JP6484853B2 - 露光装置用反射鏡ユニット及び露光装置 - Google Patents
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Description
(1) 光源からの露光光を反射する反射鏡と、
該反射鏡の裏面にそれぞれ取り付けられ、前記反射鏡を支持する複数の支持部材と、
前記複数の支持部材をそれぞれ駆動する複数の駆動装置と、
を備え、前記各駆動装置によって前記各支持部材を駆動することで、前記反射鏡の反射面を変形させる露光装置用反射鏡ユニットであって、
少なくとも二つの前記支持部材に取り付けられ、該少なくとも二つの支持部材の中間位置で、前記反射鏡の裏面に取り付けられた中間パッドを保持する保持部材が設けられることを特徴とする露光装置用反射鏡ユニット。
(2) 前記保持部材は、前記複数の支持部材に取り付けられた単一の保持板であり、
前記保持板と、該保持板に保持される前記中間パッドとの距離が調整可能に構成されていることを特徴とする(1)に記載の露光装置用反射鏡ユニット。
(3) 前記保持板は、前記支持部材と前記中間パッドとを結んだ接続部分以外の部分に、肉抜き部を有することを特徴とする請求項2に記載の露光装置用反射鏡ユニット。
(4) 前記複数の支持部材は、ボールジョイントをそれぞれ備え、
前記保持板は、ボールジョイントよりも前記反射鏡側で、前記複数の支持部材に取り付けられることを特徴とする(2)又は(3)に記載の露光装置用反射鏡ユニット。
(5) ワークを支持するワーク支持部と、マスクを支持するマスク支持部と、光源からの露光光を反射する(1)〜(4)のいずれかに記載の反射鏡ユニットを備えた照明光学系と、を備え、前記光源からの露光光を前記マスクを介して前記ワークに照射して前記マスクのパターンを前記ワークに転写することを特徴とする露光装置。
図1に示すように、近接露光装置PEは、被露光材としてのワークWより小さいマスクMを用い、マスクMをマスクステージ1で保持すると共に、ワークWをワークステージ(ワーク支持部)2で保持し、マスクMとワークWとを近接させて所定の露光ギャップで対向配置した状態で、照明光学系3からパターン露光用の光をマスクMに向けて照射することにより、マスクMのパターンをワークW上に露光転写する。また、ワークステージ2をマスクMに対してX軸方向とY軸方向の二軸方向にステップ移動させて、ステップ毎に露光転写が行われる。
なお、上下微動装置8は、モータ17とボールねじによってスライド体12を駆動する代わりに、リニアモータによってスライド体12を駆動するようにしてもよい。
なお、上下微動装置8によってワークステージ2の高さを十分に調整できる場合には、上下粗動装置7を省略してもよい。
たとえば、図5に示す変形例ように、平面ミラー68の一辺の方向で隣接する2つの支持部材73の中間位置毎に複数の中間パッド72aが配置され、単一の保持板82が、これら中間パッド72aを保持するようにしてもよい。したがって、保持板82には、該一辺と直交方向に並ぶ2つの支持部材73と2つの中間パッド72aによって矩形状に囲まれる領域に、略矩形の肉抜き部82bがそれぞれ形成される。
また、上記実施形態では、平面ミラー68の周縁部が支持部材73によって支持されており、二つの支持部材73の中間位置に中間パッド72aが設けられているが、平面ミラー68の周縁部が支持部材73のよりも外側に位置する場合には、平面ミラー68の周縁部にパッドを別途設けて、保持板82によって保持するようにしてもよい。
一方、図7(a)、(b)に示す変形例のように、ナット84は、保持板82の中間パッド72aから離間した側のみで、ボルトの雄ねじ部83と螺合させてもよい。この場合、保持板82の中間パッド72a側にナット84が設けられていないので、距離調整をより簡単に行うことができ、また、保持板82が撓んだ場合の応力集中の発生を抑制することができる。そのため、平面ミラー68が撓んだ際の保持精度を高めることができ、光源の性能を確保することができる。
2 ワークステージ(ワーク支持部)
3 照明光学系
61 高圧水銀ランプ(光源)
68 平面ミラー(反射鏡)
72 パッド
72a 中間パッド
73 支持部材
74 アクチュエータ(駆動装置)
76 ボールジョイント
82 保持板
82b 肉抜き部
85 高さ調整機構
M マスク
PE 近接露光装置
W ワーク
Claims (5)
- 光源からの露光光を反射する反射鏡と、
該反射鏡の裏面にそれぞれ取り付けられ、前記反射鏡を支持する複数の支持部材と、
前記複数の支持部材をそれぞれ駆動する複数の駆動装置と、
を備え、前記各駆動装置によって前記各支持部材を駆動することで、前記反射鏡の反射面を変形させる露光装置用反射鏡ユニットであって、
少なくとも二つの前記支持部材に取り付けられ、該少なくとも二つの支持部材の中間位置で、前記反射鏡の裏面に取り付けられた中間パッドを保持する保持部材が設けられることを特徴とする露光装置用反射鏡ユニット。 - 前記保持部材は、前記複数の支持部材に取り付けられた単一の保持板であり、
前記保持板と、該保持板に保持される前記中間パッドとの距離が調整可能に構成されていることを特徴とする請求項1に記載の露光装置用反射鏡ユニット。 - 前記保持板は、前記支持部材と前記中間パッドとを結んだ接続部分以外の部分に、肉抜き部を有することを特徴とする請求項2に記載の露光装置用反射鏡ユニット。
- 前記複数の支持部材は、ボールジョイントをそれぞれ備え、
前記保持板は、ボールジョイントよりも前記反射鏡側で、前記複数の支持部材に取り付けられることを特徴とする請求項2又は3に記載の露光装置用反射鏡ユニット。 - ワークを支持するワーク支持部と、マスクを支持するマスク支持部と、光源からの露光光を反射する請求項1〜4のいずれかに記載の反射鏡ユニットを備えた照明光学系と、を備え、前記光源からの露光光を前記マスクを介して前記ワークに照射して前記マスクのパターンを前記ワークに転写することを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015082005A JP6484853B2 (ja) | 2014-04-17 | 2015-04-13 | 露光装置用反射鏡ユニット及び露光装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014085770 | 2014-04-17 | ||
