JP6547946B2 - ガスバリアフィルム、および、ガスバリアフィルムの製造方法 - Google Patents
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- 230000004888 barrier function Effects 0.000 title claims description 207
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 25
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 208
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 46
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 46
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 39
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims description 39
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims description 39
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 38
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 35
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 25
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 23
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 21
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 21
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims description 19
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 19
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 17
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 16
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims description 7
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 4
- BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N Aspirin Chemical compound CC(=O)OC1=CC=CC=C1C(O)=O BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 114
- 239000000463 material Substances 0.000 description 23
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 19
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 18
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 16
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 14
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 9
- 239000005022 packaging material Substances 0.000 description 7
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 6
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 5
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 5
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 5
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 4
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 239000011129 pharmaceutical packaging material Substances 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000005003 food packaging material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000219 Ethylene vinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229920002292 Nylon 6 Polymers 0.000 description 1
- 229920002302 Nylon 6,6 Polymers 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910001593 boehmite Inorganic materials 0.000 description 1
- FPCJKVGGYOAWIZ-UHFFFAOYSA-N butan-1-ol;titanium Chemical compound [Ti].CCCCO.CCCCO.CCCCO.CCCCO FPCJKVGGYOAWIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BSDOQSMQCZQLDV-UHFFFAOYSA-N butan-1-olate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-] BSDOQSMQCZQLDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003174 cellulose-based polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229920005994 diacetyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(dimethyl)silane Chemical compound CO[Si](C)(C)OC JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYLGKUPAFFKGRQ-UHFFFAOYSA-N dimethyldiethoxysilane Chemical compound CCO[Si](C)(C)OCC YYLGKUPAFFKGRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009820 dry lamination Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001678 elastic recoil detection analysis Methods 0.000 description 1
- XGZNHFPFJRZBBT-UHFFFAOYSA-N ethanol;titanium Chemical compound [Ti].CCO.CCO.CCO.CCO XGZNHFPFJRZBBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UARGAUQGVANXCB-UHFFFAOYSA-N ethanol;zirconium Chemical compound [Zr].CCO.CCO.CCO.CCO UARGAUQGVANXCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004715 ethylene vinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- RZXDTJIXPSCHCI-UHFFFAOYSA-N hexa-1,5-diene-2,5-diol Chemical compound OC(=C)CCC(O)=C RZXDTJIXPSCHCI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 description 1
- FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M hydroxidooxidoaluminium Chemical compound O[Al]=O FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- ZEIWWVGGEOHESL-UHFFFAOYSA-N methanol;titanium Chemical compound [Ti].OC.OC.OC.OC ZEIWWVGGEOHESL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N methyltrimethoxysilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)OC BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006284 nylon film Polymers 0.000 description 1
