JP6371285B2 - 印刷された圧電性圧力検知箔 - Google Patents
印刷された圧電性圧力検知箔 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6371285B2 JP6371285B2 JP2015528880A JP2015528880A JP6371285B2 JP 6371285 B2 JP6371285 B2 JP 6371285B2 JP 2015528880 A JP2015528880 A JP 2015528880A JP 2015528880 A JP2015528880 A JP 2015528880A JP 6371285 B2 JP6371285 B2 JP 6371285B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- detection device
- layer
- ink
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/0416—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers
- G06F3/0418—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers for error correction or compensation, e.g. based on parallax, calibration or alignment
- G06F3/04186—Touch location disambiguation
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F1/00—Details not covered by groups G06F3/00 - G06F13/00 and G06F21/00
- G06F1/16—Constructional details or arrangements
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/0416—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers
- G06F3/04166—Details of scanning methods, e.g. sampling time, grouping of sub areas or time sharing with display driving
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/043—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means using propagating acoustic waves
- G06F3/0433—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means using propagating acoustic waves in which the acoustic waves are either generated by a movable member and propagated within a surface layer or propagated within a surface layer and captured by a movable member
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04104—Multi-touch detection in digitiser, i.e. details about the simultaneous detection of a plurality of touching locations, e.g. multiple fingers or pen and finger
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04106—Multi-sensing digitiser, i.e. digitiser using at least two different sensing technologies simultaneously or alternatively, e.g. for detecting pen and finger, for saving power or for improving position detection
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Position Input By Displaying (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Description
本発明の例示的な実施形態を図面を参照して今から記述する。
本発明の1実施形態においては、圧電効果および焦電効果を共に有する強誘電性材料に基づいた圧力検知入力デバイスが提供される。強誘電性材料を、大きな、平たいおよび/または曲げられた表面上における圧力変化を検知するために用いることができる。この入力デバイスは、いかなる材料の上にも容易に印刷することができる、4層のサンドイッチ構造を有している。この材料を、米国特許出願公開公報第2011/0310066号A1に記載されているような高分解能の光学に基づいた検知箔、または、米国特許出願公開公報第2012/0127110号A1に記載されているような光学タッチペンと組み合わせて用いることができる。
圧電材料は、スポンジが圧迫されて水が注がれたときの、湿ったスポンジのようである。信号の振幅および周波数は、直接的に圧電材料の機械的変形に比例している。誘導された圧電素子の変形は、材料の表面電荷密度の変化を引き起こし、電極間の電圧(図1)に帰結する。圧電係数は、印加される力当たりの発生する電荷の量で表される。
焦電センサ材料は、通常、温度に依存する分子双極子モーメントを有する誘電材料である。これらの材料が熱エネルギーを吸収すると、これらは拡張(または収縮)する。拡張のせいで非直接的な圧電信号が引き起こされる。フィルムの平均分極(分子双極子モーメントの合計)の減少は、加熱による双極子のランダムな動きによって引き起こされ、これはフィルム表面上に確立される電荷を生成する。圧電性および応力に類似して、焦電出力電流は、温度変化の割合に比例する。焦電電荷係数は、温度変化の度(degree)当たりの発生する電荷の量で記述される。