JP2014085770 | 2014-04-17 | ||
JP2015082005A JP6484853B2 (ja) | 2014-04-17 | 2015-04-13 | 露光装置用反射鏡ユニット及び露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015212811A JP2015212811A (ja) | 2015-11-26 |
JP6484853B2 true JP6484853B2 (ja) | 2019-03-20 |
Family
ID=54324190
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015082005A Active JP6484853B2 (ja) | 2014-04-17 | 2015-04-13 | 露光装置用反射鏡ユニット及び露光装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6484853B2 (ja) |
KR (1) | KR20160144385A (ja) |
CN (1) | CN106687866B (ja) |
WO (1) | WO2015159989A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7017239B2 (ja) * | 2018-06-25 | 2022-02-08 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光装置および高さ調整方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5684566A (en) * | 1995-05-24 | 1997-11-04 | Svg Lithography Systems, Inc. | Illumination system and method employing a deformable mirror and diffractive optical elements |
JPH10307202A (ja) * | 1997-05-09 | 1998-11-17 | Fujitsu General Ltd | プロジェクタ用反射鏡及び光学歪み調整システム |
JP2001042281A (ja) * | 1999-07-29 | 2001-02-16 | Nittetsu Yahata Eng Kk | ミラー装置 |
JP4565908B2 (ja) * | 2004-06-25 | 2010-10-20 | 株式会社大日本科研 | 非球面コリメートミラーの調整方法 |
JP2008129099A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Funai Electric Co Ltd | デフォーマブルミラー |
JP5499399B2 (ja) * | 2009-07-28 | 2014-05-21 | Nskテクノロジー株式会社 | 露光装置及び露光方法 |
US20110027542A1 (en) * | 2009-07-28 | 2011-02-03 | Nsk Ltd. | Exposure apparatus and exposure method |
JP5481400B2 (ja) * | 2010-01-15 | 2014-04-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | マイクロミラーデバイスの選別方法、マイクロミラーデバイス選別装置およびマスクレス露光装置 |
JP5456620B2 (ja) * | 2010-08-30 | 2014-04-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の露光光照射方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
DE102012223034A1 (de) * | 2012-12-13 | 2013-12-12 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Beleuchtungssystem einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage |
JP6168957B2 (ja) * | 2013-09-30 | 2017-07-26 | キヤノン株式会社 | 光学装置、投影光学系、露光装置および物品の製造方法 |
-
2015
- 2015-04-13 JP JP2015082005A patent/JP6484853B2/ja active Active
- 2015-04-17 CN CN201580020327.8A patent/CN106687866B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2015-04-17 KR KR1020167028553A patent/KR20160144385A/ko not_active Application Discontinuation
- 2015-04-17 WO PCT/JP2015/061915 patent/WO2015159989A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106687866A (zh) | 2017-05-17 |
CN106687866B (zh) | 2018-09-14 |
WO2015159989A1 (ja) | 2015-10-22 |
JP2015212811A (ja) | 2015-11-26 |
KR20160144385A (ko) | 2016-12-16 |
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A621 | Written request for application examination |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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