JP2014018027A

JP2014018027A - 振動型アクチュエータ、撮像装置、及びステージ

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Publication number: JP2014018027A
Application number: JP2012155513A
Authority: JP
Inventors: Daisuke Yokoyama; 大輔横山
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2012-07-11
Filing date: 2012-07-11
Publication date: 2014-01-30
Also published as: US9530953B2; US20140016014A1

Abstract

【課題】弾性体と圧電素子の接着層にかかる剥離力が低減された振動型アクチュエータを提供する。また、振動子の支持による振動エネルギーの損失が低減された振動型アクチュエータを提供する。
【解決手段】被駆動体から弾性体に及ぼされる加圧力に対する、基台からの反力が、該弾性体における振動部と支持部とに分散して作用する支持構造を有する振動型アクチュエータ。さらに前記支持部を振動絶縁部材を介して支持する構成を有する振動型アクチュエータ。
【選択図】図２

Description

本発明は、振動型アクチュエータ、及びそれを用いた撮像装置及びステージに関するものである。

従来より、弾性体で発生した振動により被駆動体を駆動する振動型アクチュエータ（例えば、振動波モータ）が知られている。この振動波モータでは、電気−機械エネルギー変換素子（例えば圧電素子など）とこれを接合した弾性体（主に金属からなる弾性体）とで構成される振動子に、複数の振動モードを励振させる。そして、これら複数の振動を合成することによりこの弾性体の表面に楕円運動を発生させ、この弾性体に接触させた被駆動体を相対的に駆動する。このような振動波モータとしては、様々な形態のものが提案されており、例えば、カメラなどのレンズ鏡筒を回転駆動する振動波モータに関しては、リング形状の振動波モータや棒状の回転型振動波モータ等が提案されている。更には、振動部分が薄板状の平板部分と突起部で構成された平板状の弾性体を円周上に複数配置して回転型アクチュエータとして構成した振動波モータなど、モータ構成、形態などを工夫したもの等が多数提案されている。また、上述した平板型の弾性体を直線形状のスライダに接触させて直線駆動するリニアタイプの振動型アクチュエータも数多く提案されている。

ここで、平板状弾性体により構成された振動波モータについて、特許文献１に開示される例でその概要を説明する。この振動波モータは、振動子とこれに接触するスライダとから構成されている。この振動子は弾性体と圧電素子とで構成されている。圧電素子は弾性体に接着等により固定されている。弾性体は、圧電素子とともに振動する振動部と、この振動部からの振動がほぼ絶縁された支持部、およびこれら２つの部位を連結し、一方の端部は該振動部の振動にならいつつ、他端では支持部に振動を伝搬しないように機能する連結部とで構成されている。振動部には一方の面に振動を被駆動体に伝搬するための突起部が形成されている。上記圧電素子に位相の異なる交流電界を印加すると、この振動子には２つの面外曲げ振動が励振され、２つの突起部の先端には楕円運動が生成される。その結果、突起部と接触するスライダは摩擦駆動力を受けて、一方向に駆動される。

また、振動子全体を振動絶縁部材を介して支持することにより、振動エネルギーの損失を低減させる技術は特許文献２に開示されている。

特開２０１１−２０００５３号公報特開昭６４−３４１８４号公報

特許文献１では磁気によって被駆動体と振動子に加圧力を付与していたが、コストダウン等の観点から図１６に示すようにバネによる加圧構成も考えられる。図に示すように支持部１０５のみを基台１３２によって支持しているため、板バネ１０６によって付与される被駆動体１３１からの加圧力（Ｂ方向）によって弾性体１０２にはＡ方向の曲げ応力が働く。それが圧電素子１０３と弾性体１０２との間の接着に対して剥離するような力として作用してしまうことがあった。そのため、接着剤の選定については、使用環境も考慮すると選定範囲が大幅に限定されてしまい、コストアップにつながることがあった。また、特許文献２に開示されている超音波モータでは、ステータ部が上記振動部に該当し、そこを振動絶縁部材である振動吸収体によって支持する構成となっている。その構成によると、振動がほぼ絶縁された支持部に該当する部位にて被駆動体から作用する加圧力を受けることができず、振動エネルギーの損失が大きかった。

本発明は、上記課題に鑑み、振動型アクチュエータにおいて、弾性体と圧電素子の間の剥離を低減する振動型アクチュエータを提供することを、目的の１つとする。また、振動エネルギーの損失を低減した振動型アクチュエータを提供することを、目的の１つとする。

本発明の一様態は、電気―機械エネルギー変換素子と、前記電気―機械エネルギー変換素子が接合された振動部、基台に支持される支持部、及び前記振動部と前記支持部を連結する連結部を備えた弾性体と、前記振動部と前記基台の間に、バネ性を有する第１の部材と、を備えた振動型アクチュエータに関する。

本発明において、振動部とは、弾性体において、電気―機械エネルギー変換素子とともに振動する部分を示す。

また、本発明において、振動子は、少なくとも電気―機械エネルギー変換素子と弾性体を有し、電気―機械エネルギー変換素子に電圧が印加されることで、機械的振動を生成するものを指す。

本発明において、被駆動体とは、振動子の振動により、振動子と相対移動するものであり、振動子と被駆動体の相対移動は、振動子が固定され被駆動体が移動する場合だけでなく、被駆動体が固定され振動子が移動する場合も含む。

本発明において、振動型アクチュエータとは、少なくとも振動子を含み、例えば、振動子とその支持機構を含んでいてもよい。また、振動型アクチュエータは、例えば、振動子と支持機構、及び基台を含んでいてもよい。

本発明によれば、振動型アクチュエータにおいて、被駆動体から弾性体に及ぼされる加圧力に対する、基台からの反力が、振動子の振動部と前記支持部とに分散して作用する。したがって、支持部のみに前記反力が作用する支持構造に比べて、弾性体と圧電素子の接着層にかかる剥離力を低減することができる。また、振動部のみに前記反力が作用する支持構造に比べて、振動エネルギーの損失を低減することができる。また、接着剥離と振動エネルギー損失の観点から振動部と支持部に作用する前記反力の最適設計が可能となる。

振動子の構成を示した図超音波モータの主要部構成図図２の構成を部品単位に展開した図図２、３の構成におけるフェルトを振動絶縁板に置き換えた振動型アクチュエータを示した図振動型アクチュエータのバリエーションを示した図振動型アクチュエータのバリエーションを示した図振動型アクチュエータのバリエーションを示した図振動型アクチュエータのバリエーションを示した図振動型アクチュエータのバリエーションを示した図振動型アクチュエータのバリエーションを示した図振動子に加わる力を示した図振動子の振動モードの説明図振動型アクチュエータの構成を示した図振動型アクチュエータの構成を示した図図１４の振動絶縁部材をフェルトに置き換えた振動型アクチュエータを示した図従来における平板状振動子の支持構成を示した図振動型アクチュエータの応用例を示した図

（第１の実施の形態）
本発明における第１の実施の形態を図１〜図１２に示す。図１は本発明における振動子の構成を示しており、全ての実施の形態において共通のものである。振動子１は、弾性体２と、前記弾性体２に接合された、圧電素子３などの電気―機械エネルギー変換素子を有する。ここでは、振動子１として、平板状振動子を用いて説明する。該圧電素子３には、電源を供給するフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）４が接続されている。圧電素子３は弾性体２に接着により固定されている。弾性体２は、圧電素子３とともに振動する振動部２−３と、該振動部からの振動がほぼ絶縁された支持部２−５、およびこれら２つの部位を連結する連結部２−４とで構成されている。連結部２−４は、一方の端部が該振動部２−３の振動にならいつつ、他方の端部が、支持部２−５に振動を伝搬しないように機能する。振動部２−３には圧電素子３の固定面の反対側に摩擦接触部である突起部２−２が形成されている。２−６は支持部２−５に形成された丸穴であり、２−７は長丸穴である。これらの穴は後述のピン８（図１３〜１５に記載）が嵌合し、平板状振動子１の平面方向の位置を規制するためのものである。第１の実施の形態においては組立ての際の位置決め手段として使用しても構わないが、必ずしも必要なものではない。

