JP6432558B2 - 弾性波装置 - Google Patents
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Description
2…支持基板
2a,2b…第1,第2の主面
3…積層膜
3a…高音速膜
3b…低音速膜
3d…側面
4…圧電薄膜
5a〜5c…IDT電極
6a〜6d…配線電極
6a1…傾斜面
7…中空空間
8…支持層
8a…外周部
9…カバー部材
10a,10b…アンダーバンプメタル層
11a,11b…金属バンプ
12…絶縁層
12a,12b…傾斜面
12c…内側端
22…絶縁層
22a,22b…傾斜面
26a…配線電極
26a1…傾斜面
33…積層膜
33a…高音響インピーダンス膜
33b…低音響インピーダンス膜
41…弾性波装置
46a,46d…配線電極
52…絶縁層
52a…傾斜面
61…弾性波装置
63…積層膜
Claims (12)
- 支持基板と、
前記支持基板上に設けられており、圧電薄膜と前記圧電薄膜以外の層とを含む積層膜と、
前記圧電薄膜の一方面に設けられたIDT電極と、
前記IDT電極に電気的に接続されており、かつ外部と電気的に接続される外部接続端子と、
平面視において、前記IDT電極が設けられている領域の外側の領域内であって、かつ前記外部接続端子が接合されている部分の下方の領域において、前記積層膜が部分的に除去されており、前記積層膜が除去された領域の少なくとも一部に設けられた絶縁層と、
を備え、
前記外部接続端子は、アンダーバンプメタル層及び金属バンプの内の少なくとも一方を含み、
前記絶縁層上に、前記IDT電極が設けられている領域を囲むように設けられており、かつ前記絶縁層と主成分が同じ材料からなる支持層と、
前記支持層により形成された開口部を封止するように前記支持層上に固定されたカバー部材と、
をさらに備える、弾性波装置。 - 前記絶縁層が、前記積層膜が除去された領域の少なくとも一部から、前記圧電薄膜上に至るように設けられている、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極に電気的に接続されており、前記圧電薄膜上から前記絶縁層上に至り、前記積層膜が除去された領域に位置している前記絶縁層部分上に至っている、配線電極をさらに備える、請求項2に記載の弾性波装置。
- 前記配線電極に前記外部接続端子が接合されている、請求項3に記載の弾性波装置。
- 前記絶縁層及び前記支持層が合成樹脂からなる、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記絶縁層が前記圧電薄膜上から前記圧電薄膜及び前記積層膜の側面に至り、前記積層膜が除去された領域の少なくとも一部に至っている、請求項2〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記絶縁層上の前記支持基板とは反対側の面が、前記絶縁層が前記支持基板上に位置している領域から前記圧電薄膜上に位置している部分にかけて前記支持基板から遠ざかるにつれて前記圧電薄膜側に近づくように傾斜している傾斜面を有し、
前記配線電極が前記絶縁層の前記傾斜面上に位置している部分を有し、該部分が前記絶縁層の前記傾斜面に沿って傾斜している、請求項3〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記絶縁層が、前記絶縁層の前記傾斜面から前記積層膜及び前記圧電薄膜が除去された領域に至っている、請求項7に記載の弾性波装置。
- 前記絶縁層の前記傾斜面が、前記積層膜が除去されており、かつ前記絶縁層が積層されていない前記支持基板上の領域に至っており、
前記配線電極が、前記積層膜が除去されており、かつ前記絶縁層が積層されていない前記支持基板上の領域に至っている、請求項7に記載の弾性波装置。 - 前記積層膜が、前記圧電薄膜を伝搬するメインモードの弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である高音速膜を前記圧電薄膜以外の層として有し、前記高音速膜上に前記圧電薄膜が積層されている、請求項1〜9のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記積層膜が、前記圧電薄膜を伝搬するメインモードの弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である高音速膜と、前記高音速膜上に積層されており、前記圧電薄膜を伝搬するメインモードの弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低速である低音速膜とを前記圧電薄膜以外の層として有し、前記低音速膜上に前記圧電薄膜が積層されている、請求項1〜9のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記積層膜が、音響インピーダンスが相対的に高い高音響インピーダンス膜と、高音響インピーダンス膜に比べて音響インピーダンスが低い低音響インピーダンス膜とを有する、請求項1〜9のいずれか1項に記載の弾性波装置。
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