JP6512217B2 - 光学フィルター及び撮像装置 - Google Patents
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Description
F≧−1.25t+1.525 …(1)
ただし、
F:基板に対する光学フィルターの強度比(コーティングされた基板を有する光学フィルターの破壊強度/コーティングされていない基板の破壊強度)、
t:基板の厚さ(mm)、
である。
前記光学フィルターの光入射側に配置される撮像レンズと、
前記撮像レンズ及び前記光学フィルターを介して入射する光を受光する撮像素子とを備えたものである。
F≧−1.25t+1.525 …(1)
ただし、
F:基板に対する光学フィルターの強度比(コーティングされた基板を有する光学フィルターの破壊強度/コーティングされていない基板の破壊強度)、
t:基板の厚さ(mm)、
である。
F≧−1.5t+1.65 …(1a)
この条件式(1a)は、前記条件式(1)が規定している条件範囲のなかでも、前記観点等に基づいた更に好ましい条件範囲を規定している。したがって、好ましくは条件式(1a)を満たすことにより、上記効果をより一層大きくすることができる。
|σ×d|≧900 …(2)
ただし、
σ:膜応力(MPa/m)、
d:膜厚(μm)、
である。
|σ×d|≧1500 …(2a)
この条件式(2a)は、前記条件式(2)が規定している条件範囲のなかでも、前記観点等に基づいた更に好ましい条件範囲を規定している。したがって、好ましくは条件式(2a)を満たすことにより、上記効果をより一層大きくすることができる。
σ=(Es×ts2)/{6(1−vs)R×tf} …(ST)
ただし、
Es:短冊状ガラス基板のヤング率(N/m2)、
vs:短冊状ガラス基板のポアッソン比、
ts:基板の厚さ(m)、
R:曲率半径(m)、
tf:膜厚(m)、
である。
M1,M2 多層膜
SU 基板
10 撮像装置
11 撮像レンズ
12 撮像素子
A1〜K1,A2〜K2 サンプル
Claims (15)
- 厚さが0.3mm以下の基板の両面に多層膜がコーティングされた光学フィルターであって、前記基板両面の多層膜がいずれも圧縮応力を有し、以下の条件式(1)を満足する光学フィルター;
F≧−1.25t+1.525 …(1)
ただし、
F:基板に対する光学フィルターの強度比(コーティングされた基板を有する光学フィルターの破壊強度/コーティングされていない基板の破壊強度)、
t:基板の厚さ(mm)、
である。 - 前記基板両面の多層膜がいずれも以下の条件式(2)を満足する請求項1記載の光学フィルター;
|σ×d|≧900 …(2)
ただし、
σ:膜応力(MPa/m)、
d:膜厚(μm)、
である。 - 前記基板両面の多層膜の厚さがいずれも3.0μm以上である請求項1又は2記載の光学フィルター。
- 前記基板両面の多層膜の厚さがいずれも9.0μm未満である請求項1〜3のいずれか1項に記載の光学フィルター。
- 前記基板がガラスからなる請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学フィルター。
- 前記基板両面の多層膜がいずれも少なくとも2つの蒸着材料からなり、そのうちの少なくとも1つがSiO2又はSiO2を含む混合物からなる請求項1〜5のいずれか1項に記載の光学フィルター。
- 前記基板両面の多層膜がいずれも少なくとも2つの蒸着材料からなり、そのうちの少なくとも1つがTiO2、Nb2O5、Ta2O5、ZrO2又はそのいずれかを含む混合物からなる請求項1〜6のいずれか1項に記載の光学フィルター。
- 前記基板両面の多層膜がいずれも、イオンアシスト蒸着、イオンプレーティング成膜、反応性スパッタ成膜、又はイオンビームスパッタ成膜で形成されたものである請求項1〜7のいずれか1項に記載の光学フィルター。
- 以下の条件式(1a)を満足する請求項1〜8のいずれか1項に記載の光学フィルター;
F≧−1.5t+1.65 …(1a)
ただし、
F:基板に対する光学フィルターの強度比(コーティングされた基板を有する光学フィルターの破壊強度/コーティングされていない基板の破壊強度)、
t:基板の厚さ(mm)、
である。 - 前記基板両面の多層膜がいずれも以下の条件式(2a)を満足する請求項1〜9のいずれか1項に記載の光学フィルター;
|σ×d|≧1500 …(2a)
ただし、
σ:膜応力(MPa/m)、
d:膜厚(μm)、
である。 - 前記基板両面の多層膜の厚さがいずれも4.0μm以上9μm未満である請求項1〜10のいずれか1項に記載の光学フィルター。
- 前記基板両面の多層膜の厚さがいずれも5.0μm以上9μm未満である請求項1〜11のいずれか1項に記載の光学フィルター。
- 前記基板両面の多層膜の厚さがいずれも5.5μm以上9μm未満である請求項1〜12のいずれか1項に記載の光学フィルター。
- 前記基板両面の多層膜がいずれも可視域の光を透過させ赤外域の光を反射させる光学特性を有する請求項1〜13のいずれか1項に記載の光学フィルター。
- 請求項14に記載の光学フィルターと、
前記光学フィルターの光入射側に配置される撮像レンズと、
前記撮像レンズ及び前記光学フィルターを介して入射する光を受光する撮像素子とを備えている撮像装置。
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