図２は本実施の形態における超音波モータの主要構成図、図３は図２の構成の一部を部品単位に展開したものである。本実施の形態においては平板状振動子１およびその支持機構が円環状に３セット配置され、被駆動体３１をＡ−Ａ方向に駆動する構成となっている。図に示すように、基台３２は凹部を有し、平板状振動子１（ＦＰＣ４は不図示）の振動部２−３は、この凹部に設けられ、平板状振動子１の支持部２−５は、基台３２上面に溶接、接着、ビス止め等の手段により固定されている。平板状振動子１の振動部２−３は、フェルト４１を挟んでイコライズプレート４２によって支持されている。フェルト４１は、平板状振動子１からの振動をイコライズプレート４２より基台３２側の構成部材に伝搬させ難くする機能を有している。それによって、振動のエネルギー損失が低減されている。イコライズプレート４２は、球体４４を挟んでイコライズプレート４３上に載置されている。イコライズプレート４３は、Ｚ型の板バネ４５を介して基台３２に支持されている。板バネ４５の下部は基台３２の上面に固定されており、板バネ４５の上部はイコライズプレート４３の下面に固定されている。板バネ４５は、被駆動体３１より受ける加圧力（後述する。）に対する振動部２−３への反力を所望の値に設定しやすくするために配置されている。イコライズプレート４２の下面とイコライズプレート４３の上面には、それぞれ円錐溝が形成されている。その円錐溝に前記球体４４が嵌まることにより、イコライズプレート４３に対してイコライズプレート４２およびフェルト４１が図中Ｂ方向にイコライズされつつ、イコライズプレート４２の平面方向（Ｃ方向）の移動が規制される。なお、図２において、上記Ｂ方向は、９０°向きが異なる２本の矢印で表現されているが、１本の矢印を鉛直軸を中心として３６０°回転させた全方向を表すものとする。３１は被駆動体であり、一方の面に耐摩耗処理が施された摩擦接触部を有している。被駆動体３１は、この摩擦接触部が平板状振動子１の摩擦接触面である突起部２−２上面と、対向して接触するように配置されている。平板状振動子１と被駆動体３１は、３つの板バネ４９と被駆動体３１のガイド手段（不図示）により適切な加圧力が付与されている。

図４は、図２、３の基台３２および該基台に設けられた構成要素のフェルト４１の代わりに振動絶縁板４７を配置したものであり、その目的は図２、３の構成と同じである。振動絶縁板４７の圧電素子３側には突起が設けられており、圧電素子３の振動が極小となる位置を点支持している。極小となる位置を支持するとは、正確に極小となる位置だけでなく、作製時や使用時に生じるずれの範囲に含まれる位置を支持する場合も含む。ここで、振動が極小となる位置とは、節線１１、１２と１３、１４、１５の交点の位置である（図１２において後述する。）。また、材質は振動を絶縁するために樹脂が好ましいが、それに限定されるものではない。また、この振動絶縁板４７はイコライズプレート４２の機能も兼用しており、突起形成面と反対側に球体４４が嵌るための円錐状の溝が形成されている。

このように、本実施の形態の振動型アクチュエータは、振動部２−３の支持構成の構成要素として、バネ要素を有する。また、振動絶縁要素を有してもよい。例えば、本実施の形態の振動型アクチュエータは、バネ要素として、バネ性を有する部材（例えば、板バネ４５、フェルト４１）、また、振動絶縁要素として、振動絶縁性を有する部材（例えば、フェルト４１、振動絶縁板４７）を備えることができる。また、本実施の形態の振動型アクチュエータは、振動絶縁要素やバネ要素からの加圧力に対する反力を、振動子に真直ぐに向かわせるためのイコライズ要素として、イコライザー（例えば、イコライズプレート４２、４３、球体４４）を備えることができる。イコライザーは、加圧力及び反力により、振動子１が被駆動体３１の接触面にならって接触するよう、弾性体２及び圧電素子３の向きを調整する機能を有する。フェルト４１に関しては、振動絶縁性を有する部材であると同時に、バネ性を有する部材としても機能する。よってフェルト４１を使用した場合、バネ性を有する部材を省略することも、設計上可能となる場合がある。また、モータのエネルギー効率がシビアに要求されない場合、必ずしも振動絶縁性を有する部材を設けなくてもよい。また、振動部２−３に作用する反力の方向が真直ぐ弾性体２に向かうように、精度良く支持構成を製作可能な場合、必ずしもイコライザーは設けなくてもよい。以上を考慮すると、本実施の形態における振動部２−３の支持構成は、図５〜図１０に示すバリエーションとなる。図５、６、７はイコライザーを有さない支持構成、図８は振動絶縁性部材を有さない支持構成、図９はフェルトをバネ性を有する部材として兼用している支持構成、図１０はフェルトをバネ性を有する部材として兼用し、かつイコライザーを有さない支持構成である。これらはいずれも図２、３、４で示した支持構成から上記指針に基づいて、省略可能な構成要素を省略したものであり、支持構成に要求される精度、スペース、コスト等を総合的に考慮して最適なものを選択すればよい。なお、上記バリエーションの構成には、図２、３、４にはない以下の２つの構成要素が入っている。１つはフェルト支持板４６であり、フェルト４１を支持するための部材である。図３の構成ではイコライズプレート４２がその機能を兼用していたため、それがない図６の構成において必要になったものである。もう１つは円錐溝がない振動絶縁板４８である。図４の構成では振動絶縁板４７にイコライズプレート４２の機能を兼用させていたが、図７の構成ではイコライズ要素がないため、円錐溝を省略したものである。

