JP5888124B2 - 多層膜フィルタ、及び多層膜フィルタの製造方法 - Google Patents
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Description
(1) 本発明の多層膜フィルタは、透明基板上に屈折率の異なる薄膜を積層させてなる多層膜フィルタにおいて、前記透明基板上に形成されるSiからなる第1薄膜層と、該第1薄膜層の上に形成され前記第1薄膜層の屈折率よりも低い屈折率を持つ第2薄膜層と、該第2薄膜層の上に形成され前記第2薄膜層の屈折率よりも低い屈折率を持つ第3薄膜層と、該第3薄膜層の上に形成され前記第2薄膜層と同じ屈折率を持つ,又は前記第1薄膜層の屈折率と前記第3薄膜層の屈折率の間の中間の屈折率を持つ第4薄膜層と、を有し、
前記第1薄膜乃至前記第4薄膜を1スタックとして,該スタックが前記基板上に所定数積層されることによりなることを特徴とする。
(2) (1)の多層膜フィルタは、近赤外域を含む光を前記多層膜フィルタに対して45°入射させた際に、波長900nm乃至波長1200nmの範囲内の光を透過し、その他の波長域の光を反射させるように前記各層薄膜が形成されることによりなることを特徴とする。
(3) (1)または(2)に記載の多層膜フィルタにおいて、前記第2薄膜層及び前記第4薄膜層はTa2O5,Nb2O5,TiO2,ZrO2から選ばれた材料からなることを特徴とする。
(4) (1)乃至(3)の何れかに記載の多層膜フィルタにおいて、前記第3薄膜層はSiO2,またはMgF2の材料からなることを特徴とする。
(5) 透明基板上に屈折率の異なる薄膜を積層させてなる多層膜フィルタの製造方法において、 前記透明基板上にSiからなる第1の薄膜層を所定の膜厚で形成する第1ステップと、 該第1ステップにより形成された前記第1薄膜層の上に該第1薄膜層の屈折率よりも低い屈折率を持つ第2の薄膜層を所定の膜厚で形成する第2ステップと、 該第2ステップにより形成された前記第2薄膜層の上に該第2薄膜の屈折率よりも低い屈折率を持つ第3の薄膜層を所定の膜厚で形成する第3ステップと、 該第3ステップにより形成された前記第3薄膜層の上に前記第2薄膜層と同じ屈折率を持つ,または前記第1薄膜層の屈折率と前記第3薄膜層の屈折率との間の中間の屈折率を持つ第4の薄膜層を所定の膜厚で形成する第4ステップと、 を有し、前記第1ステップ乃至第4ステップにより形成される前記第1薄膜層乃至前記第4薄膜層を1スタックとして、該スタックを前記基板上に所定数積層することを特徴とする。
(6) (5)の多層膜フィルタの製造方法において、前記第2薄膜層及び前記第4薄膜層はTa2O5,Nb2O5,TiO2,ZrO2から選ばれた材料から形成され、前記第3薄膜層はSiO2,またはMgF2の材料から形成されることを特徴とする。
多層膜フィルタを以下の条件を用いて設計した。
1000nm乃至1080nmの波長の光を選択的に透過させるエッジフィルタ(目標透過率70%以上)
「条件」
透明基板:ガラス(屈折率1.51)
媒質:1.64
設計波長λ0:1000nm
入射角:45°
使用膜材料:Si(屈折率3.90)、Ta2O5(屈折率2.18)、SiO2(1.46)
総数:28層(7スタック)
多層膜フィルタを構成する各薄膜層の材料、及び膜厚を表1に示す。なお、層No1の薄膜層が透明基板に最初に形成される層であり、最外層が層No28となる。
使用膜材料をSiO2、Ta2O5のみとし、膜数29層とした以外は全て実施例1と同じ条件で行った。比較例における多層膜フィルタを構成する各薄膜層の材料、及び膜厚を表2に示す。
実施例1の多層膜フィルタでは45°入射の光に対して特定の波長域の光のみを70%以上、選択的に透過させることができている。
2 第1薄膜層
3 第2薄膜層
4 第3薄膜層
5 第4薄膜層
100 多層膜フィルタ
Claims (6)
- 透明基板上に屈折率の異なる薄膜を積層させてなる多層膜フィルタにおいて、前記透明基板上に形成されるSiからなる第1薄膜層と、該第1薄膜層の上に形成され前記第1薄膜層の屈折率よりも低い屈折率を持つ第2薄膜層と、該第2薄膜層の上に形成され前記第2薄膜層の屈折率よりも低い屈折率を持つ第3薄膜層と、該第3薄膜層の上に形成され前記第2薄膜層と同じ屈折率を持つ,又は前記第1薄膜層の屈折率と前記第3薄膜層の屈折率の間の中間の屈折率を持つ第4薄膜層と、を有し、
前記第1薄膜乃至前記第4薄膜を1スタックとして,該スタックが前記基板上に所定数積層されることによりなる多層膜フィルタ。 - 請求項1の多層膜フィルタは、近赤外域を含む光を前記多層膜フィルタに対して45°入射させた際に、波長900nm乃至波長1200nmの範囲内の光を透過し、その他の波長域の光を反射させるように前記各層薄膜が形成されることによりなる多層膜フィルタ。
- 請求項1または請求項2に記載の多層膜フィルタにおいて、前記第2薄膜層及び前記第4薄膜層はTa2O5,Nb2O5,TiO2,ZrO2から選ばれた材料からなることを特徴とする多層膜フィルタ。
- 請求項1乃至請求項3の何れかに記載の多層膜フィルタにおいて、前記第3薄膜層はSiO2,またはMgF2の材料からなることを特徴とする多層膜フィルタ。
- 透明基板上に屈折率の異なる薄膜を積層させてなる多層膜フィルタの製造方法において、
前記透明基板上にSiからなる第1の薄膜層を所定の膜厚で形成する第1ステップと、
該第1ステップにより形成された前記第1薄膜層の上に該第1薄膜層の屈折率よりも低い屈折率を持つ第2の薄膜層を所定の膜厚で形成する第2ステップと、
該第2ステップにより形成された前記第2薄膜層の上に該第2薄膜の屈折率よりも低い屈折率を持つ第3の薄膜層を所定の膜厚で形成する第3ステップと、
該第3ステップにより形成された前記第3薄膜層の上に前記第2薄膜層と同じ屈折率を持つ,または前記第1薄膜層の屈折率と前記第3薄膜層の屈折率との間の中間の屈折率を持つ第4の薄膜層を所定の膜厚で形成する第4ステップと、
を有し、
前記第1ステップ乃至第4ステップにより形成される前記第1薄膜層乃至前記第4薄膜層を1スタックとして、該スタックを前記基板上に所定数積層することを特徴とする多層膜フィルタの製造方法。 - 請求項5の多層膜フィルタの製造方法において、前記第2薄膜層及び前記第4薄膜層はTa2O5,Nb2O5,TiO2,ZrO2から選ばれた材料から形成され、前記第3薄膜層はSiO2,またはMgF2の材料から形成されることを特徴とする多層膜フィルタの製造方法。
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