JP6538649B2 - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents

Description

本発明は、直線に沿って並ぶ複数の吐出口を有する塗布装置および塗布方法に関する。

電子部品等の製造工程において液体材料を分配する装置として、往復移動するプランジャーにより液体材料を吐出する吐出装置（ディスペンサ）が知られている。この吐出装置は、例えば、ワークテーブルと水平方向に相対移動されながら、ワークに所望の塗布する用途に用いられる。

液体材料をノズルから離間した後にワークに着弾させる従来の吐出装置としては、例えば、ノズルにつながる出口付近に弁座を有する流路内に、プランジャーロッドの側面が非接触に配設され、プランジャーロッドの先端が弁座に向けて移動し弁座に当接することにより、ノズルから液体材料を液滴の状態で吐出させるものがある（特許文献１）。

また、急速前進するプランジャーを弁座に当接させることなく急激に停止させて液体材料を飛滴させる技術としては、出願人が提言した、先端面が液体材料に密接した液体材料吐出用プランジャーを高速前進させ、次いでプランジャー駆動手段を急激停止させて、液体材料に慣性力を印加して液体材料を吐出させる液体材料の吐出方法および装置がある（特許文献２，３）。

また、流体チャネル出口と連通した複数のノズル出口を有する噴出ノズルと、弁座に選択的に接触可能に流体チャネル内に可動的に設けられた弁部材とを備え、弁部材が弁座との接触時に、前記複数のノズル出口から複数の液滴を同時に迅速に噴出させるのに十分な運動量を前記流体チャネル出口内の液体材料に与えるジェッティングディスペンサが提案されている（特許文献４）。

特表２００１−５００９６２号公報 特開２００３−１９０８７１号公報 特開２００５−２９６７００号公報 特開２００７−１６７８４４号公報

電子機器等の製造コストの削減を実現するために、線引き塗布の速度を高速化することが求められている。

特許文献４に開示されるジェッティングディスペンサは、複数の吐出口を有するノズルを開示するが、主としてフラックス層の形成が念頭に置かれており、線引き塗布を行う手順については何ら言及されていない。また、特許文献４は、ディスペンサの作動速度を遅くして高品質を目指す点（同文献段落［０００７］参照）でも、線引き塗布の高速化に資する技術を提供するものではないといえる。

本発明は、線引き塗布の速度を高速化することを可能とする塗布装置および塗布方法を提供することを目的とする。

塗布方法に係る本発明は、塗布装置を用いて塗布対象物上に描画線を線状塗布する方法において、前記塗布装置が、吐出装置と、塗布対象物を載置するワークテーブルと、吐出装置とワークテーブルとを相対移動させる駆動装置と、吐出装置および駆動装置の動作を制御する制御部と、を備え、前記吐出装置が、液体材料を吐出する複数の吐出口を有するノズルと、前記複数の吐出口と複数の吐出流路を介して連通する液室と、前記液室内の液体材料に接触する吐出部材と、を備え、前記吐出部材により前記液室内の液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出し、塗布対象物上で複数の液滴を形成すること、前記複数の吐出口が、直線であるノズル配置線に沿って前記ノズルに配置されること、前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させること、前記複数の吐出口から、吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出して線状塗布を行うことを特徴とする。
上記塗布方法に係る本発明では、前記制御部が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを一定の速度Ｖ_ｃを保持してノズル配置線と同じ方向に相対移動させながら、前記吐出された複数の液塊の少なくとも一つが、直前に吐出された塗布対象物上の液体材料に結合して描画線を形成するように、前記吐出装置と前記ワークテーブルとの相対移動速度に基づき吐出のタイミングを一定の間隔Ｔ_ｃとして線状塗布を行うことを特徴としてもよい。
上記塗布方法に係る本発明では、前記吐出部材の推進力を調節することにより、前記吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出することを特徴としてもよい。
上記塗布方法に係る本発明では、前記複数の吐出流路が、直線状の第１吐出流路と、直線状の第２吐出流路とを備えて構成され、前記第１吐出流路の延長線および前記第２吐出流路の延長線が交わるように傾斜をもって配置され、前記吐出口と前記塗布対象物との距離ｈを調節することにより、前記第１吐出流路および前記第２吐出流路から吐出された複数の液塊が着弾前に接触しない範囲で前記塗布対象物上に形成する複数の液滴間の距離を調節することを特徴としてもよい。

上記塗布方法に係る本発明では、前記複数の吐出口のいずれもが、前記ノズル配置線上に配置されることを特徴としてもよい。
上記塗布方法に係る本発明では、前記複数の吐出口がいずれも同一形状であり、等ピッチに配置されることを特徴としてもよい。
上記塗布方法に係る本発明では、前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口とを含み、吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、並びに、前記小型吐出口と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、或いは、前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口群とを含み、前記大型吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、前記小型吐出口群と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、並びに、前記小型吐出口群が、前記ノズル配置線に対して対称に配置された複数の小型吐出口から構成されることを特徴としてもよい。
上記塗布方法に係る本発明では、前記吐出装置または前記ワークテーブルが、回転機構を備え、前記回転機構により、前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させることを特徴としてもよく、ここで好ましくは、前記線状塗布が、第一の方向に延びる直線状の塗布線と第一の方向と異なる第二の方向に延びる直線状の塗布線とを含む塗布パターンに従い行われることを特徴とする。
上記塗布方法に係る本発明では、前記ノズルが、前記吐出装置に対し着脱自在に固定されており、前記吐出装置が、前記ノズル配置線の方向が前記吐出装置に対して一定になるように前記ノズルを取り付け可能とする位置決め機構を有することを特徴としてもよい。
上記塗布方法に係る本発明では、前記吐出装置が、前記液室より小径であり、先端部が液室内を進退動するプランジャーと、前記プランジャーを進退動させるプランジャー往復移動装置と、前記液室に液体材料を供給する液送装置と、を備え、前記プランジャーの先端部の側面と前記液室の内側壁が非接触の状態でプランジャーを進出移動および進出停止することで液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出して前記線状塗布を行うことを特徴としてもよい。

塗布装置に係る本発明は、吐出装置と、塗布対象物を載置するワークテーブルと、吐出装置とワークテーブルとを相対移動させる駆動装置と、吐出装置および駆動装置の動作を制御する制御部と、を備える塗布装置において、前記吐出装置が、液体材料を吐出する複数の吐出口を有するノズルと、前記複数の吐出口と複数の吐出流路を介して連通する液室と、前記液室内の液体材料に接触する吐出部材と、を備え、前記吐出部材により前記液室内の液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出し、塗布対象物上で複数の液滴を形成可能な吐出装置であって、前記複数の吐出口が、直線であるノズル配置線に沿って前記ノズルに配置されること、前記制御部が、前記ノズル配置線を描画線の描画方向と一致させた状態で、前記複数の吐出口から、吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出して線状塗布を行うことを特徴とする。
上記塗布装置に係る本発明では、前記制御部が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを一定の速度Ｖ_ｃを保持してノズル配置線と同じ方向に相対移動させながら、前記吐出された複数の液塊の少なくとも一つが、直前に吐出された塗布対象物上の液体材料に結合して描画線を形成するように、前記吐出装置と前記ワークテーブルとの相対移動速度に基づき吐出のタイミングを一定の間隔Ｔ_ｃとして線状塗布を行うことを特徴としてもよい。

