JP6428667B2

JP6428667B2 - 基準面の位置測定方法

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Publication number: JP6428667B2
Application number: JP2016024770A
Authority: JP
Inventors: デルシャンフェルネンド
Original assignee: Toyota Motor Corp
Current assignee: Toyota Motor Corp
Priority date: 2016-02-12
Filing date: 2016-02-12
Publication date: 2018-11-28
Anticipated expiration: 2036-02-12
Also published as: CN107084693A; CN107084693B; US10145665B2; JP2017142207A; US20170234670A1

Description

本発明は、ワークの加工時の基準面の位置を測定する方法に関する。

従来からワークの中心座標を求めてワークの計測基準点として設定することができるワークの計測基準点設定機能を有する工作機械が知られている（下記特許文献１を参照）。この工作機械は、以下の手順によってワークの計測基準位置を設定する。

まず、加工面が直交する２つの線に対して線対象なワークを、機械座標系の軸と前記２つの線が平行になるように位置する。次に、前記２つの線と平行な第１の線に沿ってワークの加工面上から機上計測装置のプローブの球型測定子をワーク端面に向かって相対移動させる。

ワークの端面から球型測定子が離脱した後、プローブの軸方向の移動速度が予め設定された所定速度になる時点の座標を記憶する。さらに、同様のことを第２の線に対しても行って、座標を記憶する。そして、記憶された座標から、それぞれの中点を求める。求められた中点は、ワークの中心座標であり、ワークの計測基準位置として設定することができる。

特開２０１０―８９１８２号公報

前記特許文献１に記載されているような、先端に球型測定子を有するプローブによってワークの基準面の位置とその基準面に対するワークの加工位置とを測定し、その測定結果を用いてワークを加工する場合がある。この場合、ワークを加工する加工機は、ワークを固定するための固定用治具の先端の球状部をワークの基準面に押し当てて、基準面を基準にワークを固定し、プローブの測定結果を用いて基準面に対するワークの加工位置を加工する。

しかし、プローブの先端の球型測定子の径は、例えば数ｍｍ以下の小径であるため、例えば鋳造品のように、表面に比較的粗い凹凸を有するワークの基準面の位置を測定するときに、球型測定子がワークの表面の凹部に入り込むことがある。一方、ワークを固定する固定用治具の先端の球状部の径は、通常、ワークの表面の凹凸と比較して十分に大径であり、プローブの先端の球型測定子のようにワークの表面の凹部に入り込むことはない。

そのため、プローブによって測定されたワークの基準面の位置と、固定用治具によって支持されたワークの基準面の位置との間にずれが生じる場合がある。この場合、プローブによって測定された基準面に対するワークの加工位置と、固定用治具によって支持された基準面に対するワークの加工位置との間に誤差が生じる虞がある。

本発明は、前記課題に鑑みてなされたものであり、固定用治具によって支持される基準面の位置を、測定子を用いてより正確に測定することが可能な基準面の位置測定方法を提供することを目的とする。

前記目的を達成すべく、本発明の基準面の位置測定方法は、固定用治具に支持される基準面の位置を測定子により測定する位置測定方法であって、前記基準面の複数の異なる位置に前記測定子を接触させて前記基準面の高さを測定し、前記高さが最も高くなる位置を前記基準面の位置として測定することを特徴とする。

本発明の基準面の位置測定方法は、例えば、加工機によって加工されるワークの加工位置の基準となるワークの基準面の位置の測定に用いられる。固定用治具としては、例えば、先端に球面状の支持部を有するピン状のチャックを用いることができる。測定子としては、例えば、三次元測定機に用いられる先端に球状部を有するピン状のプローブを用いることができる。基準面に接触する測定子の球状部の直径は、例えば数ｍｍ程度であり、固定用治具の先端の球面状の支持部の直径は、例えば１０ｍｍ以上である。

基準面に接触させる測定子の直径は、例えば数ｍｍ以下の小径であるため、例えば鋳造品のように、表面に比較的粗い凹凸を有するワークの基準面の位置を測定するときに、測定子が基準面の凹部に入り込むことがある。一方、固定用治具の先端の支持部の直径は、測定子の先端の球状部の直径よりも大きく、測定子のようには基準面の凹凸の凹部の内側に入り込まず、基準面の凹凸の凸部の頂点に近い位置に接触する程度の大きさである。

そのため、測定子は、基準面に接触したときに基準面の凹部に入り込み、その接触点の位置を基準面の位置として測定し、固定用治具は、基準面の凸部の頂点近傍に接触し、その接触点の位置で基準面を支持する場合がある。この場合、基準面に垂直な方向において、測定子によって測定される基準面の位置と、固定用治具によって支持される基準面の位置との間に誤差が生じる。

このような誤差を抑制するために、本発明の基準面の位置測定方法は、前述のように、基準面の複数の異なる位置に測定子を接触させて基準面の高さを測定し、基準面の高さが最も高くなる位置を、基準面の位置として測定する。ここで、基準面の高さとは、凹凸を有しないと仮定した場合の基準面に垂直な方向における基準面の位置である。

このように、基準面の複数の異なる位置に測定子を接触させることで、ある位置で測定子が基準面の凹部に入り込むことがあっても、他の位置で測定子を基準面の凸部の頂点に近い位置に接触させることができる。さらに、基準面の高さが最も高くなる位置を、基準面の位置として測定することで、基準面に垂直な高さ方向において、固定用治具と基準面との接触点の位置と、測定子と基準面との接触点の位置とをより近付けて、基準面の測定誤差をより減少させることができる。

また、本発明の基準面の測定方法では、測定子を接触させる基準面の複数の異なる位置は、固定用治具によって支持される基準面の支持中心位置からの距離に基づいて決定することができる。これにより、固定用治具が接触する可能性の高い複数の位置において、基準面の高さを測定することができ、固定用治具によって支持される基準面の位置と測定子によって測定される基準面の位置との間の誤差をより減少させることができる。

以上の説明から理解できるように、本発明の基準面の位置測定方法によれば、固定用治具によって支持される基準面の位置を、測定子を用いてより正確に測定することが可能になる。

本発明の実施形態に係る方法を用いるシリンダブロックと測定子の平面図。図１に示す基準面、固定用治具、及び測定子の拡大断面図。固定用治具の支持中心位置での基準面の測定誤差を示す拡大断面図。図１に示す基準面の複数の位置での高さ測定の一例を示す拡大断面図。図４に示す測定範囲の決定方法の一例を示す拡大断面図。図１に示す基準面の複数の位置での高さ測定の一例を示す拡大側面図。本発明の実施形態に係る基準面の位置測定方法による誤差の減少を示すグラフ。

以下、図面を参照して本発明の基準面測定方法の一実施形態を説明する。

図１において、（ａ）は、本発明の実施形態に係る基準面の位置測定方法を用いるシリンダブロックＳＢの平面図であり、（ｂ）は、測定子の一例を示す平面図である。

シリンダブロックＳＢは、複数のボアＢ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４を有する金属製の鋳造品であり、その表面には比較的粗い凹凸を有している。シリンダブロックＳＢは、４つのボアＢ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４を備え、２番目のボアＢ２と３番目のボアＢ３の隣り合う平坦な内側面が基準面ＲＳとされている。図１の（ａ）に示す平面図では、基準面ＲＳに垂直な方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸に垂直で基準面ＲＳに平行な方向をＹ軸方向とし、Ｘ軸及びＹ軸に垂直で基準面ＲＳに平行な方向をＺ軸方向としている。シリンダブロックＳＢは、図示を省略する加工機によって、所定の加工位置に、例えばノック穴Ｎ１，Ｎ２が形成される。

一対の固定用治具Ｊは、シリンダブロックＳＢの２番目のボアＢ２と３番目のボアＢ３の間の部分を挟持して、図示を省略する加工機にシリンダブロックＳＢを固定する。固定用治具Ｊは、基準面ＲＳに垂直なＸ軸方向に概ね平行な中心軸Ｃｊを有するピン状又は円柱状のチャックであり、基準面ＲＳに当接する先端に球面状の支持部Ｊａを有している。固定用治具Ｊの先端の支持部Ｊａの球面の直径は、例えば１０ｍｍ以上であり、より具体的には、例えば１６ｍｍ程度である。