ところで、被駆動体３１からの加圧力に対する反力を、振動子の振動部２−３と支持部２−５とに分散するのが本発明の目的の１つである。振動部２−３の支持構成にバネ要素がない場合には、振動部２−３の支持面高さと支持部２−５の支持面高さの相対差が製造上の誤差によりばらつくと、振動部２−３と支持部２−５に働く基台３２からの反力が、平板状振動子１と支持構成のセットごとにばらついてしまう。よって、上記支持構成のバリエーション（図５〜１０）の全てにおいて、振動部２−３の支持構成にバネ性を有する部材が含まれている。しかし、上記支持面高さの相対差を高精度に加工する場合には、振動部の支持構成にバネ性を有する部材を含まなくてもよい。

図１１は平板状振動子１に作用する力を示したものである（重力は無視する）。平板状振動子１が被駆動体３１から受ける加圧力をＦ１、振動部２−３が基台３２から受ける反力をＦ２、支持部２−５が基台３２から受ける反力をＦ３、圧電素子３が接着剥がれを起こさないＦ２の下限値をＦ０とする。このとき、本発明においてはＦ３≦Ｆ１―Ｆ０となるように支持構成の寸法、板バネ４５のバネ定数を設定している。Ｆ０は予め実験的に求めた値である。このＦ３≦Ｆ１―Ｆ０の関係は本発明における全ての実施の形態に共通する。

ＦＰＣ４から圧電素子３に交流電界を印加すると、平板状振動子１には図１２に示すような第１の振動モード（モード１）と第２の振動モード（モード２）とが励振される。このモード１として、例えば、図１２中の短手方向と直交する方向に延在する２本の節線（振動の節となる線状の部分）ｌ１、ｌ２を有し、それらの中央部が振動の腹となる、平板状振動子１の短手方向における１次の面外屈曲振動モードがある。一方、モード２としては、例えば、図１２中の前記２本の節線ｌ１、ｌ２と直交する３本の節線（ｌ３、ｌ４、ｌ５）を有する、平板状振動子１の長手方向における２次の面外屈曲振動モードがある。図に示すように、突起部２−２は、ｌ４、ｌ５の位置とほぼ一致するように設定されているため、モード２が励振された時には、この突起部２−２の先端（上面）はＺ方向の振動振幅はほぼゼロで、Ｘ方向の振動振幅のみ発生する。また、モード１が励振された時には、突起部２−２はＸ方向の振動振幅はほぼゼロでＺ方向の振動振幅が最大となる。そこで、これら２つの振動モードを同時に励振し、振動の位相を適切に調整して合成すると、弾性体２に形成された突起部２−２には楕円運動が生成される。そのため、この突起部に図２に示すような被駆動体３１を接触させると、被駆動体３１は前記楕円運動による摩擦力でＡ−Ａ方向に駆動されることになる。

以上のように、本実施の形態では、振動型アクチュエータは、被駆動体から弾性体に及ぼされる加圧力に対する、基台からの反力が、振動子の振動部と支持部とに分散して作用する支持構造を備える。したがって、支持部のみに前記反力が作用する支持構造に比べて、弾性体と圧電素子の接着層にかかる剥離力を低減することができる。また、振動部のみに前記反力が作用する支持構造に比べて、振動エネルギーの損失を低減することができる。また、接着剥離と振動エネルギー損失の観点から振動部と支持部に作用する前記反力の最適設計が可能となる。

なお、本実施の形態では、３つの振動子を、基台に設ける例を示したが、本発明はこれに限定されず、基台に対し、振動子を１つ、２つ、または４つ以上設ける構成としてもよい。また、振動型アクチュエータが、直動駆動（直線方向に被駆動体を相対移動可能な形式）を行うように、振動子を配置することもできる。