上記塗布装置に係る本発明では、前記制御部が、前記吐出部材の推進力を調節することにより、前記吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出することを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記複数の吐出流路が、直線状の第１吐出流路と、直線状の第２吐出流路とを備えて構成され、前記第１吐出流路の延長線および前記第２吐出流路の延長線が交わるように傾斜をもって配置されており、前記吐出口と前記塗布対象物との距離ｈを調節することにより、前記第１吐出流路および前記第２吐出流路から吐出された複数の液塊が着弾前に接触しない範囲で前記塗布対象物上に形成する複数の液滴間の距離を調節できることを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記複数の吐出口のいずれもが、前記ノズル配置線上に配置されることを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記複数の吐出口がいずれも同一形状であり、等ピッチに配置されることを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口とを含み、吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、並びに、前記小型吐出口と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、或いは、前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口群とを含み、前記大型吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、前記小型吐出口群と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、並びに、前記小型吐出口群が、前記ノズル配置線に対して対称に配置された複数の小型吐出口から構成されることを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記吐出装置または前記ワークテーブルが、回転機構を備え、前記制御部が、前記回転機構により、前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させることを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記駆動装置が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを相対的に直線移動可能な一軸駆動機構を含み、前記ノズル配置線が前記一軸駆動機構の駆動方向と一致して配置されることを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記ノズルが、前記吐出装置に対し着脱自在に固定されており、前記吐出装置が、前記ノズル配置線の方向が前記吐出装置に対して一定になるように前記ノズルを取り付け可能とする位置決め機構を有することを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記吐出装置が、前記液室より小径であり、先端部が液室内を進退動するプランジャーと、前記プランジャーを進退動させるプランジャー往復移動装置と、前記液室に液体材料を供給する液送装置と、を備え、前記プランジャーの先端部の側面と前記液室の内側壁が非接触の状態でプランジャーを進出移動および進出停止することで液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出することを特徴としてもよい。

本発明によれば、線引き塗布の速度を高速化することが可能となる。
また、吐出のタイミングを一定の間隔Ｔ_ｃとして線状塗布を行うことにより、吐出量精度および吐出位置精度を向上させることが可能となる。
さらに、吐出流路が傾斜を有する構成を備える本発明によれば、吐出口と塗布対象物との距離を調節することにより、同時に吐出された液滴間の距離を調節することが可能となる。

第一実施形態例の塗布装置を示す斜視図である。 第一実施形態例の吐出装置の要部側面断面図である。 第一実施形態例のノズル部材の（ａ）底面図、（ｂ）側面断面図である。 第一実施形態例における一回の吐出工程を示す図であり、（ａ）は吐出された液滴が塗布対象物に着弾する前の時点を示し、（ｂ）は吐出された液滴が塗布対象物に着弾した時点を示し、（ｃ）は着弾後、ごく短い時間が経過した時点を示し、（ｄ）は（ｃ）の時点から、ごく短い時間が経過した時点を示し、（ｅ）は（ｄ）の時点から、ごく短い時間が経過した時点を示している。 第一実施形態例の塗布装置による複数回の吐出工程を示す図であり、（ａ）は第一発射直後の時点を側方から視た図、（ｂ）は第二発射直後の時点を側方および上方から視た図、（ｃ）は第三発射直後の時点を側方および上方から視た図、（ｄ）は第四発射直後の時点を側方および上方から視た図、（ｅ）は第五発射直後の時点を側方および上方から視た図である。 飛翔中に二つの液滴が結合した場合を説明する側面図であり、（ａ）は液塊が吐出された直後の時点を示し、（ｂ）は（ａ）の時点から、ごく短い時間が経過した時点を示し、（ｃ）は同時吐出された液塊が塗布対象物に着弾した時点を示している。 第二実施形態例のノズル部材の（ａ）底面図、（ｂ）側面断面図である。 第三実施形態例のノズル部材の底面図である。 第三実施形態例で同時吐出された四つの液滴が結合する様子を上面視したイメージ図である。 第四実施形態例のノズル部材の底面図である。 第四実施形態例で同時吐出された六つの液滴が結合する様子を上面視したイメージ図である。 第五実施形態例のノズル部材の（ａ）側面断面図および（ｂ）吐出口とワークの距離と液滴間の距離の関係を説明する側面図である。 塗布対象物に着弾した二つの液滴が、塗布対象物上で結合しない場合の塗布方法の説明図であり、（ａ）は一回目の吐出、（ｂ）は二回目の吐出、（ｃ）は三回目の吐出、（ｄ）は四回目の吐出を示している。

以下では、本発明の実施形態例を図面を参照しながら説明する。
《第一実施形態例》
＜塗布装置＞
図１に示すように、第一実施形態例の塗布装置２００は、吐出装置１と、架台２０１と、塗布対象物２０７を載置するワークテーブル２０２と、吐出装置とワークテーブルとをＸ方向に相対移動させるＸ駆動装置２０３と、吐出装置とワークテーブルとをＹ方向に相対移動させるＹ駆動装置２０４と、吐出装置とワークテーブルとをＺ方向に相対移動させるＺ駆動装置２０５と、吐出装置１およびＸＹＺ駆動装置（２０３、２０４、２０５）の動作を制御する制御装置２０６とを備えている。
なお、Ｘ方向は平面における一の方向を、Ｙ方向は平面におけるＸ方向と直交する方向を、Ｚ方向は平面と直交する方向を意味するものとする。
本実施形態例においては、Ｘ駆動装置およびＹ駆動装置の移動方向が水平方向、Ｚ駆動装置の移動方向が鉛直方向になるように構成しているが、これ以外の移動方向とすることも可能である。また、Ｘ駆動装置、Ｙ駆動装置およびＺ駆動装置の全てを必要とするわけではなく、例えば、塗布パターンが一方向の直線のみからなる場合は、一方向に移動させる駆動装置のみ（Ｘ駆動装置またはＹ駆動装置のみ）を配置することで、本発明の塗布を行うことが可能である。

＜吐出装置＞
図２に示すように、吐出装置１の本体は、本体上部２と、本体下部３とを備えて構成される。
本体上部２は中心を貫通する貫通孔２１とピストン室（２２、２３）を有し、貫通孔２１およびピストン室にはプランジャー１０が挿通される。プランジャー１０は細長い円柱棒であり、ピストン１１を貫通している。ピストン１１は側周面に環状のシール部材１２が設けられた円盤状の部材である。ピストン１１は、円柱状のピストン室を下方室２２と上方室２３とに気密に分断し、ピストン室内を摺動しながら上下動する。ピストン１１はプランジャー１０と連結されており、ピストン１１が上下動するのに伴いプランジャー１０も上下動する。以下では、プランジャー１０が下方に移動する場合を進出移動といい、プランジャー１０が上方に移動する場合を後退移動という場合がある。

ピストン１１は、上方室２３内に配置された弾性部材１３により下方に付勢されている。下方室２２の側面には、電磁切換弁１６と連通する下方通気口２４が設けられて下方室２２の底面には、プランジャー１０が挿通される環状のシール部材２６が設けられている。電磁切換弁１６は、下方通気口２４をエア供給源１９と連通する第一位置と下方通気口２４を外気と連通する第二位置とを有している。電磁切換弁１６が第一位置にあるとき、エア供給源１９から供給された加圧エアがレギュレータ１８を介して下方通気口２４に供給され、プランジャー先端面１０３が液室の底面４１２から遠ざかる。電磁切換弁１６が第二位置にあるとき、ピストン１１は弾性部材１３の付勢力により下方に移動し、ピストン１１が下方に移動するのと共にプランジャー１０が進出移動する。これにより、プランジャー先端面１０３が液室の底面４１２に着座し、プランジャー１０により推進力を与えられた液室内の液体材料が、吐出口（５１、５２）から吐出される。

なお、プランジャー１０の進出移動を、プランジャー先端面１０３が液室の底面４１２に着座する直前で停止させることで液室内の液体材料に推進力を与えて吐出するよう構成しても良い。プランジャー先端面を着座させずに液滴を吐出する吐出装置としては、例えば、出願人がＷＯ２００８／１０８０９７公報、特開２０１３−０８１８８４で開示するものがある。
本実施形態例では、液室内の液体材料に慣性力を与える吐出部材としてプランジャー１０を用いる構成を例示したが、吐出部材はこれに限定されない。本発明の吐出部材には、例えば、吐出口と連通する液室内に、可動弁体、静電型、圧電型などのアクチュエータ、ダイヤフラムおよび強制変形手段（例えば、殴打ハンマーおよびソレノイド等とロッドの組み合わせ、高圧流体）、バブル発生用ヒーター、などの圧力を発生させる機構も含まれる。

プランジャー１０の下方に位置する先端部１０１が、液室内を進退動を繰り返すことで液体材料が連続吐出される。プランジャー１０が進退動をする間、プランジャーの先端部の側面１０２が液室の内側壁４１１に接触することは無い（図３（ｂ）参照）。本実施形態例では、プランジャー先端面１０３を半球状に構成しているが、プランジャー先端面１０３の形状はこれに限定されず、例えば、平面や吐出口と同心かつ同数の突起付き平面としてもよい。
プランジャー１０の後退位置は、ストッパー１４により規定される。ストッパー１４の位置は、マイクロメータ１５を回転することにより調節することが可能である。

本体上部２の下端には本体下部３が接合されている。本体下部３は中心を貫通する貫通孔３１を有し、貫通孔３１にはプランジャー１０が挿通される。貫通孔３１は液室４１と連通しているが、貫通孔３１の下端には環状のシール部材３２が設けられているため、液室内の液体材料が貫通孔３１に逆流することは無い。液室４１は上下に延びる円柱状の空間であり、上方部分で液体材料が供給される供給路３３と連通されている。供給路３３は、取付部材４に設けられた液送路４２を介して液送部材６の液送路６１と連通される。本実施形態例では、供給路３３、液送路４２および液送路６１を水平に構成しているが、角度を設けて構成することも当然に可能である。

図３（ａ）に示すように、ノズル部材５は、直線であるノズル配置線２０上に設けられた同径円形の第１吐出口５１および第２吐出口５２を有している。第１吐出口５１および第２吐出口５２の直径Ｄ_１は、例えば、数μｍ〜数ｍｍであり、好ましくは数十μｍ〜数百μｍである。第１吐出口５１および第２吐出口５２の形状は例示の円形に限定されず、例えば、ノズル配置線２０に沿って伸びる楕円形とすることが開示される。複数の吐出口の形状ないし配置パターンは、ノズル配置線２０を挟んで対称な形状を構成するようにすることが好ましい。これは、ノズル部材５の下端が平面ではなく、凹凸のある形状である場合にも適用される。

第１吐出口５１と第２吐出口５２の最近接距離（第１吐出口５１の右端と第２吐出口５２の左端の距離）Ｌ_１は、如何なる場合も直径Ｄ_１よりも大きく設定され、例えば、Ｄ_１の２〜１０倍に設定される。言い換えれば、複数の吐出口が、直線であるノズル配置線に沿ってノズル部材に配置され、且つ、塗布対象物に着弾した液体材料が結合して塗布線を形成する距離である。
吐出装置１を塗布装置２００に搭載する際は、ノズル配置線２０が、描画線の描画方向と一致するように配置する。ワークテーブル２０２または吐出装置１にθ方向（ワークテーブルの垂線を中心とした回転方向）に回転する回転機構を設け、ノズル配置線２０を描画線の描画方向と動的に一致可能としてもよい。ここで、ノズル配置線２０を描画線の描画方向と一致させることの意義は、言い換えれば、描画線上にノズル配置線を投写したときに、描線とノズル配置線の方向が一致すること、または、液体材料の吐出方向に対して直角の平面に、ノズル配置線２０と描画線の正射影をした場合に、ノズル配置線２０と描画線の方向が一致することである。さらに言い換えれば、吐出口から吐出される液体材料の吐出方向を含む平面に描画線があることである。これは、塗布対象物の表面が平面でない場合や傾いている場合にも適用可能である。
ここで、本実施形態例における液体材料の吐出方向とは、より正確には、ワークテーブルと吐出装置との相対移動を停止して吐出した場合における液体材料の吐出方向を意味する。本実施形態例のように、液体材料の吐出方向が鉛直方向と等しい場合は、上記の液体材料の吐出方向に対して直角となる線は、水平面上の線となる。
他方で、塗布パターンが、折り曲がり地点を有する複数の直線から構成される場合には、ワークテーブル２０２またはＺ軸駆動装置２０５にθ方向に回転する回転機構を設けることが必須となる。例えば、塗布パターンが四角形であり、四角形の一の頂点が塗布開始点および塗布終了点となる場合、折り曲がり地点は３つとなる。回転機構は、例えば、公知のサーボモータを用いて構成することができる。
また、塗布パターンが、直線部を有する場合には、直線部の方向がＸ方向またはＹ方向に一致するように塗布対象物をワークテーブル２０２に配置し、かつ、ノズル配置線２０が直線部と同方向となるように配置する。これにより、直線部の塗布時にＸ駆動装置２０３またはＹ駆動装置２０４のいずれか一方のみを駆動して塗布することが可能となり、より精度良く塗布線を塗布形成することが可能となる。
すなわち、ＸＹＺ駆動装置（２０３、２０４、２０５）が、吐出装置１とワークテーブル２０２とを相対的に直線移動することが可能な一軸駆動装置（Ｘ駆動装置またはＹ駆動装置）を含む場合は、ノズル配置線２０が当該一軸駆動装置の駆動方向（Ｘ方向またはＹ方向）と一致するように配置することが好ましい。このような配置は、上記の回転機構を有さない場合に特に有効である。

図３（ｂ）に示すように、第１吐出口５１は、細径の第１吐出流路５４および大径吐出流路５７を介して液室４１と連通している。また、第２吐出口５２は、細径の第２吐出流路５５および大径吐出流路５７を介して液室４１と連通している。第１吐出流路５４および第２吐出流路５５は同一形状であり、いずれも中心軸が鉛直方向にある。
第１吐出流路５４および第２吐出流路５５は、大径吐出流路５７を設けず、直接液室４１に連通するように構成してもよい。また、液室４１に直接連通する第１吐出流路５４および第２吐出流路５５を、独立した各２本の細径流路および大径流路により構成してもよい。
平面であるノズル部材５の下端面に設けられた第１吐出口５１および第２吐出口５２は下方に開口しており、ノズル部材５の下端面が水平（液体材料の吐出方向に対して直角の方向）に配置された状態で、これらの吐出口から液体材料が滴下される。

ノズル部材５は、上端につば部５８を有しており、このつば部５８で取付部材４に支持される。取付部材４は、ノズル部材５を支持した状態で本体下部３に螺合して或いはネジ等の固定具により着脱自在に固定される。ノズル部材５は、取付部材４により着脱自在に取り付けられるので、吐出口の直径および最近接距離が異なる複数のノズル部材５を用途に応じて交換することも容易である。ノズル部材５を着脱するための態様は限定されないが、ノズル配置線２０の方向および位置を吐出装置１に対して一定となるように取付可能とする位置決め機構を設けることが好ましい。位置決め機構としては公知の位置決め機構を用いることができ、例えば、ノズル部材５または本体下部３側の部材の一部（例えば、ピン、凸部、切り欠き）が他方の部材に嵌合して位置決めされる構成や、別途に用意された部材（例えば、ピンやネジ）を用いて位置決めする構成が挙げられる。
取付部材４の側面には液送部材６が固設される。液送部材６の上面には、液体貯留容器７が連結されている。液体貯留容器７は、エア式ディスペンサ８を介してエア供給源９から加圧エアの供給を受ける。なお、エア供給源９から供給される加圧エアは、大気以外のガス（例えば、窒素ガス）である場合もある。

＜ＸＹＺ駆動装置＞
ＸＹＺ駆動装置（２０３、２０４、２０５）は、例えば、公知のＸＹＺ軸サーボモータとボールネジとを備えて構成され、吐出装置１の吐出口（５１、５２）をワークの任意の位置に、任意の速度で移動させることが可能である。ＸＹＺ駆動装置（２０３、２０４、２０５）の動作は、制御装置２０６により制御される。

＜制御装置＞
制御装置２０６は、処理装置、塗布プログラムを格納した記憶装置および入力装置を備えて構成され、例えば、パーソナルコンピュータやプログラマブルコントローラなどを用いることができる。制御装置２０６は、架台２０１に全部が内蔵される場合もあれば、一部が架台２０１の外部に設置され、有線または無線により接続される場合もある。制御装置２０６は、入力装置から塗布パターン、塗布基準位置、相対移動速度、吐出タイミング、プランジャー進退速度を含む塗布制御データを受信し、記憶装置に記憶する。処理装置は、記憶装置に記憶された塗布制御データを読み出し、次に述べる塗布動作を実行する。

＜塗布動作＞
塗布装置２００による塗布動作は、Ｘ方向、Ｙ方向または斜め方向（Ｘ方向またはＹ方向と角度を構成する方向）に線状塗布（線引き塗布）を行うものであって、次の如く行われる。
図４（ａ）は、ノズル部材５の吐出口（５１、５２）から、液滴（１５１、１５２）が吐出され、塗布対象物（ワーク）に着弾する前の時点を示している。同図に示すように、本発明では、吐出された液体材料がワーク上で液滴の状態となることが前提とされる。ここで、吐出口（５１、５２）から吐出された液体材料は、吐出口から分断された後に滴を形成してもよいし、ワークに接触した後に吐出口と分断され、塗布対象物上で滴を形成するのでもよい。本明細書では、吐出口から吐出され、吐出口から分断される前の液体材料と、吐出口から吐出された後に分断され、ワークに着弾する前の液滴を合わせて「液塊」と呼称する場合がある。

液体材料がワークに接触した後に吐出口と分断され、塗布対象物上で滴を形成する塗布方法については、例えば、出願人がＷＯ２００８／１４６４６４で開示している。液体材料が塗布対象物に接触した後に吐出口と分断されるためには、ワーク接触前の吐出口（ノズル）とつながった状態の液体材料の高さｈ_０と比べ、吐出口とワークとの距離ｈ_１を数倍未満で吐出動作を行うことが好ましく、吐出口とワークとの距離ｈ_１をｈ_０の２倍未満（ｈ_０＜ｈ_１＜ｈ_０×２）に設定することがより好ましい。

塗布対象物上の近接位置に着弾した二つの液滴が速やかに拡散し結合するためには、一定以上の推進力を液滴に付与する必要がある。しかし、実験の結果、従来のジェット式吐出装置で吐出された液滴には、着弾後の速やかな結合を実現するのに充分な推進力が付与されていることが確認された。

上記に加え重要なことは、同時吐出された複数の液塊が、着弾前に接触または結合しないことである。着弾前に液滴が接触または結合すると液滴が大きくなり、所望の塗布パターンを実現できなくなるからである。すなわち、図６に示すように、飛翔中に二つの液滴が結合してしまうと着弾面が円形となるため、この着弾液に一部重なるように同じ大きさの液滴を着弾させなくては線状塗布を行うことができなくなる（実質的には、一つの吐出口による塗布作業と同じとなる。）。複数の吐出口から同時吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、かつ、ノズル配置線２０に沿って着弾した着弾液を塗布対象物上で結合するように吐出するための条件は、液材の種類や吐出装置の構成などの作業環境により異なるため、作業環境ごとに各要素の条件を変更しながら吐出を繰り返す作業から見いだす必要がある。この作業を行うにあたり、考慮すべき主要な要素としては、吐出口間の距離、吐出口の孔の大きさ、液体材料の粘度、吐出部材の推進力の大きさが例示される（これら以外の要素を調節することも当然可能である。）。また、後述の第五実施形態例で説明するように、吐出口と塗布対象物の距離の調節により、条件設定をすることも有効である。

図４（ｂ）は、同時吐出された液塊が塗布対象物に着弾した時点を示している。同図に示すように、二つの吐出口（５１、５２）から吐出された液体材料は、着弾時には相互に非接触の位置関係にある。別の言い方をすれば、複数の吐出口から吐出された液体材料は吐出口と同数の液滴を形成し、相互に非接触のまま塗布対象物に着弾する。
図４（ｃ）は、同時吐出された液塊が塗布対象物に着弾後、ごく短い時間が経過した時点を示している。同図に示すように、円形に着弾した液滴は塗布対象物上で拡散し、二つの円が接触し結合を開始する。

図４（ｄ）は、図４（ｃ）の時点から、ごく短い時間が経過した時点を示している。同図に示すように、接触した二つの円の結合が更に進展し、幅方向（図中上下方向）の凹みが浅くなる。すなわち、塗布対象物上における二つの液滴の結合は、飛翔中における二つの液滴の結合とは異なり、ノズル配置線２０方向に伸びる細長い形状を形成するように作用する（二つの液滴が合体しても上面視円形とならない。）。
図４（ｅ）は、図４（ｄ）の時点から、ごく短い時間が経過した時点を示している。同図に示すように、二つの円が完全に結合して塗布幅の不均一がなくなり、ノズル配置線２０と同一方向に延びる直線状の細長い塗布パターンが形成される。
図４（ａ）〜（ｅ）は、一回の吐出により所定の長さ（最小単位）の線状塗布を行う工程を示すものであり、この工程を繰り返すことにより所望の長さの塗布線を形成することが可能となる。

図５（ａ）〜（ｅ）は、複数回の吐出により線状塗布を行う工程を示すものである。
図５（ａ）は、第一発射直後の時点を側方から視た図である。
図５（ｂ）は、第二発射直後の時点を側方および上方から視た図である。この時点では、第一発射に係る二つの液滴は塗布対象物上で結合を開始している。
図５（ｃ）は、第三発射直後の時点を側方および上方から視た図である。この時点では、第一発射に係る二つの液滴の結合は更に進展し、第二発射に係る二つの液滴は塗布対象物上で結合を開始している。
図５（ｄ）は、第四発射直後の時点を側方および上方から視た図である。この時点では、第一発射に係る二つの液滴は完全に結合し、第二発射に係る二つの液滴の結合は更に進展し、第三発射に係る二つの液滴は塗布対象物上で結合を開始している。
図５（ｅ）は、第五発射直後の時点を側方および上方から視た図である。この時点では、第一発射および第二発射に係る液滴は完全に結合し、第三発射に係る二つの液滴の結合は更に進展し、第四発射に係る二つの液滴は塗布対象物上で結合を開始している。

このように、本実施形態例では、二つの液塊を同時に吐出するサイクルを繰り返すことで、所望の塗布線を形成することが可能である。ここにいう塗布線には、塗布された液体材料の幅方向（長手方向の側縁）に凹凸が無い図４（ｅ）のような直線状の塗布線だけでなく、図４（ｃ）や図４（ｄ）に開示される幅方向に凸凹がある塗布線も含まれる。液体材料の粘度が相対的に高い場合には、塗布線の幅方向に凸凹が残る場合もあるが、例えば、貼り合わせ時に押しつぶされる接着剤の塗布の場合のように、幅方向に凸凹がある塗布線でも目的を達成できる場合はある。但し、幅方向の凸凹は気泡の原因となるため、凹み量が拡散後の液滴の半径の１／３以下になるように制御することが好ましい。
なお、塗布線は塗布対象物（ワーク）の表面に一様に形成された膜ではなく、表面に***するように形成された線である。

本発明は、複数の吐出口を有するノズルを用い、吐出装置とワークテーブルとを一定の速度Ｖ_ｃで相対移動させながら、吐出のタイミングを一定の間隔Ｔ_ｃとして線状塗布を行うこと可能としている点に格別の効果があるといえる。別の言い方をすれば、本発明では、吐出装置とワークテーブルとを一定の速度で相対移動させながら、プランジャーロッドに一定の往復動作を繰り返させながら線状塗布を行うこと可能としている。吐出のタイミングを一定の間隔Ｔ_ｃとすることで吐出量が一定となり、吐出量精度や吐出位置精度が向上する。このときの間隔Ｔ_ｃは、複数の吐出口から同時吐出された複数の液塊の少なくとも一つが、直前に吐出された塗布対象物上の液体材料（着弾液）に結合して線状の塗布パターンを形成するような間隔とするのが好ましい。なお、直前に吐出された液体材料との結合は、着弾と同時にされる場合もあれば、着弾後の短い時間を経てなされる場合もある。前者は、直前に吐出された液体材料が塗布対象物上で既に拡散されている場合に生じることが多い。
好ましい間隔Ｔ_ｃの一例として、Ｖ_ｃ×Ｔ_ｃが、隣り合う吐出口間の距離となるような間隔とすることが挙げられる。このような間隔に設定した場合、吐出された複数の液塊が結合してできた線部Ｂとその直前に吐出された複数の液塊が結合してできた線部Ａとの塗布対象物上での結合状態を、線部Ａを構成する複数の液塊の結合状態および線部Ｂを構成する複数の液塊の結合状態と同一とすることができ、もって均一な直線を形成する効果が期待できるからである。

図１３は、塗布対象物に着弾した二つの液滴が、塗布対象物上で結合しない場合の塗布方法の説明図である。同図中、直線で示すのが、各回の吐出における吐出口５１の位置である。
１回目の吐出で吐出された二つの液滴（実線および網掛けで図示）が結合しないため、２回目の吐出では、１回目に吐出された二つの液滴の間が連絡されるように二つの液滴（点線および網掛けで図示）の吐出を行うことが必要となる。３回目の吐出では、吐出された液滴の重なり具合が全ての場所で同じになるように、２回目に吐出された進行方向側（右側）の液滴と重なるように二つの液滴（実線および斜線で図示）の吐出を行うことが必要となる。４回目の吐出では、２回目の吐出と同様、３回目に吐出された二つの液滴の間が連絡されるように二つの液滴（点線および斜線で図示）の吐出を行うことが必要となる。
このように、図１３の塗布方法では、吐出装置とワークテーブルとを一定の速度で相対移動させた場合、吐出のタイミングを変えなくてはならないという課題が生じる。他方で、吐出装置とワークテーブルとの相対移動の速度を変えると、液滴の着弾位置の制御が難しくなるという課題が生じる。

以上に説明した第一実施形態例の塗布装置および塗布方法によれば、二つの液塊を同時に吐出して線状塗布を行うので、一つの液塊を重ねて線状塗布を行う場合と比べ、塗布速度を二倍程度高速化することが可能となる。この線状塗布の高速化は直線を塗布するときに特に有利であり、例えば、塗布パターンが一または複数の直線のみから構成される場合に顕著な高速化効果を奏する。
また、複数の吐出口を有するノズルを用い、吐出装置とワークテーブルとを一定の速度で相対移動させながら、吐出のタイミングを一定の間隔として高精度な線状塗布を行うことが可能となる。

《第二実施形態例》
第二実施形態例は、吐出装置１のノズル部材５が等ピッチで配置された三つの吐出口を有する点で第一実施形態例と相違し、その他の構成は第一実施形態例と同様である。以下では第一実施形態例と共通する構成については説明を割愛し、異なる構成について説明を行うものとする。

図７（ａ）に示すように、ノズル部材５は、直線であるノズル配置線２０上に設けられた同径円形の第１吐出口５１、第２吐出口５２および第３吐出口５３を有している。第１〜第３吐出口（５１〜５３）の直径Ｄ_１は、第一実施形態と同様である。第１吐出口５１と第２吐出口５２の最近接距離（第１吐出口５１の右端と第２吐出口５２の左端の距離）Ｌ_１と、第２吐出口５２と第３吐出口５３の最近接距離（第２吐出口５２の右端と第３吐出口５３の左端の距離）Ｌ_２とは同一長である。Ｌ_１およびＬ_２は、如何なる場合も直径Ｄ_１よりも大きく設定され、例えば、Ｄ_１の２〜１０倍に設定される。吐出装置１を塗布装置２００に搭載する際は、ノズル配置線２０が所望の描画線（直線）の方向と一致するように配置する。第一実施形態と同様に、ワークテーブル２０２または吐出装置１に回転機構を設け、回転機構により吐出口の方向を動的に調整してもよい。

図７（ｂ）に示すように、第１〜第３吐出口（５１〜５３）は、第１吐出流路５４、第２吐出流路５５および第３吐出流路５６並びに大径吐出流路５７を介して液室４１と連通している。第１〜第３吐出流路（５４〜５６）は同一形状で有り、いずれも中心軸が鉛直方向にある。すなわち、第１〜第３吐出流路（５４〜５６）は、垂直方向に平行に設けられている。
第二実施形態例によれば、一度の吐出で３滴分の長さの塗布線を形成することが可能となる。また、本実施形態では等ピッチで配置された三つの吐出口を有するノズル部材を開示したが、四つ以上の同一形状の吐出口を等ピッチで配置したノズル部材でも同様の効果が奏される。

《第三実施形態例》
第三実施形態例は、吐出装置１のノズル部材５が等ピッチで配置された四つの吐出口を有する点で第一および第二実施形態例と相違し、その他の構成は第一および第二実施形態例と同様である。以下では第一および第二実施形態例と共通する構成については説明を割愛し、異なる構成について説明を行うものとする。

図８に示すように、ノズル部材５は、直線であるノズル配置線２０上に設けられた大円形の第１吐出口７１および第２吐出口７２、小円形の第３吐出口７３および第４吐出口７４を有している。第１吐出口７１および第２吐出口７２の直径Ｄ_１は、例えば、数十μｍ〜数ｍｍである。第３吐出口７３および第４吐出口７４の直径Ｄ_２は、直径Ｄ_１の１／２〜１／１０であり、例えば、数μｍ〜数百μｍである。大円形の吐出口と小円形の吐出口は、ノズル配置線２０上に交互に、実質的に等間隔に配置されている。

第１吐出口７１と第２吐出口７２の最近接距離（第１吐出口７１の右端と第２吐出口７２の左端の距離）Ｌ_１の中間地点に第３吐出口７３が配置される。第１吐出口７１と第３吐出口７３の最近接距離Ｌ_２は、如何なる場合も直径Ｄ_１よりも大きく設定され、例えば、Ｄ_１の２〜１０倍に設定される。第４吐出口７４は、第２吐出口７２に対し、第３吐出口７３と対称に設けられる。すなわち、第２吐出口７２と第４吐出口７４の最近接距離Ｌ _３は、Ｌ_２と同一である。吐出装置１を塗布装置２００に搭載する際は、ノズル配置線２０が所望の描画線（直線）の方向と一致するように配置する。第一実施形態と同様に、ワークテーブル２０２または吐出装置１に回転機構を設け、回転機構により吐出口の方向を動的に調整してもよい。

図９は、第１〜第４吐出口（７１〜７４）から同時に吐出された四つの液塊が、着弾して塗布対象物上で拡散する様子のイメージ図である。第１〜第４吐出口（７１〜７４）から同時に吐出された四つの液滴（１７１〜１７４）は、図９上段に示すように、着弾時は相互に独立した上面視円形の滴である。図９中段に示すように、着弾後ごく短い時間が経過すると、四つの液滴（１７１〜１７４）はそれぞれ拡散し、結合を開始する。ここで、二つの補助液滴１７３〜１７４は、基本液滴１７１〜１７２の結合を促進させるように作用する。最終的には、図９下段に示すように、四つの円が完全に結合して塗布幅の不均一がなくなり、ノズル配置線２０と同一方向に延びる直線状の細長い塗布パターンが形成される。
なお、各吐出口は円形とすることが好ましいが、本発明の効果は円形以外の形状でも奏される。また、吐出口が複数の大きさの孔から構成される場合、少なくとも最も大きな吐出口は同一形状で同じ大きさに構成することが好ましく、より好ましくは複数の大きさの孔の吐出口を同一形状で同じ大きさの吐出口群の組み合わせ（図８，１０参照）により構成する。
以上のように、二つの補助液滴１７３〜１７４は、基本液滴１７１〜１７２の結合を促進させるように作用する。

《第四実施形態例》
第四実施形態例は、吐出装置１のノズル部材５が六つの吐出口を有する点で第一ないし第三実施形態例と相違し、その他の構成は第一ないし第三実施形態例と同様である。以下では第一ないし第三実施形態例と共通する構成については説明を割愛し、異なる構成について説明を行うものとする。

図１０に示すように、ノズル部材５は、直線であるノズル配置線２０上に設けられた同径大円形の第１吐出口８１および第２吐出口８２と、ノズル配置線に沿って配置された同径小円形の第３吐出口８３、第４吐出口８４、第５吐出口８５および第６吐出口８６を有している。第３吐出口８３および第４吐出口８４はノズル配置線２０を挟んで対称に配置され、第５吐出口８５および第６吐出口８６はノズル配置線２０を挟んで対称に配置されている。別の言い方をすれば、第１〜第６吐出口（８１〜８６）は、ノズル配置線２０に対し対称に配置されている。さらに、別の言い方をすれば、複数の吐出口が、複数の大円形吐出口と複数の小円形吐出口群とを含み、大円形吐出口の全てがノズル配置線２０上に配置され、小円形吐出口群と大円形吐出口とが交互に配置され、小円形吐出口群はノズル配置線２０を挟んで対称に配置された複数の小円形吐出口から構成されている。

第１吐出口８１および第２吐出口８２の直径Ｄ_１は、例えば、数十μｍ〜数ｍｍである。第３吐出口８３、第４吐出口８４、第５吐出口８５および第６吐出口８６の直径Ｄ_２は、直径Ｄ_１の１／２〜１／１０であり、例えば、数μｍ〜数百μｍである。
第１吐出口８１と第２吐出口８２の最近接距離（第１吐出口８１の右端と第２吐出口８２の左端の距離）Ｌ_１の中間地点でノズル配置線２０と直交する直線上に第３吐出口８３および第４吐出口８４が配置される。Ｌ_１の中間地点でノズル配置線２０と直交する直線と第１吐出口８１および第２吐出口８２の最近接距離Ｌ_２（＝Ｌ_１×１／２）は、如何なる場合も直径Ｄ_１よりも大きく設定され、例えば、Ｄ_１の２〜１０倍に設定される。
第５吐出口８５および第６吐出口８６が配置されるノズル配置線２０と直交する直線と第２吐出口７２の最近接距離Ｌ_３は、Ｌ_２と同一である。吐出装置１を塗布装置２００に搭載する際は、ノズル配置線２０が所望の描画線（直線）の方向と一致するように配置する。第一実施形態と同様に、ワークテーブル２０２または吐出装置１に回転機構を設け、回転機構により吐出口の方向を動的に調整してもよい。
なお、本実施形態例のように大型の吐出口と小型の吐出口とを有する場合は、大型の吐出口から吐出される液体材料の吐出方向を含む平面に描画線があるように各吐出口を配置することで、ノズル配置線２０を描画線の描画方向と一致させてもよい。

同径小円形の第３〜第６吐出口（８３〜８６）は、第１および第２吐出口（８１、８２）の結合部を滑らかにするための補助的な液体材料を供給するための補助吐出口として機能する。
図１１は、第１〜第６吐出口（８１〜８６）から同時に吐出された六つの液塊が、着弾して塗布対象物上で拡散する様子のイメージ図である。第１〜第６吐出口（８１〜８６）から同時に吐出された六つの液滴（１８１〜１８６）は、図１１上段に示すように、着弾時は相互に独立した上面視円形の滴である。図１１中段に示すように、着弾後ごく短い時間が経過すると、六つの液滴（１８１〜１８６）はそれぞれ拡散し、結合を開始する。最終的には、図１１下段に示すように、六つの円が完全に結合して塗布幅の不均一がなくなり、ノズル配置線２０と同一方向に延びる直線状の細長い塗布パターンが形成される。
以上のように、四つの補助液滴１８３〜１８６は、基本液滴１８１〜１８２の結合時に生じる幅方向の凹みを速やかに解消するように作用する。なお、本実施形態でも各吐出口は円形とすることが好ましいが、円形に限定されない。

《第五実施形態例》
第五実施形態例は、吐出装置１のノズル部材５の構成が第一ないし第四実施形態例と相違し、その他の構成は第一ないし第四実施形態例と同様である。以下では第一ないし第四実施形態例と共通する構成については説明を割愛し、異なる構成について説明を行うものとする。

図１２（ａ）に示すように、第五実施形態例のノズル部材５は、符号５ａで示す上方部材と符号５ｂで示す下方部材とから構成される。上端につば部５８を有しており、このつば部で取付部材４に支持される。下方部材５ｂは上方部材５ａの下端に螺合して或いはネジ等の固定具により着脱自在に固定される。下方部材５ｂは、上方部材５ａに着脱自在に取り付けられるので、吐出口の直径および距離、或いは、吐出口の噴出角度が異なる複数の下方部材５ｂを用途に応じて交換することも容易である。下方部材５ｂを上方部材５ａに固定する際に、下方部材５ｂの向きを上方部材５ａに対して一定とするための位置決め機構を設けることが好ましい。位置決め機構としては公知の位置決め機構を用いることができ、例えば、下方部材５ｂまたは上方部材５ａの一部（例えば、ピン、凸部、切り欠き）が他方の部材に嵌合して位置決めされる構成や、別途に用意された部材（例えば、ピンやネジ）を用いて位置決めする構成が挙げられる。

第１吐出口９１は、直線状の第１吐出流路９３および大径吐出流路９５を介して液室４１と連通している。また、第２吐出口９２は、直線状の第２吐出流路９４および大径吐出流路９５を介して液室４１と連通している。第１吐出流路９３および第２吐出流路９４は同一形状で有り、いずれもノズル部材の中心軸５９に対し等しい角度で傾斜している。第１吐出流路９３の中心軸とノズル部材の中心軸５９とが構成する角度Ａ_１と第２吐出流路９４の中心軸とノズル部材の中心軸５９とが構成する角度Ａ_２とは等しく、例えば、Ａ_１＝Ａ_２＜４５°に設定される。
本実施形態例では、液体材料の吐出方向は中心軸５９の方向として観念される。

第五実施形態例では、吐出口とワークとの距離ｈをＺ駆動装置２０５で調節することにより、同時吐出された二つの液塊の距離を調節することが可能である。図１２（ｂ）は、吐出口とワークとの距離がｈ_ａである場合とｈ_ｂである場合の液滴の距離（重なり具合）のイメージ図である。同図から分かるように、吐出口とワークとの距離ｈを近づけると液滴間の距離は遠くなり、距離ｈを遠ざけると液滴間の距離は小さくなる。但し、本実施形態例でも、同時吐出された複数の液滴が、着弾前に接触または結合しないように距離ｈを設定することが重要である。

以上に説明した第五実施形態例の塗布装置および塗布方法によれば、吐出口とワークとの距離ｈを調節することで、着弾した二つの液滴の距離ないし重なり具合を調節することが可能である。従って、湿度や室温などの雰囲気環境の違いによる液滴の距離ないし重なり具合の違いに適切に対応することが可能である。
吐出口の数は例示の二個に限定されず、三個以上であってもよい。吐出口の数が奇数個の場合は、中心に位置する吐出口には傾斜を設けず、中心から同じ距離に位置する対となる吐出口をノズル部材の中心軸に対し等しい角度で傾斜させる。
なお、吐出口とワークとの距離ｈを非常に小さい距離に設定する場合には、各吐出口の噴出角度をノズル部材の中心軸から離れる方向（放射状）に設定し、ワーク上で液滴を結合させることも可能である。

本発明は、工業用グリス、半田ペースト、銀ペースト、各種接着剤（ＵＶ硬化型、エポキシ系、ホットメルト系等）、クリーム半田への適用はもちろんのこと、溶剤（０．８ｃｐｓ程度）のような低粘性材料から高粘性材料（１，０００，０００ｃｐｓ程度）までの液体材料を適用することが可能である。

１：吐出装置、２：本体上部、３：本体下部、４：取付部材、５：ノズル部材、６：液送部材、７：液材貯留容器、８：エア式ディスペンサ、９：エア供給源、１０：プランジャー、１１：ピストン、１２：シール部材、１３：弾性部材、１４：ストッパー、１５：マイクロメータ、１６：電磁切換弁、１７：切換弁制御部、１８：減圧弁（レギュレータ）、１９：エア供給源、２０：ノズル配置線、２１：貫通孔、２２：下方室、２３：上方室、２４：下方通気口、２５：上方通気口、３１：貫通孔、３２：シール部材、３３：供給路、４１：液室、４２：液送路、５１：第１吐出口、５２：第２吐出口、５３：第３吐出口、６１：液送路、７１：第１吐出口、７２：第２吐出口、７３：第３吐出口、７４：第４吐出口、８１：第１吐出口、８２：第２吐出口、８３：第３吐出口、８４：第４吐出口、８５：第５吐出口、８６：第６吐出口、９１：第１吐出口、９２：第２吐出口、１０１：プランジャーの先端部、１０２：プランジャーの先端部の側面、１０３：プランジャー先端面、２００：塗布装置、２０１：架台、２０２：ワークテーブル、２０３：Ｘ駆動装置、２０４：Ｙ駆動装置、２０５：Ｚ駆動装置、２０６：制御装置、２１３：Ｘ方向、２１４：Ｙ方向、２１５：Ｚ方向、２０７：塗布対象物（ワーク）、４１１：液室の内側壁、４１２：液室の底面

Claims (24)

