JP6529279B2 - 振動型駆動装置、レンズ鏡筒及び撮像装置 - Google Patents

Description

本発明は、振動型駆動装置、レンズ鏡筒及び撮像装置に関する。

振動型駆動装置として、複数の振動体の駆動力を合成することにより回転駆動力を発生させるものが知られている。例えば、２つの突起部を有する複数の振動体が円環状の基台の表面に周方向に等間隔に取り付けられ、円環状の被駆動体（接触体）と各振動体の２つの突起部とを加圧接触させた振動型駆動装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

図８（ａ）は、２つの突起部を有する周知の振動体２０の概略構成を示す平面図であり、図８（ｂ）は、振動体２０の概略構成を示す側面図である。振動体２０は、薄板状の圧電素子２３と弾性体２１とを有し、弾性体２１の一方の面に圧電素子２３が接合されている。弾性体２１において圧電素子２３が接合されている面の反対側の面には、弾性体２１の厚さ方向であるＺ方向に突出する突起部２２が２カ所に設けられている。２カ所の突起部２２の先端面が不図示の接触体と加圧接触し、後述するように、２カ所の突起部２２を結ぶ方向であるＸ方向が、振動体２０と接触体との相対的な移動方向となる。

弾性体２１には、弾性体２１のＸ方向に延出する連結部２５を介して、振動体２０を不図示の基台に固定するために用いられる弾性体支持部２４が設けられている。なお、連結部２５の厚さは、振動体２０に生じる振動の弾性体支持部２４への伝達を抑制するために弾性体２１の厚さよりも薄くなっている。また、弾性体２１、連結部２５及び弾性体支持部２４は、金属板材を加工等することにより一体的に形成されている。

図９は、振動体２０に励振させる振動モードを説明する図である。圧電素子２３に所定の交流電圧を印加することにより、振動体２０には、第１の屈曲振動モードと第２の屈曲振動モードの各振動が励振される。第１の屈曲振動モードは、弾性体２１のＹ方向（Ｘ方向及びＺ方向と直交する方向）と直交する方向に振動の節となる２本の節線Ｙ１，Ｙ２が現れ、節線Ｙ１，Ｙ２の間の中央部が振動の腹となる１次の面外屈曲振動モードである。第２の屈曲振動モードでは、節線Ｙ１，Ｙ２と直交する、つまり、Ｘ方向と直交する３本の節線Ｘ１，Ｘ２，Ｘ３が現れる。

突起部２２は、節線Ｘ１，Ｘ３の位置とほぼ一致する位置に設けられており、第２の屈曲振動モードの振動が励振されたときには、突起部２２の先端（上面）のＺ方向での振動振幅はほぼゼロとなり、Ｘ方向の振動振幅のみが発生する。一方、振動体２０に第１の屈曲振動モードの振動が励振されたときには、突起部２２のＸ方向での振動振幅はほぼゼロで、Ｚ方向の振動振幅が最大となる。

よって、第１の屈曲振動モードと第２の屈曲振動モードの各振動を同時に励振し、振動の位相を適切に調整して合成すると、突起部２２にＺ−Ｘ面内での楕円運動を生じさせることができる。楕円運動する突起部２２に不図示の接触体を接触させると、接触体は突起部２２によりＸ方向の摩擦駆動力（推力）を受け、これにより、接触体と振動体２０とをＸ方向に相対的に移動させることができる。

図１０は、振動体２０を用いた従来の振動型駆動装置２００の概略構成を示す分解斜視図である。振動型駆動装置２００では、円環状の基台５０の周方向に等間隔に３個の振動体２０が配置される。基台５０には、振動体２０を収容するための凹部５０ａが形成されている。振動体２０は、フェルト３０を介して凹部５０ａに収容される。

弾性体支持部２４には、弾性体支持部２４よりも剛性の小さい振動体保持部材２７が溶接等によって取り付けられている。振動体保持部材２７は、弾性体支持部２４との固定端の反対側の端部近傍に設けられた穴部において、ネジ２８等で基台５０に固定される。

