JP2007278278A - 駆動装置を有する真空ポンプ - Google Patents
駆動装置を有する真空ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007278278A JP2007278278A JP2007055265A JP2007055265A JP2007278278A JP 2007278278 A JP2007278278 A JP 2007278278A JP 2007055265 A JP2007055265 A JP 2007055265A JP 2007055265 A JP2007055265 A JP 2007055265A JP 2007278278 A JP2007278278 A JP 2007278278A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- pump
- circuit board
- vacuum
- separating element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 11
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 claims description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 7
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 20
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 6
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 6
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
- F04D25/0693—Details or arrangements of the wiring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/08—Sealings
- F04D29/083—Sealings especially adapted for elastic fluid pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Compressor (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明は、周辺内に配置されている真空ポンプ(1)であって、真空ポンプ(1)が、ハウジング(2)、内部空間(8)および駆動装置(11)を有し、駆動装置(11)は、内部空間(8)内に配置されている電子/電気部品(9)を操作するための電子回路(16)を含み、この場合、内部空間内に負圧が作用し、および真空ポンプ(1)が、内部空間と周辺とを相互に分離する分離要素を有している、駆動装置(11)を有する真空ポンプ(1)に関するものである。電気信号の制御装置内への伝送をより簡単且つよりフレキシブルに形成するために、分離要素が、電流/電圧を内部空間内に導通するための手段(12)を有するプリント回路板(10)を含むことが開示される。
【選択図】図1
Description
第1の変更態様は、電流/電圧導通手段の形態に関するものである。技術的に簡単で且つコスト的に有利な方法は、プリント回路板に穴を開け、この穴の中にピンを差し込み且つそれをはんだ付けすることである。この場合、真空に対して気密な導通部ははんだ付けにより保証されている。
2 ハウジング
3 吸込フランジ
4 軸
5 ロータ・ディスク
6 ステータ・ディスク
7 軸受
8 内部空間
9 電子/電気部品(駆動モータ)
10 プリント回路板
10a、10b 層
11 駆動装置
12 電流/電圧導通手段
12b 内部導電層(導体路)
12c 密閉気密プラグ
12d 袋穴
12e ピン
12f 導体路(図1)、プラグ・コネクタ(図3)
13、24 エラストマー・リング(エラストマー・シール・リング)
14 コーティング面
15 ガスケット
16 電子回路
17 ガス出口
20 はめ合いプラグ
21 導線
23 開口
25a、25b、25c 接点位置
30 温度センサ
31 電子部品
32 良熱伝導手段
Claims (11)
- 周辺内に配置されている真空ポンプ(1)であって、
真空ポンプ(1)が、ハウジング(2)、内部空間(8)および駆動装置(11)を有し、駆動装置(11)は、内部空間(8)内に配置されている電子/電気部品(9)を操作するための電子回路(16)を含み、この場合、内部空間内に負圧が作用し、および
真空ポンプ(1)が、内部空間と周辺とを相互に分離する分離要素を有している、
駆動装置(11)を有する真空ポンプ(1)において、
分離要素がプリント回路板(10)を含み、プリント回路板(10)は電流/電圧を内部空間内に導通するための手段(12)を有することを特徴とする駆動装置(11)を有する真空ポンプ(1)。 - 前記導通手段(12)が、プリント回路板(10)の内孔内にはんだ付けされたピンを含むことを特徴とする請求項1の真空ポンプ(1)。
- 前記導通手段が密閉気密プラグ(12c)を含むことを特徴とする請求項1の真空ポンプ(1)。
- プリント回路板(10)が少なくとも2つの層(10a、10b)を有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかの真空ポンプ(1)。
- 前記導通手段が、表面上に固定されたプラグ・コネクタ(12f)を含み、プラグ・コネクタ(12f)は内部導電層(12b)と電気接触を形成することを特徴とする請求項4の真空ポンプ(1)。
- 分離要素はエラストマー・リング(13)によりハウジング(2)に対してシールされていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかの真空ポンプ(1)。
- エラストマー・リング(13)は分離要素のコーティング面(14)上に当接することを特徴とする請求項6の真空ポンプ(1)。
- 分離要素は、ハウジング(2)に向く側に、少なくとも1つの他の電子部品(31)を有することを特徴とする請求項1ないし7のいずれかの真空ポンプ(1)。
- 前記他の電子部品が温度センサ(30)であり、温度センサ(30)はハウジング(2)と熱接触を形成していることを特徴とする請求項8の真空ポンプ(1)。
- 駆動装置(11)が真空ポンプ(1)に着脱可能に固定され且つ分離要素を少なくとも一部被覆することを特徴とする請求項1ないし9のいずれかの真空ポンプ(1)。
- 真空ポンプ(1)がターボ分子ポンプであることを特徴とする請求項1ないし10のいずれかの真空ポンプ(1)。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006016405.9 | 2006-04-07 | ||
DE102006016405.9A DE102006016405B4 (de) | 2006-04-07 | 2006-04-07 | Vakuumpumpe mit Antriebsgerät |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007278278A true JP2007278278A (ja) | 2007-10-25 |
JP5303114B2 JP5303114B2 (ja) | 2013-10-02 |
Family
ID=38051875
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007055265A Active JP5303114B2 (ja) | 2006-04-07 | 2007-03-06 | 駆動装置を有する真空ポンプ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8651838B2 (ja) |
EP (1) | EP1843043B1 (ja) |
JP (1) | JP5303114B2 (ja) |
DE (1) | DE102006016405B4 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008096622A1 (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-14 | Edwards Japan Limited | 真空ポンプ |
JP2012017673A (ja) * | 2010-07-07 | 2012-01-26 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
