
  9. 前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
    前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
    前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
    前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも大きくされている、請求項８に記載の弾性波フィルタ装置。
  10. 前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
    前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
    前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも大きくされている、請求項８に記載の弾性波フィルタ装置。
  11. 前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
    前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
    前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも大きくされている、請求項８に記載の弾性波フィルタ装置。
  12. 前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
    前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも大きくされている、請求項８に記載の弾性波フィルタ装置。
  13. 前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
    前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より多くされており、
    前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の本数は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の本数より少なくされており、
    前記第１のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第３のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
    前記第２のＩＤＴ電極の前記第１の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第２のＩＤＴ電極の前記第２の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より大きくされており、
    前記第４のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第４のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の前記第３の領域側の狭ピッチ電極指部における電極指の周期は、前記第５のＩＤＴ電極の前記第４の領域における狭ピッチ電極指部における電極指の周期より小さくされており、
    前記第３のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期が、前記第１及び第５のＩＤＴ電極の狭ピッチ電極指部以外の部分における電極指の周期よりも大きくされている、請求項８に記載の弾性波フィルタ装置。
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