円環状の接触体４０は、回転軸Ｐを中心として回転自在に、且つ、不図示の加圧手段によって振動体２０の突起部２２と加圧接触するように配置される。よって、図９を参照して説明した第１の屈曲振動モードと第２の屈曲振動モードの振動を振動体２０に励振することにより、回転軸Ｐを回転中心として接触体４０を回転駆動させることができる。

振動型駆動装置２００では、凹部５０ａの深さやフェルト３０の厚さにばらつきがあった場合に、Ｚ方向（回転軸Ｐと並行な方向）に衝撃力が加わっても、振動体保持部材２７が撓むことによって、振動体２０に生じる曲げ応力を緩和することができる。

特開２０１４−１８０２７号公報

上記の振動型駆動装置２００では、振動体保持部材２７の剛性が小さいために、多数の固有の振動モードが存在し、そのため、振動型駆動装置２００の駆動周波数範囲に振動体保持部材２７に固有の振動モードが存在しないように設計することが困難である。その結果、振動型駆動装置２００は、ある周波数帯域で回転が不安定になり、鳴きと呼ばれる異音が発生してしまう。この異音の発生について、図１１及び図１２を参照して説明する。

図１１は、振動型駆動装置２００の駆動周波数−回転速度特性を示す図であり、領域Ａにおいて回転速度が安定せず、回転が不安定になっていることがわかり、この領域Ａで鳴きが生じる。したがって、領域Ａを跨いで周波数掃引により回転速度を変化させる速度制御は容易ではなく、しかも、回転速度を変化させる途中で鳴きが発生してしまう。

図１２（ａ）は、振動型駆動装置２００における振動体２０と振動体保持部材２７のＺ方向振動速度の周波数特性を示す図である。図１２（ｂ）は、図１２（ａ）の特性を測定した振動体２０と振動体保持部材２７の部位を説明する図である。

図１２（ｂ）に示す振動体２０のＸ方向端部Ｂでの特性が図１２（ａ）に示されており、Ｘ方向端部Ｂは、振動体２０において第２の屈曲振動モードでのＸ方向の屈曲振動の振幅が大きくなる位置である。また、図１２（ｂ）に示す振動体保持部材２７の長手方向の略中央部Ｃでの特性が図１２（ａ）に示されており、略中央部Ｃは、振動体保持部材２７においてＺ方向の振動振幅が大きくなる位置である。

図１２（ａ）に示されるように、振動体２０の第２の屈曲振動モードの共振周波数である周波数８７．４ｋＨｚにおいて、振動体２０と振動体保持部材２７の両方で、Ｚ方向振動速度が最大となっている。ここで、周波数８７．４ｋＨｚは、図１１の周波数−回転速度特性に示されるように、振動型駆動装置２００の共振周波数とほぼ一致しており、周波数８７．４ｋＨｚ近傍では振動型駆動装置２００に鳴きは発生していない。

これに対して、図１２（ａ）に示されるように、振動体保持部材２７については、８７．４ｋＨｚよりも少し周波数の高い８８．３ｋＨｚ付近に別のピークが現れている。この周波数８８．３ｋＨｚのピークは、振動体保持部材２７に固有の振動モードの共振周波数を示しており、この周波数８８．３ｋＨｚでの振動が、図１１の領域Ａで発生する鳴きにつながっている。なお、ここで説明した周波数は、例示であって、振動型駆動装置２００の大きさ等によって異なる。