（第２の実施の形態）
本発明における第２の実施の形態を図１３によって説明する。第１の実施の形態では平板状振動子１の支持部２−５が基台３２に固定されていたが、本実施の形態では図に示すように、バネ性を有する部材として、支持部２−５が板バネ５１を介して基台３２に支持されている。板バネ５１は基台３２に固定されており、平板状振動子１の支持部２−５を支持する。弾性体２の丸穴２−６と長丸穴２−７は基台３２に立てられているピン８と嵌合し、平板状振動子１の平面方向の位置を規制している。したがって、ピン８は、弾性体の位置規制手段として機能する。支持部２−５と板バネ５１は固定してもしなくても構わないが、固定する場合にはピン８は必ずしも必要とはならなくなる。また弾性体２と板バネ５１は一体部品でも構わない。なお、振動部２−３の支持構成のバリエーションは図３〜図１０の構成にピン８と板バネ５１を付加し、板バネ４５を除いたものとなる。また、本実施の形態において、振動部２−３の支持構成にバネ性を有する部材が設けられていてもよく、振動部２−３の支持構成のバリエーションには、上記バリエーションに図３〜図１０の構成にピン８を付加しただけものも含まれる。

以上のように、本実施の形態の振動型アクチュエータは、被駆動体から弾性体に及ぼされる加圧力に対する基台からの反力が、弾性体の振動部と支持部とに分散して作用する支持構造を備える。したがって、支持部のみに前記反力が作用する支持構造に比べて、弾性体と圧電素子の接着層にかかる剥離力を低減することができる。また、振動部のみに前記反力が作用する支持構造に比べて、振動エネルギーの損失を低減することができる。また、接着剥離と振動エネルギー損失の観点から振動部と支持部に作用する前記反力の最適設計が可能となる。さらに、実施の形態１では振動部２−３支持構造に集中していた構成要素のうち、バネ性を有する部材を支持部２−５の支持側に分散したため、振動型アクチュエータの、高さ方向の寸法を小さくすることができる。

なお、本実施の形態では、３つの振動子を、基台に設ける例を示したが、本発明はこれに限定されず、基台に対し、振動子を１つ、２つ、または４つ以上、基台に設ける構成としてもよい。また、振動型アクチュエータが、直動駆動（直線方向に被駆動体を相対移動可能な形式）を行うように、振動子を配置することもできる。

（第３の実施の形態）
本発明における第３の実施の形態を図１４、１５によって説明する。本実施の形態は、平板状振動子１の支持部２−５が振動絶縁要素である振動絶縁部材６１（図１４）あるいはフェルト７１（図１５）を介して基台３２に支持されている。本発明における弾性体２は、連結部２−４によって振動部２−３からの振動が支持部２−５に伝搬し難いようになっているが、実際にはある程度伝搬してしまう。そのため支持部２−５の支持方法によっては、振動エネルギーの損失が大きくなってしまう。本実施の形態は、そのエネルギー損失がシビアに問われる場合に好適である。

図１４において、振動絶縁部材６１はその上面に突起部を持ち、基台３２に固定されている。その突起部によって、支持部２−５のうち振動が極小となる位置を点支持している。なお、図中では突起部は１つとして描かれているが、必ずしもそれに限定されるものではなく、上記振動が極小となる位置に応じた個数・位置とすることができる。また、極小となる位置を支持するとは、正確に極小となる位置だけでなく、作製時や使用時に生じるずれの範囲に含まれる位置を支持する場合も含む。弾性体２の丸穴２−６と長丸穴２−７は基台３２に立てられているピン８と嵌合し、平板状振動子１の平面方向の位置を規制している。したがって、ピン８は、弾性体の位置規制手段として機能する。

図１５は振動絶縁部材６１の代わりにフェルト７１を基台３２と支持部２−５に挟持させた構成であり、他の部分は図１４と同様であるため、詳しい説明を割愛する。

なお、振動部２−３の支持構成のバリエーションは、図３〜図１０の構成にピン８及び、振動絶縁部材６１またはフェルト７１を付加し板バネ４５を除いたもの、および図３〜図１０の構成にピン８及び、振動絶縁部材６１またはフェルト７１を付加したものとなる。また、振動絶縁部材６１とフェルト７１を併用しても構わない。

以上のように、本実施の形態の振動型アクチュエータは、被駆動体から弾性体に及ぼされる加圧力に対する基台からの反力が、弾性体の振動部と支持部とに分散して作用する支持構造を備える。したがって、支持部のみに前記反力が作用する支持構造に比べて、弾性体と圧電素子の接着層にかかる剥離力を低減することができる。また、振動部のみに前記反力が作用する支持構造に比べて、振動エネルギーの損失を低減することができる。また、接着剥離と振動エネルギー損失の観点から振動部と支持部に作用する前記反力の最適設計が可能とる。さらに、振動子の支持による振動エネルギーの損失を低減することができる。