1. 塗布装置を用いて塗布対象物上に描画線を線状塗布する方法において、
   前記塗布装置が、
   吐出装置と、
   塗布対象物を載置するワークテーブルと、
   吐出装置とワークテーブルとを相対移動させる駆動装置と、
   吐出装置および駆動装置の動作を制御する制御部と、
   を備え、
   前記吐出装置が、
   液体材料を吐出する複数の吐出口を有するノズルと、
   前記複数の吐出口と複数の吐出流路を介して連通する液室と、
   前記液室内の液体材料に接触する吐出部材と、
   を備え、
   前記吐出部材により前記液室内の液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出し、塗布対象物上で複数の液滴を形成すること、
   前記複数の吐出口が、直線であるノズル配置線に沿って前記ノズルに配置されること、
   前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させること、
   前記複数の吐出口から、吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出して線状塗布を行うことを特徴とする塗布方法。
2. 前記制御部が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを一定の速度Ｖｃを保持してノズル配置線と同じ方向に相対移動させながら、前記吐出された複数の液塊の少なくとも一つが、直前に吐出された塗布対象物上の液体材料に結合して描画線を形成するように、前記吐出装置と前記ワークテーブルとの相対移動速度に基づき吐出のタイミングを一定の間隔Ｔｃとして線状塗布を行うことを特徴とする請求項１に記載の塗布方法。
3. 前記吐出部材の推進力を調節することにより、前記吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出することを特徴とする請求項１または２に記載の塗布方法。
4. 前記複数の吐出流路が、直線状の第１吐出流路と、直線状の第２吐出流路とを備えて構成され、
   前記第１吐出流路の延長線および前記第２吐出流路の延長線が交わるように傾斜をもって配置され、
   前記吐出口と前記塗布対象物との距離ｈを調節することにより、前記第１吐出流路および前記第２吐出流路から吐出された複数の液塊が着弾前に接触しない範囲で前記塗布対象物上に形成する複数の液滴間の距離を調節することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の塗布方法。
5. 前記複数の吐出口のいずれもが、前記ノズル配置線上に配置されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の塗布方法。
6. 前記複数の吐出口がいずれも同一形状であり、等ピッチに配置されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の塗布方法。
7. 前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口とを含み、吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、並びに、
   前記小型吐出口と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の塗布方法。
8. 前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口群とを含み、前記大型吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、
   前記小型吐出口群と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、並びに、
   前記小型吐出口群が、前記ノズル配置線に対して対称に配置された複数の小型吐出口から構成されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の塗布方法。
9. 前記吐出装置または前記ワークテーブルが、回転機構を備え、
   前記回転機構により、前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の塗布方法。
10. 前記線状塗布が、第一の方向に延びる直線状の塗布線と第一の方向と異なる第二の方向に延びる直線状の塗布線とを含む塗布パターンに従い行われることを特徴とする請求項９に記載の塗布方法。
11. 前記ノズルが、前記吐出装置に対し着脱自在に固定されており、
    前記吐出装置が、前記ノズル配置線の方向が前記吐出装置に対して一定になるように前記ノズルを取り付け可能とする位置決め機構を有することを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の塗布方法。
12. 前記吐出装置が、
    前記液室より小径であり、先端部が液室内を進退動するプランジャーと、
    前記プランジャーを進退動させるプランジャー往復移動装置と、
    前記液室に液体材料を供給する液送装置と、を備え、
    前記プランジャーの先端部の側面と前記液室の内側壁が非接触の状態でプランジャーを進出移動および進出停止することで液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出して前記線状塗布を行うことを特徴とする請求項１ないし１１のいずれかに記載の塗布方法。
13. 吐出装置と、塗布対象物を載置するワークテーブルと、吐出装置とワークテーブルとを相対移動させる駆動装置と、吐出装置および駆動装置の動作を制御する制御部と、を備える塗布装置において、
    前記吐出装置が、
    液体材料を吐出する複数の吐出口を有するノズルと、
    前記複数の吐出口と複数の吐出流路を介して連通する液室と、
    前記液室内の液体材料に接触する吐出部材と、を備え、
    前記吐出部材により前記液室内の液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出し、塗布対象物上で複数の液滴を形成可能な吐出装置であって、
    前記複数の吐出口が、直線であるノズル配置線に沿って前記ノズルに配置されること、
    前記制御部が、前記ノズル配置線を描画線の描画方向と一致させた状態で、前記複数の吐出口から、吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出して線状塗布を行うことを特徴とする塗布装置。
14. 前記制御部が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを一定の速度Ｖｃを保持してノズル配置線と同じ方向に相対移動させながら、前記吐出された複数の液塊の少なくとも一つが、直前に吐出された塗布対象物上の液体材料に結合して描画線を形成するように、前記吐出装置と前記ワークテーブルとの相対移動速度に基づき吐出のタイミングを一定の間隔Ｔｃとして線状塗布を行うことを特徴とする請求項１３に記載の塗布装置。
15. 前記制御部が、前記吐出部材の推進力を調節することにより、前記吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出することを特徴とする請求項１３または１４に記載の塗布装置。
16. 前記複数の吐出流路が、直線状の第１吐出流路と、直線状の第２吐出流路とを備えて構成され、
    前記第１吐出流路の延長線および前記第２吐出流路の延長線が交わるように傾斜をもって配置されており、前記吐出口と前記塗布対象物との距離ｈを調節することにより、前記第１吐出流路および前記第２吐出流路から吐出された複数の液塊が着弾前に接触しない範囲で前記塗布対象物上に形成する複数の液滴間の距離を調節できることを特徴とする請求項１３ないし１５のいずれかに記載の塗布装置。
17. 前記複数の吐出口のいずれもが、前記ノズル配置線上に配置されることを特徴とする請求項１３ないし１６のいずれかに記載の塗布装置。
18. 前記複数の吐出口がいずれも同一形状であり、等ピッチに配置されることを特徴とする請求項１３ないし１７のいずれかに記載の塗布装置。
19. 前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口とを含み、吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、並びに、
    前記小型吐出口と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されることを特徴とする請求項１３ないし１７いずれかに記載の塗布装置。
20. 前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口群とを含み、前記大型吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、
    前記小型吐出口群と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、並びに、
    前記小型吐出口群が、前記ノズル配置線に対して対称に配置された複数の小型吐出口から構成されることを特徴とする請求項１３ないし１６いずれかに記載の塗布装置。
21. 前記吐出装置または前記ワークテーブルが、回転機構を備え、
    前記制御部が、前記回転機構により、前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させることを特徴とする請求項１３ないし２０のいずれかに記載の塗布装置。
22. 前記駆動装置が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを相対的に直線移動可能な一軸駆動機構を含み、
    前記ノズル配置線が前記一軸駆動機構の駆動方向と一致して配置されることを特徴とする請求項１３ないし２１のいずれかに記載の塗布装置。
23. 前記ノズルが、前記吐出装置に対し着脱自在に固定されており、
    前記吐出装置が、前記ノズル配置線の方向が前記吐出装置に対して一定になるように前記ノズルを取り付け可能とする位置決め機構を有することを特徴とする請求項１３ないし２２のいずれかに記載の塗布装置。
24. 前記吐出装置が、
    前記液室より小径であり、先端部が液室内を進退動するプランジャーと、
    前記プランジャーを進退動させるプランジャー往復移動装置と、
    前記液室に液体材料を供給する液送装置と、を備え、
    前記プランジャーの先端部の側面と前記液室の内側壁が非接触の状態でプランジャーを進出移動および進出停止することで液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出することを特徴とする請求項１３ないし２３のいずれかに記載の塗布装置。