本発明は、鳴きの発生が抑制され、安定した回転性能を有する振動型駆動装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様は、弾性体と、前記弾性体の第１の面に接合された電気−機械エネルギ変換素子と、前記第１の面の反対側の第２の面から突出するように前記弾性体に設けられた突起部と、を有する振動体を備え、前記振動体に所定の振動を励振させることにより前記突起部と接触する接触体と前記振動体とを相対的に移動させる振動型駆動装置であって、基台と、前記振動体から前記接触体と前記振動体との相対的な移動方向へ延出するように前記振動体に設けられた延出部と、前記延出部から前記移動方向へ延出するように前記延出部に接合されると共に前記基台に固定される保持部材とを備え、前記保持部材の一部に振動絶縁部材または振動減衰部材が取り付けられ、前記延出部は、前記振動体から延出する連結部と、前記連結部から延出し、前記保持部材と接合される支持部とを有し、前記保持部材の剛性は前記連結部の剛性より小さいことを特徴とする振動型駆動装置である。

本発明によれば、保持部材に振動絶縁部材または振動減衰部材を付加することにより、保持部材の不要な振動を抑制する。これにより、保持部材の振動に起因する鳴きの発生が抑制され、安定した駆動性能を有する振動型駆動装置を実現することができる。

本発明の第１実施形態に係る振動型駆動装置の分解斜視図及び部分側面図である。 図１の振動型駆動装置における振動体と振動体保持部材のＺ方向振動速度の周波数特性を示す図である。 図１の振動型駆動装置の駆動周波数−回転速度特性を示す図である。 図１の振動型駆動装置の変形例に係る振動型駆動装置の部分側面図である。 本発明の第２実施形態に係る振動型駆動装置の部分側面図である。 本発明の第３実施形態に係る振動型駆動装置の部分側面図である。 本発明の実施形態に係る振動型駆動装置を備える撮像装置の概略構成を示す上面図及びブロック図である。 周知の振動体の概略構成を示す平面図及び側面図である。 図８の振動体に励振させる振動モードを説明する図である。 図８の振動体を用いた従来の振動型駆動装置の概略構成を示す分解斜視図である。 図１０の振動型駆動装置の駆動周波数−回転速度特性を示す図である。 図１０の振動型駆動装置における振動体と振動体保持部材のＺ方向振動速度の周波数特性を示す図である。

以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
図１（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る振動型駆動装置１００の分解斜視図であり、図１（ｂ）は、振動型駆動装置１００の部分側面図である。なお、振動型駆動装置１００の構成要素であって、図１０を参照して説明した振動型駆動装置２００の構成要素と共通する構成要素については、同じ符号を付して簡単な説明に止めることとする。

振動型駆動装置１００は、振動体２０、被駆動体（接触体）４０、基台５０、振動体保持部材２７、フェルト３０、イコライズプレート１９を備える。振動体２０は、平板形状を有し、金属材料から成る弾性体２１と、弾性体２１の一方の面（第１の面）に接合された電気−機械エネルギ変換素子である圧電素子２３と、弾性体２１の他方の面（第２の面）に弾性体２１の厚さ方向に突出するように設けられた２つの突起部２２から構成される。突起部２２は、弾性体２１と同一の部材から例えばプレス加工によって形成されてもよいし、別部材から形成され、弾性体２１に接着されてもよい。弾性体２１において、振動体２０と接触体４０との相対的な移動方向である２つの突起部２２を結ぶ方向の両端にはそれぞれ、可撓性を有する延出部が設けられている。延出部は、弾性体２１から延出する連結部２５と、連結部２５と接合された弾性体支持部２４からなる。

振動型駆動装置１００では、円環状の基台５０の周方向に等間隔に３個の振動体２０が配置されている。基台５０には、振動体２０を収容するための凹部５０ａが形成されている。弾性体支持部２４には、弾性体支持部２４よりも剛性の小さい振動体保持部材２７が溶接等によって取り付けられている。振動体保持部材２７は、弾性体支持部２４との接合端の反対側の端部近傍に設けられた穴部にて、ネジ２８等で基台５０に固定される。

円環状の接触体４０は、回転軸Ｐを中心として回転自在に、且つ、不図示の加圧手段によって振動体２０の突起部２２と加圧接触するように配置される。図９を参照して説明した第１の屈曲振動モードと第２の屈曲振動モードの振動を同時に振動体２０に励振させて突起部２２に楕円運動を生じさせることで、突起部２２が接触体４０に推力を与える。これにより、接触体４０は、回転軸Ｐを回転中心として回転駆動される。