1実施形態における検知箔は、スクリーン印刷の16×8配列に基づいた、直径10mmを有するフレキシブル、容量性の円形センサスポットである。タッチ箔の土台は、透明なプラスチック基板であり、印刷される材料に対してキャリアのように働く。次のステップにおいて、128の円形スポット(電極)がキャリア材料に印刷されて、水平に接続される。その後、プラスチック基板は強誘電性材料で完全に覆われる。その後で、垂直に接続される電極の第2の層が印刷される。電極の2つの層はキャパシタを形成する。電荷は、電極の間で測定可能な電圧を引き起こす強誘電性のセンサ層の中で変化する。
○透明なポリエチレン・テレフタレート(PET)基板によって形成された第1層、
○半透明な導電性ポリマー材料によって形成された第2層内の電極、
○ポリフッ化ビニリデン(PVDF)および三フッ化エチレン(TrFE)によって形成されて、約85%の透明度を有している圧電および焦電センサ材料、および、
○非透明なカーボンまたは導電性ポリマーによって形成された上部電極、を有する。
マルチタッチ検知に対する前述の設計を用いると、センサ箔の設計に起因して、いわゆるゴーストポイントが発生するかもしれない。マルチタッチ入力で「ゴースト発生」を避けるために、1実施形態においては特別なタイプのセンサ箔が用いられる。センサ箔は、基板の両面に適用された上部および下部電極の直交格子構造を有する2つのセンサ層を備える。2つのセンサ格子の上部および下部電極の方向は45°回転しており、従って、双方のセンサ層の現実のタッチポイントは同じ位置にあるが、生成されるゴーストポイントは異なる位置である。双方の箔の入力信号を減算することによって、残された信号はゴースト発生ポイントのせいであると明確にすることができ、従って、マルチタッチ・アプリケーションにおける真のタッチ位置を明らかにすることができる。
センサアレイの製造
製造は、以下の4つの機能インクを用いるセンサアレイのスマート・アクティブ・マトリックスの低コスト印刷によって実現されてもよい。
○フッ素ポリマー(fluoropolymer)・センサインク、
○導電性のポリマーインク、
○導電性のカーボンペースト、および
○導電性の銀インク。
また、センサインクは、圧電および焦電ポリマーに埋め込まれた無機の強誘電性ナノ粒子のナノ複合材料によって形成されてもよい。
圧電センサの等価回路は、図5aに示されているように、内部抵抗Rs(1GΩ)および内部容量Cs(1nF)を有する電流源である。センサの内部抵抗および内部容量は、使用された材料の物理的な大きさ、電気伝導度、および誘電率に依存している。箔をタッチすることによって、ほんの少量のエネルギーを発生させるが、それを測定することは難しい。従って、インピーダンス変換器がセンサ信号を増幅するために用いられる(図5b)。それは入力電圧を出力電圧に転送するが、信号出力を増幅する。好ましくは、入力電流はゼロアンペアに近い。それ故、極端に低い入力電流(10fA未満)をサポートしている演算増幅器が好ましい。このタイプの演算増幅器の欠点は温度従属性である。従って、1pAの入力電流の、より温度従属性の小さい演算増幅器が用いられ、追加的に100MΩの入力抵抗が加えられる。さらに、既知の入力抵抗が、信号からタッチ力(ニュートン)の逆算に提供される。
1実施形態においては、センサマトリクスは210mm×130mmの領域に及んでいる128個のセンサスポットを有している。下部の電極は水平に接続されており、上部の電極は垂直に接続されている。極端に低いリークのアナログ・マルチプレクサが、水平の列からアース(ground)に接続されている。とはいうものの、他の全ての列は高インピーダンスである(図6)。
センサスポット上の全ての圧力変化が電荷を発生し、最終的に測定可能な電圧になる。かりに、更なる圧力変化が生じなければ、その電圧は、圧電フィルムの内部抵抗および測定回路の入力抵抗を介して放電される。この放電は指数関数に従い、その指数関数のパラメータが知られていれば予測可能である。
ペンおよびタッチの追跡のための安定的な解決策を提供するために、上述の箔設計と、例えば、ANOTO(登録商標)によって提供されているような、追加的なドットパターンを組み合わせることが好ましい。
ヒューマン・マシン・インターフェース(触覚(haptic)/音響フィードバックを有するHMI)
検知デバイスまたは本発明の、1実施形態においてはヒューマン・マシン・インターフェースを実装することが用いられる。PyzoFlex技術に基づいたヒューマン・マシン・インターフェース技術は、オプション的には透明に近い基板を有して、フレキシブル基板上の広い領域に渡って印刷することで低コストプロセスにおけるタッチ入力機能を提供する可能性を有している。インプリンティングによるアクティブ強誘電性材料の3次元パターニングは、1つの機能層に音響フィードバックと受動的な触覚とを組み合わせることを可能にする。
圧電マルチタッチパネルのための、本発明の1実施形態における電極のパターンは、印刷工程により制約されている解像度を有するアレイタイプ、または、より高い解像度を有する低導電性積層電極に基づく三角形のタイプである。
本発明の1実施形態においては、特に低コストで印刷可能なポリマーペーストによって生成された真の圧電センサに基づいた(マルチ)タッチパネルが提供されている。前述された実施形態は、異なる種類のユーザ対話(user interactions)のための印刷された(マルチ)タッチセンサを、大きな領域で製造するために用いることができる。強誘電性ポリマーは可視領域においては透明であるので、透明電極材料を用いたタッチスクリーンを製造することに用いることもできる。単一のタッチポイントの信頼できるトリガに対して、重なる領域で圧電アクティブ、容量性領域を形成する直角に正しく並べられた下部および上部電極のアレイ状の構造が提供されている。
本発明の別の実施形態においては、電極材料の抵抗率の相違を生かした三角形分割(triangulation)に基づいた圧電タッチパネルが提供される。この実施形態においては、信号がセンサ箔の角で検出されることができ、センサ信号が距離に依存して減少するために、低い導電性の電極の直列抵抗に関連して、励起位置の正確な場所を計算することができる。
本発明の1実施形態においては、センサデバイスの中に用いられるアクティブ・ポリマーは、圧電および焦電性(PVDF−TrFE)または、双方の一つになることができるもの(PVDF−TrFE+ナノ複合材料)であり、圧力変化によるタッチ入力の検出のみならず、温度変化も検知することができる。
本発明の1実施形態によれば、検知デバイスは圧力および/または熱の変化が生じるときに、電極上で電荷を分離するパッシブ容量センサを備える。これらの特徴により、センサは、機械的および熱的エネルギーを電気エネルギーに変換するエネルギー変換器として使用されることができる。1実施形態によれば、検知デバイスは、振動変化および/または熱変動の近傍でエネルギー収穫器として使用されることができる。
本発明の検知デバイスは、幅広い周波数スペクトラムに渡って振動を検出することができる。従って、検知デバイスは、マイクロホン、固体伝播音センサ、または加速度センサとして用いられることができる。
Claims (18)