WO2012053270A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2012-04-26 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
JPWO2012053271A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2014-02-24 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
JP2015172358A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプの制御装置とこれを備えた真空ポンプ |
JP2016538459A (ja) * | 2013-11-11 | 2016-12-08 | オーリコン レイボルド バキューム ゲーエムベーハー | 真空ポンプのための駆動制御装置、真空ポンプ、及び真空ポンプのための制御回路基板を製造する方法 |
JP2019070386A (ja) * | 2017-10-10 | 2019-05-09 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空装置 |
KR20200043539A (ko) * | 2017-10-31 | 2020-04-27 | 가부시키가이샤 아루박 | 진공펌프 및 그 제어방법 |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006058843A1 (de) * | 2006-12-13 | 2008-06-19 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
DE202007012070U1 (de) * | 2007-08-30 | 2009-01-08 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Stromdurchführung einer Vakuumpumpe |
DE102009031983A1 (de) | 2009-07-06 | 2011-01-13 | Lti Drives Gmbh | An eine Vakuumpumpe anschließbare elektrische Verbindungseinheit |
JP2011144788A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Toyota Industries Corp | 電動圧縮機 |
WO2011111209A1 (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-15 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ装置 |
ITCO20100067A1 (it) * | 2010-12-23 | 2012-06-24 | Nuovo Pignone Spa | Connessione elettrica per turbomacchina e metodo |
CN103047152B (zh) * | 2011-10-17 | 2016-06-22 | 株式会社岛津制作所 | 真空泵 |
JP5673497B2 (ja) * | 2011-11-08 | 2015-02-18 | 株式会社島津製作所 | 一体型ターボ分子ポンプ |
JP5768670B2 (ja) * | 2011-11-09 | 2015-08-26 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ装置 |
JP5963459B2 (ja) * | 2012-01-31 | 2016-08-03 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプおよびクライオポンプの修理方法 |
JP5511915B2 (ja) * | 2012-08-28 | 2014-06-04 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 分子ポンプ |
JP6069981B2 (ja) * | 2012-09-10 | 2017-02-01 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
EP3088737B1 (de) * | 2015-04-30 | 2020-06-17 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe und verfahren zur herstellung einer vakuumpumpe |
JP6753759B2 (ja) | 2016-10-21 | 2020-09-09 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプに適用される防水構造、制御装置 |
EP3333429B1 (de) | 2016-12-09 | 2022-02-09 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumgerät |
EP3339652B1 (de) | 2016-12-22 | 2020-07-01 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe mit einer innenverkleidung zur aufnahme von ablagerungen |
JP6852457B2 (ja) * | 2017-02-27 | 2021-03-31 | 株式会社島津製作所 | 電源一体型真空ポンプ |
EP3431769B1 (de) | 2017-07-21 | 2022-05-04 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
EP3462034A1 (de) | 2017-09-28 | 2019-04-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
CN107986264B (zh) * | 2017-11-28 | 2020-06-30 | 瑞安市任奇科技有限公司 | 一种基于物联网的安全的超声波石墨烯剥离制备装置 |
JP7088688B2 (ja) * | 2018-02-16 | 2022-06-21 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプと真空ポンプの制御装置 |
JP7096006B2 (ja) * | 2018-02-16 | 2022-07-05 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプと真空ポンプの制御装置 |
GB201808893D0 (en) | 2018-05-31 | 2018-07-18 | Micromass Ltd | Bench-top time of flight mass spectrometer |
GB201808932D0 (en) | 2018-05-31 | 2018-07-18 | Micromass Ltd | Bench-top time of flight mass spectrometer |
JP7244328B2 (ja) * | 2019-03-28 | 2023-03-22 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプの制御装置 |
EP3626971B1 (de) * | 2019-08-30 | 2022-05-11 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
DE102021129376A1 (de) | 2021-03-17 | 2022-09-22 | Hanon Systems | Gehäuseeinheit für ein elektronisches Bauteil eines elektrischen Kältemittelverdichters |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08338393A (ja) * | 1995-06-12 | 1996-12-24 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受装置及びこれを含む真空ポンプ |
JP2003269367A (ja) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