振動型駆動装置１００では、振動体２０は、フェルト３０とイコライズプレート１９とを介して凹部５０ａに収容される。つまり、圧電素子２３がフェルト３０と接触し、フェルト３０がイコライズプレート１９と接触し、イコライズプレート１９が凹部５０ａの底面と接触するように、フェルト３０とイコライズプレート１９とが配置される。

イコライズプレート１９において下面中央部には、２つの突起部２２を結ぶ方向と直交し、且つ、イコライズプレートの厚さ方向と直交する方向に延在し、凹部５０ａの底面と接触する半円柱状の凸部１９ａが設けられている。振動体２０は、凸部１９ａの長さ方向を回転軸として回転自在、つまり、ピッチング方向に揺動自在となっている。このように、接触体４０の接触面にならって振動体２０が動くことができる構成とすることで、接触体４０を安定して回転駆動させることができる。

図１（ｂ）に示されるように、振動体保持部材２７において基台５０と対向する面の一部に、フェルト１０が両面テープ等で貼り付けられており、フェルト１０と基台５０との間には隙間が形成されている。振動体保持部材２７における弾性体支持部２４との接合端に近い領域にフェルト１０を取り付けると、振動体２０に励振させる振動が抑制されてしまうおそれがある。そのため、フェルト１０を取り付ける位置は、基台５０との固定端に近い領域、例えば、ネジ２８の近傍とすることが好ましい。

図２は、振動型駆動装置１００における振動体２０と振動体保持部材２７のＺ方向振動速度の周波数特性を示す図である。図３は、振動型駆動装置１００の駆動周波数−回転速度特性を示す図である。なお、図２において、振動体２０と振動体保持部材２７の各特性の測定部位は、図１２（ｂ）に示す振動体２０のＸ方向端部Ｂと振動体保持部材２７の長手方向の略中央部Ｃである。

図２と図１２（ａ）とを比較すると、振動体２０に生じさせる振動を抑制することなく、振動体保持部材２７の振動が大幅に低減されていることがわかる。また、図１２（ａ）において振動体保持部材２７の振動に現れている周波数８７．４ｋＨｚ近傍のピーク（共振）が極めて小さくなり、しかも、周波数８８．３ｋＨｚ近傍のピークが無くなっていることがわかる。

即ち、振動型駆動装置１００では、振動体２０に励振させる必要な振動の振幅を抑制することなく、振動体保持部材２７での不要な振動の発生が抑えられる。その結果、図３に示す特性には、図１１に示した領域Ａのように、回転が不安定になって鳴きが生じる領域が現れていないことがわかる。よって、例えば、周波数掃引による接触体４０の駆動速度を低速駆動と高速駆動との間で遷移させる際にも、異音を発生させることなく、スムーズに駆動速度を変化させることができる。

なお、振動型駆動装置１００では、振動体保持部材２７に振動絶縁部材の一例であるフェルト１０を取り付けたが、フェルト１０に代えて、振動減衰部材であるゴム等を用いてもよい。振動絶縁部材とは、振動絶縁部材に隣接する一方の部材からの振動が振動絶縁部材を挟んで前記一方の部材に隣接する他の部材に伝達するのを防ぐような機能を有するものである。ここで、振動絶縁部材は、振動の伝達を完全に絶縁するものに限らず、他の部材の機能に実質的な影響を与えない程度まで振動の伝達を防ぐことができるものであればよい。したがって、前記一方の部材の振動が減衰するか減衰しないかは問わない。一方、振動減衰部材とは、振動減衰部材に隣接する部材からの振動を吸収等により減衰する機能を有するものである。この場合、前記隣接する部材の振動は減衰する。

本実施形態では、振動絶縁部材であるフェルト１０を振動体保持部材２７の下面（基台５０と対向する面）に貼り付けたが、フェルト１０の貼り付け位置はこれに限定されるものではない。図４は、振動型駆動装置１００の変形例に係る振動型駆動装置１００Ａの部分側面図であり、図１（ｂ）に対応するものである。振動型駆動装置１００Ａでは、フェルト１１を、振動体保持部材２７の上面（接触体４０と対向する面であり、基台５０と対向する面の反対側の面）に貼り付けている。このような構成としても、フェルト１０を振動体保持部材２７の下面に貼り付けた場合と同様の効果を得ることができる。

なお、フェルト１０と同様に、フェルト１１により振動体２０に励振させる振動が抑制されてしまうのを回避するために、フェルト１１を取り付ける位置は、基台５０との固定端に近い領域とすることが好ましい。また、振動型駆動装置１００Ａについても、フェルト１１に代えてゴム等を貼り付けた構成としてもよい。

＜第２実施形態＞
図５は、本発明の第２実施形態に係る振動型駆動装置１００Ｂの部分側面図であり、図１（ｂ）に対応するものである。なお、振動型駆動装置１００Ｂの構成要素であって、振動型駆動装置１００の構成要素と同じものについては、同じ符号を付して、説明を省略する。

振動型駆動装置１００では、フェルト１０と基台５０との間に隙間を設けた。これに対して、振動型駆動装置１００Ｂでは、フェルト１２を振動体保持部材２７の下面と基台５０の上面の両面に接触するように配置している。このような構成とすることによっても、振動体２０に励振させる必要な振動の振幅を抑制することなく、振動体保持部材２７での不要な振動の発生を抑えることができる。なお、振動型駆動装置１００Ｂでは、振動体保持部材２７と基台５０との間に振動絶縁部材であるフェルト１２を配置したが、フェルト１２に代えて、ゴム等の振動減衰部材を用いてもよい。

＜第３実施形態＞
図６は、本発明の第３実施形態に係る振動型駆動装置１００Ｃの部分側面図であり、図１（ｂ）に対応するものである。なお、振動型駆動装置１００Ｃの構成要素であって、振動型駆動装置１００の構成要素と同じものについては、同じ符号を付して、説明を省略する。

振動型駆動装置１００Ｃでは、振動体２０の下側から２つの振動体保持部材２７の下側へと連続するフェルト１３が配置されており、フェルト１３を配置するために、基台５１には段差を有する凹部５１ａ，５１ｂが形成されている。つまり、振動型駆動装置１００Ｃは、振動型駆動装置１００Ｂが備えるフェルト３０とフェルト１２とが連続する１つの部品のフェルト１３として配置された構成となっており、これにより部品点数を削減している。振動型駆動装置１００Ｃでも、振動体２０に励振させる必要な振動の振幅を抑制することなく、振動体保持部材２７での不要な振動の発生を抑えることができる。

なお、振動絶縁部材であるフェルト１３の代わりにゴム等の振動減衰部材を使用することも可能ではある。しかし、振動体２０の下側に振動減衰部材を配置すると、接触体４０を駆動するために必要な振動が減衰してしまうため、振動絶縁部材を用いることが望ましい。

以上の説明の通り、本発明の各実施形態によれば、振動体２０に励振させる必要な振動の振幅を抑制することなく、振動体保持部材２７での不要な振動の発生が抑えられる。その結果、接触体４０の高速駆動（回転）が可能な周波数帯域で、安定させた駆動を実現しながら、その際に鳴き（異音）が生じることを防止することができる。

＜第４実施形態＞
上述した振動型駆動装置１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ（以下「振動型駆動装置１００等」という）は、例えば、撮像装置（光学機器）のレンズ駆動用途や、複写機の感光ドラムの回転駆動用途、やステージの駆動用途等の様々な用途に用いることができる。ここでは、一例として、振動型駆動装置１００等をレンズ鏡筒に配置されたレンズの駆動に用いた撮像装置（光学機器）について説明する。

