JP6538649B2 - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents
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Description
上記塗布方法に係る本発明では、前記制御部が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを一定の速度Vcを保持してノズル配置線と同じ方向に相対移動させながら、前記吐出された複数の液塊の少なくとも一つが、直前に吐出された塗布対象物上の液体材料に結合して描画線を形成するように、前記吐出装置と前記ワークテーブルとの相対移動速度に基づき吐出のタイミングを一定の間隔Tcとして線状塗布を行うことを特徴としてもよい。
上記塗布方法に係る本発明では、前記吐出部材の推進力を調節することにより、前記吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出することを特徴としてもよい。
上記塗布方法に係る本発明では、前記複数の吐出流路が、直線状の第1吐出流路と、直線状の第2吐出流路とを備えて構成され、前記第1吐出流路の延長線および前記第2吐出流路の延長線が交わるように傾斜をもって配置され、前記吐出口と前記塗布対象物との距離hを調節することにより、前記第1吐出流路および前記第2吐出流路から吐出された複数の液塊が着弾前に接触しない範囲で前記塗布対象物上に形成する複数の液滴間の距離を調節することを特徴としてもよい。
上記塗布方法に係る本発明では、前記複数の吐出口がいずれも同一形状であり、等ピッチに配置されることを特徴としてもよい。
上記塗布方法に係る本発明では、前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口とを含み、吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、並びに、前記小型吐出口と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、或いは、前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口群とを含み、前記大型吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、前記小型吐出口群と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、並びに、前記小型吐出口群が、前記ノズル配置線に対して対称に配置された複数の小型吐出口から構成されることを特徴としてもよい。
上記塗布方法に係る本発明では、前記吐出装置または前記ワークテーブルが、回転機構を備え、前記回転機構により、前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させることを特徴としてもよく、ここで好ましくは、前記線状塗布が、第一の方向に延びる直線状の塗布線と第一の方向と異なる第二の方向に延びる直線状の塗布線とを含む塗布パターンに従い行われることを特徴とする。
上記塗布方法に係る本発明では、前記ノズルが、前記吐出装置に対し着脱自在に固定されており、前記吐出装置が、前記ノズル配置線の方向が前記吐出装置に対して一定になるように前記ノズルを取り付け可能とする位置決め機構を有することを特徴としてもよい。
上記塗布方法に係る本発明では、前記吐出装置が、前記液室より小径であり、先端部が液室内を進退動するプランジャーと、前記プランジャーを進退動させるプランジャー往復移動装置と、前記液室に液体材料を供給する液送装置と、を備え、前記プランジャーの先端部の側面と前記液室の内側壁が非接触の状態でプランジャーを進出移動および進出停止することで液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出して前記線状塗布を行うことを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記制御部が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを一定の速度Vcを保持してノズル配置線と同じ方向に相対移動させながら、前記吐出された複数の液塊の少なくとも一つが、直前に吐出された塗布対象物上の液体材料に結合して描画線を形成するように、前記吐出装置と前記ワークテーブルとの相対移動速度に基づき吐出のタイミングを一定の間隔Tcとして線状塗布を行うことを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記複数の吐出流路が、直線状の第1吐出流路と、直線状の第2吐出流路とを備えて構成され、前記第1吐出流路の延長線および前記第2吐出流路の延長線が交わるように傾斜をもって配置されており、前記吐出口と前記塗布対象物との距離hを調節することにより、前