JP2007049897A - 固定子及びこれを利用したセラミックスチューブ型超音波モータ - Google Patents

固定子及びこれを利用したセラミックスチューブ型超音波モータ Download PDF

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Abstract

【課題】超音波モータの弾性体の材質を金属材質から耐摩耗性が良好なセラミックス材質に変更することによって、摩擦により発生する摩耗分を最小化し、一定の動作特性を確保し、かつモジュールの部品数を減少できる、固定子、及びこれを利用したセラミックスチューブ型超音波モータを提供する。
【解決手段】セラミックスチューブ型超音波モータ100は、セラミックス材質で形成されたチューブ型の弾性体111と、該弾性体の外周面に長さ方向に取り付けられ、所定の位相差を有する電圧が各々印加される複数の圧電振動板112と、を備えた固定子110と、前記複数の圧電振動板に印加された電圧により屈曲振動する前記弾性体との摩擦により回転する回転子120とを備える。
【選択図】 図2

Description

本発明は、固定子及びこれを利用したセラミックスチューブ型超音波モータに関するものである。
最近、情報社会の急速な発達につれて、より速くて精密な電子及び光学機器の必要性が台頭する中で、特に、携帯用モバイルアプリケーション製品は一般消費者の関心を反映するように、毎年、市場性が高まっている。これらのうち、カメラを装着した携帯電話は、センサの画素数の増加にしたがい、自動焦点及び光学ズームなどのデジタルカメラの機能を採択する傾向にあり、関連業界では、市場先占のため、競争的に開発に集中している。
このような高画素の携帯電話用カメラモジュールの駆動機構には、ステッピングモータ、VCM及び圧電超音波モータが代表的であり、この中で、圧電超音波モータは、圧電セラミックスに電気を印加した際に発生する収縮と膨脹などの単純振動を、固定子と移動子(回転子)との間の摩擦により円状又は線型運動に変えて回転モータ機能を可能にするもので、電磁気駆動モータに比べて、高いエネルギー密度、速い応答速度、高い位置精度及びオフパワーホールド(Off−power holding)機能のみならず、動作時に騷音がなく、かつ電磁波の影響がないというなどの長所がある。
携帯電話用カメラモジュールのレンズ駆動のための駆動装置の通常の特性を要約すれば、以下の表1の通りである。
Figure 2007049897
一方、このような摩擦駆動方式である圧電超音波モータの性能は、弾性体と圧電セラミックスからなる固定子及び移動子(回転子)の材質により影響を受け、特に、固定子のうち、弾性体を選択するときには、加工の容易性と耐摩耗性が考慮されなければならない。
1980年、T.Sashidaにより発表された圧電超音波モータは、最も代表的なモータであって、圧電セラミックスの変位を拡大させるために、鋸の歯状の金属(黄銅系)を弾性体の材質として用いている。しかしながら、こういう圧電超音波モータにおいては、回転子との摩擦により圧電超音波モータの特性低下、駆動周波数変移などの問題があり、特に、カメラモジュールにおいて致命的な異物が発生することから、これを最小化するために、硬度の高い物質を固定子と移動子との間に取り付けるか、又はコーティングする等の努力が続いている。
本発明のようなチューブ型圧電超音波モータに対する従来の技術として、特許文献1に開示された「Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor」と、1989年、非特許文献1に開示された「An Ultrasonic Motor Using Vibration of a Short Cylinder」などを例に挙げることができる。
前記特許文献1に開示された圧電アクチュエータは、本発明の弾性体に相当する金属材質のハウジングに、圧電セラミックスを取り付けるか、又は圧電セラミックスをチューブ状に製作し、その外周に電極を形成した構成を含んでいる。しかしながら、前記ハウジングは、上述のように、金属材質の弾性体をチューブ状にしたため、摩耗などの問題があり、また圧電セラミックスでチューブを製作する場合、製作上の困難性と圧電セラミックスの低い摩擦係数と弱い機械的強度により、回転子に駆動力を效率的に伝達できないという問題がある。
また、前記非特許文献1に開示された超音波モータは、駆動源として用いられたランジュバン(Langevin)振動子が2枚の圧電セラミックスを基準とし、両方に金属体がボルトで固定された構成からなっている。前記金属体は、圧電セラミックスの振動を増幅させるために、ステンレススチールを使用し、黄銅材質の回転子との摩耗を防止するために、摩擦材を挿入した構成からなっている。しかしながら、この場合にも、固定子のうち、弾性体の機能を行う金属体がステンレススチールのような金属材からなっているため、上述の摩耗などの問題が依然として存在する。
