JP6532269B2 - 合成石英ガラスの製造方法 - Google Patents
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Description
水素濃度に関しては水素濃度の分布勾配が大きくできてしまうとその部分の屈折率が変化してしまい、屈折率均質性を悪化させてしまうことが知られている。本件のダミー部分を設けることにより、この合成石英ガラス製品部分の屈折率均質性の悪化を防ぐことができる。
外径160mm以上の合成石英ガラス母材から必要重量を切り出して、カーボンを型として溶融成型を行い、外径310mm厚み85mmの円柱形状の上下面及び側面を有する合成石英ガラスの成型体を作製した。また外径380mm内径320mm高さ80mmの合成石英ガラス製のリングを作製し、側面ダミー石英ガラスとした。さらに外径380mm厚み10mmの合成石英ガラス製の板を2枚作製し、それぞれ上面ダミー石英ガラス及び下面ダミー石英ガラスとした。
外径160mmの合成石英ガラス母材から必要重量を切り出して、カーボンを型として溶融成型を行い、外径310mm厚み85mmの円柱形状の上下面及び側面を有する合成石英ガラスの成型体を作製した。また外径360mm内径320mm高さ80mmの合成石英ガラス製のリングを作製し、側面ダミー石英ガラスとした。さらに外径380mm高さ20mmの合成石英ガラス製板を2枚作製し、それぞれ上面ダミー石英ガラス及び下面ダミー石英ガラスとした。
外径160mm以上の合成石英ガラス母材から必要重量を切り出して、カーボンを型として溶融成型を行い、外径310mm厚み85mmの円柱形状の上下面及び側面を有する合成石英ガラスの成型体を作製した。また外径380mm内径320mm高さ80mmの合成石英ガラス製のリングを作製し、側面ダミー石英ガラスとした。さらに外径380mm厚み10mmの合成石英ガラス製の板を2枚作製し、それぞれ上面ダミー石英ガラス及び下面ダミー石英ガラスとした。
外径160mm以上の合成石英ガラス母材から必要重量を切り出して、カーボンを型として溶融成型を行い、外径320mm厚み80mmの円柱形状の上下面及び側面を有する合成石英ガラスの成型体を作製した。この合成石英ガラスの成型体を熱処理炉(大気炉)内の炉材上に設置し、室温から10時間かけて1200℃まで昇温し、1200℃で50時間維持した後、100時間かけて1000℃まで降温し、その後ヒーターによる加熱を停止し、放冷した。さらにこの熱処理後にこの合成石英ガラスの成型体を加圧加熱炉内に設置して、室温から4時間かけて500℃まで昇温し、500℃で600時間維持した後、加熱を停止して放冷した。この加圧加熱炉での熱処理時は、雰囲気を水素、圧力を1気圧とした。このようにして、外径320mm厚み80mmの円柱形状の合成石英ガラスの製品を得た。
外径160mm以上の合成石英ガラス母材から必要重量を切り出して、カーボンを型として溶融成型を行い、外径380mm厚み100mmの円柱形状の上下面及び側面を有する合成石英ガラスの成型体を作製した。この合成石英ガラスの成型体を熱処理炉(大気炉)内の炉材上に設置し、室温から10時間かけて1200℃まで昇温し、1200℃で50時間維持した後、100時間かけて1000℃まで降温し、その後ヒーターによる加熱を停止し、放冷した。さらにこの熱処理後にこの合成石英ガラスの成型体を加圧加熱炉内に設置して、室温から4時間かけて500℃まで昇温し、500℃で800時間維持した後、加熱を停止して放冷した。この加圧加熱炉での熱処理時は、雰囲気を水素、圧力を1気圧とした。
外径160mm以上の合成石英ガラス母材から必要重量を切り出して、カーボンを型として溶融成型を行い、外径320mm厚み80mmの円柱形状の上下面及び側面を有する合成石英ガラスの成型体を作製した。また外径380mm内径325mm高さ82mmの合成石英ガラス製のリングを作製し、側面ダミー石英ガラスとした。さらに外径380mm厚み10mmの合成石英ガラス製の板を2枚作製し、それぞれ上面ダミー石英ガラス及び下面ダミー石英ガラスとした。
Claims (3)
- 合成石英ガラス母材を、上下面及び側面を有する成型体に成型する成型工程と、
前記成型体の前記上下面及び側面にダミー石英ガラスを溶着してダミー部を形成し、ダミー付中間体を作製する中間体作製工程と、
前記ダミー付中間体を熱処理する熱処理工程と、
前記ダミー付中間体の前記ダミー部を除去し、合成石英ガラスとするダミー部除去工程と、
を含み、
前記合成石英ガラスの屈折率均質性が1.0×10 −6 以下である、合成石英ガラスの製造方法。 - 前記熱処理工程の後、前記ダミー付中間体に対して水素処理を行う水素処理工程と、をさらに含む、請求項1記載の合成石英ガラスの製造方法。
- 前記上下面及び側面に溶着される前記ダミー石英ガラスの厚みが少なくとも10mm以上である、請求項1又は2記載の合成石英ガラスの製造方法。
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