JP6335492B2 - 弾性波素子 - Google Patents
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Description
前記圧電基板上に形成されたIDTと、前記IDTの弾性波の伝搬方向の少なくとも1つの端部に形成された前記圧電基板の端面と、具備し、前記IDTの最も端面側の電極指の内側端と前記端面との距離は、前記IDTが励振する弾性波の波長をλ、前記IDTのメタライゼーションレシオをDとしたとき、7λ/16+D×λ/4以上かつ3λ/4+D×λ/4以下であり、前記最も端面側の電極指の幅はD×λ/2より大きいことを特徴とする弾性波素子である。
11 IDT
12、12a、16 電極指
13 金属層
14 バスバー
15a、15b くし型電極
18 溝
20 端面
Claims (6)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されたIDTと、
前記IDTの弾性波の伝搬方向の少なくとも1つの端部に形成された前記圧電基板の端面と、
を具備し、
前記IDTの最も端面側の電極指の内側端と前記端面との距離は、前記IDTが励振する弾性波の波長をλ、前記IDTのメタライゼーションレシオをDとしたとき、7λ/16+D×λ/4以上かつ3λ/4+D×λ/4以下であり、
前記最も端面側の電極指の幅はD×λ/2より大きいことを特徴とする弾性波素子。 - 圧電基板と、
前記圧電基板上に形成され、一対のくし型電極を有し、前記一対のくし型電極の一方の電極指と前記一対のくし型電極の他方の電極指とは互い違いに設けられたIDTと、
前記IDTの弾性波の伝搬方向の少なくとも1つの端部に形成された前記圧電基板の端面と、
を具備し、
前記IDTの最も端面側の電極指の内側端と前記端面との距離は、前記IDTが励振する弾性波の波長をλ、前記IDTのメタライゼーションレシオをDとしたとき、3.5λ/16+D×λ/4以下であり、かつ、前記IDTの最も端面側の電極指の幅はD×λ/2より大きいことを特徴とする弾性波素子。 - 前記端面は、前記圧電基板に形成された溝の側面であることを特徴とする請求項1または2記載の弾性波素子。
- 前記IDTの最も端面側の電極指の前記端面側の側面と前記端面とは同一面であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波素子。
- 前記IDTの最も端面側の電極指の前記端面側の側面と前記端面とは離間していることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波素子。
- 前記圧電基板は、36°以上かつ48°以下YカットX伝搬のタンタル酸リチウム基板であることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項記載の弾性波素子。
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