JP6382213B2 - モータモジュール、多軸モータ駆動アセンブリ、多軸ロボット装置、並びに、電子デバイス製造のシステム及び方法 - Google Patents
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Description
本出願は、2012年11月30日に出願され、あらゆる目的でその全体が参照により本書に組み込まれている、「不等長の前腕部を備えた多軸ロボット装置、電子デバイス製造システム、及び、電子デバイス製造において基板を搬送するための方法(MULTI−AXIS ROBOT APPARATUS WITH UNEQUAL LENGTH FOREARMS, ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEMS, AND METHODS FOR TRANSPORTING SUBSTRATES IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING)」と題された米国特許出願番号61/732,196からの優先権を主張する。
具体的には、モータハウジング136は、動作制限装置162によって、外部筐体161に対して回転が制限されうる。動作制限装置162は、2つ以上のリニア軸受、又は、外部筐体161に対してモータハウジング136の回転を制約するよう機能するが、(第1軸116の方向に沿った)モータハウジング136のZ軸動作を可能にする、他の軸受又は摺動機構でありうる。垂直モータ163によって垂直動作が提供されうる。垂直モータ163の回転は、モータハウジング136に結合された、又はそれと一体化したネジ受け163R内で、親ネジ163Sを回転させるよう作動しうる。これは、モータハウジング136を、ゆえに、ブーム104、前腕部118、120、リスト部材124、130、エンドエフェクタ128、134、といった接続されたロボットアームを垂直方向に直動させ、また、ひいては基板105A、105Bも、上昇又は下降させる。適切な密封164が、モータハウジング136とベース117との間を密封し、それによって、垂直動作に適応し、かつ、チャンバ102、及び多軸モータ駆動アセンブリ111の部分の内部で真空を維持しうる。金属製ベローズ又は他の類似のフレキシブルな密封が、密封164のために使用されうる。
Claims (15)
- モータモジュールであって、
ステータハウジング及び前記ステータハウジング内に受容されたステータを含む、ステータアセンブリと、
前記ステータアセンブリに当接するロータアセンブリであって、
ロータハウジングと、
駆動シャフトと、
前記ロータハウジングに対して前記駆動シャフトを支持する、軸受アセンブリと、
前記駆動シャフトに結合されたロータと、を含む、ロータアセンブリと、
前記ロータと前記ステータとの間に位置付けられた真空バリア部材と、
他のモータモジュールとの、軸方向及び/又は回転方向の位置合わせを容易にするための少なくとも一つの位置決め特徴と、を備える、モータモジュール。 - 前記ロータハウジングに結合された第1エンコーダ要素を備える、請求項1に記載のモータモジュール。
- 前記駆動シャフトに結合された第2エンコーダ要素を備える、請求項1に記載のモータモジュール。
- 前記真空バリア部材は環状スリーブを備える、請求項1に記載のモータモジュール。
- 前記環状スリーブは、前記環状スリーブの端部で前記ステータハウジングと前記ロータハウジングとに対して密封を行う、請求項1に記載のモータモジュール。
- 前記環状スリーブは、前記ステータハウジングと前記ロータハウジングとの間に延在する、請求項1に記載のモータモジュール。
- 前記ステータアセンブリは、
第1ステータと第2ステータとを備え、かつ、
前記第2ステータは、前記ステータハウジング内で前記第1ステータに隣接して受容される、請求項1に記載のモータモジュール。 - 前記ロータアセンブリは、第1側部で前記ステータアセンブリに結合された第1ロータアセンブリ、及び、第2側部で前記ステータアセンブリに結合された第2ロータアセンブリを備える、請求項1に記載のモータモジュール。
- 前記環状スリーブは、前記第1ロータアセンブリのロータハウジングと、前記第2ロータアセンブリの第2ロータハウジングとの間に延在する、請求項8に記載のモータモジュール。
- 多軸モータ駆動アセンブリであって、
第1モータモジュールと
第2モータモジュールと、を備え、
前記第1モータモジュールは、前記第2モータモジュールとの、軸方向及び/又は回転方向の位置合わせを容易にするための少なくとも一つの位置決め特徴を備え、
前記第2モータモジュールは、前記第1モータモジュールとの、軸方向及び/又は回転方向の位置合わせを容易にするための少なくとも一つの位置決め特徴を備え、
前記第1モータモジュール、前記第2モータモジュール、又はその両方による組み合わせは、二軸、三軸モータ、四軸モータ、五軸モータ、又は六軸モータを作製するために組み立てられる、多軸モータ駆動アセンブリ。 - 前記第1モータモジュールは一軸性能から成り、かつ、
第2モータモジュールは二軸性能から成る、請求項10に記載の多軸モータ駆動アセンブリ。 - 前記第1モータモジュールと前記第2モータモジュールの各々は、
ステータハウジング及び前記ステータハウジング内に受容されたステータを含む、ステータアセンブリと、
前記ステータアセンブリに当接するロータアセンブリであって、
ロータハウジングと、
駆動シャフトと、
前記ロータハウジングに対して前記駆動シャフトを支持する、軸受アセンブリと、
前記駆動シャフトに結合されたロータと、を含む、ロータアセンブリと、
前記ロータと前記ステータとの間に位置付けられた真空バリア部材とを備える、請求項10に記載の多軸モータ駆動アセンブリ。 - 多軸ロボット装置であって、
一又は複数のロボットアームと
前記一又は複数のロボットアームのうちの一又は複数の第1ロボットアームに結合された、一軸性能を有する第1モータモジュールと、
前記一又は複数のロボットアームのうちの一又は複数の第2ロボットアームに結合され、かつ、それらを移動させるよう適合した、二軸性能を有する第2モータモジュールと、を備え、
前記第1モータモジュールは、前記第2モータモジュールとの、軸方向及び/又は回転方向の位置合わせを容易にするための少なくとも一つの位置決め特徴を備え、
前記第2モータモジュールは、前記第1モータモジュールとの、軸方向及び/又は回転方向の位置合わせを容易にするための少なくとも一つの位置決め特徴を備える、多軸ロボット装置。 - 移送チャンバと、
前記移送チャンバ内に受容されたロボットアーム、及び、前記ロボットアームに結合された一又は複数のモータモジュールを含むロボット装置と、を備えた電子デバイス処理システムであって、少なくとも1つのモータモジュールは、
ステータハウジング及び前記ステータハウジング内に受容されたステータを含む、ステータアセンブリと、
前記ステータアセンブリに当接するロータアセンブリであって、
ロータハウジングと、
駆動シャフトと、
前記ロータハウジングに対して前記駆動シャフトを支持する、軸受アセンブリと、
前記駆動シャフトに結合されたロータと、を含むロータアセンブリと、
前記ロータと前記ステータとの間に位置付けられた真空バリア部材と、
他のモータモジュールとの、軸方向及び/又は回転方向の位置合わせを容易にするための少なくとも一つの位置決め特徴と、を含む、電子デバイス処理システム。 - 多軸駆動アセンブリを組み立てる方法であって、
一軸性能から成る第1モータモジュールを提供することと、
二軸性能から成る第2モータモジュールを提供することと、
前記第1モータモジュールのうちの一又は複数を前記第2モータモジュールのうちの一又は複数に組み付けて、前記多軸モータアセンブリを形成することと、を含み、
前記第1モータモジュールは、前記第2モータモジュールとの、軸方向及び/又は回転方向の位置合わせを容易にするための少なくとも一つの位置決め特徴を備え、
前記第2モータモジュールは、前記第1モータモジュールとの、軸方向及び/又は回転方向の位置合わせを容易にするための少なくとも一つの位置決め特徴を備える、方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201261732196P | 2012-11-30 | 2012-11-30 | |
US61/732,196 | 2012-11-30 | ||
PCT/US2013/072053 WO2014085483A1 (en) | 2012-11-30 | 2013-11-26 | Motor modules, multi-axis motor drive assemblies, multi-axis robot apparatus, and electronic device manufacturing systems and methods |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016502393A JP2016502393A (ja) | 2016-01-21 |
JP2016502393A5 JP2016502393A5 (ja) | 2017-01-12 |
JP6382213B2 true JP6382213B2 (ja) | 2018-08-29 |
Family
ID=50824133
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015545192A Active JP6382213B2 (ja) | 2012-11-30 | 2013-11-26 | モータモジュール、多軸モータ駆動アセンブリ、多軸ロボット装置、並びに、電子デバイス製造のシステム及び方法 |
JP2015545190A Active JP6336467B2 (ja) | 2012-11-30 | 2013-11-26 | 不等長の前腕部を備えた多軸ロボット装置、電子デバイス製造システム、及び、電子デバイス製造において基板を搬送するための方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015545190A Active JP6336467B2 (ja) | 2012-11-30 | 2013-11-26 | 不等長の前腕部を備えた多軸ロボット装置、電子デバイス製造システム、及び、電子デバイス製造において基板を搬送するための方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9742250B2 (ja) |
