JP6529715B2 - シリコンウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
フッ素イオンF-は、電気陰性度が最も高いイオンであり、シリコンウェーハ表面で強固なイオン結合を形成しウェーハ表面に留まるが、塩酸含有水溶液によりすすぎ洗いすることで、F-の存在を抑制し、ウェーハ表面に留まっていたフッ素を中性状態のHFとして除去することができる。ただし、HF洗浄の次工程の湿式処理として、塩酸含有水溶液による洗浄以外の処理、例えば水洗や他の薬液による洗浄を行うと、シリコンウェーハ表面からフッ素イオンを高度に除去することは困難であることも、本発明者の検討の結果、明らかとなった。
本発明は、以上の知見に基づき完成された。
シリコンウェーハを準備する工程と、
前記シリコンウェーハの表面を洗浄する工程と、
を含むシリコンウェーハの製造方法であって、
前記洗浄工程は、
フッ化水素酸による洗浄と、
フッ化水素酸による洗浄の次工程の湿式処理として塩酸含有水溶液による洗浄と、
を含む、シリコンウェーハの製造方法、
により達成された。
以下、本発明のシリコンウェーハの製造方法について、更に詳細に説明する。
洗浄工程が施されるシリコンウェーハは、公知の方法により準備することができる。例えば、CZ法等により育成されたシリコンインゴットからのウェーハを切り出し(スライシング)、得られたシリコンウェーハを、粗研磨(ラッピング)、エッチング、研磨(ポリッシング)等の表面処理に付すことにより、洗浄工程が施されるシリコンウェーハを準備することができる。ただし本発明は、上記の方法に特に限定されるものではない。また、市販のシリコンウェーハを入手することも、シリコンウェーハを準備する工程の一態様として、本発明に包含されるものとする。
本発明のシリコンウェーハの製造方法における洗浄工程は、少なくとも、HF洗浄と、HF洗浄の次工程の湿式処理として行われる塩酸含有水溶液による洗浄と、を含む。ここで、フッ化水素酸による洗浄(HF洗浄)の次工程の湿式処理として塩酸含有水溶液による洗浄を含むとは、HF洗浄の後に、水、洗浄液等の液体をHF洗浄後のシリコンウェーハ表面に接触させる処理を行わずに、塩酸含有水溶液による洗浄を行うことをいうものとする。このように、HF洗浄後の次工程の湿式処理として塩酸含有水溶液による洗浄を行うことにより、HF処理後にシリコンウェーハ表面に残留したフッ素イオンを高度に除去することができる。
HF洗浄は、シリコンウェーハに通常施されるHF洗浄と同様に行うことができる。例えば、弗酸濃度0.01〜5質量%程度のフッ化水素酸(HF水溶液)をシリコンウェーハ表面と接触させることにより、シリコンウェーハ表面をフッ化水素酸により洗浄することができる。シリコンウェーハ表面とフッ化水素酸との接触は、例えば、フッ化水素酸を含む液槽にシリコンウェーハを浸漬することにより行うことができる。洗浄時のフッ化水素酸は、常温であっても加熱または冷却してもよく、液温は特に限定されるものではない。なお常温とは、温度制御(加熱または冷却)がされていない状態の温度をいうものとする。シリコンウェーハとフッ化水素酸との接触時間(洗浄時間)も特に限定されるものではなく、一例として、例えば0.5〜10分程度とすることができる。なおHF洗浄によりシリコンウェーハ表層の自然酸化膜(SiO2膜)を完全に除去してもよく、一部を残してよい。自然酸化膜を完全に除去すると、ウォーターマークの発生等によりLPD(Light Point Defect)品質が低下することがあるため、HF洗浄後に自然酸化膜をわずかに(例えば膜厚0.5nm以下程度)残すことが好ましい場合もあるが、本発明では、特に限定されるものではない。自然酸化膜が残留しているシリコンウェーハ表面は親水性が高いためフッ素イオンがより残留しやすい傾向があるが、そのような場合であっても本発明によれば、後述の塩酸含有水溶液による洗浄によりフッ素イオンを除去し、残留フッ素イオンの少ないシリコンウェーハを提供することができる。