- 基板と、
前記基板に印刷された強誘電性センサインクによって形成された第1のセンサ層と、
前記第1のセンサ層に形成された少なくとも1つの導電層とを備えると共に、
複数の接続された第1電極および複数の接続された第2電極を、前記第1のセンサ層を中間に配置してさらに備え、
前記強誘電性センサインクは、共重合体P(VDF−TrFE)によって、もしくはリラクサ強誘電性三元重合体(terpolymer)P(VDF−TrFE−CFE)によって形成された圧電および焦電ポリマーを有するか、または、前記圧電および焦電ポリマーに埋め込まれた無機の強誘電性ナノ粒子のナノ複合材料によって形成され、
前記第1電極および前記第2電極の重なり対は、前記第1のセンサ層に生成された電荷に応答して測定可能な電圧を生成するセンサスポットにそれぞれ対応するキャパシタを形成し、
双極子を含む複数のナノ結晶が、前記複数の接続された第2電極に垂直に配列されていることを特徴とする検知デバイス。 - 前記少なくとも1つの導電層は、
前記第1のセンサ層の上に印刷された、ポリマー、カーボン、銀、銅、および/または、金属ナノワイヤーを有したインクによる導電インクによって形成された第1の導電層、
前記第1の導電層の上に印刷されたカーボンインクによって形成された第2の導電層、および
前記第2の導電層の上に印刷された銀インクによる導電インクによって形成された第3の導電層、
のうちの少なくとも1つ有することを特徴とする請求項1に記載の検知デバイス。 - 前記少なくとも1つの導電層は、前記基板における前記第1のセンサ層の下に、ポリマー、カーボン、銀、銅、金属ナノワイヤー、および/または、カーボンナノチューブを有する導電インクを印刷して形成され、前記基板の上に第1の導電層を形成することを特徴とする請求項1に記載の検知デバイス。
- さらに第2のセンサ層を備えており、前記第2のセンサ層は、印刷によって前記基板の後側に提供されるか、または、前記第1のセンサ層の上部に積層されて前記第1のセンサ層の上部に提供されることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の検知デバイス。
- 前記第1のセンサ層は第1の複数の実質的に平行な導電ラインを備え、前記第2のセンサ層は第2の複数の実質的に平行な導電ラインを備え、前記第1の複数の実質的に平行な導電ラインおよび前記第2の複数の実質的に平行な導電ラインは、所定の角度だけ相互に傾いていることを特徴とする請求項4に記載の検知デバイス。
- 前記強誘電性センサインクは、透明または赤外線吸収の電極の間に形成された、半結晶強誘電性ポリマーPVDF―TrFEを有する、印刷された強誘電性センサキャパシタのアレイを形成することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の検知デバイス。
- 前記電極は、PEDOT:PSS、印刷可能な金属製ナノワイヤー、カーボンおよび/または銀を有することを特徴とする請求項6に記載の検知デバイス。
- 前記基板は、穴の開いたフィルム、または、ホットエンボス加工もしくはインプリンティングによって製造されたキャビテイを有するポリマーフィルムからなる構造化基板を有することを特徴とする請求項6または7に記載の検知デバイス。
- さらに、インプリントされたドーム状のセンサを備えることを特徴とする請求項6から8のいずれかに記載の検知デバイス。
- 前記ドーム状のセンサは、予め定められた周波数および/または音響レベルで音波を発生するように構成されていることを特徴とする請求項9に記載の検知デバイス。
- 前記電極は、電極の第1および第2のアレイを備え、前記アレイはお互いに対して傾いていることを特徴とする請求項6から10のいずれかに記載の検知デバイス。
- タッチ位置を特定するために電極の前記第1および第2のアレイからのセンサ信号を減算する処理手段を備えることを特徴とする請求項11に記載の検知デバイス。
- 三角形分割に基づいてタッチ位置を特定する処理手段を備えることを特徴とする請求項6から10のいずれかに記載の検知デバイス。
- 前記検知デバイスの出力信号の処理手段に関連して、事件を暗示する出力信号に応答して、予め定められた応答のトリガとなる信号を生成することを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載の検知デバイス。
- 前記検知デバイスは、振動、音波および/または熱変動、の検出に応答して信号を発生するように用意されていることを特徴とする請求項1から14のいずれかに記載の検知デバイス。
- 前記検知デバイスは、マイクロホン、固体伝播音センサ、または加速度センサとして実施されるように提供されることを特徴とする請求項15に記載の検知デバイス。
- 前記振動、音波および/または熱変動の、周波数、振幅、および/または他のパラメータを検出する処理手段に関連して、検出されたパラメータに関連するイベントを検出することを特徴とする請求項15または16に記載の検知デバイス。
- 前記検知デバイスは建物の表面に取り付けられるか、床に組み込まれることを特徴とする請求項15または16に記載の検知デバイス。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/EP2012/003687 WO2014037016A1 (en) | 2012-09-04 | 2012-09-04 | Printed piezoelectric pressure sensing foil |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018046163A Division JP2018136954A (ja) | 2018-03-14 | 2018-03-14 | 印刷された圧電性圧力検知箔 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015534667A JP2015534667A (ja) | 2015-12-03 |
JP2015534667A5 JP2015534667A5 (ja) | 2017-10-12 |
JP6371285B2 true JP6371285B2 (ja) | 2018-08-08 |
Family
ID=46982504
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015528880A Active JP6371285B2 (ja) | 2012-09-04 | 2012-09-04 | 印刷された圧電性圧力検知箔 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9612690B2 (ja) |
EP (2) | EP3702894A1 (ja) |
JP (1) | JP6371285B2 (ja) |
KR (1) | KR101993503B1 (ja) |
