JP2003344483A

JP2003344483A - ハンドリング装置およびこれを使用した試験装置

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Publication number: JP2003344483A
Application number: JP2002158996A
Authority: JP
Inventors: Keiji Fujishiro; 恵治藤代; Yasunori Satou; 康範佐藤; Shigeyuki Maruyama; 茂幸丸山; Naoto Kobashi; 直人小橋
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2002-05-31
Filing date: 2002-05-31
Publication date: 2003-12-03
Also published as: KR100854641B1; TWI225157B; CN1265206C; CN1462887A; KR20030093902A; US20030222636A1; US6784657B2; TW200307136A

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、電子部品のコンタクト電極に高精
度に接触させると共に、ハンドリング中における電子部
品の安定性を向上させることを可能とする、ハンドリン
グ装置の提供を目的とする。【解決手段】本発明のハンドリング装置は、本体部７
２と、本体部７２に支持され、被ハンドリング物を保持
する保持部７１とを備え、上記被ハンドリング物を目標
物に向かって少なくとも移動させることができる。本発
明のハンドリング装置は、保持部７１を本体部７２に対
して変位可能に支持する支持手段７３と、本体部７２に
対する保持部７１の変位を拘束するラッチ状態、又は、
保持部７１の変位を拘束しないアンラッチ状態を選択的
に実現するラッチ手段７４とを更に備えることを特徴と
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＳＩ等のような
被ハンドリング物を目標物に対して位置合わせし、移
載、設置、或いは圧接するためのハンドリング装置、お
よびこれを用いた試験装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】被ハンドリング物を目標物に対して正確
に位置合わせし、移載、設置する用途は、多々あるが、
ここでは、その一事例として、電子部品（ＬＳＩ等）を
ソケットに位置合わせ、圧接する事例について述べる。

【０００３】ハンドリング装置は、電子部品（ＬＳＩ）
をソケット（コンタクタ）に対して位置合わせおよび圧
接することにより、電子部品の電気的試験を行うが、試
験時、電子部品はソケットに対して正確に位置合わせさ
れ、かつ均一な圧力でソケットのコンタクト電極に圧接
されなければならない。従来、電子部品とソケットの平
行度が合わず、均一なコンタクト圧が得られない場合、
弾性を持たせたコンタクト電極のたわみにより平行度の
ずれを補正することで、均一なコンタクト圧が確保され
ている。

【０００４】ところで、近年、ＬＳＩに代表される電子
部品は、製品の小型化、薄型化、また同サイズであれば
高機能化、および動作速度の高速化が急速に進展してい
る。これに対応するため、電子部品の電気的試験に用い
られるソケットのコンタクト電極にも微細化、多極化が
求められている。加えて、図２３に示すように、高速試
験を可能とするために、コンタクト電極の長さを極めて
短くし（例えば、０．５ｍｍ）、その電気的特性を向上
させることが必要とされている。

【０００５】しかしながら、上述のようなコンタクト電
極の微細化が進むと、コンタクト電極のたわみ量も減少
する（例えば、０．１ｍｍ）ことになり、上述のように
コンタクト電極のたわみのみで、電子部品とソケットの
平行度のずれ若しくは電子部品やコンタクト電極自体の
許容寸法誤差等を補正することはもはや不可能となる。

【０００６】これに対して、従来から、例えば特開２０
０２−５９９０号に開示される如く、電子部品を吸着保
持する保持部を複数の圧縮コイルバネを介して微動可能
に支持する機構を備えたハンドリング装置が知られてい
る。このハンドリング装置の保持部は、電子部品を吸着
保持した状態でソケットに向かって下降し、電子部品を
ソケットに接触させている。

【０００７】このようなハンドリング装置によれば、電
子部品をソケットに対して位置合わせ及び圧接を行うハ
ンドリング装置側に、位置のずれ及び平行度のずれを補
正する機構が付与されているため、上述の如くコンタク
ト電極のたわみ量が非常に小さい場合であっても、電子
部品をコンタクト電極に高精度に接触させることが可能
となる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、保持部
を圧縮コイルバネを介して微動可能に支持するハンドリ
ング装置においては、保持部の振動に起因して、当該保
持部に吸着保持された電子部品が当該保持部から落下し
たり、脆弱な電子部品に変形等の損傷が生ずるという問
題点があった。特に、実際の電気的試験においては、保
持部に電子部品を吸着保持させた状態で搬送部本体が各
工程間を移動するので、搬送部本体の停止時や始動時に
保持部に大きな振動が発生しやすく、ハンドリング中に
おいて電子部品の安定状態の確保することが困難であ
る。一方、かかる振動を防止すべく搬送部本体を緩やか
に移動させることは、迅速な電気的試験を行うことの障
害となる。

【０００９】そこで、本発明は、電子部品のコンタクト
電極に高精度に接触させると共に、ハンドリング中にお
ける電子部品の安定性を向上させることを可能とする、
ハンドリング装置およびこれを使用した電子部品の試験
装置の提供を目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的は、請求項１に
記載する如く、本体部と、上記本体部に支持され、被ハ
ンドリング物を保持する保持部と、上記本体部を移動さ
せる駆動機構とを備え、上記被ハンドリング物を目標物
に向かって少なくとも移動させることができるハンドリ
ング装置であって、上記保持部を上記本体部に対して変
位可能に支持する支持手段と、上記本体部に対する上記
保持部の変位を拘束するラッチ状態、又は、上記保持部
の変位を拘束しないアンラッチ状態を選択的に実現する
ラッチ手段とを更に備えることを特徴とする、ハンドリ
ング装置によって達成される。

【００１１】本発明において、ラッチ手段は、被ハンド
リング物を保持する保持部を本体部に対して拘束するラ
ッチ状態および保持部を本体部に対して拘束しないアン
ラッチ状態を選択的に実現する。アンラッチ状態が実現
されると、被ハンドリング物は支持手段により支持され
た変位可能な状態となるので、目標物に対する位置合わ
せ等を行うことが可能となる。一方、ラッチ状態が実現
されると、保持部と共に被ハンドリング物は本体部に対
して固定された状態となるので、被ハンドリング物の安
定性を保証することができる。

【００１２】また、請求項２に記載する如く、請求項１
記載のハンドリング装置において、上記支持手段が、上
記本体部の移動軸を１軸とする互いに直交する３軸方向
の上記保持部の各変位、および、上記移動軸まわりの上
記保持部の回転を可能とする場合には、アンラッチ状態
において、被ハンドリング物の目標物に対する正確な位
置合わせが可能となる。

【００１３】また、請求項３に記載する如く、請求項１
又は２記載のハンドリング装置において、上記支持手段
が、上記３軸まわりの上記保持部の各回転を可能とする
場合には、アンラッチ状態において、被ハンドリング物
を目標物に向かって移動させて目標物に圧接すると、被
ハンドリング物と目標物との平行度のずれを吸収するこ
とが可能となる。

【００１４】また、請求項４に記載する如く、請求項１
乃至３のうちいずれか１項のハンドリング装置におい
て、上記支持手段が、機械的ばね要素、流体要素、多孔
質弾性体、流動体、および磁力のうちの少なくとも１つ
を用いて実現される場合には、アンラッチ状態におい
て、被ハンドリング物を変位可能な状態にすることが可
能となる。

【００１５】また、請求項５に記載する如く、請求項１
乃至４のうちいずれか１項のハンドリング装置におい
て、上記保持部が、上記本体部に上記支持手段によりそ
れぞれ支持される分割された複数の領域からなる場合に
は、アンラッチ状態において、上記保持部を構成する各
領域が別個独立に変位可能な状態となり、特に上記保持
部と被ハンドリング物との平行度のずれが吸収され、被
ハンドリング物の目標物に対するより正確な平行度合わ
せが可能となる。

【００１６】また、請求項６に記載する如く、請求項１
乃至５のうちいずれか１項のハンドリング装置におい
て、上記ラッチ手段が、上記保持部に係合するラッチ位
置と上記保持部から離れるアンラッチ位置との間で移動
可能なラッチ部材により実現される場合には、ラッチ部
材が保持部に係合するラッチ状態において、被ハンドリ
ング物の安定性を保証することができ、ラッチ部材が保
持部に係合しないアンラッチ状態において、被ハンドリ
ング物の目標物に対する位置合わせ等を行うことが可能
となる。なお、ラッチ部材のラッチ位置とアンラッチ位
置との間の移動は、直線的な移動のみならず回動等の移
動をも含む。

【００１７】また、請求項７に記載する如く、請求項１
乃至６のうちいずれか１項のハンドリング装置におい
て、上記被ハンドリング物と目標物との距離、上記本体
部の移動量、上記本体部の移動速度、および、上記本体
部の加速度のうちの何れかに基づいて、上記ラッチ手段
による上記ラッチ状態と上記アンラッチ状態との間の切
換を行う切換手段を更に含む場合には、被ハンドリング
物の目標物との位置関係等に応じて、ラッチ状態とアン
ラッチ状態の切換を選択的に行うことが可能となる。

【００１８】また、請求項８に記載する如く、請求項７
記載のハンドリング装置において、上記切換手段が、上
記被ハンドリング物が上記目標物に接触する直前に、上
記ラッチ状態から上記アンラッチ状態への切換を行う場
合には、被ハンドリング物が目標物に向かって移動して
いる間の目標物に接触する直前まで、被ハンドリング物
の安定性を確保することができる。また、目標物に接触
する直前でアンラッチ状態が実現され、目標物に対する
被ハンドリング物の位置合わせおよび平行度合わせが可
能となる。

【００１９】また、請求項９に記載する如く、請求項１
乃至８のうちいずれか１項のハンドリング装置におい
て、上記被ハンドリング物が、電子部品であり、上記目
標物が、コンタクト電極を有するソケットである場合に
は、ソケットに対する電子部品の位置合わせおよび平行
度合わせが可能となる。

【００２０】また、上記目的は、請求項１０に記載する
如く、上記被ハンドリング物は電子部品であり、請求項
１乃至９のうちいずれか１項のハンドリング装置と、電
子部品に対して所定の電気的試験を行う試験手段とを備
えた、試験装置によって達成される。本発明によれば、
電子部品がソケットに対して正確に位置合わせおよび平
行度合わせされた状態で、当該電子部品に対する電気的
試験等を行うことが可能となる。なお、電気的試験は、
電子部品の動作・特性を試験すること以外にも電子部品
にデータを書き込むこと等を含む。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。

【００２２】まず、本発明によるハンドリング構造の説
明に先立ち、当該ハンドリング構造を適用できる電子部
品の試験装置の実施例について説明する。

【００２３】図１は、本発明に係る試験装置の全体構成
を概略的に示す上面図である。本実施例の試験装置（ハ
ンドラ）１００は、試験前の電子部品（例えば、ＬＳ
Ｉ）が載置される未検品収納部１１０と、搬送中の電子
部品を一時的に載置する仮置き部１２０Ａ，１２０Ｂ
と、アライメント部１３０と、テストヘッド部１４０
と、試験により良品と判断された電子部品が載置される
良品収納部１５０と、試験により不良品と判断された電
子部品が載置される不良品収納部１６０とを備えてい
る。

【００２４】また、試験装置１００は、電子部品を搬送
するための搬送機構１７０Ａ，Ｂ，Ｃを更に備えてい
る。搬送機構１７０Ａ，Ｂ，Ｃは、後に詳説する搬送装
置７０Ａ，Ｂ，Ｃと、図中Ｘ軸、Ｙ軸方向に延在する搬
送レール１７１Ａ，Ｂ，Ｃと、図示しない駆動手段とを
それぞれ備えている。搬送機構１７０Ａ，Ｂ，Ｃは、対
応する搬送レール１７１Ａ，Ｂ，Ｃに沿って前記駆動手
段により移動することができる。

【００２５】テストヘッド部１４０には、電子部品を受
けるソケット（コンタクタ）１４１が配設されており、
ソケット１４１は、テストヘッド部１４０を介してテス
ター１４２に電気的に接続されている。なお、テスター
１４２は、ソケット１４１に電気的に接続された電子部
品に対して所定の電気的試験を行う。

【００２６】電子部品に対する電気的試験の工程は、
試験前の電子部品を未検品収納部１１０に載置する工程
と、電子部品を未検品収納部１１０から仮置き部１２
０Ａまで搬送機構１７０Ａにより搬送する工程と、電
子部品を仮置き部１２０Ａからアライメント部１３０ま
で搬送機構１７０Ｂにより搬送する工程と、アライメ
ント部１３０で電子部品の位置補正を行う工程と、電
子部品をアライメント部１３０からテストヘッド部１４
０まで搬送機構１７０Ｂにより搬送する工程と、電子
部品をテストヘッド部１４０のソケット１４１に圧接
し、試験を行う工程と、電子部品をテストヘッド部１
４０から仮置き部１２０Ｂまで搬送機構１７０Ｂにより
搬送する工程と、仮置き部１２０Ｂから、試験結果に
従い選択的に良品収納部１５０若しくは不良品収納部１
６０に電子部品を搬送機構１７０Ｃにより搬送する工程
とを含む。

【００２７】図２は、本発明によるハンドリング構造を
備えた搬送装置を示す図である。本発明によるハンドリ
ング構造は、特に搬送機構１７０Ｂの搬送装置７０Ｂに
好適であり、上記、、、、の工程を実行する
際に有用である。

【００２８】搬送装置７０Ｂは、搬送部本体７２と、電
子部品等の被ハンドリング物を減圧手段７７（図１９参
照）により吸着保持する保持部７１と、保持部７１を弾
性的に支持する浮動支持手段７３と、搬送部本体７２に
対して保持部７１をラッチ若しくはアンラッチ（ラッチ
解除）することができるラッチ手段７４と、搬送部本体
７２を図２中Ｚ軸方向に駆動するＺ軸駆動手段７５とを
備えている。

【００２９】Ｚ軸駆動手段７５は、図２に示すように、
モータ７５ａと、直動機構７５ｂと、モータ７５ａに接
続された制御部９０とから構成されてよい。かかる場
合、モータ７５ａの発生する回転トルクは、直動機構７
５ｂにより並進力に変換され、当該並進力により搬送部
本体７２のＺ軸方向の移動が実現される。制御部９０
は、Ｚ軸駆動手段７５の動作及び上述のラッチ手段７４
の動作を制御するように構成されてよい。

【００３０】図２には、保持部７１の下面に被ハンドリ
ング物が減圧手段７７により吸着保持されている状態が
示されている。この減圧手段７７は、保持部７１に設け
られた連通穴７１ｄを減圧することにより、被ハンドリ
ング物を保持部７１の下面に吸着保持させている。

【００３１】保持部７１の下面（ソケット１４１に対面
する側の面）は、被ハンドリング物の形状に適合する形
状を有し、被ハンドリング物を吸着保持することができ
る。なお、被ハンドリング物の吸着保持は、上述の減圧
手段７７に限ることなく静電チャックやベルヌーイチャ
ックによるものであってよい。また、保持部７１は、吸
着保持した被ハンドリング物を、減圧手段７７による減
圧の解除により解放することができる。

【００３２】図３及び図４は、浮動支持手段７３および
ラッチ手段７４の機能を説明するための概念図である。

【００３３】図３に示す浮動支持手段７３は、圧縮コイ
ルバネ７３ａにより実現されており、保持部７１は、搬
送部本体７２に圧縮コイルバネ７３ａを介して支持され
ている。また、ラッチ手段７４は、対のラッチ部材７４
ａにより実現されており、保持部７１を両側から挟持す
ることにより保持部７１の変位を拘束するラッチ位置
（図３中、実線により指示）と、保持部７１から離間す
るアンラッチ位置（図３中、破線により指示）との間で
移動可能に構成されている。

【００３４】従って、ラッチ手段７４がラッチ位置に位
置する場合、保持部７１は、搬送部本体７２に拘束さ
れ、搬送部本体７２と一体となって動作することができ
る。以下、このように搬送部本体７２に対する保持部７
１の変位が拘束された状態をラッチ状態と称す。

【００３５】このラッチ状態が実現されると、被ハンド
リング物を吸着保持する保持部７１に振動が生ずること
がなく、ハンドリング中における被ハンドリング物の安
定化を図ることが可能となる。換言すると、ラッチ手段
７４が保持部７１をラッチすると、保持部７１が搬送部
本体７２に固定された状態を実現することができる。

【００３６】一方、ラッチ手段７４がアンラッチ位置に
位置する場合、図４に示すように、浮動支持手段７３に
より、保持部７１は、あらゆる方向（図４中、Ｘ、Ｙ，
Ｚ方向）に移動可能となり、且つ、あらゆる軸（図４
中、Ｘ、Ｙ，Ｚ軸）まわりに回転可能となる。以下、こ
のように搬送部本体７２に対する保持部７１の変位が拘
束されていない状態をアンラッチ状態と称す。

【００３７】このアンラッチ状態が実現されると、保持
部７１に吸着保持された被ハンドリング物と、目標物で
あるソケット１４１との位置合わせ及び平行度合わせが
可能となる。より正確には、図４中のＸ、Ｙ，Ｚ方向の
移動及びＹ軸まわりの回転が可能な保持部７１によっ
て、被ハンドリング物のソケット１４１に対する位置を
補正することが可能となる。また、図４中のＸ、Ｚ軸ま
わりの回転が可能な保持部７１によって、被ハンドリン
グ物のソケット１４１に対する平行度のずれを吸収する
ことが可能となる。

【００３８】なお、このアンラッチ状態は、ソケット１
４１に設けられるコンタクト電極（図２参照）の最大の
たわみ量が小さく、被ハンドリング物のソケット１４１
に対する平行度のずれをソケット１４１側のみで十分に
吸収しきれない場合に特に有効となる。ソケット１４１
のコンタクト電極の微細化が進むと、コンタクト電極の
長さと共にそのたわみ量が減少し、コンタクト電極のた
わみ量が０．１ｍｍを下回ることが予想される。従っ
て、ソケット１４１側のみならず、搬送装置７０Ｂ側に
おいても平行度のずれを吸収する機能を持たせること、
即ち保持部７１を変位可能に支持することが有用とな
る。

【００３９】次に、図５を参照して、被ハンドリング物
の電気的試験（図１のの工程）を実行する搬送装置７
０Ｂの動作の一例を説明する。上記の工程の開始時に
おける搬送装置７０Ｂは、上述の如く、上記の工程に
よりアライメント部１３０で位置補正された被ハンドリ
ング物を、保持部７１で吸着保持している。

【００４０】なお、図５に示すラッチ手段７４は、搬送
部本体７２にピン７４ｂにより結合された対のラッチ部
材７４ａにより構成されており、対のラッチ部材７４ａ
がピン７４ｂまわりに回動することにより、ラッチ位置
とアンラッチ位置との間で移動することができる。ま
た、図５に示すソケット１４１には、搬送装置７０Ｂに
向かって突出するガイド部材１４１ａが設けられてお
り、ソケット１４１のコンタクト電極は、ソケット１４
１の下面に設けられたプリント配線基板（ＰＷＢ）を介
して図示しないテスター１４２に電気的に接続されてい
る。

【００４１】搬送装置７０Ｂは、図５（Ａ）に示すよう
に、対のラッチ部材７４ａがラッチ位置に位置するラッ
チ状態で、Ｚ軸駆動手段７５により目標物であるソケッ
ト１４１に向かって下降されていく。次いで、図５
（Ｂ）に示すように、被ハンドリング物がソケット１４
１のガイド部材１４１ａと接触する直前に、対のラッチ
部材７４ａがアンラッチ位置まで回動し、ラッチ状態か
らアンラッチ状態への切換えが実行される。