図７（ａ）は、撮像装置７００の概略構成を示す上面図である。撮像装置７００は、撮像素子７１０及び電源ボタン７２０を搭載したカメラ本体７３０を備える。また、撮像装置７００は、第１レンズ群（不図示）、第２レンズ群３２０、第３レンズ群（不図示）、第４レンズ群３４０、振動型駆動装置６２０，６４０を備えるレンズ鏡筒７４０を備える。レンズ鏡筒７４０は、交換レンズとしてカメラ本体７３０に対して着脱自在である。

撮像装置７００では、振動型駆動装置６２０によって第２レンズ群３２０の、振動型駆動装置６４０によって第４レンズ群３４０の駆動がそれぞれ行われる。振動型駆動装置６２０，６４０として、図１乃至図６を参照して説明した振動型駆動装置１００等が用いられる。例えば、振動型駆動装置６２０を構成する接触体の回転をギア等により光軸方向の直進運動に変換し、第２レンズ群３２０の光軸方向における位置を調整する。振動型駆動装置６４０についても同様の構成とすることができる。

図７（ｂ）は、撮像装置７００の概略構成を示すブロック図である。第１レンズ群３１０、第２レンズ群３２０、第３レンズ群３３０、第４レンズ群３４０及び光量調節ユニット３５０が、レンズ鏡筒７４０内部の光軸上の所定位置に配置される。第１レンズ群３１０〜第４レンズ群３４０と光量調節ユニット３５０とを通過した光は、撮像素子７１０に結像する。撮像素子７１０は、光学像を電気信号に変換して出力し、その出力は、カメラ処理回路７５０へ送られる。

カメラ処理回路７５０は、撮像素子７１０からの出力信号に対して増幅やガンマ補正等を施す。カメラ処理回路７５０は、ＡＥゲート７５５を介してＣＰＵ７９０に接続されると共に、ＡＦゲート７６０とＡＦ信号処理回路７６５とを介してＣＰＵ７９０に接続されている。カメラ処理回路７５０において所定の処理が施された映像信号は、ＡＥゲート７５５と、ＡＦゲート７６０及びＡＦ信号処理回路７６５を通じてＣＰＵ７９０へ送られる。なお、ＡＦ信号処理回路７６５は、映像信号の高周波成分を抽出して、オートフォーカス（ＡＦ）のための評価値信号を生成し、生成した評価値をＣＰＵ７９０へ供給する。

ＣＰＵ７９０は、撮像装置７００の全体的な動作を制御する制御回路であり、取得した映像信号から、露出決定やピント合わせのための制御信号を生成する。ＣＰＵ７９０は、決定した露出と適切なフォーカス状態が得られるように、振動型駆動装置６２０，６４０及びメータ６３０の駆動を制御することによって、第２レンズ群３２０、第４レンズ群３４０及び光量調節ユニット３５０の光軸方向位置を調整する。ＣＰＵ７９０による制御下において、振動型駆動装置６２０は第２レンズ群３２０を光軸方向に移動させ、振動型駆動装置６４０は第４レンズ群３４０を光軸方向に移動させ、光量調節ユニット３５０はメータ６３０により駆動制御される。

振動型駆動装置６２０により駆動される第２レンズ群３２０の光軸方向位置は第１リニアエンコーダ７７０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に通知されることで、振動型駆動装置６２０の駆動にフィードバックされる。同様に、振動型駆動装置６４０により駆動される第４レンズ群３４０の光軸方向位置は第２リニアエンコーダ７７５により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０に通知されることで、振動型駆動装置６４０の駆動にフィードバックされる。光量調節ユニット３５０の光軸方向位置は、絞りエンコーダ７８０により検出され、検出結果がＣＰＵ７９０へ通知されることで、メータ６３０の駆動にフィードバックされる。

なお、振動型駆動装置１００等は、撮像装置において、レンズ群を光軸方向で駆動する用途に限定されず、像ぶれを補正するために像ぶれ補正レンズ或いは撮像素子を光軸と直交する方向で駆動する用途等にも用いることができる。