CN (1) | CN104813260B (ja) |
ES (1) | ES2784611T3 (ja) |
WO (1) | WO2014037016A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7113146B2 (ja) | 2018-12-11 | 2022-08-04 | ヨアノイム リサーチ フォルシュングスゲゼルシャフト エムベーハー | 湾曲した機能フィルム構造およびその作製方法 |
Families Citing this family (64)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013149331A1 (en) | 2012-04-07 | 2013-10-10 | Cambridge Touch Technologies, Ltd. | Pressure sensing display device |
US9411458B2 (en) | 2014-06-30 | 2016-08-09 | Synaptics Incorporated | System and method for determining input object information from proximity and force measurements |
US10228784B2 (en) | 2014-07-08 | 2019-03-12 | National University Of Singapore | Human-machine interface with graphene-pyroelectric materials |
US9632638B2 (en) | 2014-09-10 | 2017-04-25 | Synaptics Incorporated | Device and method for force and proximity sensing employing an intermediate shield electrode layer |
US10185427B2 (en) | 2014-09-11 | 2019-01-22 | Synaptics Incorporated | Device and method for localized force sensing |
US9690408B1 (en) | 2014-09-26 | 2017-06-27 | Apple Inc. | Electronic device with an integrated touch sensing and force sensing device |
US9779676B2 (en) | 2014-09-30 | 2017-10-03 | Apple Inc. | Integrated touch sensor and force sensor for an electronic device |
US9501167B2 (en) | 2014-10-22 | 2016-11-22 | Synaptics Incorporated | Scanned piezoelectric touch sensor device |
EP3457263A1 (en) | 2014-12-23 | 2019-03-20 | Cambridge Touch Technologies, Ltd. | Pressure-sensitive touch panel |
GB2533667B (en) | 2014-12-23 | 2017-07-19 | Cambridge Touch Tech Ltd | Pressure-sensitive touch panel |
WO2017015478A1 (en) * | 2015-07-22 | 2017-01-26 | Precision Seating Solutions Llc | Printed pressure sensitive sensor system |
FR3040336B1 (fr) | 2015-08-28 | 2017-10-06 | Faurecia Interieur Ind | Panneau de commande a led imprimee pour un vehicule et procede pour le realiser |
US9891770B2 (en) | 2015-08-28 | 2018-02-13 | Apple Inc. | Methods for forming a patterned structure in a sensor |
US10101857B2 (en) | 2015-08-28 | 2018-10-16 | Apple Inc. | Methods for integrating a compliant material with a substrate |
US10635222B2 (en) | 2015-10-02 | 2020-04-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Touch pad and electronic apparatus using the same, and method of producing touch pad |
KR102476610B1 (ko) | 2015-10-02 | 2022-12-12 | 삼성전자주식회사 | 터치 패드, 이를 이용한 터치 스크린 및 전자 장치, 및 터치 패드의 제조 방법 |
WO2017100952A1 (en) | 2015-12-17 | 2017-06-22 | Orell Füssli Sicherheitsdruck Ag | Method and device for verifying the authenticity of a security document |
US10282046B2 (en) | 2015-12-23 | 2019-05-07 | Cambridge Touch Technologies Ltd. | Pressure-sensitive touch panel |
EP3185658A1 (de) * | 2015-12-23 | 2017-06-28 | Voestalpine Stahl GmbH | Metallband und coil-coating-verfahren |
GB2544353B (en) | 2015-12-23 | 2018-02-21 | Cambridge Touch Tech Ltd | Pressure-sensitive touch panel |
US9965092B2 (en) | 2016-05-18 | 2018-05-08 | Apple Inc. | Managing power consumption of force sensors |
EP3496602A1 (en) | 2016-08-09 | 2019-06-19 | Koninklijke Philips N.V. | Maternal monitoring transducer and operating method |
WO2018127839A2 (en) * | 2017-01-06 | 2018-07-12 | Sabic Global Technologies B.V. | Triboelectric sensor with haptic feedback |
WO2018144454A1 (en) * | 2017-01-31 | 2018-08-09 | NeuroSilica, Inc. | Bio-directional neuron-electronic device interface structures |
KR102343806B1 (ko) | 2017-05-16 | 2021-12-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치 센서 및 이를 포함하는 표시 장치 |
US10353506B2 (en) | 2017-06-16 | 2019-07-16 | Apple Inc. | Dual resistive strain and pressure sensor for force touch |
DE102017212283A1 (de) | 2017-07-18 | 2019-01-24 | SKF Aerospace France S.A.S | Ein mit einem Sensor versehenes mechanisches Teil |
GB2565305A (en) | 2017-08-08 | 2019-02-13 | Cambridge Touch Tech Ltd | Device for processing signals from a pressure-sensing touch panel |
US11093088B2 (en) | 2017-08-08 | 2021-08-17 | Cambridge Touch Technologies Ltd. | Device for processing signals from a pressure-sensing touch panel |
US10498001B2 (en) | 2017-08-21 | 2019-12-03 | Texas Instruments Incorporated | Launch structures for a hermetically sealed cavity |
US10775422B2 (en) | 2017-09-05 | 2020-09-15 | Texas Instruments Incorporated | Molecular spectroscopy cell with resonant cavity |
US10589986B2 (en) | 2017-09-06 | 2020-03-17 | Texas Instruments Incorporated | Packaging a sealed cavity in an electronic device |
US10549986B2 (en) | 2017-09-07 | 2020-02-04 | Texas Instruments Incorporated | Hermetically sealed molecular spectroscopy cell |
US10131115B1 (en) | 2017-09-07 | 2018-11-20 | Texas Instruments Incorporated | Hermetically sealed molecular spectroscopy cell with dual wafer bonding |
US10551265B2 (en) | 2017-09-07 | 2020-02-04 | Texas Instruments Incorporated | Pressure sensing using quantum molecular rotational state transitions |
US10444102B2 (en) | 2017-09-07 | 2019-10-15 | Texas Instruments Incorporated | Pressure measurement based on electromagnetic signal output of a cavity |
US10424523B2 (en) | 2017-09-07 | 2019-09-24 | Texas Instruments Incorporated | Hermetically sealed molecular spectroscopy cell with buried ground plane |
US10544039B2 (en) | 2017-09-08 | 2020-01-28 | Texas Instruments Incorporated | Methods for depositing a measured amount of a species in a sealed cavity |
US10871847B2 (en) | 2017-09-29 | 2020-12-22 | Apple Inc. | Sensing force and press location in absence of touch information |
KR102648766B1 (ko) * | 2017-11-20 | 2024-03-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 압력 센서, 그의 제조 방법, 및 이를 포함한 표시 장치 |
US11988628B2 (en) | 2018-01-04 | 2024-05-21 | Lyten, Inc. | Container including analyte sensing device |
CN112105922A (zh) * | 2018-01-04 | 2020-12-18 | 利腾股份有限公司 | 谐振气体传感器 |
US11913901B2 (en) | 2018-01-04 | 2024-02-27 | Lyten, Inc. | Analyte sensing device |
US11137368B2 (en) | 2018-01-04 | 2021-10-05 | Lyten, Inc. | Resonant gas sensor |
CN108550691B (zh) * | 2018-04-17 | 2021-09-14 | 佛山市卓膜科技有限公司 | 一种柔性强介电薄膜及其制作方法 |
US11199936B2 (en) | 2018-08-17 | 2021-12-14 | Purdue Research Foundation | Flexible touch sensing system and method with deformable material |