記第1吐出流路および前記第2吐出流路から吐出された複数の液塊が着弾前に接触しない範囲で前記塗布対象物上に形成する複数の液滴間の距離を調節できることを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記複数の吐出口のいずれもが、前記ノズル配置線上に配置されることを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記複数の吐出口がいずれも同一形状であり、等ピッチに配置されることを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口とを含み、吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、並びに、前記小型吐出口と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、或いは、前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口群とを含み、前記大型吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、前記小型吐出口群と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、並びに、前記小型吐出口群が、前記ノズル配置線に対して対称に配置された複数の小型吐出口から構成されることを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記吐出装置または前記ワークテーブルが、回転機構を備え、前記制御部が、前記回転機構により、前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させることを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記駆動装置が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを相対的に直線移動可能な一軸駆動機構を含み、前記ノズル配置線が前記一軸駆動機構の駆動方向と一致して配置されることを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記ノズルが、前記吐出装置に対し着脱自在に固定されており、前記吐出装置が、前記ノズル配置線の方向が前記吐出装置に対して一定になるように前記ノズルを取り付け可能とする位置決め機構を有することを特徴としてもよい。
上記塗布装置に係る本発明では、前記吐出装置が、前記液室より小径であり、先端部が液室内を進退動するプランジャーと、前記プランジャーを進退動させるプランジャー往復移動装置と、前記液室に液体材料を供給する液送装置と、を備え、前記プランジャーの先端部の側面と前記液室の内側壁が非接触の状態でプランジャーを進出移動および進出停止することで液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出することを特徴としてもよい。
また、吐出のタイミングを一定の間隔Tcとして線状塗布を行うことにより、吐出量精度および吐出位置精度を向上させることが可能となる。
さらに、吐出流路が傾斜を有する構成を備える本発明によれば、吐出口と塗布対象物との距離を調節することにより、同時に吐出された液滴間の距離を調節することが可能となる。
《第一実施形態例》
<塗布装置>
図1に示すように、第一実施形態例の塗布装置200は、吐出装置1と、架台201と、塗布対象物207を載置するワークテーブル202と、吐出装置とワークテーブルとをX方向に相対移動させるX駆動装置203と、吐出装置とワークテーブルとをY方向に相対移動させるY駆動装置204と、吐出装置とワークテーブルとをZ方向に相対移動させるZ駆動装置205と、吐出装置1およびXYZ駆動装置(203、204、205)の動作を制御する制御装置206とを備えている。
なお、X方向は平面における一の方向を、Y方向は平面におけるX方向と直交する方向を、Z方向は平面と直交する方向を意味するものとする。
本実施形態例においては、X駆動装置およびY駆動装置の移動方向が水平方向、Z駆動装置の移動方向が鉛直方向になるように構成しているが、これ以外の移動方向とすることも可能である。また、X駆動装置、Y駆動装置およびZ駆動装置の全てを必要とするわけではなく、例えば、塗布パターンが一方向の直線のみからなる場合は、一方向に移動させる駆動装置のみ(X駆動装置またはY駆動装置のみ)を配置することで、本発明の塗布を行うことが可能である。
図2に示すように、吐出装置1の本体は、本体上部2と、本体下部3とを備えて構成される。
