JPS6280501A - 測長装置 - Google Patents

測長装置

Info

Publication number
JPS6280501A
JPS6280501A JP22013285A JP22013285A JPS6280501A JP S6280501 A JPS6280501 A JP S6280501A JP 22013285 A JP22013285 A JP 22013285A JP 22013285 A JP22013285 A JP 22013285A JP S6280501 A JPS6280501 A JP S6280501A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measured
guide
detection head
point
stylus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP22013285A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsuo Ito
伊東 勝男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP22013285A priority Critical patent/JPS6280501A/ja
Publication of JPS6280501A publication Critical patent/JPS6280501A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は測長装置に係り、特に検出ヘッドを被測定体に
接触させて長さなどの寸法を?l+q定する測長装置に
関する。
〔発明の背景〕
従来、検出ヘッドを被測定体に接触して被測定体の寸法
を電気的に測定する装置としては、被測定体を載置する
テーブルと検出ヘッドを支持するスタンドとを一体に組
合わせた構造の電子マイクロメータなどが知られている
しかし、このような従来の測長装置では、検出ヘッドを
被測定体に接触させるためには一旦検出ヘツ1(を高く
持ち上げる必要があり、このために昇降ツマミをまわし
でこれと同軸に固定されたピニオを介してラックを上下
させるような上下装置が必要であった。この結果測長装
置の機構が複雑になるだけでなく操作性も悪かった。
〔発明の目的〕
本発明は上述した点に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、簡単な構造で操作性のよい測長装置を
提供することにある。
〔発明の概要〕
本発明はテーブル上に41された被Jlll定体の表面
に接触して被Δ1グ定体の長さを測定する検出ヘッドと
、この検出ヘッドを支持するスタンドと、この検出ヘッ
ドにより検出された長さの信号を表示出力する表示出力
器とよりなる測長装置において。
前記テーブル上に前記被測定体に密接して、前記検出ヘ
ッドに設けられた触針の最下端より低い点と前記被測定
体より僅かに高い点を結ぶ傾斜面が形成された触針ガイ
ドを設けるとともに、前記テーブルを検出位置に対し前
進後退させる移動手段を設けることにより、所期の目的
を達成するようになしたものである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明に係る測長装置の一実施例を図面を参照し
て説明する。
第1図、第2図及び第3図に本発明の一実施例を示す。
第3図は本実施例による副長装置1を配置した検査ライ
ンの一例を示す全体配置図である。
測長装置1に対向して被測定体?をこの測定装置1に着
脱するロボット3が詩けられている。このロボット3の
片側には被検査体2を搬入する搬入コンベア4が配設さ
れており、ロボット3の搬入コンベア4と反対の側には
被測定体2の検査合格品を搬出する2本の搬出コンベア
5,6と不良品を収納する不良品箱7が配設されている
。また測長装置1には測定結果を出力表示する表示出力
器8が接続されている。
副長装置1は第1図に示すようにスライドユニット9の
側面にスタンド1oが取り付けられており、このスタン
ド10の上方には検出ヘッド11が取り付けられている
。そしてこの検出ヘッド11には触針12が上下方向に
摺動可能に設けられており、接続コード13を介して前
記表示出力器8に電気的に接続されている。
一方スライドユニット9には図示せぬ駆動源によって回
転する送りねじ14が設けられており、テーブル15が
この送りねじ14によって左右方向に移動可能に取り付
けられている。このテーブル15上の図中右側には上面
が山形に形成さ九た触針ガイド16が固設されており、
この触針ガイド16の図中左側に当接して被測定体2が
載置できるようになっている。
この触針ガイド16は前記テーブル15が第1図におけ
る最左端に移動した位置に来た時、第2図に示すような
触針12の自由端が上面に形成された斜面の7A点の位
置に来るようになっている。
そして触針12の下端とA点との間には間隙Sが形成さ
れている。指針ガイド16の上面に形成された山形の頂
点をBとし、被測定体2と接する側の斜面の端部をCと
したとき、前記テーブルからのA点、B点、0点までの
高さをそれぞれaT b。
Cとする。そして被測定体2の高さの基準饋をHとし、
許容誤差を十X+   Yとする。このときa。
b、cけ次式の関係になるように触針ガイド16が形成
されている。
a < Hy ! b > c≧FI + xまたB点
及び0点は触針12のぢJきを円滑にするためにそれぞ
れ半径R8及びRcの円弧で形成されている。第1図に
おける17はロボット3に設けられ被測定体3を把持す
るハンドである。
」−述したように構成された本実施例の動作を以下に説
明する。mムコンベア4で運ばれてきた被測定体2はロ
ボット3のハンド17で把持され、スライドユニット9
に設けられたテーブル15上へ触針ガイド16の図中左
側に接して載置される。
被測定体2がテーブル15上に載置されると、図示せぬ
駆動源により送りねじ14が回転してテーブル15はZ
方向に移動する。この移動に従って触針12は触針ガイ
ド16の上面のA点とB点の間で接触し、B点で最高点
に達し0点で被測定体2上へ乗り移り、被測定体2の長
さが測定される。
測定の結果は検出ヘッド11から接続コード13を介し
て電気信号として表示出力器8に伝送され表示されると
同時にロボット3に出力される。
この出力はHとH+ xの間のもの、H+H−yの間の
もの、及びそのいずれにも入らない不良品の3種に区分
される。次にテーブル15は2方向と反対の方向に移動
し、ロボット3のハンド17によって被測定体2は把握
され、測定結果がHとH+ xの間のものは搬出コンベ
ア5に、HとH−yの間のものは搬送コンベア6に、不
良品であれば不良品箱7にそれぞれ運ばれる。
本実施例によれば、測長装置1に検出ヘッド11を上下
に動かす上下装置がなくても、検出ヘッド11の触針1
2を被測定体上面へ載せることができる。しかも触針ガ
イド16の上面の山形の角部B点、C点は円弧状に形成
されているため。
触針12の上下動変更点であるB点と乗り移り点である
0点における動きが円滑となる。
本実施例では触針ガイド16の上面が山形に形成された
場合について説明したが、A点と0点を結ぶ斜面で形成
してもよい、またテーブル15の移動手段は送りねじ1
4に限定されるものではない、またコンベア4,5.6
及びロボット3.1!長装置1のレイアウトは本実施例
に示したちの以外に種々のレイアウトが考えられ、他の
レイアウトにおいても同様の効果がある。
〔発明の効果〕
上述したように本発明によれば、 21111定装置の
被測定体を載置するテーブル上に、被測定体の高さより
僅かに高い点と検出ヘッドの最下端より低い点とを結ぶ
傾斜面が形成された触針ガイドを前記被d11定体に密
接して設け、前記テーブルを移動させるようにしたので
、簡単な構造で測定の操作性を向上させることができる
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る測長装置の一実施例を示す正面図
、第2図は第1図の触針ガイドを示す正面図、第;3図
は第1図に示す測長装置の一実施例を配置した検査ライ
ンの一例を示す全体配置図である。 1・・・測長装置、2・・・′et測定体、8・・・表
示出力器。 9・・・スライドユニツl−(移動手段)、10・・・
スタンド、11・・・検出ヘッド、12・・・触針、1
5・・・テーブル、16・・・触針ガイド。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、テーブル上に載置された被測定体の表面に接触して
    被測定体の長さを測定する検出ヘッドと、この検出ヘッ
    ドを支持するスタンドと、この検出ヘッドにより検出さ
    れた長さの信号を表示出力する表示出力器とよりなる測
    長装置において、前記テーブル上に前記被測定体に密接
    して、前記検出ヘッドに設けられた触針の最下端より低
    い点と前記被測定体より僅かに高い点とを結ぶ傾斜面が
    形成された触針ガイドを設けるとともに、前記テーブル
    を検出位置に対し前進後退させる移動手段を設けたこと
    を特徴とする測長装置。
JP22013285A 1985-10-04 1985-10-04 測長装置 Pending JPS6280501A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22013285A JPS6280501A (ja) 1985-10-04 1985-10-04 測長装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22013285A JPS6280501A (ja) 1985-10-04 1985-10-04 測長装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6280501A true JPS6280501A (ja) 1987-04-14