一対の固定用治具Ｊは、基準面ＲＳに対して支持部ＪａをＸ軸方向に当接させることで、基準面ＲＳを基準としてシリンダブロックＳＢをＸ軸方向に位置決めして固定している。なお、シリンダブロックＳＢは、Ｙ方向においても図示を省略する基準面ＲＳを有し、その基準面ＲＳに対して図示を省略する別の固定用治具ＪがＹ軸方向に当接することで、その基準面ＲＳを基準としてＹ軸方向に位置決めされて固定される。

図示を省略する加工機は、例えばシリンダブロックＳＢに機械加工を施すマシニングセンタであり、固定用治具Ｊの先端の支持部Ｊａによって支持した基準面ＲＳの位置を基準として、シリンダブロックＳＢの所定の加工位置を加工する。加工機は、測定子Ｐによって予め測定されたシリンダブロックＳＢの基準面ＲＳの位置と、その基準面ＲＳに対するシリンダブロックＳＢの加工位置の測定結果を用いて、シリンダブロックＳＢの所定の加工位置に、例えばノック穴Ｎ１，Ｎ２を加工する。

測定子Ｐは、例えば三次元測定機のピン状のプローブであり、先端に球状部Ｐａを有している。球状部Ｐａの直径は、例えば数ｍｍ程度であり、より具体的には、例えば２．５ｍｍ程度である。測定子Ｐは、加工機によるシリンダブロックＳＢの加工前に、シリンダブロックＳＢの基準面ＲＳと加工位置に接触させられて、基準面ＲＳの位置と加工位置とを測定する。測定子ＰによるシリンダブロックＳＢの基準面ＲＳの位置と加工位置の測定結果は、加工機によるシリンダブロックＳＢの加工に用いられる。

図２は、図１に示す基準面ＲＳ、固定用治具Ｊ、及び測定子Ｐの拡大断面図である。図２において、（ａ）は、シリンダブロックＳＢの基準面ＲＳの拡大断面図であり、（ｂ）は、固定用治具Ｊの先端の支持部Ｊａの拡大断面図であり、（ｃ）は、測定子Ｐの先端の球状部Ｐａの拡大断面図である。なお、各図において、縦方向の拡大率は１０００倍であり、横方向の拡大率は５０倍である。

シリンダブロックＳＢの基準面ＲＳは、比較的粗い凹凸を有している。この基準面ＲＳの凹凸は、複数の凸部ＲＳａと、複数の凸部ＲＳａの間に形成された複数の凹部ＲＳｂによって形成されている。測定子Ｐの先端の球状部Ｐａの径は、固定用治具Ｊの先端の支持部Ｊａの径よりも小さく、基準面ＲＳの凹凸を形成する凹部ＲＳｂの内側に入り込むことができる程度の大きさである。一方、固定用治具Ｊの先端の支持部Ｊａの径は、測定子Ｐの先端の球状部Ｐａの径よりも大きく、基準面ＲＳの凹凸を形成する凹部ＲＳｂの内側に測定子Ｐのようには入り込むことができない程度の大きさである。

図３は、固定用治具Ｊの支持中心位置ＪＣでの基準面ＲＳの測定誤差ＭＥを示す拡大断面図である。図３における縦横の拡大率は、図２と同じである。

前述のように、固定用治具Ｊの先端の支持部Ｊａの径は、基準面ＲＳの凹凸を形成する凹部ＲＳｂの内側の深い位置に入り込むことができない程度の大きさであるため、支持部Ｊａが基準面ＲＳに接触する接触点ＣＰｊは、基準面ＲＳの凸部ＲＳａの先端に近い位置になる。このように、基準面ＲＳに接触したときの、基準面ＲＳに平行なＹＺ平面における固定用治具Ｊの中心軸Ｃｊの位置を、固定用治具Ｊの支持中心位置ＪＣとする。この場合、固定用治具Ｊの支持中心位置ＪＣで、基準面ＲＳに測定子Ｐを接触させると、測定子Ｐは、固定用治具Ｊの支持部Ｊａよりも基準面ＲＳの凹凸の凹部ＲＳｂに深く入り込んだ状態で、接触点ＣＰｐにおいて基準面ＲＳに接触する。