本体上部2は中心を貫通する貫通孔21とピストン室(22、23)を有し、貫通孔21およびピストン室にはプランジャー10が挿通される。プランジャー10は細長い円柱棒であり、ピストン11を貫通している。ピストン11は側周面に環状のシール部材12が設けられた円盤状の部材である。ピストン11は、円柱状のピストン室を下方室22と上方室23とに気密に分断し、ピストン室内を摺動しながら上下動する。ピストン11はプランジャー10と連結されており、ピストン11が上下動するのに伴いプランジャー10も上下動する。以下では、プランジャー10が下方に移動する場合を進出移動といい、プランジャー10が上方に移動する場合を後退移動という場合がある。
本実施形態例では、液室内の液体材料に慣性力を与える吐出部材としてプランジャー10を用いる構成を例示したが、吐出部材はこれに限定されない。本発明の吐出部材には、例えば、吐出口と連通する液室内に、可動弁体、静電型、圧電型などのアクチュエータ、ダイヤフラムおよび強制変形手段(例えば、殴打ハンマーおよびソレノイド等とロッドの組み合わせ、高圧流体)、バブル発生用ヒーター、などの圧力を発生させる機構も含まれる。
プランジャー10の後退位置は、ストッパー14により規定される。ストッパー14の位置は、マイクロメータ15を回転することにより調節することが可能である。
吐出装置1を塗布装置200に搭載する際は、ノズル配置線20が、描画線の描画方向と一致するように配置する。ワークテーブル202または吐出装置1にθ方向(ワークテーブルの垂線を中心とした回転方向)に回転する回転機構を設け、ノズル配置線20を描画線の描画方向と動的に一致可能としてもよい。ここで、ノズル配置線20を描画線の描画方向と一致させることの意義は、言い換えれば、描画線上にノズル配置線を投写したときに、描線とノズル配置線の方向が一致すること、または、液体材料の吐出方向に対して直角の平面に、ノズル配置線20と描画線の正射影をした場合に、ノズル配置線20と描画線の方向が一致することである。さらに言い換えれば、吐出口から吐出される液体材料の吐出方向を含む平面に描画線があることである。これは、塗布対象物の表面が平面でない場合や傾いている場合にも適用可能である。
ここで、本実施形態例における液体材料の吐出方向とは、より正確には、ワークテーブルと吐出装置との相対移動を停止して吐出した場合における液体材料の吐出方向を意味する。本実施形態例のように、液体材料の吐出方向が鉛直方向と等しい場合は、上記の液体材料の吐出方向に対して直角となる線は、水平面上の線となる。
他方で、塗布パターンが、折り曲がり地点を有する複数の直線から構成される場合には、ワークテーブル202またはZ軸駆動装置205にθ方向に回転する回転機構を設けることが必須となる。例えば、塗布パターンが四角形であり、四角形の一の頂点が塗布開始点および塗布終了点となる場合、折り曲がり地点は3つとなる。回転機構は、例えば、公知のサーボモータを用いて構成することができる。
また、塗布パターンが、直線部を有する場合には、直線部の方向がX方向またはY方向に一致するように塗布対象物をワークテーブル202に配置し、かつ、ノズル配置線20が直線部と同方向となるように配置する。これにより、直線部の塗布時にX駆動装置203またはY駆動装置204のいずれか一方のみを駆動して塗布することが可能となり、より精度良く塗布線を塗布形成することが可能となる。
すなわち、XYZ駆動装置(203、204、205)が、吐出装置1とワークテーブル202とを相対的に直線移動することが可能な一軸駆動装置(X駆動装置またはY駆動装置)を含む場合は、ノズル配置線20が当該一軸駆動装置の駆動方向(X方向またはY方向)と一致するように配置することが好ましい。このような配置は、上記の回転機構を有さない場合に特に有効である。
第1吐出流路54および第2吐出流路55は、大径吐出流路57を設けず、直接液室41に連通するように構成してもよい。また、液室41に直接連通する第1吐出流路54および第2吐出流路55を、独立した各2本の細径流路および大径流路により構成してもよい。
平面であるノズル部材5の下端面に設けられた第1吐出口51および第2吐出口52は下方に開口しており、ノズル部材5の下端面が水平(液体材料の吐出方向に対して直角の方向)に配置された状態で、これらの吐出口から液体材料が滴下される。
取付部材4の側面には液送部材6が固設される。液送部材6の上面には、液体貯留容器7が連結されている。液体貯留容器7は、エア式ディスペンサ8を介してエア供給源9から加圧エアの供給を受ける。なお、エア供給源9から供給される加圧エアは、大気以外のガス(例えば、窒素ガス)である場合もある。
XYZ駆動装置(203、204、205)は、例えば、公知のXYZ軸サーボモータとボールネジとを備えて構成され、吐出装置1の吐出口(51、52)をワークの任意の位置に、任意の速度で移動させることが可能である。XYZ駆動装置(203、204、205)の動作は、制御装置206により制御される。