（第４の実施の形態）
本発明の振動型アクチュエータの応用例を、図１７を用いて説明する。図１７に、撮像装置を上から見たときの概念図を示す。図１７おいて、撮像装置８０は、電源ボタン８１及び撮像素子８２が設けられたカメラ本体８３と、レンズ８４、基台８５及び振動型アクチュエータ８６が設けられた鏡筒８７と、を備える。鏡筒８７は、交換レンズとして取り換え可能であり、撮影対象に合わせて、適した交換レンズをカメラ本体８３に取り付けることができる。振動型アクチュエータ８６としては、実施の形態１乃至３で示した振動型アクチュエータのいずれも用いることができる。

本発明の振動型アクチュエータを、撮像装置８０に用いることで、振動型アクチュエータの弾性体と圧電素子の間の接着剤の材料の選択肢が広がり、コストを削減することができる。また、振動エネルギーの損失を抑制できるため、消費電力を低減することができる。

なお、図１７では、本発明の振動型アクチュエータを撮像素子に用いた例を示すが、応用例はこれに限定されず、本発明の振動型アクチュエータは、顕微鏡等の各種ステージにも用いることができる。ステージは、本発明の振動型アクチュエータにより、移動可能に構成される。

２弾性体
２−３振動部
２−４連結部
２−５支持部
３圧電素子
３１被駆動体
３２基台

Claims

電気―機械エネルギー変換素子と、
前記電気―機械エネルギー変換素子が接合された振動部、基台に支持される支持部、及び前記振動部と前記支持部を連結する連結部を備えた弾性体と、
前記振動部と前記基台の間に、バネ性を有する第１の部材と、
を備えた振動型アクチュエータ。
被駆動体から前記振動部に及ぼされる加圧力に対する、基台からの反力が、前記振動部と前記支持部に分散するように構成された、請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
前記バネ性を有する第１の部材とは、フェルトである、請求項１または２に記載の振動型アクチュエータ。
前記バネ性を有する第１の部材とは、バネである、請求項２または３に記載の振動型アクチュエータ。
前記バネとは、板バネである、請求項４に記載の振動型アクチュエータ。
前記振動部と前記基台の間に、
振動絶縁性を有する第２の部材を備える、請求項１乃至５いずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
前記振動絶縁性を有する第２の部材とは、前記電気―機械エネルギー変換素子の振動が小さい部分を支持する突起を有する、振動絶縁板である、請求項６に記載の振動型アクチュエータ。
前記振動絶縁性を有する第２の部材とは、フェルトである、請求項６に記載の振動型アクチュエータ。
前記支持部と前記基台の間に、バネ性と振動絶縁性の少なくとも一方を有する第３の部材を備えた、請求項１乃至８いずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
前記バネ性と振動絶縁性の少なくとも一方を有する第３の部材とは、フェルトである、請求項９に記載の振動型アクチュエータ。
前記バネ性と振動絶縁性の少なくとも一方を有する第３の部材とは、突起部を有した振動絶縁部材であり、
前記突起部は、前記支持部において、振動が小さい部分を支持する、請求項９に記載の振動型アクチュエータ。
前記バネ性と振動絶縁性の少なくとも一方を有する第３の部材とは、バネである、請求項９に記載の振動型アクチュエータ。
前記振動部と前記基台の間に、被駆動体に対する、前記電気―機械エネルギー変換素子及び弾性体の向きを調整する、イコライザーを備えた、請求項１乃至１２いずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
前記イコライザーは、円錐溝を有するプレートと、球を有する、請求項１３に記載の振動型アクチュエータ。
前記弾性体の平面方向の位置を規制するための位置規制手段を設けたことを特徴とする請求項１乃至１４いずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
前記弾性体が前記被駆動体から受ける加圧力をＦ１、前記振動部が基台から受ける反力をＦ２、前記支持部が基台から受ける反力をＦ３、前記電気―機械エネルギー変換素子が接着剥がれを起こさないＦ２の下限値をＦ０とした時、Ｆ３≦Ｆ１―Ｆ０を満たす、請求項１乃至１５いずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
前記振動部が、前記基台の凹部に設けられている、請求項１乃至１６いずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
撮像素子と、
レンズと、
請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、
を備えた撮像装置。
請求項１乃至１８のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータにより、移動可能に構成されたステージ。