この場合、測定子Ｐの球状部Ｐａと基準面ＲＳとの接触点ＣＰｐの高さ、すなわち接触点ＣＰｐのＸ軸方向の位置Ｘｐが、測定子Ｐによる基準面ＲＳのＸ軸方向の位置の測定値であり、固定用治具Ｊの支持部Ｊａと基準面ＲＳとの接触点ＣＰｊの高さ、すなわち接触点ＣＰｊのＸ軸方向の位置Ｘｊが、加工機による加工時の基準面ＲＳのＸ軸方向の位置である。このように、測定子Ｐによって測定された基準面ＲＳのＸ軸方向の位置Ｘｐは、加工機による加工時の基準面ＲＳのＸ軸方向の位置Ｘｊとの間に誤差ＭＥを有している。

したがって、このような基準面ＲＳの位置Ｘｊに対して誤差ＭＥを有する測定子Ｐが測定した位置Ｘｐを用い、加工機によってシリンダブロックＳＢの加工位置を加工した場合、例えばシリンダブロックＳＢに形成されるノック穴Ｎ１，Ｎ２の位置に誤差が生じる虞がある。このような誤差を抑制するために、本実施形態の基準面の位置測定方法は、以下に説明する手順に従って基準面ＲＳの位置を測定する。

図４は、本実施形態の基準面の位置測定方法を説明する拡大断面図であり、図１に示す基準面ＲＳの複数の位置での高さ測定の一例を示す拡大断面図である。図４における縦横の拡大率は、図２と同じである。

前述のように、本実施形態の基準面の位置測定方法は、固定用治具Ｊの支持部Ｊａによって支持される基準面ＲＳの位置Ｘｊを測定子Ｐによって測定する方法である。本実施形態の基準面ＲＳの位置の測定方法では、まず、基準面ＲＳの複数の異なる位置Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４に測定子Ｐを接触させて、基準面ＲＳの高さを測定する。より詳細には、基準面ＲＳに平行なＹＺ平面における複数の位置Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４で、測定子ＰをＸ軸方向に移動させて、測定子Ｐの先端の球状部Ｐａを基準面ＲＳの凹凸に接触させ、接触点ＣＰ１，ＣＰ２，ＣＰ３，ＣＰ４のＸ軸方向の位置を基準面ＲＳの高さとして測定する。

そして、基準面ＲＳの高さが最も高くなる位置Ｘｐを、基準面ＲＳの位置として測定する。より詳細には、基準面ＲＳに平行なＹＺ平面における複数の位置Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４で測定した接触点ＣＰ１，ＣＰ２，ＣＰ３，ＣＰ４のＸ軸方向の位置のうち、Ｘ軸方向に最も突出している位置Ｘｐを、基準面ＲＳの位置として測定する。このような基準面ＲＳの測定は、測定子Ｐを備えた三次元測定機を用いて行うことができる。

これにより、基準面ＲＳに垂直なＸ軸方向において、固定用治具Ｊと基準面ＲＳとの接触点ＣＰｊの位置と、測定子Ｐと基準面ＲＳとの接触点ＣＰｐとの間の位置の誤差ＭＥが減少し、測定子Ｐによって測定される基準面ＲＳの位置Ｘｐと、固定用治具Ｊによって支持される基準面ＲＳの位置Ｘｊとの誤差ＭＥが減少する。したがって、本実施形態の基準面の位置測定方法によれば、固定用治具Ｊによって支持される基準面ＲＳの位置を、測定子Ｐを用いてより正確に測定することが可能になる。

なお、基準面ＲＳの複数の異なる位置に測定子Ｐを接触させる測定範囲αは、例えば、固定用治具Ｊによって支持される基準面ＲＳの支持中心位置ＪＣからの距離に基づいて決定することができる。以下、図４に示す基準面ＲＳの測定範囲αの決定方法の具体例について詳細に説明する。

図５は、図４に示す基準面ＲＳの測定範囲αの決定方法の一例を説明する拡大断面図である。図５における縦横の拡大率は、図２と同じである。

まず、固定用治具Ｊの先端の支持部Ｊａの断面の輪郭形状を、基準面ＲＳの凹凸形状の断面の輪郭形状の凹部ＲＳｂに最も深く入り込み、凸部ＲＳａとの間に接触点ＣＰを有する位置に配置する。次に、測定子Ｐの球状部Ｐａの断面の輪郭形状を、固定用治具Ｊの支持部Ｊａの断面の輪郭形状と基準面ＲＳの凹凸形状の断面の凸部ＲＳａとの接触点ＣＰに接する位置に配置する。そして、測定子Ｐの球状部Ｐａの断面の輪郭形状が接触点ＣＰに接した状態を維持できる範囲で、測定子Ｐの球状部Ｐａの断面の輪郭形状を、基準面ＲＳの凹凸形状の断面の輪郭形状の凹部ＲＳｂに最も深く入り込む位置に配置する。

この状態で、測定子Ｐの球状部Ｐａの中心と固定用治具Ｊの支持部Ｊａの中心との間の、基準面ＲＳ又はＹＺ平面に平行な方向における中心間距離α／２を測定する。そして、図４に示すように、基準面ＲＳ又はＹＺ平面に平行な一以上の方向において、この中心間距離α／２の２倍の長さを有し、固定用治具Ｊの支持部Ｊａの中心位置すなわち支持中心位置ＪＣを中心とする範囲αを、基準面ＲＳの測定範囲αに決定することができる。

図６は、基準面ＲＳの測定範囲ＭＲの決定方法のさらなる一例を説明する平面図である。

基準面ＲＳの測定範囲ＭＲは、さらに以下のように決定することができる。まず、図５を用いて説明した方法により、図６の（ａ）に示すように、基準面ＲＳ又はＹＺ平面における固定用治具Ｊの支持中心位置ＪＣを決定する。次に、図５を用いて説明した方法により、基準面ＲＳ又はＹＺ平面に平行な２方向、例えば、Ｚ軸方向とＹ軸方向において、それぞれ、測定子Ｐの球状部Ｐａの中心と固定用治具Ｊの支持部Ｊａの中心との間の中心間距離α／２，β／２を測定する。

例えば、Ｚ軸方向における上記中心間距離α／２の２倍の長さαが０．１ｍｍ以上であり、Ｙ軸方向における上記中心間距離β／２の２倍の長さβが０．１ｍｍ以上である場合には、図６の（ｂ）に示すように、固定用治具Ｊの支持中心位置ＪＣを中心とし、Ｚ軸方向の長さをα、Ｙ軸方向の長さをβとする矩形の範囲を測定範囲ＭＲとすることができる。このような矩形の測定範囲ＭＲの場合には、測定子Ｐを接触させる複数の測定位置ＭＰを、矩形の測定範囲ＭＲの四隅と中央に配置することができる。

また、例えば、Ｚ軸方向における上記中心間距離α／２の２倍の長さαが０．１ｍｍ以上であり、Ｙ軸方向における上記中心間距離β／２の２倍の長さβが０．１ｍｍより小である場合には、図６の（ｃ）に示すように、固定用治具Ｊの支持中心位置ＪＣを中心とし、Ｚ軸方向の長さをαとする直線状の範囲を測定範囲ＭＲとすることができる。このような直線状の測定範囲ＭＲの場合には、測定子Ｐを接触させる複数の測定位置ＭＰを、測定範囲ＭＲの両端とその間に等間隔に配置することができる。

このように、本実施形態の基準面の位置測定方法では、固定用治具Ｊによって支持される基準面ＲＳの支持中心位置ＪＣからの距離α／２，β／２に基づいて、測定子Ｐを接触させる複数の異なる位置ＭＰを決定することができる。これにより、固定用治具Ｊが接触する可能性の高い複数の位置ＭＰにおいて、基準面ＲＳの高さを測定することができ、固定用治具Ｊによって支持される基準面ＲＳの位置Ｘｊと測定子Ｐによって測定される基準面ＲＳの位置Ｘｐとの間の誤差ＭＥをより減少させることができる。

図７は、本発明の実施形態に係る基準面の位置測定方法によるシリンダブロックＳＢの加工位置の誤差の減少を示すグラフである。

図７において、Ｎ１ｘ、Ｎ１ｙ、Ｎ２ｘ、Ｎ２ｙは、ぞれぞれ、本実施形態の基準面の位置測定方法によって測定した基準面ＲＳの位置Ｘｐを用いて加工機による加工を行ったシリンダブロックＳＢの正ノック穴Ｎ１のＸ軸方向の測定誤差、正ノック穴Ｎ１のＹ軸方向の測定誤差、副ノック穴Ｎ２のＸ軸方向の測定誤差、副ノック穴Ｎ２のＹ軸方向の測定誤差を示している。

また、図７において、ｎ１ｘ、ｎ１ｙ、ｎ２ｘ、ｎ２ｙは、ぞれぞれ、従来の方法で測定した基準面ＲＳの位置Ｘｐを用いて加工機による加工を行ったシリンダブロックＳＢの正ノック穴ｎ１のＸ軸方向の測定誤差、正ノック穴ｎ１のＹ軸方向の測定誤差、副ノック穴ｎ２のＸ軸方向の測定誤差、副ノック穴ｎ２のＹ軸方向の測定誤差を示している。

従来の基準面の位置測定方法を用いた正ノック穴ｎ１のＸ軸方向の測定誤差ｎ１ｘは、破線Ｌで示す公差幅の１／１０のラインである０．０２０ｍｍを超える０．０３５ｍｍ程度である。これに対し、本実施形態の基準面の位置測定方法を用いた正ノック穴Ｎ１のＸ軸方向の測定誤差Ｎ１ｘは、０．０１５ｍｍ程度に減少し、測定誤差が従来の半分以下に減少している。

また、従来の基準面の位置測定方法を用いた正ノック穴ｎ１のＹ軸方向の測定誤差ｎ１ｙは、０．０１６ｍｍ程度であるのに対し、本実施形態の基準面の位置測定方法を用いた正ノック穴Ｎ１のＹ軸方向の測定誤差Ｎ１ｙは、０．００６ｍｍ程度に減少し、測定誤差が従来の半分以下に減少している。

また、従来の基準面の位置測定方法を用いた副ノック穴ｎ２のＸ軸方向の測定誤差ｎ２ｘは、破線Ｌで示す公差幅の１／１０のラインである０．０２０ｍｍを超える０．０２８ｍｍ程度である。これに対し、本実施形態の基準面の位置測定方法を用いた副ノック穴Ｎ２のＸ軸方向の測定誤差Ｎ２ｘは、０．００３ｍｍ程度に減少し、測定誤差が従来の１／９以下に減少している。

また、従来の基準面の位置測定方法を用いた副ノック穴ｎ２のＹ軸方向の測定誤差ｎ２ｙは、破線Ｌで示す公差幅の１／１０のラインである０．０２０ｍｍを超える０．０２７ｍｍ程度である。これに対し、本実施形態の基準面の位置測定方法を用いた副ノック穴Ｎ２のＹ軸方向の測定誤差Ｎ２ｙは、０．００４ｍｍ程度に減少し、測定誤差が従来の１／６以下に減少している。

以上の結果から、本実施形態の基準面の位置測定方法によれば、固定用治具Ｊによって支持される基準面ＲＳの位置Ｘｊを、測定子Ｐを用いてより正確に測定することで、基準面ＲＳを有するシリンダブロックＳＢ等のワークを従来よりも正確に加工することが可能になる。

以上、図面を用いて本発明の実施の形態を詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計変更等があっても、それらは本発明に含まれるものである。

例えば、前述の実施形態では、基準面を有するワークの一例としてシリンダブロックを挙げたが、基準面を有するワークはシリンダブロックに限定されない。ワークは、表面に凹凸を有し加工前に測定子によって基準面及び加工位置が測定されるものであれば、本発明を適用可能である。

Ｊ固定用治具、ＪＣ支持中心位置、ＲＳ基準面、Ｐ測定子、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，ＭＰ複数の位置、Ｘｐ基準面の位置、α／２，β／２支持中心位置からの距離

Claims

先端に球面状の支持部を有する固定用治具に支持される基準面の位置を、前記球面状の支持部の直径よりも直径が小さい球状部を先端に有する測定子により測定する位置測定方法であって、
前記測定子の前記球状部の少なくとも一部が入り込む凹部を形成する凹凸を有する前記基準面の複数の異なる位置に前記測定子の前記球状部を接触させて前記基準面の高さを測定し、前記高さが最も高くなる位置を前記基準面の位置として測定することを特徴とする基準面の位置測定方法。
前記固定用治具によって支持される前記基準面の支持中心位置からの距離に基づいて、前記測定子を接触させる前記複数の異なる位置を決定することを特徴とする請求項１に記載の位置測定方法。