JP (2) | JP6382213B2 (ja) |
KR (3) | KR102163086B1 (ja) |
CN (2) | CN104823272B (ja) |
TW (2) | TWI609557B (ja) |
WO (2) | WO2014085479A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2016537948A (ja) | 2013-11-13 | 2016-12-01 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 密封スイッチトリラクタンスモータ |
TWI695447B (zh) | 2013-11-13 | 2020-06-01 | 布魯克斯自動機械公司 | 運送設備 |
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2013
- 2013-11-26 CN CN201380061937.3A patent/CN104823272B/zh active Active
- 2013-11-26 KR KR1020157016956A patent/KR102163086B1/ko active IP Right Grant
- 2013-11-26 JP JP2015545192A patent/JP6382213B2/ja active Active
- 2013-11-26 KR KR1020207008382A patent/KR102214398B1/ko active IP Right Grant
- 2013-11-26 KR KR1020157016957A patent/KR102094390B1/ko active IP Right Grant
- 2013-11-26 WO PCT/US2013/072048 patent/WO2014085479A1/en active Application Filing
- 2013-11-26 US US14/090,929 patent/US9742250B2/en active Active
- 2013-11-26 WO PCT/US2013/072053 patent/WO2014085483A1/en active Application Filing
- 2013-11-26 US US14/090,899 patent/US9325228B2/en active Active
- 2013-11-26 JP JP2015545190A patent/JP6336467B2/ja active Active
- 2013-11-26 CN CN201380062097.2A patent/CN104812534B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-11-28 TW TW102143468A patent/TWI609557B/zh not_active IP Right Cessation
- 2013-11-28 TW TW102143467A patent/TWI598195B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102094390B1 (ko) | 2020-03-27 |
TW201429652A (zh) | 2014-08-01 |
WO2014085479A1 (en) | 2014-06-05 |
KR20150093178A (ko) | 2015-08-17 |
TWI598195B (zh) | 2017-09-11 |
US9742250B2 (en) | 2017-08-22 |
KR102163086B1 (ko) | 2020-10-07 |
JP2016502393A (ja) | 2016-01-21 |
CN104823272B (zh) | 2017-07-14 |
CN104823272A (zh) | 2015-08-05 |
JP2016500473A (ja) | 2016-01-12 |
KR102214398B1 (ko) | 2021-02-08 |
CN104812534B (zh) | 2018-05-11 |
KR20150092196A (ko) | 2015-08-12 |
US20140150592A1 (en) | 2014-06-05 |
CN104812534A (zh) | 2015-07-29 |
US20140154038A1 (en) | 2014-06-05 |
JP6336467B2 (ja) | 2018-06-06 |
US9325228B2 (en) | 2016-04-26 |
WO2014085483A1 (en) | 2014-06-05 |
KR20200034008A (ko) | 2020-03-30 |
TW201434244A (zh) | 2014-09-01 |
TWI609557B (zh) | 2017-12-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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