JP6288110B2 - 弾性波装置 - Google Patents
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Description
2…支持基板
3…多層膜
3a…側面
3a1…第1の側面部分
3a2…第2の側面部分
4…高音速膜
4A…高音速支持基板
5…低音速膜
6…圧電薄膜
7…IDT電極
8,9…配線電極
8a,9a…電極パッド
10,11…第1の絶縁層
10A,11A…第1の絶縁層
10a,11a…絶縁層延長部
12…支持部材
13…空間
14…蓋材
15,16…アンダーバンプメタル層
17,18…金属バンプ
19…接合層
20,21…マザーの構造体
23…弾性波装置
30…マザーの構造体
31…弾性波装置
32…支持基板
33,34…金属バンプ
41,51,61,71,81,91,101,111…弾性波装置
42,62…接続配線
63,63A…第2の絶縁層
65…保護膜
102…第3の絶縁層
104…第1の絶縁層
104a…外側の面
Claims (22)
- 支持基板と、
前記支持基板上に設けられており、圧電薄膜と前記圧電薄膜以外の層とを含む多層膜と、
前記圧電薄膜の一方面に設けられたIDT電極と、
前記IDT電極に電気的に接続された配線電極と、
前記配線電極に連ねられた電極パッドと、
前記電極パッドの上方に位置し、前記IDT電極に電気的に接続された外部接続端子と、を備え、
平面視において、前記IDT電極が設けられている領域の外側の領域において前記多層膜が部分的に除去されており、
前記多層膜が除去された領域の少なくとも一部において前記支持基板上に設けられた第1の絶縁層をさらに備え、
前記第1の絶縁層の少なくとも一部は、前記電極パッドの下方に位置している、弾性波装置。 - 前記第1の絶縁層が樹脂からなる、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記支持基板が導体または半導体であり、前記外部接続端子の下方に前記第1の絶縁層が位置している、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第1の絶縁層が樹脂である、請求項3に記載の弾性波装置。
- 前記外部接続端子は、前記電極パッド上に接合されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記第1の絶縁層が前記電極パッドの下方に位置している、請求項5に記載の弾性波装置。
- 前記第1の絶縁層が、前記多層膜が除去された領域から、前記多層膜が設けられている領域に至る絶縁層延長部を有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記絶縁層延長部が前記圧電薄膜の一部を覆っている、請求項7に記載の弾性波装置。
- 前記配線電極が、前記多層膜の上面から多層膜の側面を経て、前記電極パッドに連ねられている、請求項5に記載の弾性波装置。
- 前記多層膜の前記配線電極が設けられている前記側面が、前記支持基板の上面に対して直交する方向から傾斜している傾斜面であり、前記傾斜面は、下方から上方に行くにつれて、前記IDT電極側に近づいている、請求項9に記載の弾性波装置。
- 前記多層膜の前記傾斜面に段差が設けられている、請求項10に記載の弾性波装置。
- 前記第1の絶縁層が、前記傾斜面の少なくとも一部を覆うように設けられている、請求項10または11に記載の弾性波装置。
- 前記圧電薄膜の一方面に設けられた前記IDT電極として複数のIDT電極が設けられており、隣り合うIDT電極同士を接続する接続配線をさらに備える、請求項1〜12のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記接続配線と、前記支持基板との間に、前記多層膜の少なくとも一部の層が設けられている、請求項13に記載の弾性波装置。
- 前記支持基板と前記接続配線との間に前記第1の絶縁層と同じ材料からなる第2の絶縁層が設けられている、請求項14に記載の弾性波装置。
- 前記多層膜と前記支持基板との間に第3の絶縁層がさらに設けられている、請求項1〜15のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記第1の絶縁層が、前記第3の絶縁層上に設けられており、かつ前記多層膜の側面と前記電極パッドとの間に設けられている、請求項16に記載の弾性波装置。
- 前記第1の絶縁層が、前記電極パッドの下方に位置している高さ位置から、前記多層膜の前記側面を介して前記多層膜の上面に至っており、前記多層膜の前記側面上の前記第1の絶縁層の外表面が、前記支持基板の上面と直交する方向から傾斜しており、下方から上方に行くにつれて前記IDT電極側に近づく傾斜面とされている、請求項1〜17のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記多層膜が、前記圧電薄膜を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高速である高音速膜と、前記高音速膜上に積層されており、前記圧電薄膜を伝搬するバルク波音速よりも伝搬するバルク波音速が低速である低音速膜とを他の層として有し、前記低音速膜上に前記圧電薄膜が積層されている、請求項1〜18のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記圧電薄膜の下面に接するように設けられた、伝搬する横波の音速が相対的に遅い低音速膜を有し、前記支持基板は、前記低音速膜の下面に積層されており、伝搬する横波の音速が相対的に高い高音速支持基板である、請求項1〜18のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記外部接続端子が金属バンプである、請求項1〜20のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極が設けられている領域を囲むように設けられた枠状の支持部材と、前記枠状の支持部材により形成された開口部を閉成するように前記支持部材上に固定された蓋材とをさらに備える、請求項1〜20のいずれか1項に記載の弾性波装置。
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