制御装置206は、処理装置、塗布プログラムを格納した記憶装置および入力装置を備えて構成され、例えば、パーソナルコンピュータやプログラマブルコントローラなどを用いることができる。制御装置206は、架台201に全部が内蔵される場合もあれば、一部が架台201の外部に設置され、有線または無線により接続される場合もある。制御装置206は、入力装置から塗布パターン、塗布基準位置、相対移動速度、吐出タイミング、プランジャー進退速度を含む塗布制御データを受信し、記憶装置に記憶する。処理装置は、記憶装置に記憶された塗布制御データを読み出し、次に述べる塗布動作を実行する。
塗布装置200による塗布動作は、X方向、Y方向または斜め方向(X方向またはY方向と角度を構成する方向)に線状塗布(線引き塗布)を行うものであって、次の如く行われる。
図4(a)は、ノズル部材5の吐出口(51、52)から、液滴(151、152)が吐出され、塗布対象物(ワーク)に着弾する前の時点を示している。同図に示すように、本発明では、吐出された液体材料がワーク上で液滴の状態となることが前提とされる。ここで、吐出口(51、52)から吐出された液体材料は、吐出口から分断された後に滴を形成してもよいし、ワークに接触した後に吐出口と分断され、塗布対象物上で滴を形成するのでもよい。本明細書では、吐出口から吐出され、吐出口から分断される前の液体材料と、吐出口から吐出された後に分断され、ワークに着弾する前の液滴を合わせて「液塊」と呼称する場合がある。
図4(c)は、同時吐出された液塊が塗布対象物に着弾後、ごく短い時間が経過した時点を示している。同図に示すように、円形に着弾した液滴は塗布対象物上で拡散し、二つの円が接触し結合を開始する。
図4(e)は、図4(d)の時点から、ごく短い時間が経過した時点を示している。同図に示すように、二つの円が完全に結合して塗布幅の不均一がなくなり、ノズル配置線20と同一方向に延びる直線状の細長い塗布パターンが形成される。
図4(a)〜(e)は、一回の吐出により所定の長さ(最小単位)の線状塗布を行う工程を示すものであり、この工程を繰り返すことにより所望の長さの塗布線を形成することが可能となる。
図5(a)は、第一発射直後の時点を側方から視た図である。
図5(b)は、第二発射直後の時点を側方および上方から視た図である。この時点では、第一発射に係る二つの液滴は塗布対象物上で結合を開始している。
図5(c)は、第三発射直後の時点を側方および上方から視た図である。この時点では、第一発射に係る二つの液滴の結合は更に進展し、第二発射に係る二つの液滴は塗布対象物上で結合を開始している。
図5(d)は、第四発射直後の時点を側方および上方から視た図である。この時点では、第一発射に係る二つの液滴は完全に結合し、第二発射に係る二つの液滴の結合は更に進展し、第三発射に係る二つの液滴は塗布対象物上で結合を開始している。
図5(e)は、第五発射直後の時点を側方および上方から視た図である。この時点では、第一発射および第二発射に係る液滴は完全に結合し、第三発射に係る二つの液滴の結合は更に進展し、第四発射に係る二つの液滴は塗布対象物上で結合を開始している。
なお、塗布線は塗布対象物(ワーク)の表面に一様に形成された膜ではなく、表面に***するように形成された線である。
好ましい間隔Tcの一例として、Vc×Tcが、隣り合う吐出口間の距離となるような間隔とすることが挙げられる。このような間隔に設定した場合、吐出された複数の液塊が結合してできた線部Bとその直前に吐出された複数の液塊が結合してできた線部Aとの塗布対象物上での結合状態を、線部Aを構成する複数の液塊の結合状態および線部Bを構成する複数の液塊の結合状態と同一とすることができ、もって均一な直線を形成する効果が期待できるからである。
1回目の吐出で吐出された二つの液滴(実線および網掛けで図示)が結合しないため、2回目の吐出では、1回目に吐出された二つの液滴の間が連絡されるように二つの液滴(点線および網掛けで図示)の吐出を行うことが必要となる。3回目の吐出では、吐出された液滴の重なり具合が全ての場所で同じになるように、2回目に吐出された進行方向側(右側)の液滴と重なるように二つの液滴(実線および斜線で図示)の吐出を行うことが必要となる。4回目の吐出では、2回目の吐出と同様、3回目に吐出された二つの液滴の間が連絡されるように二つの液滴(点線および斜線で図示)の吐出を行うことが必要となる。
このように、図13の塗布方法では、吐出装置とワークテーブルとを一定の速度で相対移動させた場合、吐出のタイミングを変えなくてはならないという課題が生じる。他方で、吐出装置とワークテーブルとの相対移動の速度を変えると、液滴の着弾位置の制御が難しくなるという課題が生じる。
また、複数の吐出口を有するノズルを用い、吐出装置とワークテーブルとを一定の速度で相対移動させながら、吐出のタイミングを一定の間隔として高精度な線状塗布を行うことが可能となる。
第二実施形態例は、吐出装置1のノズル部材5が等ピッチで配置された三つの吐出口を有する点で第一実施形態例と相違し、その他の構成は第一実施形態例と同様である。以下では第一実施形態例と共通する構成については説明を割愛し、異なる構成について説明を行うものとする。