JP2005291040A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
JP2006090251A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Boc Edwards Kk | 真空ポンプ |
JP2006250033A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2119857A1 (de) | 1971-04-23 | 1972-11-02 | Leybold-Heraeus GmbH & Co KG, 5000 Köln | Einrichtung zur Ölversorgung von Lagerstellen |
DE2349033C3 (de) * | 1973-09-29 | 1984-08-30 | Leybold-Heraeus Gmbh, 5000 Koeln | Turbomolekularpumpe |
GB8622878D0 (en) * | 1986-09-23 | 1986-10-29 | Marconi Instruments Ltd | Electrical interface arrangement |
US4804330A (en) * | 1987-05-14 | 1989-02-14 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Hermetic, vacuum and pressure tight electrical feedthru |
US4797007A (en) * | 1987-12-18 | 1989-01-10 | Emhart Industries, Inc. | Temperature and line pressure probe |
GB8830057D0 (en) * | 1988-12-23 | 1989-02-22 | Lucas Ind Plc | An electrical connection arrangement and a method of providing an electrical connection |
JPH0434873U (ja) * | 1990-07-16 | 1992-03-24 | ||
US5247424A (en) * | 1992-06-16 | 1993-09-21 | International Business Machines Corporation | Low temperature conduction module with gasket to provide a vacuum seal and electrical connections |
DE4237971B4 (de) * | 1992-11-11 | 2004-05-06 | Unaxis Deutschland Holding Gmbh | Vakuumpumpe mit Wandler |
US5393931A (en) * | 1993-03-04 | 1995-02-28 | Photmetrics, Ltd. | Electrical access to a hermetically sealed chamber using a printed circuit board |
JP2778894B2 (ja) * | 1993-03-12 | 1998-07-23 | 山洋電気株式会社 | ブラシレス直流モータ及び軸受ホルダ |
US6902378B2 (en) * | 1993-07-16 | 2005-06-07 | Helix Technology Corporation | Electronically controlled vacuum pump |
KR0140034B1 (ko) * | 1993-12-16 | 1998-07-15 | 모리시다 요이치 | 반도체 웨이퍼 수납기, 반도체 웨이퍼의 검사용 집적회로 단자와 프로브 단자와의 접속방법 및 그 장치, 반도체 집적회로의 검사방법, 프로브카드 및 그 제조방법 |
IT1288737B1 (it) | 1996-10-08 | 1998-09-24 | Varian Spa | Dispositivo di pompaggio da vuoto. |
US6316768B1 (en) * | 1997-03-14 | 2001-11-13 | Leco Corporation | Printed circuit boards as insulated components for a time of flight mass spectrometer |
JP3456426B2 (ja) * | 1998-11-24 | 2003-10-14 | 住友電気工業株式会社 | 電子制御ユニット |
EP1024294A3 (en) * | 1999-01-29 | 2002-03-13 | Ibiden Co., Ltd. | Motor and turbo-molecular pump |
US6251471B1 (en) * | 1999-05-12 | 2001-06-26 | University Of New Hampshire | Surface trace electrical feedthru |
JP2001241393A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-09-07 | Seiko Seiki Co Ltd | 真空ポンプ |
US6793466B2 (en) * | 2000-10-03 | 2004-09-21 | Ebara Corporation | Vacuum pump |
US6305975B1 (en) * | 2000-10-12 | 2001-10-23 | Bear Instruments, Inc. | Electrical connector feedthrough to low pressure chamber |
US6350964B1 (en) * | 2000-11-09 | 2002-02-26 | Applied Materials, Inc. | Power distribution printed circuit board for a semiconductor processing system |
JP2002276587A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-25 | Boc Edwards Technologies Ltd | ターボ分子ポンプ |
JP2003269369A (ja) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
JP4409892B2 (ja) * | 2003-09-11 | 2010-02-03 | 日本電産コパル株式会社 | ファンモータ |
FR2861142B1 (fr) * | 2003-10-16 | 2006-02-03 | Mecanique Magnetique Sa | Pompe a vide turbo moleculaire |
ES2518965T3 (es) * | 2003-12-30 | 2014-11-06 | Emerson Climate Technologies, Inc. | Sistema de protección y diagnóstico de compresor |
EP1757825B1 (en) | 2005-08-24 | 2010-09-29 | Mecos Traxler AG | Magnetic bearing device with an improved vacuum feedthrough |
-
2006
- 2006-04-07 DE DE102006016405.9A patent/DE102006016405B4/de active Active
-
2007
- 2007-03-06 JP JP2007055265A patent/JP5303114B2/ja active Active
- 2007-03-27 EP EP07006199.9A patent/EP1843043B1/de active Active
- 2007-03-28 US US11/729,767 patent/US8651838B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08338393A (ja) * | 1995-06-12 | 1996-12-24 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受装置及びこれを含む真空ポンプ |