米国特許出願公開第2005/0052098号明細書 アイトリプルイー トランザクションズ オン アルトラソニック、フェロエレクトリック、アンド フリーケンシィ コントロール(超音波、強誘電性および周波数制御に関するIEEE報告書)、第36巻、第5号、第517−521行1989年["IEEE Transaction on Ultrasonic,Ferroelectric,and Frequency Control",Vol.36,No.5,pp.517−521]
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、超音波モータの弾性体の材質を金属材質から耐摩耗性が良好なセラミックス材質に変更することによって、摩擦により発生する摩耗分を最小化し、一定の動作特性を確保し、かつモジュールの部品数を減少できる、固定子、及びこれを利用したセラミックスチューブ型超音波モータを提供することにある。
上記目的を達成すべく、本発明に係る固定子は、セラミックス材質で形成されたチューブ型の弾性体と、前記弾性体の外周面に長さ方向に取り付けられ、所定の位相差を有する電圧が各々印加される複数の圧電振動板とを備える。
ここで、前記圧電振動板は、前記弾性体と同じセラミックス材質で形成されていてもよい。
そして、前記セラミックス材質は、アルミナ又はジルコニアのうちのいずれか1つであることが好ましい。
また、前記弾性体の外周面には、前記圧電振動板が互いに電気的に連結されるように導電性物質がコーティングされていることが好ましい。
また、本発明に係るセラミックスチューブ型超音波モータは、セラミックス材質で形成されたチューブ型の弾性体と、該弾性体の外周面に長さ方向に取り付けられ、所定の位相差を有する電圧が各々印加される複数の圧電振動板と、を備えた固定子と、前記複数の圧電振動板に印加された電圧により屈曲振動する前記弾性体との摩擦により回転する回転子とを備える。
ここで、前記圧電振動板が、前記弾性体と同じセラミックス材質で構成されていてもよい。
そして、前記セラミックス材質が、アルミナ又はジルコニアのうちのいずれか1つであることが好ましい。
また、前記弾性体の外周面には、前記圧電振動板が互いに電気的に連結されるように導電性物質がコーティングされていることが好ましい。
したがって、本発明によれば、前記弾性体の材質を金属材質から耐摩耗性が良好なセラミックス材質に変更することによって、摩擦により発生する摩耗分を最小化し、一定の動作特性を確保し、かつモジュールの部品数を減少できるという効果がある。
また、本発明によれば、チューブ型超音波モータの弾性体を硬度特性が優れているセラミックス材質で製作して、摩擦による摩耗を最小化するとともに、従来の超音波モータと比べて、長さ、部品数及び工数などを減少させ得るという効果がある。
また、本発明は、弾性体の材質としてセラミックス材質を用いるため、金属材質とは異なり、腐食が発生するという問題がなく、圧電セラミックスと類似の熱膨張特性により、熱衝撃、高温動作及び低温動作などの熱的信頼性テストにおいて優れた特性を示す。
以下、本発明の好ましい実施の形態を、添付図面に基づき詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
<固定子>
図1は、本発明によるセラミックスチューブ型超音波モータ100に用いられる固定子110の構成を示す斜視図である。
同図に示すように、本発明による固定子110は、セラミックス材質からなるチューブ型の弾性体111と、該弾性体111の外周面に取り付けられ、位相差が異なる電圧が各々印加される複数の圧電振動板112とを備える。
まず、固定子110のうち、弾性体111は、該弾性体111の外周面に取り付けられた複数の圧電振動板112に印加された電圧により屈曲振動する部分である。このような弾性体111は、弾性体111の屈曲振動により前記弾性体と接触する前記回転子を摩擦力で所定方向に回転させる機能を果たす。
一方、前記弾性体は、従来の技術とは異なり、耐摩耗性が良好なセラミックス材質からなり、このようなセラミックス材質としては、アルミナ、ジルコニアなどを用いることが好ましい。すなわち、従来の技術では、弾性体の機能を果たす部分が金属材質からなっているが、本発明では、アルミナ、ジルコニアなどの硬度特性が優れているセラミックス材質で弾性体を製作して、摩擦による摩耗を最小化すると共に、長さ、部品の数、製作工数などを減少させることができる。特に、本発明のように、弾性体をセラミックス材質で形成すると、金属材質とは異なり、腐食の問題がなく、また圧電セラミックスと類似の熱膨張特性を持つようになり、熱衝撃、高温動作及び低温動作などの温度と関わる信頼性のテストにおいて優れた特性を示す。
次に、固定子110のうち、圧電振動板112は、前記弾性体111の外周面に取り付けられて、位相差が異なる電圧が各々印加される部分である。このような圧電振動板112に電圧を印加すると、前記圧電振動板112は前記弾性体111を屈曲振動させる機能を果たす。
ここで、前記複数の圧電振動板112は、セラミックス材質からなる前記弾性体111と同じセラミックス材質で構成され、セラミックス材質として、アルミナ、ジルコニアなどを用いることが好ましい。
前記固定子のうち、弾性体111に長さ方向に取り付けられる複数の圧電振動板(ここでは、4つの圧電振動板を例に挙げて説明する)112の分極方向は、同じ円周上に位置するように設置し、このとき、それぞれの圧電振動板112同士が電気的に互いに連結されるように、前記弾性体111の外周面に導電性物質(図示せず)をコーティングする。
後述するが、このような圧電振動板112に所定の位相差を有する電圧信号を印加したとき、前記複数の圧電振動板112同士がそれぞれ収縮及び膨脹して、前記固定子110に屈曲変形を起こすことにより、前記固定子110の中心軸に連結される回転子120を駆動させるようになる。
一方、下記の表2は、本発明と従来の技術による固定子のうち、弾性体材質に応じる変位をそれぞれシミュレーションした結果を示す。固定子として、長さ7.6mm、断面部が約2.5mm×2.5mmのステンレススチールの弾性体(従来の技術;A)と同じ規格のアルミナ弾性体(本発明;B)を用いており、前記シミュレーションは、実験ソフトウェアとして米国Magsoft社製造のAtila version5.2.2(圧電素子専用有限要素解析プログラム)により行われた。このとき、駆動電圧として1Vが印加された。
Figure 2007049897
前記表2から分かるように、たとえ材質により共振周波数に差があっても、前記固定子110の両端から発生する最大変位は、ほぼ類似した結果を示している。
<セラミックスチューブ型超音波モータ>
図2は、上述の本発明による弾性体を備えたセラミックスチューブ型超音波モータ100の構成図である。
本発明によるセラミックスチューブ型超音波モータ100は、同図に示すように、セラミックス材質からなるチューブ型の弾性体111と、該弾性体111の外周面に取り付けられ、位相差が異なる電圧が各々印加される複数の圧電振動板112を備えた固定子110と、前記複数の圧電振動板112に印加された電圧により屈曲振動する前記弾性体111との摩擦により回転する回転子120と、を備える。
ここで、上述のように、前記固定子110を構成するチューブ型弾性体は、耐摩耗性が良好なセラミックス材質からなっており、このようなセラミックス材質として、アルミナ、ジルコニアなどを用いることが好ましい。また、チューブ型弾性体111の外周面に取り付けられる固定子110のうち、圧電振動板112は、セラミックス材質からなる前記弾性体111と同じセラミックス材質で構成され、セラミックス材質として、アルミナ、ジルコニアなどを用いることが好ましい。
一方、回転子120は、前記複数の圧電振動板112に印加された電圧により屈曲振動する前記弾性体111との摩擦により回転する部分であって、前記弾性体111の上面及び下面とそれぞれ摩擦する上部摩擦面120a及び下部摩擦面120bを備える。また、前記回転子の下部摩擦面120bが形成される部分、より具体的には前記回転子120の下部摩擦面120bと前記回転子120のストッパー134との間にスプリング131、ウォッシャー132及びE−リング133が順次設置されて、組立体を弾性支持するようになる。
図3は、本発明に係るセラミックスチューブ型超音波モータの固定子10に電圧を印加する際の屈曲振動動作を説明するための説明図である。
前記セラミックスチューブ型超音波モータ100の動作を簡略に説明すれば、次の通りである。
すなわち、セラミックス材質からなる前記弾性体111に取り付けられた前記4つの圧電振動板112に、90度のような所定の位相差を有する4つの信号をそれぞれ印加すれば、前記4つの圧電振動板112は、それぞれ異なる位相差を有する駆動交流電圧によりそれぞれ異なる振動(上下方向に分極方向が相互に異なるコサイン波形の振動:Acosθ、−Acosθ、左右方向に分極方向が相互に異なるサイン波形の変動:Asinθ、−Asinθ、ここにθは初期位相角である)を発生させる。
したがって、前記弾性体111(又は固定子110)は、前記4つの圧電振動板112から発生した振動により、フラフープ(Hula Hoop)のような屈曲振動を発生させる。このように、前記固定子110から発生した屈曲振動は、前記弾性体111と接触している前記回転子120を回転させる。
上述した本発明の好ましい実施の形態は、例示の目的のために開示されたものであり、本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で、様々な置換、変形、及び変更が可能であり、このような置換、変更などは、特許請求の範囲に属するものである。
本発明によるセラミックスチューブ型超音波モータに用いられる固定子の構成を示す斜視図である。 本発明によるセラミックスチューブ型超音波モータの構成を示す斜視図である。 本発明によるセラミックスチューブ型超音波モータの固定子に電圧を印加する際の屈曲振動動作を説明するための説明図である。
符号の説明
100 セラミックスチューブ型超音波モータ
110 固定子
111 弾性体又はセラミックスチューブ
112 圧電振動板
120 回転子
120a,120b 上部/下部摩擦面
131 スプリング
132 ウォッシャー
133 E−リング
134 ストッパー

Claims (8)

  1. セラミックス材質で形成されたチューブ型の弾性体と、
    前記弾性体の外周面に長さ方向に取り付けられ、所定の位相差を有する電圧が各々印加される複数の圧電振動板と
    を備える固定子。
  2. 前記圧電振動板は、前記弾性体と同じセラミックス材質で形成されたことを特徴とする請求項1に記載の固定子。
  3. 前記セラミックス材質は、アルミナ又はジルコニアであることを特徴とする請求項1又は2に記載の固定子。
  4. 前記弾性体の外周面には、前記圧電振動板が互いに電気的に連結されるように導電性物質がコーティングされていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の固定子。
  5. セラミックス材質で形成されたチューブ型の弾性体と、前記弾性体の外周面に長さ方向に取り付けられ、所定の位相差を有する電圧が各々印加される複数の圧電振動板と、を備えた固定子と、
    前記複数の圧電振動板に印加された電圧により屈曲振動する前記弾性体との摩擦により回転する回転子と、を備えるセラミックスチューブ型超音波モータ。
  6. 前記圧電振動板は、前記弾性体と同じセラミックス材質で構成されたことを特徴とする請求項5に記載のセラミックスチューブ型超音波モータ。
  7. 前記セラミックス材質は、アルミナ又はジルコニアであることを特徴とする請求項5又は6に記載のセラミックスチューブ型超音波モータ。
  8. 前記弾性体の外周面には、前記圧電振動板が互いに電気的に連結されるように導電性物質がコーティングされていることを特徴とする請求項5〜7のいずれか一項に記載のセラミックスチューブ型超音波モータ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011139706A2 (en) * 2010-04-26 2011-11-10 Discovery Technology International, Inc. Tubular linear piezoelectric motor

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100691270B1 (ko) * 2005-08-05 2007-03-12 삼성전기주식회사 압전 스테이터의 노달 지점을 자동으로 찾아 지지하는 구조
CN100438307C (zh) * 2005-11-18 2008-11-26 清华大学 螺纹驱动多面体超声电机
KR100891851B1 (ko) * 2007-07-27 2009-04-07 삼성전기주식회사 고정자와 이를 갖는 압전 초음파 모터
JP2009136135A (ja) * 2007-11-08 2009-06-18 Taiyo Yuden Co Ltd 圧電駆動装置
JP2011004035A (ja) * 2009-06-17 2011-01-06 Seiko Epson Corp 屈曲振動片および屈曲振動片の製造方法
US8629592B2 (en) * 2009-06-25 2014-01-14 General Electric Company Hermetic sealing assembly and electrical device including the same
GB0922187D0 (en) * 2009-12-21 2010-02-03 Rolls Royce Plc Bearing assembly
US8680975B2 (en) 2010-03-31 2014-03-25 New Scale Technologies Haptic actuator systems and methods thereof
JP2012060355A (ja) * 2010-09-08 2012-03-22 Seiko Epson Corp 振動片、振動子、振動デバイスおよび電子機器
CN102684547B (zh) * 2011-03-14 2015-03-25 江海 一种金属陶瓷复合管状压电马达
JP5851147B2 (ja) * 2011-08-05 2016-02-03 オリンパス株式会社 超音波振動装置
JP5911259B2 (ja) * 2011-10-24 2016-04-27 オリンパス株式会社 超音波振動装置
CN103115056B (zh) * 2013-03-12 2015-03-18 哈尔滨工业大学 夹心式自由梁纵扭模态转换工作模式的可解锁螺母
CN103115059B (zh) * 2013-03-12 2015-03-18 哈尔滨工业大学 贴片式自由梁弯振工作模式的可解锁螺母
CN103161811B (zh) * 2013-03-12 2015-04-01 哈尔滨工业大学 贴片式悬臂梁弯振工作模式的可解锁螺母
US20160380178A1 (en) * 2013-11-26 2016-12-29 Namiki Seimitsu Houseki Kabushiki Kaisha Vibration actuator
WO2015125359A1 (ja) * 2014-02-18 2015-08-27 シャープ株式会社 摩擦駆動アクチュエータ
CN106899229B (zh) * 2017-04-11 2018-09-14 合肥工业大学 一种谐振冲击式压电旋转马达
CN113517825A (zh) * 2021-05-31 2021-10-19 吉林大学 一种基于纵振模态的微小型超声电机及其驱动方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2271200A (en) * 1939-07-19 1942-01-27 Bell Telephone Labor Inc Wave filter
US2439499A (en) * 1942-08-20 1948-04-13 Brush Dev Co Piezoelectric motor
US3146367A (en) * 1960-07-05 1964-08-25 Gen Dynamics Corp Electrostrictive apparatus for changing displays
US4525645A (en) * 1983-10-11 1985-06-25 Southwest Research Institute Cylindrical bender-type vibration transducer
US4630941A (en) * 1984-02-21 1986-12-23 International Business Machines Corp. Tubular squeeze bearing apparatus with rotational restraint
US4523120A (en) * 1984-06-04 1985-06-11 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Precise bearing support ditherer with piezoelectric drive means
JPS62256509A (ja) * 1986-04-30 1987-11-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電磁器振動子の製造方法
JPH072228B2 (ja) * 1988-07-27 1995-01-18 株式会社トーキン 圧電楕円運動振動子
JPH0522966A (ja) * 1991-07-12 1993-01-29 Tokin Corp 超音波モータ
JPH05252767A (ja) * 1992-03-03 1993-09-28 Olympus Optical Co Ltd 超音波モータ
US5747915A (en) * 1996-08-19 1998-05-05 Sandia Corporation Bent shaft motor
JP3523488B2 (ja) 1998-03-31 2004-04-26 京セラ株式会社 超音波リニアモータおよびこれを用いた駆動装置
JPH11289781A (ja) 1998-04-02 1999-10-19 Star Micronics Co Ltd 圧電素子及びその製造方法
JP3526298B2 (ja) * 2001-01-22 2004-05-10 キヤノン株式会社 振動体および振動波駆動装置
JP3387489B2 (ja) 2001-01-29 2003-03-17 株式会社日立製作所 超音波モータ
KR100530867B1 (ko) * 2003-04-23 2005-11-28 한국과학기술연구원 복합 압전선형 초음파모터
US7309943B2 (en) * 2003-09-08 2007-12-18 New Scale Technologies, Inc. Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor
GB0323920D0 (en) * 2003-10-11 2003-11-12 Johnson Electric Sa Electric motor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011139706A2 (en) * 2010-04-26 2011-11-10 Discovery Technology International, Inc. Tubular linear piezoelectric motor
WO2011139706A3 (en) * 2010-04-26 2012-01-19 Discovery Technology International, Inc. Tubular linear piezoelectric motor

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