US10990223B2 (en) | 2018-09-13 | 2021-04-27 | Sensel, Inc. | Method and apparatus for variable impedence touch sensor array force aware interaction in large surface devices |
US10871848B2 (en) | 2018-09-13 | 2020-12-22 | Sensel, Inc. | Method and apparatus for variable impedence touch sensor array gesture recognition |
US10891050B2 (en) | 2018-09-13 | 2021-01-12 | Sensel, Inc. | Method and apparatus for variable impedance touch sensor arrays in non-planar controls |
US11003274B2 (en) | 2018-09-13 | 2021-05-11 | Sensel, Inc. | Method and apparatus for automotive variable impedance touch sensor array |
AT521772B1 (de) * | 2018-10-29 | 2020-05-15 | Joanneum Res Forschungsgmbh | Sensorvorrichtung |
US11513648B2 (en) | 2018-12-26 | 2022-11-29 | Sensel, Inc. | Method and apparatus for variable impedance touch sensor array force aware interaction with handheld display devices |
WO2020142311A1 (en) * | 2019-01-03 | 2020-07-09 | Sensel, Inc. | Method and apparatus for indirect force aware touch control with variable impedance touch sensor arrays |
EP3722768B1 (de) | 2019-04-08 | 2023-09-13 | Joanneum Research Forschungsgesellschaft mbH | Sensorvorrichtung zur erfassung von bremskräften in einem fahrzeug und messsystem |
KR102461955B1 (ko) * | 2019-05-21 | 2022-11-03 | 성균관대학교산학협력단 | 압전 나노 소재 |
WO2020235847A1 (ko) * | 2019-05-21 | 2020-11-26 | 성균관대학교산학협력단 | 압전 나노 소재 |
KR20220034158A (ko) * | 2019-08-13 | 2022-03-17 | 쌩-고벵 글래스 프랑스 | 양면에 센서 어셈블리를 갖는 복합 패널 |
TWI697346B (zh) * | 2019-09-06 | 2020-07-01 | 柯文生 | 游泳訓練用手足動作量測裝置 |
EP4043930A4 (en) * | 2019-10-07 | 2023-02-22 | Ideal Star Inc. | ACTUATOR BODY DETECTION DEVICE, ACTUATOR BODY DETECTION METHOD AND INPUT/OUTPUT DEVICE |
DE102019132356A1 (de) * | 2019-11-28 | 2021-06-02 | Tdk Electronics Ag | Zweikanaliger Detektor |
WO2021148360A2 (en) | 2020-01-20 | 2021-07-29 | B. Braun Melsungen Ag | Tracking tags for venous catheterization complications |
AT523853B1 (de) * | 2020-05-20 | 2022-01-15 | Engel Austria Gmbh | Schließeinheit, Formgebungsmaschine und Verfahren zum Messen einer Kraftverteilung |
KR102523833B1 (ko) * | 2021-01-22 | 2023-04-19 | 박영권 | 건물 붕괴 조기 검출 시스템 |
CN114993525B (zh) * | 2022-07-01 | 2023-04-07 | 西安交通大学 | 一种基于超声波在颗粒材料传导特性的可变形浸入式压力传感器 |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5159323A (en) * | 1987-02-19 | 1992-10-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal display |
JPH021891A (ja) * | 1988-06-09 | 1990-01-08 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 液晶表示装置 |
JP3360371B2 (ja) * | 1993-08-31 | 2002-12-24 | 東レ株式会社 | 横波振動素子、表面波圧電素子および超音波トランスデューサ |
JP4147954B2 (ja) * | 2002-03-25 | 2008-09-10 | 株式会社村田製作所 | 圧電素子の製造方法 |
KR100570586B1 (ko) * | 2002-12-17 | 2006-04-13 | (주)아이블포토닉스 | 강유전성 단결정 막 구조물 제조 방법 |
JP3828116B2 (ja) * | 2003-01-31 | 2006-10-04 | キヤノン株式会社 | 圧電体素子 |
US6964201B2 (en) * | 2003-02-25 | 2005-11-15 | Palo Alto Research Center Incorporated | Large dimension, flexible piezoelectric ceramic tapes |
JP4518772B2 (ja) * | 2003-09-25 | 2010-08-04 | 京セラ株式会社 | 圧電体素子の製造方法および圧電セラミックスの製造方法 |