第二実施形態例によれば、一度の吐出で3滴分の長さの塗布線を形成することが可能となる。また、本実施形態では等ピッチで配置された三つの吐出口を有するノズル部材を開示したが、四つ以上の同一形状の吐出口を等ピッチで配置したノズル部材でも同様の効果が奏される。
第三実施形態例は、吐出装置1のノズル部材5が等ピッチで配置された四つの吐出口を有する点で第一および第二実施形態例と相違し、その他の構成は第一および第二実施形態例と同様である。以下では第一および第二実施形態例と共通する構成については説明を割愛し、異なる構成について説明を行うものとする。
なお、各吐出口は円形とすることが好ましいが、本発明の効果は円形以外の形状でも奏される。また、吐出口が複数の大きさの孔から構成される場合、少なくとも最も大きな吐出口は同一形状で同じ大きさに構成することが好ましく、より好ましくは複数の大きさの孔の吐出口を同一形状で同じ大きさの吐出口群の組み合わせ(図8,10参照)により構成する。
以上のように、二つの補助液滴173〜174は、基本液滴171〜172の結合を促進させるように作用する。
第四実施形態例は、吐出装置1のノズル部材5が六つの吐出口を有する点で第一ないし第三実施形態例と相違し、その他の構成は第一ないし第三実施形態例と同様である。以下では第一ないし第三実施形態例と共通する構成については説明を割愛し、異なる構成について説明を行うものとする。
第1吐出口81と第2吐出口82の最近接距離(第1吐出口81の右端と第2吐出口82の左端の距離)L1の中間地点でノズル配置線20と直交する直線上に第3吐出口83および第4吐出口84が配置される。L1の中間地点でノズル配置線20と直交する直線と第1吐出口81および第2吐出口82の最近接距離L2(=L1×1/2)は、如何なる場合も直径D1よりも大きく設定され、例えば、D1の2〜10倍に設定される。
第5吐出口85および第6吐出口86が配置されるノズル配置線20と直交する直線と第2吐出口72の最近接距離L3は、L2と同一である。吐出装置1を塗布装置200に搭載する際は、ノズル配置線20が所望の描画線(直線)の方向と一致するように配置する。第一実施形態と同様に、ワークテーブル202または吐出装置1に回転機構を設け、回転機構により吐出口の方向を動的に調整してもよい。
なお、本実施形態例のように大型の吐出口と小型の吐出口とを有する場合は、大型の吐出口から吐出される液体材料の吐出方向を含む平面に描画線があるように各吐出口を配置することで、ノズル配置線20を描画線の描画方向と一致させてもよい。
図11は、第1〜第6吐出口(81〜86)から同時に吐出された六つの液塊が、着弾して塗布対象物上で拡散する様子のイメージ図である。第1〜第6吐出口(81〜86)から同時に吐出された六つの液滴(181〜186)は、図11上段に示すように、着弾時は相互に独立した上面視円形の滴である。図11中段に示すように、着弾後ごく短い時間が経過すると、六つの液滴(181〜186)はそれぞれ拡散し、結合を開始する。最終的には、図11下段に示すように、六つの円が完全に結合して塗布幅の不均一がなくなり、ノズル配置線20と同一方向に延びる直線状の細長い塗布パターンが形成される。
以上のように、四つの補助液滴183〜186は、基本液滴181〜182の結合時に生じる幅方向の凹みを速やかに解消するように作用する。なお、本実施形態でも各吐出口は円形とすることが好ましいが、円形に限定されない。
第五実施形態例は、吐出装置1のノズル部材5の構成が第一ないし第四実施形態例と相違し、その他の構成は第一ないし第四実施形態例と同様である。以下では第一ないし第四実施形態例と共通する構成については説明を割愛し、異なる構成について説明を行うものとする。
本実施形態例では、液体材料の吐出方向は中心軸59の方向として観念される。
吐出口の数は例示の二個に限定されず、三個以上であってもよい。吐出口の数が奇数個の場合は、中心に位置する吐出口には傾斜を設けず、中心から同じ距離に位置する対となる吐出口をノズル部材の中心軸に対し等しい角度で傾斜させる。
なお、吐出口とワークとの距離hを非常に小さい距離に設定する場合には、各吐出口の噴出角度をノズル部材の中心軸から離れる方向(放射状)に設定し、ワーク上で液滴を結合させることも可能である。
Claims (24)
- 塗布装置を用いて塗布対象物上に描画線を線状塗布する方法において、
前記塗布装置が、
吐出装置と、
塗布対象物を載置するワークテーブルと、
吐出装置とワークテーブルとを相対移動させる駆動装置と、
吐出装置および駆動装置の動作を制御する制御部と、
を備え、
前記吐出装置が、
液体材料を吐出する複数の吐出口を有するノズルと、
前記複数の吐出口と複数の吐出流路を介して連通する液室と、
前記液室内の液体材料に接触する吐出部材と、
を備え、
前記吐出部材により前記液室内の液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出し、塗布対象物上で複数の液滴を形成すること、
前記複数の吐出口が、直線であるノズル配置線に沿って前記ノズルに配置されること、
前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させること、
前記複数の吐出口から、吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出して線状塗布を行うことを特徴とする塗布方法。 - 前記制御部が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを一定の速度Vcを保持してノズル配置線と同じ方向に相対移動させながら、前記吐出された複数の液塊の少なくとも一つが、直前に吐出された塗布対象物上の液体材料に結合して描画線を形成するように、前記吐出装置と前記ワークテーブルとの相対移動速度に基づき吐出のタイミングを一定の間隔Tcとして線状塗布を行うことを特徴とする請求項1に記載の塗布方法。
- 前記吐出部材の推進力を調節することにより、前記吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出することを特徴とする請求項1または2に記載の塗布方法。
- 前記複数の吐出流路が、直線状の第1吐出流路と、直線状の第2吐出流路とを備えて構成され、
前記第1吐出流路の延長線および前記第2吐出流路の延長線が交わるように傾斜をもって配置され、
前記吐出口と前記塗布対象物との距離hを調節することにより、前記第1吐出流路および前記第2吐出流路から吐出された複数の液塊が着弾前に接触しない範囲で前記塗布対象物上に形成する複数の液滴間の距離を調節することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の塗布方法。 - 前記複数の吐出口のいずれもが、前記ノズル配置線上に配置されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の塗布方法。
- 前記複数の吐出口がいずれも同一形状であり、等ピッチに配置されることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の塗布方法。
- 前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口とを含み、吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、並びに、
前記小型吐出口と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の塗布方法。 - 前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口群とを含み、前記大型吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、
前記小型吐出口群と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、並びに、
前記小型吐出口群が、前記ノズル配置線に対して対称に配置された複数の小型吐出口から構成されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の塗布方法。 - 前記吐出装置または前記ワークテーブルが、回転機構を備え、
前記回転機構により、前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させることを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載の塗布方法。 - 前記線状塗布が、第一の方向に延びる直線状の塗布線と第一の方向と異なる第二の方向に延びる直線状の塗布線とを含む塗布パターンに従い行われることを特徴とする請求項9に記載の塗布方法。
- 前記ノズルが、前記吐出装置に対し着脱自在に固定されており、
前記吐出装置が、前記ノズル配置線の方向が前記吐出装置に対して一定になるように前記ノズルを取り付け可能とする位置決め機構を有することを特徴とする請求項1ないし10のいずれかに記載の塗布方法。 - 前記吐出装置が、
前記液室より小径であり、先端部が液室内を進退動するプランジャーと、
前記プランジャーを進退動させるプランジャー往復移動装置と、
前記液室に液体材料を供給する液送装置と、を備え、
前記プランジャーの先端部の側面と前記液室の内側壁が非接触の状態でプランジャーを進出移動および進出停止することで液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出して前記線状塗布を行うことを特徴とする請求項1ないし11のいずれかに記載の塗布方法。 - 吐出装置と、塗布対象物を載置するワークテーブルと、吐出装置とワークテーブルとを相対移動させる駆動装置と、吐出装置および駆動装置の動作を制御する制御部と、を備える塗布装置において、
前記吐出装置が、
液体材料を吐出する複数の吐出口を有するノズルと、
前記複数の吐出口と複数の吐出流路を介して連通する液室と、