＜その他の実施形態＞
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。更に、上述した各実施形態は本発明の一実施形態を示すものにすぎず、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。

振動型駆動装置１００等では、円環状の基台５０の周方向に等間隔に３個の振動体２０が配置された構成としたが、振動体２０の数は３個に限定されるものではなく、４つ以上であってもよい。また、接触体４０を安定して支持することができる構成である場合は、２個以上であってもよい。

また、振動型駆動装置１００等では、円環状の基台５０の周方向に３つの振動体２０を配置して、接触体４０を回転駆動させた。これに限らず、接触体を直線的に移動させる振動型駆動装置にも、本発明を適用することができる。その場合、１つ又は複数の振動体２０を、２つの突起部２２を結ぶ方向が接触体の移動方向と平行となるように配置すると共に、例えば、振動型駆動装置１００で用いたフェルト１０を振動体保持部材２７に取り付ける等すればよい。

１０，１１，１２，１３，３０ フェルト
１９ イコライズプレート
１９ａ 凸部
２０ 振動体
２１ 弾性体
２２ 突起部
２３ 圧電素子
２４ 弾性体支持部
２５ 連結部
２７ 振動体保持部材
４０ 接触体
５０，５１ 基台
１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ 振動型駆動装置
７００ 撮像装置

Claims (8)

1. 弾性体と、前記弾性体の第１の面に接合された電気−機械エネルギ変換素子と、前記第１の面の反対側の第２の面から突出するように前記弾性体に設けられた突起部と、を有する振動体を備え、前記振動体に所定の振動を励振させることにより前記突起部と接触する接触体と前記振動体とを相対的に移動させる振動型駆動装置であって、
   基台と、
   前記振動体から前記接触体と前記振動体との相対的な移動方向へ延出するように前記振動体に設けられた延出部と、
   前記延出部から前記移動方向へ延出するように前記延出部に接合されると共に前記基台に固定される保持部材とを備え、
   前記保持部材の一部に振動絶縁部材または振動減衰部材が取り付けられ、
   前記延出部は、
   前記振動体から延出する連結部と、
   前記連結部から延出し、前記保持部材と接合される支持部とを有し、
   前記保持部材の剛性は前記連結部の剛性より小さいことを特徴とする振動型駆動装置。
2. 前記振動絶縁部材または前記振動減衰部材は前記基台に接していることを特徴とする請求項１に記載の振動型駆動装置。
3. 前記保持部材は、前記延出部と接合される端部の反対側の端部の近傍で前記基台に固定され、
   前記振動絶縁部材または前記振動減衰部材は、前記延出部との接合端よりも前記基台との固定端に近い領域に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動型駆動装置。
4. 前記振動絶縁部材または前記振動減衰部材は、前記保持部材における前記延出部との接合端に近い領域及び前記延出部に接触しないように、前記振動体と前記基台との間へ延出し、前記振動体と接触していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
5. 前記基台は、前記振動体を収容する凹部を有し、
   前記振動体は、前記振動絶縁部材または前記振動減衰部材とイコライズプレートとを介して前記凹部に収容され、
   前記イコライズプレートは、前記凹部の底面と接触する半円柱状の凸部を有し、
   前記凸部は、前記凹部の底面と平行な方向で、且つ、前記移動方向と直交する方向に延在していることを特徴とする請求項４に記載の振動型駆動装置。
6. 前記振動絶縁部材は、フェルトであり、
   前記振動減衰部材は、ゴムであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動型駆動装置。
7. 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動型駆動装置と、
   前記振動型駆動装置の接触体により光軸方向に駆動されるレンズと、を備えることを特徴とするレンズ鏡筒。
8. 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動型駆動装置と、
   前記振動型駆動装置の接触体により光軸方向に駆動されるレンズと、
   前記レンズを通過した光が結像する位置に設けられた撮像素子と、を備えることを特徴とする撮像装置。