本発明のシリコンウェーハの製造方法では、上記HF洗浄が施されたシリコンウェーハに、HF洗浄の次工程の湿式処理として、塩酸含有水溶液による洗浄を施す。これにより、HF洗浄後のシリコンウェーハ表面に残留したフッ素イオンを高度に除去し、残留フッ素イオン量の少ないシリコンウェーハを提供することが可能となる。
・共存する酸が、ウェーハ表面に留まっていたフッ素イオンと酸性溶液に含まれていた酸により生成されたHFとともに、シリコンウェーハ表面をエッチングし面荒れを起こす;
・共存する酸がシリコンウェーハ表面に強固に付着してしまう;
・共存する酸が酸化力が強いものであると配管部材等の腐食の原因となる;
といった現象が発生する場合がある。これに対し、酸成分として塩酸のみを含む酸性水溶液であれば、上記現象の発生なく、HF洗浄後にシリコンウェーハ表面に残留したフッ素イオンを除去することが可能となる。したがって上記塩酸含有水溶液は、酸成分として塩酸のみを含む水溶液であることが好ましい。また、上記塩酸含有水溶液には、酸成分以外の成分も含まれていてもよい。そのような成分としては、例えば非イオン性界面活性剤、増粘剤(水溶性高分子)等の、塩酸とフッ素イオンとのHF生成反応を妨げない成分が好ましい。
本発明のシリコンウェーハの洗浄工程は、上述のHF洗浄と、HF洗浄の次工程の湿式処理として行われる塩酸含有水溶液による洗浄を必須の洗浄処理として含むが、これら必須の洗浄処理の前後に、他の洗浄処理を行うこともできる。他の洗浄処理としては、半導体基板の洗浄処理として従来公知の各種洗浄処理、例えば、SC−1洗浄、オゾン水による洗浄、水洗等の1つ以上を行うことができる。ここでSC−1洗浄とは、アンモニア水/H2O2/H2Oが混合されたSC1液による洗浄処理をいうものとする。SC1液は、常温であっても加熱または冷却されていてもよい。また、洗浄に用いるオゾン水のオゾン濃度は、質量基準で2〜20ppm程度とすることが好適である。水洗に用いる水およびオゾン水は、常温であっても、加熱または冷却してもよい。処理時間は、特に限定されるものではない。上記塩酸含有水溶液による洗浄の後に任意に行う洗浄処理としては、水洗およびオゾン水による洗浄のいずれかまたは両方の洗浄が好ましい。また、HF洗浄前に任意に行う洗浄処理としては、表面に存在するパーティクル成分除去の点から、SC−1洗浄および水洗のいずれかまたは両方が好ましい。
1.第一段階(SC−1洗浄)
仕上研磨を施した後のシリコンウェーハ(直径:300mm)を準備した。準備したシリコンウェーハを、60℃の29質量%アンモニア水:30質量%H2O2:H2O = 0.5:1:10(体積比)で調合した溶液にて4分間間洗浄した。
2・第二段階(水洗)
第一段階の処理を行ったシリコンウェーハを、常温の超純水にて4分間、連続注水方式でリンス処理を行った。
3.第三段階(HF洗浄)
第二段階の処理を行ったシリコンウェーハを、常温の0.05質量%HF溶液(フッ化水素酸)に4分間浸漬し、HF洗浄を行った。
4.第四段階(塩酸含有水溶液による洗浄)
第三段階の処理を行ったシリコンウェーハを、他の湿式処理を行うことなく直ちに、塩酸濃度が質量基準で0.005ppmの常温の塩酸含有水溶液に4分間浸漬し、洗浄処理を行った。
5.第五段階(水洗)
第四段階の処理を行ったシリコンウェーハを、常温の超純水にて4分間、連続注水方式でリンス処理を行った。
第四段階において用いる塩酸含有水溶液を、塩酸濃度0.01ppmの塩酸含有水溶液に変更した点以外、実施例1と同様の処理を実施した。
第四段階において用いる塩酸含有水溶液を、塩酸濃度1ppmの塩酸含有水溶液に変更した点以外、実施例1と同様の処理を実施した。
第四段階において用いる塩酸含有水溶液を、塩酸濃度1000ppmの塩酸含有水溶液に変更した点以外、実施例1と同様の処理を実施した。