【００４２】搬送装置７０Ｂが更に降下すると、図５
（Ｃ）に示すように、被ハンドリング物がソケット１４
１のガイド部材１４１ａに案内されつつ、ソケット１４
１に接触する。最終的には、被ハンドリング物は浮動支
持手段７３の弾性力によりソケット１４１に押圧され、
所定の電気的試験が行われる。なお、上述の搬送装置７
０Ｂの降下は、ソケット１４１と被ハンドリング物との
間に所望のコンタクト圧が発生した段階で停止されてよ
い。また、被ハンドリング物は、ソケット１４１に接触
する段階付近で保持部７１からソケット１４１に移載さ
れてよい。また、突条のガイド部材１４１ａに代わっ
て、ガイドピン等の別の機構により被ハンドリング物と
ソケット１４１との位置合わせを実現してもよい。

【００４３】このように、本実施例の搬送装置７０Ｂに
よれば、被ハンドリング物は、変位可能な状態の保持部
７１によって、正確に位置決めされた状態でソケット１
４１に接触することができる。また、例えば図４に示す
ように保持部７１が組付け誤差等により傾いている場合
であっても、変位可能な状態の保持部７１によって、ソ
ケット１４１に対する平行度のずれが吸収され、ソケッ
ト１４１と被ハンドリング物との間に均一なコンタクト
圧を発生させることが可能となる。

【００４４】ところで、搬送装置７０Ｂは、上述の如
く、保持部７１に被ハンドリング物を吸着保持させた状
態で、アライメント部１３０からソケット１４１まで、
及び、テストヘッド部１４０から仮置き部１２０Ｂま
で、水平面内で移動すると共に（図１参照）、Ｚ軸駆動
手段７５により上下移動する。従って、これらの移動の
開始及び終了時を含む搬送装置７０Ｂの移動中におい
て、被ハンドリング物を吸着保持している保持部７１が
変位可能な状態（アンラッチ状態）であると、保持部７
１が振動し、ソケット１４１と被ハンドリング物との位
置合わせ及び平行度合わせが困難となるのみならず、被
ハンドリング物の落下若しくは変形等の損傷を引き起こ
してしまう場合がある。

【００４５】これに対して、本実施例の搬送装置７０Ｂ
によれば、位置合わせ及び平行度合わせが必要な際には
アンラッチ状態を実現し、被ハンドリング物の安定性が
要求される状況ではラッチ状態を実現するというよう
に、アンラッチ状態及びラッチ状態の任意的な切換えを
行うことができるので、ソケット１４１と被ハンドリン
グ物との高精度な位置合わせ等を実現しつつ、被ハンド
リング物の落下等を確実に防止することができる。

【００４６】次に、上記アンラッチ状態及びラッチ状態
の任意的な切換えを実現するモード切換方法について説
明する。

【００４７】図６は、近接センサ（反射センサ）８０を
用いてモード切換を行う例を示す。近接センサ８０は、
搬送部本体７２に固定されており、目標物（ソケット１
４１）との相対距離を検出し、検出信号を制御部９０
（図２参照）に対して出力する。制御部９０は、上記検
出信号に基づく被ハンドリング物と目標物との距離が所
定の第１の閾値（例えば、５ｍｍ）以下となったとき、
アンラッチ状態を実現するための駆動信号を発する。ま
た、制御部９０は、試験終了後に搬送部本体７２が被ハ
ンドリング物と共に上昇して被ハンドリング物と目標物
との距離が所定の第２の閾値を超えたとき、ラッチ状態
を実現するための駆動信号を発する。なお、上記所定の
閾値は、近接センサ８０の搭載高さや被ハンドリング物
の厚さ等に基づいて決定される。また、上記第２の閾値
は、被ハンドリング物が目標物から十分離れて接触しな
いような距離であってよい。本例のモード切換方法によ
れば、閾値の変更のみにより切換タイミングを容易に調
節することができ、多種多様の被ハンドリング物のハン
ドリングに容易に対応することができる。

【００４８】図７は、上下移動中の搬送部本体７２の速
度変化を利用してモード切換を行う例を示す。

【００４９】本例において、搬送部本体７２は、図７
（Ａ）に示すような速度で、目標物に向かって下降し
（ｔ０〜ｔ４）、被ハンドリング物の電気的試験のため
に停止し（ｔ４〜ｔ５）、当該試験終了後に元の位置ま
で上昇する（ｔ５〜ｔ９）。本例では、搬送部本体７２
の急停止時の衝撃等による被ハンドリング物及び目標物
の損傷を防止するため、搬送部本体７２が目標物にある
程度近接した時点からその下降速度が減速され（ｔ２〜
ｔ３）、搬送部本体７２が停止する直前で更に減速され
ている（ｔ３〜ｔ４）。同様に、搬送部本体７２の急上
昇による被ハンドリング物及び目標物の損傷を防止する
ため、搬送部本体７２が目標物から離反する際、搬送部
本体７２はゆっくりと上昇し（ｔ５〜ｔ６）、搬送部本
体７２が目標物から十分離れた時点からその上昇速度が
加速されている（ｔ６〜ｔ７）。

【００５０】本例のモード切換方法は、このような速度
変化を利用してモード切換を実現する。具体的には、ｔ
３〜ｔ６の時間でアンラッチ状態を実現する場合、制御
部９０は、搬送部本体７２の加速度が所定値α（図７
（Ｂ）参照）となったとき（即ち、時刻Ｔ１）、アンラ
ッチ状態を実現するように対のラッチ部材７４ａを回動
させ、搬送部本体７２の加速度が再び所定値αとなった
とき（即ち、時刻Ｔ２）、ラッチ状態を実現するように
対のラッチ部材７４ａを回動させる。かかる場合、Ｔｎ
（ｎが奇数）でアンラッチ状態に、Ｔｎ（ｎが偶数）で
ラッチ状態に切換えることで、連続的に搬送される被ハ
ンドリング物に対して連続的に試験を行うことができ
る。

【００５１】なお、上述のような速度変化の検出手段と
しては、搬送部本体７２に配設された、搬送部本体７２
の加速度を検出する加速度センサであってよく、若しく
は搬送部本体７２−ソケット１４１間の相対変位（スト
ローク変位）を検出するセンサであってもよい。或い
は、制御部９０は、上述のような速度変化を実現するた
めに制御部９０自身がモータ７５ａに対して出力する指
令値に基づいて、当該速度変化を検知することも可能で
ある。

【００５２】本例のモード切換方法によれば、搬送部本
体７２の上下移動速度を搬送部本体７２と目標物との距
離に応じて変化させる場合に、当該変化に基づいてモー
ド切換を行うことができるので、被ハンドリング物等の
損傷を防止しつつ、電気的試験の工程（上記の工程）
の時間を最小限にすることが可能となる。

【００５３】図８は、パルス駆動方式のモータ７５ａに
入力されるパルス信号を用いてモード切換を行う例を示
す。本例の搬送部本体７２に設けられた検出器７２ａ
は、モータ７５ａに入力される駆動パルス数をカウント
し、所定のパルス数となった際にモード切換が行われる
（図８（Ｂ）参照）。なお、上記駆動パルス数は、制御
部９０によってカウントされてもよい。

【００５４】図９は、搬送部本体７２の上下移動を利用
して機械的にモード切換を行う例を示す。

【００５５】本例のラッチ手段７４は、搬送部本体７２
にピン７４ｂにより結合された対のラッチ部材７４ａに
より構成されている。対のラッチ部材７４ａは、ピン７
４ｂまわりに回動可能に構成されており、その一端がコ
イルバネ７４ｃにより付勢されることでラッチ状態が実
現されている。

【００５６】本例において、搬送部本体７２が所定の高
さまで下降すると、対のラッチ部材７４ａが、目標物で
あるソケット１４１に突設されたプッシュロッド１４１
ｂに当接し、対のラッチ部材７４ａにピン７４ｂまわり
の回転モーメントＭが発生する。この回転モーメントＭ
により、対のラッチ部材７４ａが、コイルバネ７４ｃか
らの弾性力に抗してピン７４ｂまわりに回動し、アンラ
ッチ状態が実現されることになる。一方、試験終了後に
搬送部本体７２が所定の高さまで上昇すると、対のラッ
チ部材７４ａが、減少した回転モーメントＭに抗してピ
ン７４ｂまわりに回動し、ラッチ状態が再び実現される
ことになる。

【００５７】本例のモード切換方法によれば、上述の各
例のようなモータ７５ａや制御部９０を用いることな
く、簡易な構成でモード切換を行うことができる。

【００５８】なお、上述した実施例のラッチ手段７４
は、搬送装置７０Ｂの上下移動の際にラッチ状態（又
は、アンラッチ状態）を実現するものであったが、搬送
装置７０Ｂの水平面内の移動中、電子部品を仮置き部１
２０Ａからアライメント部１３０まで搬送する移動の工
程中（図１参照）に、ラッチ状態を実現することも可能
である。かかる場合、搬送装置７０Ｂの水平面内の移動
中および当該移動の開始・終了時の電子部品の振動を確
実に防止することができる。この結果、搬送装置７０Ｂ
の各工程間の移動をより速やかに実現することが可能と
なる。

【００５９】次に、図１０乃至図２１を参照して、上述
した実施例の搬送装置７０Ｂに適用できる他にとり得る
浮動支持手段７３およびラッチ手段７４の種々の実施例
について説明する。

【００６０】図１０には、非線形ばね特性を有する圧縮
コイルバネ７３ｂにより実現された浮動支持手段７３が
示されている。圧縮コイルバネ７３ｂの非線形ばね特性
は、ばね定数の低いバネ部７３１ｂとばね定数の比較的
高いバネ部７３２ｂとを直列に連結することにより実現
されている。また、ばね定数の低いバネ部７３１ｂは、
圧縮コイルバネ７３ｂの保持部７１側に位置している。
この浮動支持手段７３によれば、ばね定数の低いバネ部
７３１ｂにより被ハンドリング物とソケット１４１との
柔軟な初期接触が実現されると共に、ばね定数の比較的
高いバネ部７３２ｂにより被ハンドリング物のソケット
１４１への確実な圧接が実現される。

【００６１】図１１に示される浮動支持手段７３は、並
列に設けられた長さの異なる２種類のバネ７３３ｃ、７
３４ｃ、即ち低いばね定数のバネ７３３ｃと比較的高い
ばね定数のバネ７３４ｃとの組み合わせにより構成され
ている。従って、浮動支持手段７３全体としては、図１
０に示す実施例と同様に非線形なばね特性を有してい
る。

【００６２】この浮動支持手段７３によれば、ばね定数
の低いバネ７３３ｃのみの変形により被ハンドリング物
とソケット１４１との柔軟な初期接触が実現されると共
に、ばね定数の比較的高いバネ７３４ｃにより被ハンド
リング物のソケット１４１への確実な圧接が実現され
る。また、被ハンドリング物とソケット１４１との圧接
時に低いばね定数のバネ７３３ｃが完全に変形しきるこ
とがないので、浮動支持手段７３の耐久性が向上する。

【００６３】図１２には、保持部７１の各領域を独立的
に懸架する圧縮コイルバネ７３ｄにより構成された浮動
支持手段７３が示されている。本実施例の保持部７１
は、図１２（Ｂ）に示すように、複数の領域に分割され
ており、各領域は、圧縮コイルバネ７３ｄを介して搬送
部本体７２にそれぞれ個別に支持されている。従って、
保持部７１を構成する各領域は、互いに独立して変位す
ることができる。

【００６４】この浮動支持手段７３によれば、保持部７
１と被ハンドリング物の平行度のずれや被ハンドリング
物等の寸法誤差を吸収することができ、より確度の高い
被ハンドリング物とソケット１４１との平行度合わせが
可能となる。なお、本実施例の圧縮コイルバネ７３ｄ
は、上述の実施例のような非線形のバネ特性を有しても
よい。

【００６５】図１３には、搬送部本体７２と保持部７１
との間に介在する弾性体７３ｅにより実現された浮動支
持手段７３が示されている。弾性体７３ｅは、ゴム、多
孔質体、発泡体等により形成されてよい。

【００６６】図１４には、流体を内蔵した袋７３ｆによ
り実現された浮動支持手段７３が示されている。この袋
７３ｆは、搬送部本体７２と保持部７１との間に介在し
ている。この浮動支持手段７３によれば、被ハンドリン
グ物とソケット１４１との圧接時、袋７３ｆ内の流体の
圧力は均一化されるので、被ハンドリング物とソケット
１４１との間に均一なコンタクト圧を発生させることが
できる。なお、用語「流体」とは、水等の液体のみなら
ず空気等の気体を含むことは勿論である。