Family

ID=16746405

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22013285A Pending JPS6280501A (ja) 1985-10-04 1985-10-04 測長装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6280501A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107084693A (zh) * 2016-02-12 2017-08-22 丰田自动车株式会社 基准面的位置测量方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107084693A (zh) * 2016-02-12 2017-08-22 丰田自动车株式会社 基准面的位置测量方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9140725B2 (en) Resistivity-measuring device
US4047780A (en) Test contactor system for semiconductor device handling apparatus
JP2006343213A (ja) 微細構造体、カンチレバー、走査型プローブ顕微鏡及び微細構造体の変形量測定方法
WO1983003467A1 (en) Bi-directional touch sensor
JPS6280501A (ja) 測長装置
US20120173193A1 (en) Measurement apparatus
JP5319057B2 (ja) 帯電電位分布測定システムと帯電電位分布測定装置
JPH0854403A (ja) 複合顕微鏡の導電性カンチレバ−構造
JPS60161508A (ja) 表面粗さ・形状測定装置
CN106996760A (zh) 凸轮轴轴向尺寸测量装置
CN1031420A (zh) 一种无损测定残余应力的方法
JPS62298781A (ja) デバイス特性測定用ハンドラ装置
CN218955684U (zh) 一种一键测量仪
JP2835300B2 (ja) 寸法測定装置
JP5698436B2 (ja) 回路断線検査装置
JP3082812B2 (ja) T形材取付高さ取付角度計測装置
JPH0612543Y2 (ja) 回路パターンの接触センサ
JPH0553235B2 (ja)
JP3700136B2 (ja) 非接触式蛇行量測定器
CN1042775A (zh) 微型电测式无损测定残余应力的方法
SU1048305A1 (ru) Устройство дл контрол геометрических параметров полупроводниковых пластин
KR950009354B1 (ko) 턴테이블을 이용한 스크롤 전용측정기의 촉침기구
JP2002350102A (ja) 蛇行量測定器
JPS5883201A (ja) 形状測定器
JPS61215901A (ja) 曲率半径測定装置