第四段階において用いる塩酸含有水溶液を、塩酸濃度2000ppmの塩酸含有水溶液に変更した点以外、実施例1と同様の処理を実施した。
第四段階の塩酸含有水溶液による洗浄を実施しなかった点以外、実施例1と同様の処理を実施した。
第四段階の塩酸含有水溶液による洗浄を、オゾン濃度10ppmのオゾン水にて4分間、連続供給方式で行う洗浄処理に変更した点以外、実施例1と同様の処理を実施した。
第三段階のHF洗浄と第四段階の塩酸含有水溶液による洗浄との間に、常温の超純水にて4分間、連続注水方式でリンス処理を行った点以外、実施例1と同様の処理を実施した。
第三段階のHF洗浄と第四段階の塩酸含有水溶液による洗浄との間に、オゾン濃度10ppmのオゾン水にて4分間、連続供給方式で洗浄処理を行った点以外、実施例1と同様の処理を実施した。
1.フッ素イオン(F-)濃度、塩素イオン(Cl-)濃度の測定
洗浄後のシリコンウェーハ表面に存在するフッ素イオン濃度および塩素イオン濃度を、イオンクロマトグラフ法により測定した。
2.ヘイズ値の測定
ヘイズ値は、洗浄後のシリコンウェーハ表面をパーティクルカウンター(KLA-Tencor社製SP−2)により測定し、DWOモードで得られる値により確認した。
また、HF洗浄後に塩酸含有水溶液による洗浄に代えてオゾン水による洗浄を行った比較例2では、オゾン水による洗浄を行わなかった比較例1よりも高いフッ素イオン濃度が確認された。
一方、HF洗浄と塩酸含有水溶液による洗浄との間に、他の湿式処理を行った比較例3、4(比較例3;水洗、比較例4;オゾン水による洗浄)では、実施例1〜5のようにシリコンウェーハ表面からフッ素イオンを高度に除去することはできなかった。
以上の結果から、HF洗浄の次工程の湿式処理として塩酸含有水溶液による洗浄を行うことで、HF処理後にシリコンウェーハ表面に残留したフッ素イオンを高度に除去できることが確認された。
また、実施例1〜5では、比較例と比べてヘイズの値は同程度以下であったことから、表面を大きく荒らすことなく、HF処理後にシリコンウェーハ表面に残留したフッ素イオンを効率的に除去できることも確認された。
更に、実施例同士の対比から、フッ素イオンをより効率的に除去する観点からは、塩酸を質量基準で0.01ppm以上含む塩酸含有水溶液を用いることが好ましいこと(実施例2〜5)、およびシリコンウェーハ表面の残留塩素イオン量低減の観点からは、塩酸を質量基準で1000ppm以下含む塩酸含有水溶液を用いることが好ましいこと(実施例1〜4)も確認できる。
Claims (5)
- シリコンウェーハを準備する工程と、
前記シリコンウェーハの表面を洗浄する工程と、
を含むシリコンウェーハの製造方法であって、
前記洗浄工程は、
フッ化水素酸による洗浄と、
フッ化水素酸による洗浄の次工程の湿式処理として塩酸含有水溶液による洗浄と、を含み、
前記フッ化水素酸による洗浄を、フッ化水素酸を含む液槽に前記シリコンウェーハを浸漬することにより行い、
前記塩酸含有水溶液による洗浄を、前記塩酸含有水溶液を含む液槽に前記フッ化水素酸による洗浄後のシリコンウェーハを浸漬することにより行い、
前記塩酸含有水溶液は、塩酸を質量基準で0.01ppm以上1ppm以下含む、シリコンウェーハの製造方法。 - 前記塩酸含有水溶液は、酸成分として塩酸のみを含む水溶液である請求項1に記載のシリコンウェーハの製造方法。
- 前記塩酸含有水溶液による洗浄時間は、5分以下である請求項1または2に記載のシリコンウェーハの製造方法。
- 前記フッ化水素酸による洗浄の前にSC−1洗浄および水洗からなる群から選択される一種以上の洗浄を行う請求項1〜3のいずれか1項に記載のシリコンウェーハの製造方法。
- 前記塩酸含有水溶液による洗浄の後に、水洗およびオゾン水による洗浄からなる群から選択される一種以上の洗浄を行う請求項1〜4のいずれか1項に記載のシリコンウェーハの製造方法。
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