KR100626912B1 (ko) * | 2004-04-23 | 2006-09-20 | 주식회사 하이닉스반도체 | 불휘발성 강유전체 수직 전극 셀과 수직 전극 셀을 이용한불휘발성 강유전체 메모리 장치 및 그 수직 전극 셀 제조방법 |
US8072429B2 (en) | 2006-12-22 | 2011-12-06 | Cypress Semiconductor Corporation | Multi-axial touch-sensor device with multi-touch resolution |
JP4345820B2 (ja) * | 2007-01-22 | 2009-10-14 | セイコーエプソン株式会社 | 表示装置及び表示装置の製造方法並びに電子ペーパー |
PT103791B (pt) * | 2007-07-17 | 2010-04-01 | Univ Do Minho | Teclado baseado em polímero, co-polímero ou compósito com propriedades piezo- e/ou piroeléctricas e respectivas utilizações |
JP5519539B2 (ja) | 2008-02-28 | 2014-06-11 | ニューヨーク・ユニバーシティ | 処理装置に入力を与える方法及び装置、並びにセンサパッド |
JP2010042969A (ja) * | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Toyama Prefecture | 圧電セラミックスの製造方法と圧電セラミックス、並びに圧電素子 |
US8120232B2 (en) * | 2009-01-20 | 2012-02-21 | Palo Alto Research Center Incorporated | Sensors and actuators using piezo polymer layers |
US8138882B2 (en) | 2009-02-05 | 2012-03-20 | International Business Machines Corporation | Securing premises using surfaced-based computing technology |
EP2226704B1 (en) | 2009-03-02 | 2012-05-16 | Anoto AB | A digital pen |
JP2010211482A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Touch Panel Kenkyusho:Kk | 三次元入力タッチパネル機器 |
JP2011155573A (ja) * | 2010-01-28 | 2011-08-11 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 超音波振動子、それを用いた超音波探触子、及び超音波医用画像診断装置 |
JP2011242386A (ja) * | 2010-04-23 | 2011-12-01 | Immersion Corp | 接触センサと触覚アクチュエータとの透明複合圧電材結合体 |
KR20130109090A (ko) * | 2010-06-11 | 2013-10-07 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 힘 측정을 갖는 포지셔널 터치 센서 |
EP2583071B1 (en) * | 2010-06-15 | 2015-04-29 | Aito B.V. | A device for detecting the presence of at least one human finger on a surface and a method of using the device in a user interface. |
EP2431404A1 (de) | 2010-08-27 | 2012-03-21 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Fluorpolymerhaltige Lösung oder Suspension, Verfahren zu ihrer Herstellung sowie ihre Verwendung bei der Herstellung von piezo- und pyroelektrischen Schichten |
TWI426437B (zh) * | 2010-10-28 | 2014-02-11 | Young Lighting Technology Inc | 電容式觸控面板 |
JP5643056B2 (ja) * | 2010-11-01 | 2014-12-17 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
US9639178B2 (en) | 2010-11-19 | 2017-05-02 | Apple Inc. | Optical stylus |
JP2012138016A (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-19 | Dainippon Printing Co Ltd | タッチパネル部材 |
JP6042763B2 (ja) * | 2012-12-26 | 2016-12-14 | 株式会社ジャパンディスプレイ | タッチ検出機能付き表示装置及び電子機器 |
-
2012
- 2012-09-04 EP EP20151827.1A patent/EP3702894A1/en not_active Withdrawn
- 2012-09-04 KR KR1020157005643A patent/KR101993503B1/ko active IP Right Grant
- 2012-09-04 ES ES12769314T patent/ES2784611T3/es active Active
- 2012-09-04 CN CN201280075634.2A patent/CN104813260B/zh active Active
- 2012-09-04 EP EP12769314.1A patent/EP2893423B1/en active Active
- 2012-09-04 JP JP2015528880A patent/JP6371285B2/ja active Active
- 2012-09-04 US US14/425,167 patent/US9612690B2/en active Active