JP2003269367A (ja) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
JP2005291040A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
JP2006090251A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Boc Edwards Kk | 真空ポンプ |
JP2006250033A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2008096622A1 (ja) * | 2007-02-06 | 2010-05-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
WO2008096622A1 (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-14 | Edwards Japan Limited | 真空ポンプ |
JP5156649B2 (ja) * | 2007-02-06 | 2013-03-06 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
US8961105B2 (en) | 2010-07-07 | 2015-02-24 | Shimadzu Corporation | Vacuum pump |
JP2012017673A (ja) * | 2010-07-07 | 2012-01-26 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
JP5744044B2 (ja) * | 2010-10-19 | 2015-07-01 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
JPWO2012053271A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2014-02-24 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
JPWO2012053270A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2014-02-24 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
WO2012053270A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2012-04-26 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
JP5778166B2 (ja) * | 2010-10-19 | 2015-09-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
US9267392B2 (en) | 2010-10-19 | 2016-02-23 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
JP2016538459A (ja) * | 2013-11-11 | 2016-12-08 | オーリコン レイボルド バキューム ゲーエムベーハー | 真空ポンプのための駆動制御装置、真空ポンプ、及び真空ポンプのための制御回路基板を製造する方法 |
JP2015172358A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプの制御装置とこれを備えた真空ポンプ |
JP2019070386A (ja) * | 2017-10-10 | 2019-05-09 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空装置 |
KR20200043539A (ko) * | 2017-10-31 | 2020-04-27 | 가부시키가이샤 아루박 | 진공펌프 및 그 제어방법 |
KR102222453B1 (ko) * | 2017-10-31 | 2021-03-02 | 가부시키가이샤 아루박 | 진공펌프 및 그 제어방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102006016405A1 (de) | 2007-10-11 |
US8651838B2 (en) | 2014-02-18 |
US20070237650A1 (en) | 2007-10-11 |
EP1843043A3 (de) | 2014-04-23 |
EP1843043A2 (de) | 2007-10-10 |
EP1843043B1 (de) | 2018-05-16 |
DE102006016405B4 (de) | 2024-08-01 |
JP5303114B2 (ja) | 2013-10-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5303114B2 (ja) | 駆動装置を有する真空ポンプ | |
JP5059005B2 (ja) | 真空中での改良型貫通接続部を備えた磁気ベアリング | |
JP4661278B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
US7393228B2 (en) | Terminal structure and vacuum pump | |
EP2631486B1 (en) | Vacuum pump | |
JP5456674B2 (ja) | 真空ポンプのための電気的フィードスルー | |
JP5204773B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP6457513B2 (ja) | 真空ポンプのための駆動制御装置、真空ポンプ、及び真空ポンプのための制御回路基板を製造する方法 | |
JP2014011120A (ja) | 電気フィードスルー、真空ポンプおよびプリント基板 | |
JP3172822U (ja) | 真空ポンプ | |
JP3138105U (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2004535532A (ja) | メカトロニックトランスミッション制御装置 | |
JP2010112293A (ja) | モータ駆動装置 | |
JP2001317486A (ja) | キャンドポンプ | |
JP2016079906A (ja) | 真空ポンプ | |
US20070266992A1 (en) | Internal combustion engine throttle valve | |
JP2005116196A (ja) | 電子制御装置 | |
KR100450615B1 (ko) | 수중 모터 펌프의 터미널 보드 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100305 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20110909 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120518 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120816 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120821 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121113 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20130319 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20130327 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130611 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130624 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5303114 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |