JP6401113B2 - 電子部品ハンドリング装置及び電子部品試験装置 - Google Patents
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Description
図1は本実施形態における電子部品試験装置の内部構造を示す平面図、図2は図1のII-II線に沿った断面図、図3は本実施形態におけるアライメントステージのサーマルヘッドの平面図、図4は図3のIV-IV線に沿った断面図、図5はサーマルヘッドの変形例を示す平面図、図6は本実施形態における電子部品ハンドリング装置の制御システムを示すブロック図である。
図18は本発明の第2実施形態における電子部品試験装置の内部構造を示す平面図、図19は本発明の第2実施形態における操作装置を示す側面図である。
10…テストヘッド
11…プローブカード
12…コンタクタ
15…メインフレーム
20…ハンドラ
21…アッパベース
211…開口
22…ロアベース
221…トレイ載置部
30…移載装置
31…X方向レール
32…第1の可動ヘッド
321…第1の吸着ヘッド
322…第1の吸着ノズル
323…第1のZ駆動部
324…第1のベース部
33…第2の可動ヘッド
331…第2の吸着ヘッド
332…第2の吸着ノズル
333…第2のZ駆動部
334…第2のベース部
40…アライメントユニット
41…移動装置
411…X方向レール
412…Y方向レール
413…Z駆動部
42…サーマルヘッド
421…保持面
422…保持領域
423…収容空間
424…窓部
425,425a〜425c…側壁
426…貫通孔
427…開口
428…保持穴
429…拡径部
43…リフトユニット
431…ブロック
432…リフトピン
433…保持ピン
434…頭部
50…固定アーム
51…第1のアーム部
52…第2のアーム部
521…当接部
55…操作装置
551…X方向レール
552…Z駆動部
553…伸縮アーム
554…回転駆動部
555…当接部
60…第1のカメラ
65…第2のカメラ
70…制御装置
71…画像処理部
72…演算部
73…駆動制御部
80…トレイ
81…収容部
90…ベアダイ
91…パッド
Claims (7)
- コンタクト部に対して被試験電子部品を移動させる電子部品ハンドリング装置であって、
前記被試験電子部品をそれぞれ保持する複数の保持領域を有する保持部材と、
前記保持領域に対応するように前記保持部材に遊動可能に保持された少なくとも一つの位置調整部材と、
前記保持部材を移動させる第1の移動手段と、
一つの前記位置調整部材を支持可能な支持部材と、を備えており、
少なくとも一つの前記保持領域に開口が形成され、
前記位置調整部材は、前記開口を介して進退可能であり、
前記第1の移動手段は、
前記保持部材を昇降させる昇降部と、
前記昇降部を水平移動させる水平移動部と、を含み、
前記水平移動部の一部と前記支持部材は、同一のベース部材に対して相対的に固定されており、
前記位置調整部材は、
前記開口を介して前記保持領域から突出可能な少なくとも1つのピンと、
前記ピンが立設されたブロックと、を有しており、
前記保持部材は、
前記開口に連通していると共に、前記ピンが挿入された貫通孔と、
前記貫通孔に連通していると共に前記ブロックを収容する収容空間と、を有し、
前記収容空間は、窓部を有しており、
前記支持部材は、
前記ベース部材に立設された第1のアーム部と、
前記第1のアーム部に支持され、前記窓部を介して前記収容空間内に進入して前記ブロックを支持可能な第2のアーム部と、を有することを特徴とする電子部品ハンドリング装置。 - 請求項1に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記支持部材は、前記第1の移動手段による前記保持部材の移動動作に伴って、一つの前記位置調整部材に当接して支持することを特徴とする電子部品ハンドリング装置。 - 請求項2に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記電子部品ハンドリング装置は、前記第1の移動手段を制御する制御手段を備えており、
前記制御手段は、前記支持部材が前記位置調整部材を支持している状態で、前記第1の移動手段が前記保持部材を移動させるように、前記第1の移動手段を制御することを特徴とする電子部品ハンドリング装置。 - 請求項3に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記電子部品ハンドリング装置は、前記コンタクト部に対する前記被試験電子部品の相対位置を検出する位置検出手段を備えており、
前記制御手段は、前記位置検出手段により検出された前記相対位置に基づいて、前記第1の移動手段を制御することを特徴とする電子部品ハンドリング装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記貫通孔は、第1の方向に沿って延在し、
前記窓部は、前記第1の方向に対して実質的に直交する第2の方向に向かって、前記収容空間から開口し、
前記第2のアーム部は、前記第2の方向に対して実質的に反対の第3の方向に沿って延在していることを特徴とする電子部品ハンドリング装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置であって、
前記被試験電子部品は、ベアダイであり、
前記コンタクト部は、前記ベアダイの端子に電気的に接触するコンタクタを有するプローブカードであることを特徴とする電子部品ハンドリング装置。 - 被試験電子部品の電気的特性を試験する電子部品試験装置であって、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の電子部品ハンドリング装置と、
前記コンタクト部が電気的に接続された試験装置本体と、を備えたことを特徴とする電子部品試験装置。
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