- 2012-09-04 WO PCT/EP2012/003687 patent/WO2014037016A1/en active Application Filing
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7113146B2 (ja) | 2018-12-11 | 2022-08-04 | ヨアノイム リサーチ フォルシュングスゲゼルシャフト エムベーハー | 湾曲した機能フィルム構造およびその作製方法 |
JP2022153516A (ja) * | 2018-12-11 | 2022-10-12 | ヨアノイム リサーチ フォルシュングスゲゼルシャフト エムベーハー | 湾曲した機能フィルム構造およびその作製方法 |
JP7165283B2 (ja) | 2018-12-11 | 2022-11-02 | ヨアノイム リサーチ フォルシュングスゲゼルシャフト エムベーハー | 湾曲した機能フィルム構造およびその作製方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9612690B2 (en) | 2017-04-04 |
JP2015534667A (ja) | 2015-12-03 |
CN104813260A (zh) | 2015-07-29 |
KR101993503B1 (ko) | 2019-06-26 |
EP2893423B1 (en) | 2020-01-15 |
EP3702894A1 (en) | 2020-09-02 |
CN104813260B (zh) | 2018-02-13 |
ES2784611T3 (es) | 2020-09-29 |
KR20150047506A (ko) | 2015-05-04 |
EP2893423A1 (en) | 2015-07-15 |
WO2014037016A1 (en) | 2014-03-13 |
US20150339001A1 (en) | 2015-11-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6371285B2 (ja) | 印刷された圧電性圧力検知箔 | |
TWI582668B (zh) | 觸壓式三維信號輸入裝置、多功能觸控面板及其偵測方法 | |
CN101341605B (zh) | 用于组合式压力传感器和致动器的经济元件及其操作方法 | |
Rendl et al. | PyzoFlex: printed piezoelectric pressure sensing foil | |
JP5722954B2 (ja) | 押圧検出機能付タッチパネル | |
US8314722B2 (en) | Keyboard based in polymer, copolymer or composites with piezo- and/or pyroelectric properties and respective use | |
US10884557B2 (en) | Touch input device | |
JP2015534667A5 (ja) | ||
TWI680389B (zh) | 手持式電子裝置、觸控偵測器及其觸控偵測方法 | |
JP2010113738A (ja) | 力イメージング入力のデバイスとシステム | |
CN104407466B (zh) | 一种显示基板、显示面板和显示装置 | |
JP6148934B2 (ja) | タッチパネル | |
TWI493403B (zh) | 溫感式觸控面板及其偵測方法與製造方法 | |
TWM452385U (zh) | 觸控裝置 | |
JP6148933B2 (ja) | タッチパネル | |
TWI597641B (zh) | 電容式觸控面板的導電圖案結構及其製作方法 | |
CN106557246A (zh) | 一种三维输入模块 | |
JP2018136954A (ja) | 印刷された圧電性圧力検知箔 | |
KR101969831B1 (ko) | 터치 센서 패널 | |
KR20190037099A (ko) | 터치 입력 장치 | |
WO2011023856A1 (en) | Gesture sensor arrangement and a method for producing it | |
KR20200050638A (ko) | 터치를 감지하는 압전성 고분자 기반 투명 압력 센서 | |
KR20180137937A (ko) | 터치 센서 패널 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150902 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160719 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20161017 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20161219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170321 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170616 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170817 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20170829 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20171114 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180314 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180425 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20180425 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20180425 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20180523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180626 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180712 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6371285 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |