JP6548561B2 - 回転機構及び切削装置 - Google Patents
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Description
また、枠体301を支持ユニット403にネジで螺合する螺合部で螺合させても良い。螺合部は、枠体301の上面と下面とを貫通するネジ貫通孔と、支持ユニット403の上面から堀下げられる雌ねじ穴とを複数備え、雄ねじをネジ貫通孔に貫通させ雌ねじ穴に螺入させることで枠体301と支持ユニット403とを螺合させる。
また、底部42cを形成する材質は限定しないが、第1のマグネット41と第2のマグネット45との磁力を低下させないように非磁性体の材質で形成するとよい。例えば、PVA樹脂などが良い。さらに、底部42cへの切削屑の付着を防止するため撥水コーティングを備えると良い。
12:搬出入手段 13:仮置き領域 14:位置合わせ手段 15a:第一の搬送手段
15b:第二の搬送手段 16:洗浄手段
17:アライメント手段 170:撮像手段
6:切削手段 61:スピンドル 62:切削ブレード
19:切削水供給手段 190:切削水ノズル
W:板状ワーク Wa:板状ワークの表面 Wb:板状ワークの裏面
W1:矩形領域 W2:余剰領域 C:チップ
S:分割予定ライン C:チップ
30:チャックテーブル 300:吸着部 300a:保持面 300b:逃げ溝
300c:吸引孔 301:枠体 301a:中央孔
5:切削送り手段 50:X軸ベース 51:ボールネジ 52:ガイドレール
53:モータ 54:可動ベース 540:嵌合部 541:支持部 542:コネクタ
4:回転機構
40:第1の回転軸 40a:軸心 400:一方の軸端 400a:装着面
400b:フランジ部
401:他方の軸端 401a:マグネット装着面
402:連通路 402a:開口部 403:支持ユニット
404:ローター取り付け部材 404b:ベアリング接触部
404a:ボルト
409:シール部
41:第1のマグネット
42:ケース 420:ベアリング装着部 421:ステータコイル装着部
42a:側壁 42b:収容部 422:吸引口 423:マグネット収容部
43:ベアリング 430:ボルト
44:モータ 440:ローター 441:ステータコイル
45:第2のマグネット
46:第2の回転軸 460:軸受け
47:円板状のスケール 48:読み取り部
9:制御部
31:X軸カバー 310:カバー支柱 311:ボルト 312:開口
312a:フランジ部 313:スカート部 33a、33b:蛇腹カバー
32:ゴムシール
8:ウォータケース 80:底板 81:開口部 82:内側壁 83:外側壁
84:桶部
Claims (2)
- 板状ワークを吸引保持する保持面を有するチャックテーブルを回転可能に装着する回転機構であって、
一方の軸端に該チャックテーブルを装着する装着面を備える第1の回転軸と、該第1の回転軸の内部に形成され該装着面を吸引源に連通させる連通路と、該第1の回転軸の他方の軸端に連結する第1のマグネットと、該第1のマグネットと共に該第1の回転軸を収容するケースと、該ケースの側壁に形成され該吸引源に連通する吸引口と、該第1の回転軸と該ケースとの間で該第1の回転軸を回転可能に支持するベアリングと、該ベアリングで支持される該第1の回転軸を回転させるモータと、該ケースを介在させ非接触で該第1の回転軸の延在方向において該第1のマグネットに対面する第2のマグネットと、該第2のマグネットに接続され該第1の回転軸と軸心を同じくする第2の回転軸と、該第2の回転軸の軸心と中心を一致させ該第2の回転軸に接続する円周方向に目盛りを備えた円板状のスケールと、該スケールの目盛りを読み取る読み取り部と、を備える回転機構。 - 板状ワークを吸引保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転可能に装着し該保持面を前記吸引源に連通可能にする請求項1記載の回転機構と、該チャックテーブルに保持される板状ワークを切削ブレードで切削する切削手段と、該切削ブレードと板状ワークとに切削水を供給する切削水供給手段と、を備える切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015234824A JP6548561B2 (ja) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | 回転機構及び切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015234824A JP6548561B2 (ja) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | 回転機構及び切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017103331A JP2017103331A (ja) | 2017-06-08 |
JP6548561B2 true JP6548561B2 (ja) | 2019-07-24 |
Family
ID=59016801
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015234824A Active JP6548561B2 (ja) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | 回転機構及び切削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6548561B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110868789B (zh) * | 2019-12-18 | 2024-05-31 | 中国原子能科学研究院 | 一种高能等时性ffag加速器径向靶结构 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02129813U (ja) * | 1989-03-31 | 1990-10-25 | ||
JPH05315234A (ja) * | 1992-05-12 | 1993-11-26 | Fujitsu Ltd | 絶縁基板へのスピン・コート方法とその装置 |
JPH0778864A (ja) * | 1993-09-06 | 1995-03-20 | Toshiba Corp | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2003139563A (ja) * | 2001-11-01 | 2003-05-14 | Murata Mach Ltd | スライド位置検出装置 |
JP3866655B2 (ja) * | 2002-12-26 | 2007-01-10 | 励起 渡辺 | 処理装置及び処理方法 |
WO2007069433A1 (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-21 | Niigata University | 非接触型回転処理装置 |
JP2007292484A (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-08 | Murata Mach Ltd | ガイド付きリニアセンサ |
JP2009204567A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Nippon Seiki Co Ltd | 回転角度検出装置 |
JP2015036179A (ja) * | 2013-08-16 | 2015-02-23 | 株式会社ディスコ | チャックテーブル機構 |
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2015
- 2015-12-01 JP JP2015234824A patent/JP6548561B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017103331A (ja) | 2017-06-08 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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