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- BCWYYHBWCZYDNB-UHFFFAOYSA-N propan-2-ol;zirconium Chemical compound [Zr].CC(C)O.CC(C)O.CC(C)O.CC(C)O BCWYYHBWCZYDNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 238000005001 rutherford backscattering spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
- UQMOLLPKNHFRAC-UHFFFAOYSA-N tetrabutyl silicate Chemical compound CCCCO[Si](OCCCC)(OCCCC)OCCCC UQMOLLPKNHFRAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N tetramethyl orthosilicate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)OC LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZQZCOBSUOFHDEE-UHFFFAOYSA-N tetrapropyl silicate Chemical compound CCCO[Si](OCCC)(OCCC)OCCC ZQZCOBSUOFHDEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N titanium(IV) isopropoxide Chemical compound CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005068 transpiration Effects 0.000 description 1
- CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N triethoxy(methyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)OCC CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Laminated Bodies (AREA)
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Description
本発明の目的は、耐熱水性を高めることの可能なガスバリアフィルム、および、ガスバリアフィルムの製造方法を提供することである。
上記ガスバリアフィルムにおいて、前記ガスバリア層の厚さは、5nm以上30nm以下であることが好ましい。
上記方法によれば、アルミニウムが蒸発する真空雰囲気においてアルミニウムを確実に加熱することが可能である。
上記方法によれば、蒸発したアルミニウムと酸化ガスとの反応による反応生成物の生成の効率が高められる。
図1が示すように、ガスバリアフィルムは、1つの側面である主面を有したプラスチックフィルム10と、プラスチックフィルム10の主面を覆うガスバリア層11とを各別の層として備える積層体である。
ガスバリア層11を形成する材料が酸化アルミニウムの水素化物であるAlOXHYであるとき、ガスバリア層11は下記3つの条件を満たしている。
(条件1)ガスバリア層11に含まれる水素量は30at%以下である。
(条件2)酸素組成比Xは1.00<X<2.00を満たす。
(条件3)水素組成比Yは0.10<Y<1.20を満たす。
図2を参照して、上述したガスバリアフィルムの製造方法を説明する。なお、以下では、ガスバリア層11を形成する材料が、水素を含有した酸化アルミニウムであるAlOXHYであり、アルミニウムを蒸発させるための加熱に電子ビームが用いられる例を示す。
なお、真空チャンバ20の内部に供給されるガスは、酸化ガスの他に、高密度のプラズマ30を安定させるための希ガスが含まれてもよい。
プラスチックフィルム10として、厚さが12μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製:ルミラP60)を用いた。図2に記載の製造装置を用い、プラスチックフィルム10の片面に、厚さが5nmの酸化アルミニウム層を形成して、実施例のガスバリアフィルムを得た。
高密度プラズマを印加することなくプラスチックフィルム10にAlOH膜を形成し、それ以外の点を実施例と同じくして、比較例1のガスバリアフィルムを得た。
成膜空間に設置されたコールドトラップを駆動させることなくプラスチックフィルム10にAlOH膜を成膜し、それ以外の点を実施例と同じくして、比較例2のガスバリアフィルムを得た。
(1)、ガスバリア層11における光透過性が得られ、かつ、ガスバリア層11における耐熱水性が高められる。
(2)ガスバリア層11の厚さが5nm以上であるため、ガスバリア層11におけるバリア性が確保される。また、ガスバリア層11の厚さが30nm以下であるため、ガスバリア層11の形成に要する時間が嵩むことによってガスバリアフィルムの生産性が低下することが抑えられる。
・蒸着材であるアルミニウムを加熱する方法は、電子ビームEBの照射に限らず、例えば、抵抗加熱であってもよいし高周波誘導加熱であってもよい。また、抵抗加熱による蒸着材の加熱においては、蒸着材が収容された坩堝を抵抗体によって直接加熱する方式であってもよいし、加熱される抵抗体にワイヤー状に成形された蒸着材をフィードする方式であってもよい。
Claims (5)
- 光透過性を有し、主面を有するプラスチックフィルムと、
光透過性を有し、前記主面を覆うガスバリア層とを備え、
前記ガスバリア層は、
水素を含有した酸化アルミニウムであるAlOXHYからなる層であり、
酸素組成比Xは、1.00<X<2.00を満たし、
水素組成比Yは、0.10<Y<1.20を満たし、
前記ガスバリア層における水素量が30.0at%以下であり、
前記ガスバリア層の膜密度が2.8g/cm 3 以上である
ガスバリアフィルム。 - 前記ガスバリア層の厚さは、5nm以上30nm以下である
請求項1に記載のガスバリアフィルム。 - 真空雰囲気下においてアルミニウムを加熱して蒸発させる工程と、
蒸発したアルミニウムと酸化ガスとの反応生成物として、水素を含有した酸化アルミニウムであるAlOXHYを生成し、光透過性を有したプラスチックフィルムに前記反応生成物を蒸着させてガスバリア層を形成する工程とを含み、
酸素組成比Xは、1.00<X<2.00を満たし、
水素組成比Yは、0.10<Y<1.20を満たし、
前記ガスバリア層における水素量が30.0at%以下であり、
前記反応生成物を蒸着する工程では、前記反応生成物が生成される空間に残留する水分量を吸着によって所望の値にまで下げ、前記アルミニウムと前記酸化ガスと水分とが反応することで前記反応生成物を生成する
ことを特徴とするガスバリアフィルムの製造方法。 - 前記アルミニウムを加熱する工程では、前記アルミニウムの加熱に、電子ビーム加熱、抵抗加熱、および、高周波誘導加熱からなる群から選択される少なくとも1つを用いる
請求項3に記載のガスバリアフィルムの製造方法。 - 前記反応生成物を蒸着する工程では、ICPプラズマ、ヘリコン波プラズマ、マイクロ波プラズマ、ホロカソード放電からなる群から選択される少なくとも1つを前記酸化ガスから生成し、前記酸化ガスから生成されたプラズマとアルミニウムとの反応によって前記反応生成物を生成する
請求項3または4に記載のガスバリアフィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015085020A JP6547946B2 (ja) | 2015-04-17 | 2015-04-17 | ガスバリアフィルム、および、ガスバリアフィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015085020A JP6547946B2 (ja) | 2015-04-17 | 2015-04-17 | ガスバリアフィルム、および、ガスバリアフィルムの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016203427A JP2016203427A (ja) | 2016-12-08 |
JP6547946B2 true JP6547946B2 (ja) | 2019-07-24 |
Family
ID=57488839
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015085020A Active JP6547946B2 (ja) | 2015-04-17 | 2015-04-17 | ガスバリアフィルム、および、ガスバリアフィルムの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6547946B2 (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2570279B2 (ja) * | 1987-03-13 | 1997-01-08 | 東レ株式会社 | 包装用フイルム |
JP3767002B2 (ja) * | 1996-03-08 | 2006-04-19 | 東洋紡績株式会社 | ガスバリアフィルムおよびその製造方法 |
JP3923582B2 (ja) * | 1997-02-13 | 2007-06-06 | 大日本印刷株式会社 | 透明バリアフィルム、それを使用した積層材および包装用容器 |
JP4108835B2 (ja) * | 1998-07-14 | 2008-06-25 | 大日本印刷株式会社 | 積層材 |
JP2005034831A (ja) * | 2003-07-01 | 2005-02-10 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | バリア多層膜及びその製造方法 |
JP2006307274A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Optrex Corp | 真空装置 |
JP4867906B2 (ja) * | 2007-12-12 | 2012-02-01 | 大日本印刷株式会社 | 透明バリア性フィルム |
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2015
- 2015-04-17 JP JP2015085020A patent/JP6547946B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016203427A (ja) | 2016-12-08 |
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