前記液室内の液体材料に接触する吐出部材と、を備え、
前記吐出部材により前記液室内の液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出し、塗布対象物上で複数の液滴を形成可能な吐出装置であって、
前記複数の吐出口が、直線であるノズル配置線に沿って前記ノズルに配置されること、
前記制御部が、前記ノズル配置線を描画線の描画方向と一致させた状態で、前記複数の吐出口から、吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出して線状塗布を行うことを特徴とする塗布装置。 - 前記制御部が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを一定の速度Vcを保持してノズル配置線と同じ方向に相対移動させながら、前記吐出された複数の液塊の少なくとも一つが、直前に吐出された塗布対象物上の液体材料に結合して描画線を形成するように、前記吐出装置と前記ワークテーブルとの相対移動速度に基づき吐出のタイミングを一定の間隔Tcとして線状塗布を行うことを特徴とする請求項13に記載の塗布装置。
- 前記制御部が、前記吐出部材の推進力を調節することにより、前記吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出することを特徴とする請求項13または14に記載の塗布装置。
- 前記複数の吐出流路が、直線状の第1吐出流路と、直線状の第2吐出流路とを備えて構成され、
前記第1吐出流路の延長線および前記第2吐出流路の延長線が交わるように傾斜をもって配置されており、前記吐出口と前記塗布対象物との距離hを調節することにより、前記第1吐出流路および前記第2吐出流路から吐出された複数の液塊が着弾前に接触しない範囲で前記塗布対象物上に形成する複数の液滴間の距離を調節できることを特徴とする請求項13ないし15のいずれかに記載の塗布装置。 - 前記複数の吐出口のいずれもが、前記ノズル配置線上に配置されることを特徴とする請求項13ないし16のいずれかに記載の塗布装置。
- 前記複数の吐出口がいずれも同一形状であり、等ピッチに配置されることを特徴とする請求項13ないし17のいずれかに記載の塗布装置。
- 前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口とを含み、吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、並びに、
前記小型吐出口と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されることを特徴とする請求項13ないし17いずれかに記載の塗布装置。 - 前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口群とを含み、前記大型吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、
前記小型吐出口群と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、並びに、
前記小型吐出口群が、前記ノズル配置線に対して対称に配置された複数の小型吐出口から構成されることを特徴とする請求項13ないし16いずれかに記載の塗布装置。 - 前記吐出装置または前記ワークテーブルが、回転機構を備え、
前記制御部が、前記回転機構により、前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させることを特徴とする請求項13ないし20のいずれかに記載の塗布装置。 - 前記駆動装置が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを相対的に直線移動可能な一軸駆動機構を含み、
前記ノズル配置線が前記一軸駆動機構の駆動方向と一致して配置されることを特徴とする請求項13ないし21のいずれかに記載の塗布装置。 - 前記ノズルが、前記吐出装置に対し着脱自在に固定されており、
前記吐出装置が、前記ノズル配置線の方向が前記吐出装置に対して一定になるように前記ノズルを取り付け可能とする位置決め機構を有することを特徴とする請求項13ないし22のいずれかに記載の塗布装置。 - 前記吐出装置が、
前記液室より小径であり、先端部が液室内を進退動するプランジャーと、
前記プランジャーを進退動させるプランジャー往復移動装置と、
前記液室に液体材料を供給する液送装置と、を備え、
前記プランジャーの先端部の側面と前記液室の内側壁が非接触の状態でプランジャーを進出移動および進出停止することで液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出することを特徴とする請求項13ないし23のいずれかに記載の塗布装置。
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