【００６７】図１５には、ゲルを内蔵した袋７３ｇによ
り実現された浮動支持手段７３が示されている。なお、
袋７３ｇに内蔵されるゲルは、水分含有量の多いハイド
ロゲル、例えばシリコン系ポリマーと水からなるもので
あってよい。この浮動支持手段７３によれば、図１４に
示す実施例と同様に、被ハンドリング物とソケット１４
１との圧接時、袋７３ｇ内のゲルの圧力は均一化される
ので、被ハンドリング物とソケット１４１との間に均一
なコンタクト圧を発生させることができる。

【００６８】図１６には、磁力を利用した浮動支持手段
７３が示されている。本実施例の保持部７１の外周に
は、図１６（Ｂ）に示すように、永久磁石７１ａが等間
隔に設けられている。また、本実施例の搬送部本体７２
には、保持部７１の永久磁石７１ａの位置に対応して電
磁石７２ｃが設けられている。従って、電磁石７２ｃと
永久磁石７１ａとの間に適切な引力又は斥力を発生させ
るよって、保持部７１を任意の浮動状態に保つことがで
き、上述のアンラッチ状態が実現される。また、電磁石
７２ｃと永久磁石７１ａとの間に発生させる引力又は斥
力を制御することによって、上述のラッチ状態を実現す
ることも可能である。かかる場合、本実施例の浮動支持
手段７３は、上述のラッチ手段７４をも同時に実現する
ことになる。

【００６９】図１７には、磁力を利用したラッチ手段７
４が示されている。本実施例のラッチ手段７４は、搬送
部本体７２にピン７４ｂにより結合された対のラッチ部
材７４ａにより構成されている。このラッチ部材７４ａ
の一端には、永久磁石７４１が設けられており、ラッチ
部材７４ａの他端には、摩擦係数の大きい材料からなる
挟持部７４２が設けられている。対のラッチ部材７４ａ
の挟持部７４２は、保持部７１を協働的に両側から挟持
することにより、保持部７１を搬送部本体７２に対して
確実に拘束することができる。なお、ラッチ部材７４ａ
の挟持部７４２に代わって、或いは、ラッチ部材７４ａ
の挟持部７４２と共に、保持部７１の側面を摩擦係数の
大きい材料から形成することも可能である。

【００７０】本実施例では、搬送部本体７２に設けられ
た電磁石７２ｄとラッチ部材７４ａの永久磁石７４１と
の間に発生する引力若しくは斥力により、ラッチ部材７
４ａをピン７４ｂまわりに回動させるモーメントが発生
する。この結果、ラッチ部材７４ａがアンラッチ位置と
ラッチ位置との間で移動することが可能となる。なお、
電磁石７２ｄと永久磁石７４１との間に発生させる磁力
は、上述のモード切換方法に基づいて制御されてよい。

【００７１】図１８には、摩擦力を利用したラッチ手段
７４が示されている。本実施例のラッチ手段７４は、保
持部７１の上面に略平行な面を有した板状のラッチ部材
（摩擦クラッチ）７４ａにより構成されている。このラ
ッチ部材７４ａの下面（保持部７１の上面に接触する
面）は、摩擦係数の大きい材料から形成されている。従
って、ラッチ部材７４ａが保持部７１の上面を押圧する
ことにより、保持部７１を搬送部本体７２に対して確実
に拘束することが可能となる。なお、ラッチ部材７４ａ
の下面に代わって、或いは、ラッチ部材７４ａの下面と
共に、保持部７１の上面を摩擦係数の大きい材料から形
成することも可能である。

【００７２】本実施例では、搬送部本体７２に設けられ
たシリンダ７２ｅによりラッチ部材７４ａを上下移動さ
せることによって、アンラッチ状態とラッチ状態の切換
えが可能とされている。なお、ラッチ部材７４ａのアン
ラッチ位置とラッチ位置の間の移動は、上述のモード切
換方法に基づいて制御されてよい。なお、図１８は、板
状のラッチ部材７４ａが保持部７１の上面から離れてい
るアンラッチ状態を示している。

【００７３】図１９には、ピン嵌合構造を用いたラッチ
手段７４が示されている。本実施例のラッチ手段７４
は、ピン状のラッチ部材７４ａから構成される。保持部
７１の上面には、ピン状のラッチ部材７４ａが嵌合する
ための嵌合穴が形成されている。本実施例では、搬送部
本体７２に設けられたシリンダ７２ｅによりラッチ部材
７４ａを上下方向に駆動させることによって、アンラッ
チ状態とラッチ状態の切換えが可能とされている。な
お、図１９は、ピン状のラッチ部材７４ａが嵌合穴に嵌
合したラッチ状態を示している。

【００７４】図２０には、嵌合構造を用いたラッチ手段
７４が示されている。本実施例のラッチ手段７４は、搬
送部本体７２にピン７４ｂにより回動自在に結合された
対のラッチ部材７４ａにより構成されている。保持部７
１の側面には、ラッチ部材７４ａの一端が嵌合するため
の嵌合穴が形成されている。本実施例では、ラッチ部材
７４ａを回動させることによって、ラッチ部材７４ａの
一端が嵌合穴に嵌合するラッチ状態と、当該嵌合が解除
されるアンラッチ状態との切換えが可能とされている。
なお、図２０は、ラッチ部材７４ａの一端が嵌合穴に嵌
合したラッチ状態を示している。

【００７５】図２１には、摩擦力を用いたラッチ手段７
４が示されている。本実施例のラッチ手段７４は、流体
を内蔵する袋状のラッチ部材７４ａから構成されてい
る。この袋状のラッチ部材７４ａは、摩擦係数が大きく
伸縮性のある材料から形成され、搬送部本体７２とラッ
チ部材７４ａとの間に挟持されるように設けられてい
る。本実施例では、袋状のラッチ部材７４ａ内に図示し
ない流体供給手段から流体を供給することにより、膨張
したラッチ部材７４ａが保持部７１に押し付けられるラ
ッチ状態が、袋状のラッチ部材７４ａ内の流体を吸引す
ることにより、前記押し付けを解除するアンラッチ状態
が実現可能となる。

【００７６】最後に、図２２を参照して、本発明の代替
実施例について説明する。本実施例では、浮動支持手段
７３およびラッチ手段７４が、搬送装置７０Ｂ側ではな
く、目標物側に設けられている。即ち、目標物は、支持
台８１に浮動支持手段７３を介して変位可能に支持され
ている。また、ラッチ手段７４は、搬送部本体７２に対
して目標物をラッチ若しくはアンラッチするように構成
されている。一方、保持部７１は、図２２に示すように
搬送部本体７２に固定されてよく、或いは、上述した実
施例と同様に搬送部本体７２に変位可能に支持されても
よい。

【００７７】本実施例の浮動支持手段７３およびラッチ
手段７４は、圧縮コイルバネ７３ａおよびラッチ位置と
アンラッチ位置との間で直線的に移動可能なラッチ部材
７４ａによりそれぞれ構成されているが、上述した実施
例と同様に他の構成により実現されてもよい。

【００７８】以上、本発明の好ましい実施例について詳
説したが、本発明は、上述した実施例に制限されること
はなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実
施例に種々の変形及び置換を加えることができる。

【００７９】なお、本発明によるハンドリング構造を備
えた搬送装置は、特に電子部品の試験装置への適用に限
定されることなく、広範な適用範囲を有しており、例え
ば食品の加工工程で食品を保持して搬送するハンドリン
グ装置に対しても適用可能である。また、上述の実施例
の搬送装置は、電気的試験のために電子部品（被ハンド
リング物）をソケット（目標物）に対して位置合わせ、
移載、および圧接するものであったが、位置合わせ、移
載、および圧接の何れかを実現するものであってもよ
い。

【００８０】ここで、以上の説明に関して更に以下の付
記を開示する。

【００８１】（付記１）本体部と、上記本体部に支持さ
れ、被ハンドリング物を保持する保持部と、上記本体部
を移動させる駆動機構とを備え、上記被ハンドリング物
を目標物に向かって少なくとも移動させることができる
ハンドリング装置であって、上記保持部を上記本体部に
対して変位可能に支持する支持手段と、上記本体部に対
する上記保持部の変位を拘束するラッチ状態、又は、上
記保持部の変位を拘束しないアンラッチ状態を選択的に
実現するラッチ手段とを更に備えることを特徴とする、
ハンドリング装置。

【００８２】（付記２）上記支持手段は、上記本体部の
移動軸を１軸とする互いに直交する３軸方向の上記保持
部の各変位、および、上記移動軸まわりの上記保持部の
回転を可能とする、付記１記載のハンドリング装置。

【００８３】（付記３）上記支持手段は、上記３軸まわ
りの上記保持部の各回転を可能とする、付記１又は２記
載のハンドリング装置。

【００８４】（付記４）上記支持手段は、機械的ばね要
素、流体要素、多孔質弾性体、流動体、および磁力のう
ちの少なくとも１つを用いて実現される、付記１乃至３
記載のうちいずれかのハンドリング装置。

【００８５】（付記５）上記保持部は、上記本体部に上
記支持手段によりそれぞれ支持される分割された複数の
領域からなる、付記１乃至４記載のうちいずれかのハン
ドリング装置。

【００８６】（付記６）上記支持手段は、上記被ハンド
リング物が目標物に向かって移動され該目標物に圧接さ
れる際に、接触領域において略均一なコンタクト圧を該
目標物と上記被ハンドリング物との間に発生する、付記
１乃至５記載のうちいずれかのハンドリング装置。

【００８７】（付記７）上記支持手段は、非線形のバネ
特性を有する、付記１乃至６記載のうちいずれかのハン
ドリング装置。

【００８８】（付記８）上記支持手段は、上記保持部に
固定された永久磁石との間に引力および斥力を発生させ
る電磁石から構成され、上記ラッチ手段をも実現する、
付記１乃至３記載のうちいずれかのハンドリング装置。

【００８９】（付記９）上記ラッチ手段は、上記保持部
に係合するラッチ位置と上記保持部から離れるアンラッ
チ位置との間で移動可能なラッチ部材により実現され
る、付記１乃至７記載のうちいずれかのハンドリング装
置。

【００９０】（付記１０）上記ラッチ手段は、上記本体
部に回動自在に支持され上記ラッチ位置方向に付勢力が
負荷されたラッチ部材と、上記付勢力に抗して上記ラッ
チ部材を回動させるモーメントを、上記ラッチ部材の回
動軸まわりに発生させることができるモーメント発生手
段とから構成される、付記１乃至７記載および付記９記
載のうちいずれかのハンドリング装置。

【００９１】（付記１１）上記被ハンドリング物と目標
物との距離、上記本体部の移動量、上記本体部の移動速
度、および、上記本体部の加速度のうちの何れかに基づ
いて、上記ラッチ手段による上記ラッチ状態と上記アン
ラッチ状態との間の切換を行う切換手段を更に含む、付
記１乃至７記載および付記９，１０記載のうちいずれか
のハンドリング装置。

【００９２】（付記１２）上記本体部の移動速度は、被
ハンドリング物と目標物との距離応じて段階的に変化す
る、付記１１記載のハンドリング装置。

【００９３】（付記１３）上記モーメント発生手段は、
上記被ハンドリング物と目標物との距離が所定値を下回
った際に、上記付勢力に抗して上記ラッチ部材を上記ア
ンラッチ位置方向に回動させるモーメントを上記ラッチ
部材の回動軸まわりに発生させる、付記１１記載のハン
ドリング装置。

【００９４】（付記１４）上記切換手段は、上記被ハン
ドリング物が上記目標物に接触する直前に、上記ラッチ
状態から上記アンラッチ状態への切換を行う、付記１１
記載のハンドリング装置。

【００９５】（付記１５）上記被ハンドリング物は、電
子部品であり、上記目標物は、コンタクト電極を有する
ソケットである、付記１乃至１４記載のうちいずれかの
ハンドリング装置。

【００９６】（付記１６）上記コンタクト電極の最大た
わみ量は、０．５ｍｍより小さい、付記１２記載のハン
ドリング装置。

【００９７】（付記１７）上記被ハンドリング物は電子
部品であり、付記１乃至１６記載のうちいずれかのハン
ドリング装置と、電子部品に対して所定の電気的試験を
行う試験手段とを備えた、試験装置。

【００９８】（付記１８）付記１乃至１６記載のうちい
ずれかのハンドリング装置を用いた、処理装置。

【００９９】（付記１９）付記１乃至９記載のうちいず
れかのハンドリング装置を用いたハンドリング方法であ
って、目標物に向かって移動する上記被ハンドリング物
と、上記目標物との相対距離及び／又は相対速度に基づ
いて、上記ラッチ状態から上記アンラッチ状態への切換
を行うことを特徴とする、ハンドリング方法。

【０１００】（付記２０）付記１乃至９記載のうちいず
れかのハンドリング装置を用いたハンドリング方法であ
って、目標物に向かって移動する上記被ハンドリング物
が、上記目標物に接触する直前に、上記ラッチ状態から
上記アンラッチ状態への切換を行うことを特徴とする、
ハンドリング方法。

【０１０１】

【発明の効果】本発明は、以上説明したようなものであ
るから、以下に記載されるような効果を奏する。即ち、
本発明によると、被ハンドリング物を目標物に高精度に
位置合わせ及び平行度合わせさせると共に、ハンドリン
グ中における被ハンドリング物の安定性を向上させるこ
とが可能となる。

【０１０２】また、（付記１２）の発明によると、本体
部の急停止時の衝撃等による被ハンドリング物及び目標
物の損傷を防止することができる。かかる場合、本体部
の移動速度の変化を利用して、ラッチ状態とアンラッチ
状態の切換を行うことも可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】試験装置１００の全体構成を示す上面図であ
る。

【図２】本発明によるハンドリング構造を備えた搬送装
置を示す図である。

【図３】図３（Ａ）は、ラッチ状態およびアンラッチ状
態を概念的に示す正面図であり、図３（Ｂ）は、矢視Ａ
によりラッチ状態およびアンラッチ状態を示す図であ
る。

【図４】保持部の自由度を示す図である。

【図５】図５（Ａ）は、搬送装置のハンドリング動作に
おける下降開始位置を示す図であり、図５（Ｂ）は、ラ
ッチ状態からアンラッチ状態への切換位置を示す図であ
り、図５（Ｃ）は、搬送装置の最下降位置を示す図であ
る。

【図６】本発明によるモード切換方法の第１の例を示す
図である。

【図７】図７（Ａ）は、本発明によるモード切換方法の
第２の例に関する、搬送装置の昇降速度とモード切換タ
イミングとの関係を概略的に示す図であり、図７（Ｂ）
は、搬送装置の昇降加速度とモード切換タイミングとの
関係を概略的に示す図である。

【図８】図８（Ａ）は、本発明によるモード切換方法の
第３の例を実現する構成図であり、図８（Ｂ）は、駆動
パルス数によるモード切換タイミングを概略的に示す図
である。

【図９】本発明によるモード切換方法の第４の例を示す
図である。

【図１０】浮動支持手段７３の第１の代替実施例を示す
図である。

【図１１】浮動支持手段７３の第２の代替実施例を示す
図である。

【図１２】図１２（Ａ）は、浮動支持手段７３の第３の
代替実施例を示す正面図であり、図１２（Ｂ）は、矢視
Ａにより保持部７１の分割領域を示す図である。

【図１３】浮動支持手段７３の第４の代替実施例を示す
図である。

【図１４】浮動支持手段７３の第５の代替実施例を示す
図である。

【図１５】浮動支持手段７３の第６の代替実施例を示す
図である。

【図１６】図１６（Ａ）は、浮動支持手段７３の第７の
代替実施例を示す正面図であり、図１６（Ｂ）は、矢視
Ａにより保持部７１による被ハンドリング物の保持状態
を示す図である。

【図１７】ラッチ手段７４の第１の代替実施例を示す図
である。

【図１８】ラッチ手段７４の第２の代替実施例を示す図
である。

【図１９】ラッチ手段７４の第３の代替実施例を示す図
である。

【図２０】ラッチ手段７４の第４の代替実施例を示す図
である。

【図２１】ラッチ手段７４の第５の代替実施例を示す図
である。

【図２２】本発明の代替実施例を示す図である。

【図２３】コンタクト電極の特性を示す表図である。

【符号の説明】

７０Ａ，Ｂ，Ｃ搬送装置７１保持部７２搬送部本体７４ラッチ手段７４ａラッチ部材７４ｂピン７５Ｚ軸駆動手段７５ａモータ７５ｂ直動機構８０近接センサ９０制御部１００試験装置（ハンドラ）１１０未検品収納部１２０Ａ，１２０Ｂ仮置き部１３０アライメント部、１４０テストヘッド部１４１ソケット１４２テスター１５０良品収納部１６０不良品収納部１７０Ａ，Ｂ，Ｃ搬送機構１７１Ａ，Ｂ，Ｃ搬送レール

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者丸山茂幸神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内 (72)発明者小橋直人神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内Ｆターム(参考） 2G003 AA07 AB01 AD09 AF06 AG01 AG11 AG16 AH00

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】本体部と、上記本体部に支持され、被ハ
ンドリング物を保持する保持部と、上記本体部を移動さ
せる駆動機構とを備え、上記被ハンドリング物を目標物
に向かって少なくとも移動させることができるハンドリ
ング装置であって、上記保持部を上記本体部に対して変位可能に支持する支
持手段と、上記本体部に対する上記保持部の変位を拘束するラッチ
状態、又は、上記保持部の変位を拘束しないアンラッチ
状態を選択的に実現するラッチ手段とを更に備えること
を特徴とする、ハンドリング装置。
【請求項２】上記支持手段は、上記本体部の移動軸を
１軸とする互いに直交する３軸方向の上記保持部の各変
位、および、上記移動軸まわりの上記保持部の回転を可
能とする、請求項１記載のハンドリング装置。
【請求項３】上記支持手段は、上記３軸まわりの上記
保持部の各回転を可能とする、請求項１又は２記載のハ
ンドリング装置。
【請求項４】上記支持手段は、機械的ばね要素、流体
要素、多孔質弾性体、流動体、および磁力のうちの少な
くとも１つを用いて実現される、請求項１乃至３のうち
いずれか１項のハンドリング装置。
【請求項５】上記保持部は、上記本体部に上記支持手
段によりそれぞれ支持される分割された複数の領域から
なる、請求項１乃至４のうちいずれか１項のハンドリン
グ装置。
【請求項６】上記ラッチ手段は、上記保持部に係合す
るラッチ位置と上記保持部から離れるアンラッチ位置と
の間で移動可能なラッチ部材により実現される、請求項
１乃至５のうちいずれか１項のハンドリング装置。
【請求項７】上記被ハンドリング物と目標物との距
離、上記本体部の移動量、上記本体部の移動速度、およ
び、上記本体部の加速度のうちの何れかに基づいて、上
記ラッチ手段による上記ラッチ状態と上記アンラッチ状
態との間の切換を行う切換手段を更に含む、請求項１乃
至６のうちいずれか１項のハンドリング装置。
【請求項８】上記切換手段は、上記被ハンドリング物
が上記目標物に接触する直前に、上記ラッチ状態から上
記アンラッチ状態への切換を行う、請求項７記載のハン
ドリング装置。
【請求項９】上記被ハンドリング物は、電子部品であ
り、上記目標物は、コンタクト電極を有するソケットで
ある、請求項１乃至８のうちいずれか１項のハンドリン
グ装置。
【請求項１０】上記被ハンドリング物は電子部品であ
り、請求項１乃至９のうちいずれか１項のハンドリング
装置と、電子部品に対して所定の電気的試験を行う試験
手段とを備えた、試験装置。