JP6451201B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
さらに好ましい実施形態では、封止部品は、絶縁性を有する封止部と、封止部を保持する保持部とを有し、端子ピンは、封止部を貫通している。
さらに好ましい実施形態では、ポンプ本体の開口部の周縁と、第2のプリント基板におけるポンプ本体と対向する面との間に熱伝導部材が設けられ、
ポンプ本体の開口部の周縁と、第2のプリント基板におけるポンプ本体と対向する面とが熱伝導部材を介して熱伝導可能に接続されている。
さらに好ましい実施形態では、熱伝導部材は、シール部材を介してポンプ本体に着脱自在に取り付けられるアダプタであり、封止部品は、ポンプ本体には固着されずにアダプタに固着され、封止部品、アダプタおよびシール部材により、ポンプ本体の開口部が封止されている。
さらに好ましい実施形態では、ポンプ本体の開口部の周縁と、第2のプリント基板におけるポンプ本体と対向する面とが直接接している。
本発明の他の好ましい実施形態による真空ポンプでは、ポンプ本体と、制御用及び/又は電力供給用の第1のプリント基板が設けられ、ポンプ本体を制御する制御装置と、制御装置の第1のプリント基板に電気的に接続される配線パターンが形成されている第2のプリント基板と、ポンプ本体の開口部を封止する封止部品、および封止部品を貫通し、配線パターンに接続される端子ピンを有する端子部材とを備え、ポンプ本体の開口部の周縁と、第2のプリント基板におけるポンプ本体と対向する面とが熱伝導可能に接続され、ポンプ本体の開口部の周縁と、第2のプリント基板におけるポンプ本体と対向する面との間に熱伝導部材が設けられ、ポンプ本体の開口部の周縁と、第2のプリント基板におけるポンプ本体と対向する面とが熱伝導部材を介して熱伝導可能に接続され、熱伝導部材は、シール部材を介してポンプ本体に着脱自在に取り付けられるアダプタであり、封止部品は、ポンプ本体には固着されずにアダプタに固着され、封止部品、アダプタおよびシール部材により、ポンプ本体の開口部が封止されている。
−第1の実施の形態−
図1は、本発明による真空ポンプの一例であるターボ分子ポンプ1を示す図である。ターボ分子ポンプ1はポンプ本体2と、ポンプ本体2を駆動制御する制御装置3とを備え、制御装置3はポンプ本体2のベース部4に固定されている。ポンプ本体2に設けられた吸気口フランジ5を半導体製造装置や液晶パネル製造装置、分析装置等の外部装置7の真空チャンバに固定することにより、ターボ分子ポンプ1が外部装置7に取り付けられる。ポンプ本体2の排気ポート6にはバックポンプが接続される。
(1)ポンプ本体2の円形開口部48の開口周縁部と、配線用プリント基板117におけるポンプ本体2と対向する面である配線用プリント基板117の裏面117aとが熱伝導可能に接続されている。これにより、制御装置3に電気的に接続される端子ピン111の熱を、配線用プリント基板117を介してポンプ本体2のベース部4に伝達させ、ポンプ本体2から外気に放熱させることができる。
図5を参照して、第2の実施の形態に係る真空ポンプを説明する。なお、図中、第1の実施の形態と同一もしくは相当部分には同一の参照番号を付し、相違点を主に説明する。図5は、図4と同様の図であり、第2の実施の形態に係るターボ分子ポンプにおける端子部材を示す拡大断面模式図である。
(5)アダプタ220はシール部材239を介してポンプ本体2のベース部4に着脱自在に取り付けられ、封止部品110はポンプ本体2には固着されずにアダプタ220に固着されて一体とされ、封止部品110、アダプタ220およびシール部材239により、ポンプ本体2の円形開口部248が封止されている。
(変形例1)
上述した実施の形態では、絶縁性を有する封止部として、ガラスを採用した例(ガラス封止部114)について説明したが、本発明はこれに限定されない。封止部は絶縁性を有する部材であればよく、たとえば、絶縁性を有するセラミックスにより封止部を形成してもよい。
第1の実施の形態では、配線用プリント基板117をねじ止めによってベース部4に固着させ、配線用プリント基板117の裏面117aと円形開口部48の開口周縁部とを、直接接触させる例について説明したが本発明はこれに限定されない。たとえば、配線用プリント基板117を接着剤によってベース部4に固着させてもよい。この場合、配線用プリント基板117の裏面117aと、円形開口部48の開口周縁部との間に接着層が介在されることになるので、接着層には熱伝導率の高いものを採用することが好ましい。
第1の実施の形態において、配線用プリント基板117の裏面117aと円形開口部48の開口周縁部との間に、柔軟な熱伝導性シートを介在させてもよい。同様に、第2の実施の形態において、配線用プリント基板117の裏面117aとアダプタ220との間や、アダプタ220と円形開口部48の開口周縁部との間に、柔軟な熱伝導性シートを介在させてもよい。
配線用プリント基板117やアダプタ220、封止部品110の材料、形状は、上述したものに限定されない。なお、配線用プリント基板117やアダプタ220、封止部品110の材料は、熱伝導率の高いものほどよい。
上述した実施の形態では、ポンプ本体2のベース部4の側方(図1において左方)に制御装置3を配置した構成について説明したが、本発明はこれに限定されない。ポンプ本体2のベース部4の下方(図1において下方)に制御装置3を配置してもよい。すなわち外部装置7、ポンプ本体2および制御装置3を一直線上に配置させてもよい。
上述した実施の形態では、真空ポンプとしてターボ分子ポンプを採用した例について説明したが、本発明はこれに限定されず、種々の真空ポンプに本発明を適用することができる。たとえば、本発明は、ジーグバーンポンプやHolweckポンプなどのドラッグポンプのみを備えた真空ポンプにも適用することができる。
Claims (6)
- ポンプ本体と、
制御用及び/又は電力供給用の第1のプリント基板が設けられ、前記ポンプ本体を制御する制御装置と、
前記制御装置の前記第1のプリント基板に電気的に接続される配線パターンが形成されている第2のプリント基板と、
前記ポンプ本体の開口部を封止する封止部品、および前記封止部品を貫通し、前記配線パターンに接続される端子ピンを有する端子部材とを備え、
前記ポンプ本体の開口部の周縁と、前記第2のプリント基板における前記ポンプ本体と対向する面とが熱伝導可能に接続され、
前記端子ピンからの熱を、前記封止部品を介して前記ポンプ本体へ伝える第1の熱伝導経路と、
前記端子ピンからの熱を、前記第2のプリント基板に形成されている前記配線パターンを介して前記ポンプ本体へと伝える第2の熱伝導経路とを有する、真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記封止部品は、絶縁性を有する封止部と、前記封止部を保持する保持部とを有し、
前記端子ピンは、前記封止部を貫通している真空ポンプ。 - 請求項1または2に記載の真空ポンプにおいて、
前記ポンプ本体の開口部の周縁と、前記第2のプリント基板における前記ポンプ本体と対向する面との間に熱伝導部材が設けられ、
前記ポンプ本体の開口部の周縁と、前記第2のプリント基板における前記ポンプ本体と対向する面とが前記熱伝導部材を介して熱伝導可能に接続されている真空ポンプ。 - 請求項3に記載の真空ポンプにおいて、
前記熱伝導部材は、シール部材を介して前記ポンプ本体に着脱自在に取り付けられるアダプタであり、
前記封止部品は、前記ポンプ本体には固着されずに前記アダプタに固着され、
前記封止部品、前記アダプタおよび前記シール部材により、前記ポンプ本体の開口部が封止されている真空ポンプ。 - 請求項1または2に記載の真空ポンプにおいて、
前記ポンプ本体の開口部の周縁と、前記第2のプリント基板における前記ポンプ本体と対向する面とが直接接している真空ポンプ。 - ポンプ本体と、
制御用及び/又は電力供給用の第1のプリント基板が設けられ、前記ポンプ本体を制御する制御装置と、
前記制御装置の前記第1のプリント基板に電気的に接続される配線パターンが形成されている第2のプリント基板と、
前記ポンプ本体の開口部を封止する封止部品、および前記封止部品を貫通し、前記配線パターンに接続される端子ピンを有する端子部材とを備え、
前記ポンプ本体の開口部の周縁と、前記第2のプリント基板における前記ポンプ本体と対向する面とが熱伝導可能に接続され、
前記ポンプ本体の開口部の周縁と、前記第2のプリント基板における前記ポンプ本体と対向する面との間に熱伝導部材が設けられ、
前記ポンプ本体の開口部の周縁と、前記第2のプリント基板における前記ポンプ本体と対向する面とが前記熱伝導部材を介して熱伝導可能に接続され、
前記熱伝導部材は、シール部材を介して前記ポンプ本体に着脱自在に取り付けられるアダプタであり、
前記封止部品は、前記ポンプ本体には固着されずに前記アダプタに固着され、
前記封止部品、前記アダプタおよび前記シール部材により、前記ポンプ本体の開口部が封止されている真空ポンプ。
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