JP6301083B2 - 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及びレシピの作成方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 395
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 368
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 247
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 14
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 103
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 claims description 15
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 claims 4
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 43
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 29
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 11
- UOACKFBJUYNSLK-XRKIENNPSA-N Estradiol Cypionate Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H](C4=CC=C(O)C=C4CC3)CC[C@@]21C)C(=O)CCC1CCCC1 UOACKFBJUYNSLK-XRKIENNPSA-N 0.000 description 9
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000001502 supplementing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F30/00—Computer-aided design [CAD]
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/52—Controlling or regulating the coating process
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Evolutionary Computation (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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Description
このような基板処理装置において、膜厚の異なる基板、例えばダミー基板と製品基板が混在する状態で処理ガスを処理炉内へ導入して処理する場合に、ボート、処理炉の炉壁、及びダミー基板に堆積された累積膜厚により製品基板に堆積される膜厚が変動することや、ボートに搭載する製品基板の枚数により製品基板に堆積される膜厚が変動することが分かっている。
よって、製品基板に堆積される膜厚の変動を抑制するために、累積膜厚に関しては、例えば下記の特許文献1に記載されているように、累積膜厚と温度との関係を用いて加熱制御を行い、製品基板の枚数に関しては、例えば下記の特許文献2に記載されているように、製品基板の枚数に応じたレシピを作成し実行することが行われている。
セスパラメータを設定する場合などに使用するパラメータである。予め共用パラメータを設定しておくことにより、各処理ステップでプロセスパラメータを入力する手間が省けて便利である。
基板を処理する処理室と、
基板を処理するためのプロセスレシピを記憶するレシピ記憶部と、
前記プロセスレシピを実行するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記処理室で処理される基板枚数に応じて対応付けて条件テーブルとし、該基板枚数に応じた条件テーブルを複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するプロセスパラメータファイル記憶部と、
前記プロセスレシピを実行する制御部と、
各種情報を表示する表示部と、を備えた基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記レシピ記憶部に記憶されたプロセスレシピ中のプロセスパラメータを前記表示部に表示するレシピ表示ステップと、
前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を前記表示部に表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記プロセスパラメータを、前記パラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピ表示ステップと、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第1のレシピを作成するステップと、
前記処理室で処理される基板枚数が指定された場合に、前記第1のレシピと、前記指定された基板枚数に対応する前記条件テーブルとを、前記制御部へダウンロードするダウンロードステップと、
前記ダウンロードされた第1のレシピ中のパラメータ項目名を、前記ダウンロードされた条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第2のレシピを作成するステップと、を行う基板処理装置。
基板を処理するためのレシピ中のプロセスパラメータを表示するレシピ表示ステップと、
レシピを実行するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、処理される基板枚数に応じて対応付けた条件テーブル中のパラメータ項目名を表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記プロセスパラメータを、前記パラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピ表示ステップと、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第1のレシピを作成するステップと、
処理する基板枚数が指定された場合に、前記第1のレシピ中のパラメータ項目名を、前記条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第2のレシピを作成するステップと、
前記指定された枚数の基板に対して、前記第2のレシピを実行するステップと、を備え
る半導体装置の製造方法。
基板を処理するためのレシピ中のプロセスパラメータを表示するレシピ表示ステップと、
レシピを実行するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、処理される基板枚数に応じて対応付けた条件テーブル中のパラメータ項目名を表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記プロセスパラメータを、前記パラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピ表示ステップと、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第1のレシピを作成するステップと、
処理する基板枚数が指定された場合に、前記第1のレシピ中のパラメータ項目名を、前記条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第2のレシピを作成するステップと、を備えるレシピの作成方法。
は、本発明が適用される処理装置の透視図であり、斜視図として示されている。また、図2は図1に示す処理装置の側面透視図である。
4が設置されており、ロードポート114は、ポッド110を載置する。ポッド110は、ロードポート114上に工程内搬送装置(図示せず)によって搬入され、かつまた、ロードポート114上から搬出される。
図2に示すように、筐体111内におけるロードポート114と回転棚105との間には、ポッド搬送装置118が設置されている。ポッド搬送装置118は、ポッド110を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ118aと、水平搬送機構としてのポッド搬送機構118bとで構成されており、ロードポート114、回転棚105、ポッドオープナ121との間で、ポッド110を搬送する。
ポッドオープナ121は、ポッド110を載置する載置台122、122と、ポッド110のキャップ(蓋体)を着脱するキャップ着脱機構123、123とを備えている。ポッドオープナ121は、載置台122に載置されたポッド110のキャップをキャップ着脱機構123によって着脱することにより、ポッド110のウエハ出し入れ口を開閉する。載置台122は、基板を移載する際に基板収容器が載置される移載棚である。
されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ125bおよびウエハ移載装置125aの連続動作により、ボート217に対して、ウエハ200を装填および脱装する。
図2に示すように、ボート217の上方には、処理炉202が設けられている。処理炉202は、内部に基板処理室(不図示、以下、処理室)を備え、該処理室の周囲には、処理室内を加熱するヒータ(不図示)を備える。処理炉202の下端部は、炉口ゲートバルブ147により開閉される。
ボート217は、複数本の保持部材を備えた基板保持具であり、複数枚(例えば、50枚〜125枚程度)のウエハ200を、その中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
なお、ボート217の上端部と下端部には、それぞれ複数枚のダミーウエハが搭載され、製品ウエハは、上端のダミーウエハと下端のダミーウエハの間に搭載される。製品ウエハを入れ替えながらバッチ処理が複数回行われる間、同じダミーウエハが使用される。
図1、図2に示すように、ポッド110がロードポート114に供給されると、ポッド搬入搬出口112がフロントシャッタ113によって開放され、ポッド搬入搬出口112から搬入される。
搬入されたポッド110は、回転棚105の指定された棚板117へ、ポッド搬送装置118によって、自動的に搬送されて受け渡される。
装填する。
ローディング後は、処理室内でウエハ200に任意の処理が実施される。処理後は、ボートエレベータ115によりボート217が引き出され、その後は、概上述の逆の手順で、ウエハ200およびポッド110は筐体111の外部へ払出される。
図3に示すように、制御部10は、主制御部11と、温度制御部12と、ガス流量制御部13と、圧力制御部14と、搬送制御部15とを備えている。主制御部11には、温度制御部12、ガス流量制御部13、圧力制御部14、搬送制御部15、オペレータ(操作者)からの指示を受け付ける操作部31、操作画面や各種データ等の情報を表示する表示部32、基板処理装置100の基板処理シーケンスである処理レシピを記憶する記憶部2
0等、基板処理装置100を構成する構成部が電気的に接続されている。なお、操作部31と表示部32は、例えばタッチパネル等の場合は、一体的に構成することができる。
力が所望の圧力となるよう所望のタイミングにて制御する
00の搬送指示を受信し、指示された場所や位置にポッド110やボート217やウエハ200を搬送する。
Unit)と主制御部11の動作プログラム等を格納するメモリを備えており、CPUは、例えば操作部31からの操作者に指示に基づき、この動作プログラムに従って、記憶部20に記憶しているレシピを上記メモリへダウンロードして実行するように動作する。このとき、主制御部11は、温度制御部12、ガス流量制御部13、圧力制御部14、搬送制御部15等
の各副制御部に対して、処理室内の温度や圧力、ガス流量等を測定させ、この測定データに基づいて、上記各副制御部に対して制御信号を出力し、上記各副制御部がレシピに従い動作するように制御する。
1つのレシピは、通常、複数の処理ステップから構成され、各処理ステップには、基板を処理するためのプロセスパラメータが複数含まれる。レシピの一例を図4に示す。図4は、本実施形態に係るレシピ表示画面例であり、レシピ構成の一部を表示部32に簡易的に表示したものである。図4の例では、レシピを特定するID(識別子)であるレシピ名が「Test」である。また、処理ステップを特定するステップIDが「DEPO」のス
テップにおいて、プロセスパラメータとして、例えば、そのステップに要する時間であるステップ時間(80分)と、そのステップにおける処理炉内の温度(850℃)等が示されている。
図5は、本実施形態に係るVPファイル構造である。図5の例のVPファイルは、プロセスパラメータの項目であるパラメータ項目として、30個のVPアイテムを備える。例えば、No.1のVPアイテム(項目名は「VP Time−001」)は、ステップ時間であり、そのプロセスパラメータは60分である。No.2のVPアイテム(項目名は「VP Temp−001」)は、処理炉内の温度であり、そのプロセスパラメータは80
0.0℃である。
このように、VPファイルは、基板を処理するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名との組み合わせを、複数含む。
図6は、本実施形態に係るCPファイル構造である。図6の例のCPファイルは、図6の縦方向にパラメータ項目として10個のCPアイテムを備え、図6の横方向に複数種類のプロセス条件(この場合は製品基板の枚数)を備える。例えば、No.1のCPアイテム(項目名は「CP Time−001」)は、ステップ時間であり、No.2のCPアイテム(項目名は「CP Temp−001」)は、処理炉内の温度である。
そして、製品基板の枚数が0〜10枚の場合は、ステップ時間のプロセスパラメータは60分であり、処理炉内の温度のプロセスパラメータは800.0℃である。また、製品基板の枚数が11〜20枚の場合は、ステップ時間のプロセスパラメータは70分であり、処理炉内の温度のプロセスパラメータは810.0℃である。
数に応じて対応付けて条件テーブルとし、該基板枚数に応じた条件テーブルを複数含む。例えば、製品基板の枚数が0〜10枚の場合の条件テーブル(CPテーブル)は、製品基板の枚数が0〜10枚の場合に対応するNo.1〜No.10のCPアイテムのプロセスパラメータで構成される。
パラメータ記憶部22の内容は、その内容を表示部32に表示した状態で、操作部31から、操作者が設定、または変更することができるように構成されている。
し、その後、処理炉202から搬出し、ボート217から製品基板を取り出す一連の処理を指す。
次に、レシピ中のプロセスパラメータをVPファイル中のプロセスパラメータで置換する第1実施例について、図7と図8を用いて説明する。図7は、第1実施例に係るVP処理の概要である。図8は、第1実施例に係るレシピ書き換えを説明する図である。第1実施例に係るVP処理は、操作者による操作以外は、主制御部11により制御される。
者が操作部31を用いて、パラメータ項目であるVPアイテムやプロセスパラメータを、VPファイルのフレーム内に入力し設定することにより、図5に示すようなVPファイルが作成され、そのファイル名称(例えば「Test」)とともにVP記憶部22aに保存される(ステップS3)。なお、VPファイル名は、レシピ名と異なるようにしてもよい。
のうち、VP設定(つまり、VPアイテムで置換)したいプロセスパラメータの項目を操作者が選択する。
このVP/CP選択画面において操作者がVPボタンを押下すると、VP設定が選択されるとともに、そのレシピのコンビネーション情報部21aに登録されているVPファイル名(「Test」)のVPファイルがVP記憶部22aから読みだされ、表示部32に表示される。こうして、そのVPファイルに登録されているVPアイテムを選択できるVPアイテム選択画面が表示部32に表示される(パラメータ項目名表示ステップ)。
て「温度」を選択する。そして、VPアイテム選択画面において、VPアイテムとして、「VP Temp−001」を操作者が選択すると、該選択されたパラメータ項目名「VP Temp−001」が、当該レシピ中の当該ステップにおける当該プロセスパラメータに対して埋め込まれる。こうして、VPアイテムが設定されたレシピは、レシピ記憶部21に保存される。
また、主制御部11は、当該ジョブで指定されたレシピに対応付け(コンビネーション)されたVPファイルを、そのレシピのコンビネーション情報部21aに登録されたVPファイル名に基づき検索し(ステップS7)、該検索したVPファイルを主制御部11のメモリへダウンロードする(ステップS8)。
ータ(数値)で置換する。
また、「Test」レシピの「DEPO」ステップにおける「温度」のプロセスパラメータに「VP Temp−001」が設定されている場合は、該「VP Temp−001」が設定された「Test」レシピ中のプロセスパラメータを、VPファイル中のVPアイテム「VP Temp−001」に対応するプロセスパラメータである「800」で置換する。
そして、レシピのプロセスパラメータ置換後、そのレシピを実行する(ステップS10)。
また、上述の実施例では、1つのレシピに対して1つのVPファイルをコンビネーションしたが、1つのレシピに対して複数のVPファイルをコンビネーションしてもよい。例えば、1つのステップに対して、1つのVPファイルをコンビネーションしてもよい。
(1)プロセスレシピ実行前にそのプロセス条件に適合するプロセスパラメータを自動的に入力することができる。したがって、操作者によるプロセスパラメータの入力ミスを抑制できる。
(2)VPファイルのプロセスパラメータを、複数のレシピや、複数の処理ステップにおいて共用することが容易となる。
(3)予めレシピ中のプロセスパラメータにVPアイテム名を設定しておき、レシピ実行前において、VPアイテム名が設定されたレシピ中のプロセスパラメータを、VPファイル中の当該VPアイテムのプロセスパラメータで置換するようにしたので、レシピ中のプロセスパラメータをVPファイル中のプロセスパラメータで置換することを容易に実現できる。
次に、プロセス条件に応じて、レシピ中のプロセスパラメータをCPファイル中のプロセスパラメータで置換する第2実施例について、図9ないし図11を用いて説明する。この第2実施例では、製品基板の枚数もプロセス条件に含むものとする。図9は、第2実施例に係るCP処理の概要である。図10は、第2実施例に係るCPテーブル検索処理を説明する図である。図11は、第2実施例に係るレシピ書き換えを説明する図である。第2
実施例に係るCP処理は、操作者による操作以外は、主制御部11により制御される。
前述したように、CPファイルには、複数のCPアイテムにそれぞれ対応するプロセスパラメータが、プロセス条件(製品基板の枚数)毎に、条件テーブル(CPテーブル)として設定されている。
次に、レシピ中のプロセスパラメータにCPアイテムを設定し埋め込む(ステップS13)。具体的には、CP処理対象のレシピをレシピ記憶部21から読み出して、そのレシピ中のCP処理対象のステップにおけるレシピ画面を表示部32に表示し(レシピ表示ステップ)、その状態で、表示したレシピ中のプロセスパラメータのうち、CP設定(つまり、CPアイテムで置換)したいプロセスパラメータの項目を操作者が選択する。
選択されるとともに、そのレシピのコンビネーション情報部21aに登録されているCPファイル名(「Test」)のCPファイルがCP記憶部22bから読みだされ、表示部32に表示される。こうして、そのCPファイルに登録されているCPアイテムを選択できるCPアイテム選択画面が表示部32に表示される(パラメータ項目名表示ステップ)。
温度」を選択する。そして、CPアイテム選択画面において、CPアイテムとして、「CP Temp−001」を操作者が選択すると、該選択されたパラメータ項目名「CP Temp−001」が、当該レシピ中の当該ステップにおける当該プロセスパラメータに対して埋め込まれる。こうして、CPアイテムが設定されたレシピは、レシピ記憶部21に保存される。
また、主制御部11は、当該ジョブで指定されたレシピに対応付け(コンビネーション)されたCPファイルを、そのレシピのコンビネーション情報部21aに登録されたCPファイル名に基づき検索し、該検索したCPファイルの中から、当該ジョブで指定されたプロセス条件である製品基板の枚数と合致するCPテーブルを抽出する(ステップS16)。
そして、該抽出したCPテーブルを主制御部11のメモリへダウンロードする(ステップS17)。
メータを抽出したものである。
メータで置換する。
また、「Test」レシピの「DEPO」ステップにおける「温度」のプロセスパラメータに「CP Temp−001」が設定されている場合は、該「CP Temp−001」が設定された「Test」レシピ中のプロセスパラメータを、CPテーブル中のCPアイテム「CP Temp−001」に対応するプロセスパラメータである「810」で置換する。
そして、レシピのプロセスパラメータ置換後、そのレシピを実行する(ステップS19)。
また、上述の実施例では、1つのレシピに対して1つのCPファイルをコンビネーションする形態について示したが、この形態に限定されない。例えば、複数種類のレシピに対して1つのCPファイルをコンビネーションするように構成してもよい。逆に、1つのレシピに対し複数種類のCPファイルをコンビネーションするように構成してもよい。
また、上述の実施例では、プロセス条件として製品基板の枚数を用いたが、プロセスに応じて、ダミー基板と製品基板の枚数を合計した基板の枚数をプロセス条件とすることも可能である。
(4)レシピ実行時において、製品基板枚数や累積膜厚等のプロセス条件に適合するプロセスパラメータを、基板処理装置が自動的に選択するようにしたので、操作者によるプロセスパラメータの設定ミスを抑制できる。また、製品基板枚数や累積膜厚等変動に対応する膜厚制御が容易となり、製品基板のロットアウト発生を抑制できる。
(5)CPファイルのプロセスパラメータを、複数のレシピや、複数の処理ステップにおいて共用することが容易となる。
(6)予めレシピ中のプロセスパラメータにCPアイテム名を設定しておき、レシピ実行時において、CPアイテム名が設定されたレシピ中のプロセスパラメータを、CPファイル中の当該CPアイテムのプロセスパラメータで置換するようにしたので、レシピ中のプロセスパラメータをCPファイル中のプロセスパラメータで置換することを容易に実現できる。
(7)CPファイル中の複数のCPテーブルのうち、プロセス条件に適合するCPテーブルのみを主制御部のメモリへダウンロードし、プロセス条件に適合しないCPテーブルはダウンロードしないように構成したので、ジョブ実行の時間を短縮できる。
前記実施形態で述べた第1実施例に係るVP処理や第2実施例に係るCP処理を行うための制御部や操作部や表示部や記憶部は、基板処理装置に専用のものでなくてもよく、例えばパソコン(パーソナルコンピュータ)等の一般的なコンピュータシステムを用いて実現することができる。例えば、汎用コンピュータに、上述した処理を実行するためのプログラムを格納した記録媒体(フレキシブルディスク、CD−ROM、USBメモリ等)から当該プログラムをインストールすることにより、上述の処理を実行する制御部や操作部や表示部や記憶部を構成することができる。
em)の制御下、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、上述の処理を実行することができる。
セットアップ作業では、顧客仕様に即した性能を達成するまで、プロセス条件を何度も変更して基板処理が繰り返される。実際には、顧客仕様の変更などもあり、一回の基板処理で顧客仕様に到達するのは極めて困難である。この場合、セットアップ時に製品基板を使用することはなく、ダミー基板で代用して基板処理を行う。尚、セットアップ作業における基板処理について、製品基板ではなく、ダミー基板で代用されるだけで基板移載方法やプロセス条件などは基板処理時と同様であるため、説明は省略する。
であってもよい。
また、縦型以外の他の型式であってもよく、例えば枚葉式や多枚葉式の基板処理装置であってもよい。特に、複数の基板が載置される基板載置部(サセプタ)を備える多枚葉式の基板処理装置に適用するのが好ましい。
(付記1)
本発明の一態様は、
複数の基板が搭載された基板保持具を収容し、前記基板保持具に搭載された複数の基板を処理する処理室と、
基板を処理するためのプロセスパラメータを含む第1のレシピを記憶するレシピ記憶部と、
基板を処理するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記基板保持具に搭載される基板枚数に応じて対応付けて条件テーブルとし、該基板枚数に応じた条件テーブルを複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するプロセスパラメータファイル記憶部と、
基板を処理するためのレシピを実行する制御部と、
操作者からの指示を受け付ける操作部と、
各種情報を表示する表示部と、を備えた基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記レシピ記憶部に記憶された第1のレシピ中のプロセスパラメータを前記表示部に表示するレシピ表示ステップと、
前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を前記表示部に表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記操作部からの操作者の指示に基づき、前記表示された第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記表示されたパラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピを表示した状態で、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを少なくとも1回実行して第2のレシピを作成するステップと、
前記基板保持具に搭載される基板枚数が指定された場合に、前記第2のレシピと、前記指定された基板枚数に対応する前記条件テーブルとを、前記制御部へダウンロードするダウンロードステップと、
前記ダウンロードされた第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記ダウンロードされた条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、
を行う基板処理装置。
本発明の他の態様は、
複数の基板が搭載された基板保持具を収容し、前記基板保持具に搭載された複数の基板を処理する処理室と、
基板を処理するためのプロセスパラメータを含む第1のレシピを記憶するレシピ記憶部と、
基板を処理するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記基板保持具に搭載される基板枚数に応じて対応付けて条件テーブルとし、該基板枚数に応じた条件テーブルを複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するプロセスパラメータファイル記憶部と、
基板を処理するためのレシピを実行する制御部と、
操作者からの指示を受け付ける操作部と、
各種情報を表示する表示部と、を備える基板処理装置を用いた半導体装置の製造方法であって、
前記レシピ記憶部に記憶された第1のレシピ中のプロセスパラメータを前記表示部に表示するレシピ表示ステップと、
前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を前記表示部に表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記操作部からの操作者の指示に基づき、前記表示された第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記表示されたパラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピを表示した状態で、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを少なくとも1回実行して第2のレシピを作成するステップと、
前記基板保持具に搭載される基板枚数が指定された場合に、前記第2のレシピと、前記指定された基板枚数に対応する前記条件テーブルとを、前記制御部へダウンロードするダウンロードステップと、
前記ダウンロードされた第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記ダウンロードされた条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、
前記指定された枚数の基板が搭載された基板保持具を前記処理室へ収容して、前記第3のレシピを実行するステップと、を備える半導体装置の製造方法。
本発明のさらに他の態様は、
複数の基板が搭載された基板保持具を収容し、前記基板保持具に搭載された複数の基板を処理する処理室と、
基板を処理するためのプロセスパラメータを含む第1のレシピを記憶するレシピ記憶部と、
基板を処理するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記基板保持具に搭載される基板枚数に応じて対応付けて条件テーブルとし、該基板枚数に応じた条件テーブルを複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するプロセスパラメータファイル記憶部と、
基板を処理するためのレシピを実行する制御部と、
操作者からの指示を受け付ける操作部と、
各種情報を表示する表示部と、を備える基板処理装置で使用されるレシピの作成方法であって、
前記レシピ記憶部に記憶された第1のレシピ中のプロセスパラメータを前記表示部に表示するレシピ表示ステップと、
前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を前記表示部に表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記操作部からの操作者の指示に基づき、前記表示された第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記表示されたパラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピを表示した状態で、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを少なくとも1回実行して第2のレシピを作成するステップと、
前記基板保持具に搭載される基板枚数が指定された場合に、前記第2のレシピと、前記指定された基板枚数に対応する前記条件テーブルとを、前記制御部へダウンロードするダウンロードステップと、
前記ダウンロードされた第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記ダウンロードされた条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、を備えるレシピの作成方法。
本発明のさらに他の態様は、
複数の基板が搭載された基板保持具を収容し、前記基板保持具に搭載された複数の基板を処理する処理室と、
基板を処理するためのプロセスパラメータを含む第1のレシピを記憶するレシピ記憶部と、
基板を処理するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記基板保持具に搭載される基板枚数に応じて対応付けて条件テーブルとし、該基板枚数に応じた条件テーブルを複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するプロセスパラメータファイル記憶部と、
操作者からの指示を受け付ける操作部と、
各種情報を表示する表示部と、を備える基板処理装置で使用されるレシピの作成プログラムであって、
前記レシピ記憶部に記憶された第1のレシピ中のプロセスパラメータを前記表示部に表示するレシピ表示ステップと、
前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を前記表示部に表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記操作部からの操作者の指示に基づき、前記表示された第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記表示されたパラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピを表示した状態で、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第2のレシピを作成するステップと、を備えるレシピの作成プログラム。
好ましくは、付記4のレシピの作成プログラムであって、
前記基板保持具に搭載される基板枚数が指定された場合に、前記第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記指定された基板枚数に対応する前記条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップを更に備えるレシピの作成プログラム。
本発明のさらに他の態様は、
基板を処理する処理室と、
基板を処理するためのプロセスパラメータを含む第1のレシピを記憶するレシピ記憶部と、
基板を処理するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名との組み合わせを、複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するプロセスパラメータファイル記憶部と、
基板を処理するためのレシピを実行する制御部と、
操作者からの指示を受け付ける操作部と、
各種情報を表示する表示部と、を備えた基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記レシピ記憶部に記憶された第1のレシピ中のプロセスパラメータを前記表示部に表示するレシピ表示ステップと、
前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を前記表示部に表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記操作部からの操作者の指示に基づき、前記表示された第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記表示されたパラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピを表示した状態で、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第2のレシピを作成するステップと、
前記第2のレシピと、前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイルとを、前記制御部へダウンロードするダウンロードステップと、
前記ダウンロードされた第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記ダウンロードされたプロセスパラメータファイル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、
を行う基板処理装置。
本発明のさらに他の態様は、
基板を処理する処理室と、
基板を処理するためのプロセスパラメータを含む第1のレシピを記憶するレシピ記憶部と、
基板を処理するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名との組み合わせを、複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するプロセスパラメータファイル記憶部と、
基板を処理するためのレシピを実行する制御部と、
操作者からの指示を受け付ける操作部と、
各種情報を表示する表示部と、を備える基板処理装置を用いた半導体装置の製造方法であって、
前記レシピ記憶部に記憶された第1のレシピ中のプロセスパラメータを前記表示部に表示するレシピ表示ステップと、
前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を前記表示部に表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記操作部からの操作者の指示に基づき、前記表示された第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記表示されたパラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピを表示した状態で、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第2のレシピを作成するステップと、
前記第2のレシピと、前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイルとを、前記制御部へダウンロードするダウンロードステップと、
前記ダウンロードされた第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記ダウンロードされたプロセスパラメータファイル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、
前記複数の基板が搭載された基板保持具を前記処理室へ収容して、前記第3のレシピを実行するステップと、を備える半導体装置の製造方法。
本発明のさらに他の態様は、
基板を処理する処理室と、
基板を処理するためのプロセスパラメータを含む第1のレシピを記憶するレシピ記憶部と、
基板を処理するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名との組み合わせを、複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するプロセスパラメータファイル記憶部と、
基板を処理するためのレシピを実行する制御部と、
操作者からの指示を受け付ける操作部と、
各種情報を表示する表示部と、を備える基板処理装置で使用するレシピの作成方法であって、
前記レシピ記憶部に記憶された第1のレシピ中のプロセスパラメータを前記表示部に表示するレシピ表示ステップと、
前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を前記表示部に表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記操作部からの操作者の指示に基づき、前記表示された第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記表示されたパラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピを表示した状態で、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第2のレシピを作成するステップと、
前記第2のレシピと、前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイルとを、前記制御部へダウンロードするダウンロードステップと、
前記ダウンロードされた第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記ダウンロードされたプロセスパラメータファイル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、を備えるレシピの作成方法。
本発明のさらに他の態様は、
複数の基板が搭載された基板保持具を収容し、前記基板保持具に搭載された複数の基板を処理する処理室と、
基板を処理するためのプロセスパラメータを含む第1のレシピを記憶するレシピ記憶部と、
基板を処理するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記基板保持具に搭載される基板枚数に応じて対応付けて条件テーブルとし、該基板枚数に応じた条件テーブルを複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するプロセスパラメータファイル記憶部と、
基板を処理するためのレシピを実行する制御部と、を備えた基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名で置換し、該パラメータ項目名に置換したレシピを第2のレシピとする第2のレシピの作成ステップと、
前記基板保持具に搭載される基板枚数が指定された場合に、前記第2のレシピと、前記指定された基板枚数に対応する前記条件テーブルとを、前記制御部へダウンロードするダウンロードステップと、
前記ダウンロードされた第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記ダウンロードされた条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、
を行う基板処理装置。
本発明のさらに他の態様は、
第1のレシピを記憶するステップと、
基板を処理するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記基板保持具に搭載される基板枚数に応じて対応付けて条件テーブルとし、該基板枚数に応じた条件テーブルを複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するステップと、
前記記憶した第1のレシピ中のプロセスパラメータを表示するレシピ表示ステップと、
前記記憶したプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記表示された第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記表示されたパラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピを表示した状態で、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第2のレシピを作成するステップと、
処理する基板枚数が指定された場合に、前記第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、
前記指定された枚数の基板に対して、前記第3のレシピを実行するステップと、を備える半導体装置の製造方法。
本発明のさらに他の態様は、
第1のレシピを記憶するステップと、
基板を処理するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記基板保持具に搭載される基板枚数に応じて対応付けて条件テーブルとし、該基板枚数に応じた条件テーブルを複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するステップと、
前記記憶した第1のレシピ中のプロセスパラメータを表示するレシピ表示ステップと、
前記記憶したプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記表示された第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記表示されたパラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピを表示した状態で、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第2のレシピを作成するステップと、
処理する基板枚数が指定された場合に、前記第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、を備えるレシピの作成方法。
本発明のさらに他の態様は、
第1のレシピを記憶するステップと、
基板を処理するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記基板保持具に搭載される基板枚数に応じて対応付けて条件テーブルとし、該基板枚数に応じた条件テーブルを複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するステップと、
前記記憶した第1のレシピ中のプロセスパラメータを表示するレシピ表示ステップと、
前記記憶したプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記表示された第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記表示されたパラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピを表示した状態で、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第2のレシピを作成するステップと、を備えるレシピの作成プログラム。
好ましくは、付記12のレシピの作成プログラムであって、
処理する基板枚数が指定された場合に、前記第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップを更に備えるレシピの作成プログラム。
本発明のさらに他の態様は、
複数の基板が搭載された基板保持具を収容し、前記基板保持具に搭載された複数の基板を処理する処理室と、
基板を処理するためのプロセスパラメータを含む第1のレシピを記憶するレシピ記憶部と、
基板を処理するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記基板保持具に搭載される基板枚数に応じて対応付けて条件テーブルとし、該基板枚数に応じた条件テーブルを複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するプロセスパラメータファイル記憶部と、
基板を処理するためのレシピを実行する制御部と、を備えた基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名で置換し、該パラメータ項目名に置換したレシピを第2のレシピとする第2のレシピの作成ステップと、
前記基板保持具に搭載される基板枚数が指定された場合に、前記第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記指定された基板枚数に対応する前記条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、
を行う基板処理装置。
本発明のさらに他の態様は、
第1のレシピ中のプロセスパラメータを表示するレシピ表示ステップと、
プロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記表示されたパラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記第1のレシピを表示した状態で、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第2のレシピを作成するステップと、
を備えるレシピの作成方法。
好ましくは、付記15のレシピの作成方法であって、
前記レシピ開始時に、所定の処理条件が指定された場合に、前記第2のレシピと、前記プロセスパラメータファイルとを、ダウンロードするダウンロードステップと、
前記ダウンロードされた前記第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記ダウンロードされたプロセスパラメータファイル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、を備えるレシピの作成方法。
本発明のさらに他の態様は、
第1のレシピ中のプロセスパラメータを表示するレシピ表示ステップと、
プロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記表示されたパラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記第1のレシピを表示した状態で、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第2のレシピを作成するステップと、
を備えるレシピ作成プログラム。
好ましくは、付記17のレシピの作成プログラムであって、
前記第2のレシピと、前記プロセスパラメータファイルとを、ダウンロードするダウンロードステップと、
前記ダウンロードされた前記第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記ダウンロードされたプロセスパラメータファイル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、を備えるレシピの作成プログラム。
本発明の更に他の態様は、
複数の基板が搭載された基板保持具を収容し、前記基板保持具に搭載された複数の基板を処理する処理室と、
基板を処理するためのプロセスパラメータを含む第1のレシピを記憶するレシピ記憶部と、
基板を処理するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記基板保持具に搭載される基板枚数に応じて対応付けて第1条件テーブル及び前記基板に堆積した累積膜厚値に応じて対応付けた第2条件テーブルとし、該基板枚数に応じた第1条件テーブル及び前記累積膜厚値に応じた第2条件テーブルを複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するプロセスパラメータファイル記憶部と、
基板を処理するためのレシピを実行する制御部と、
操作者からの指示を受け付ける操作部と、
各種情報を表示する表示部と、を備えた基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記レシピ記憶部に記憶された第1のレシピ中のプロセスパラメータを前記表示部に表示するレシピ表示ステップと、
前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を前記表示部に表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記操作部からの操作者の指示に基づき、前記表示された第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記表示されたパラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピを表示した状態で、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを少なくとも1回実行して第2のレシピを作成するステップと、
前記基板保持具に搭載される基板枚数及び累積膜厚値が指定された場合に、前記第2のレシピと、前記指定された基板枚数に対応する前記第1条件テーブル及び前記基板保持具及び前記処理室の内壁に堆積した前記累積膜厚値に対応する前記第2条件テーブルとを、前記制御部へダウンロードするダウンロードステップと、
前記ダウンロードされた第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記ダウンロードされた前記第1条件テーブル及び前記第2条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、
を行う基板処理装置。
本発明の更に他の態様は、
複数の基板が搭載された基板保持具を収容し、前記基板保持具に搭載された複数の基板を処理する処理室と、
基板を処理するためのプロセスパラメータを含む第1のレシピを記憶するレシピ記憶部と、
基板を処理するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記基板保持具に搭載される基板枚数に応じて対応付けて第1条件テーブル及び前記基板に堆積した累積膜厚値に応じて対応付けた第2条件テーブルとし、該基板枚数に応じた第1条件テーブル及び前記累積膜厚値に応じた第2条件テーブルを複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するプロセスパラメータファイル記憶部と、
基板を処理するためのレシピを実行する制御部と、
操作者からの指示を受け付ける操作部と、
各種情報を表示する表示部と、を備えた基板処理装置を用いた半導体装置の製造方法であって、
前記制御部は、
前記レシピ記憶部に記憶された第1のレシピ中のプロセスパラメータを前記表示部に表示するレシピ表示ステップと、
前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を前記表示部に表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記操作部からの操作者の指示に基づき、前記表示された第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記表示されたパラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピを表示した状態で、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを少なくとも1回実行して第2のレシピを作成するステップと、
前記基板保持具に搭載される基板枚数及び累積膜厚値が指定された場合に、前記第2のレシピと、前記指定された基板枚数に対応する前記第1条件テーブル及び前記基板保持具及び前記処理室の内壁に堆積した累積膜厚値に対応する前記第2条件テーブルとを、前記制御部へダウンロードするダウンロードステップと、
前記ダウンロードされた第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記ダウンロードされた前記第1条件テーブル及び前記第2条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、
を行う半導体装置の製造方法。
第1のレシピ中のプロセスパラメータを表示するレシピ表示ステップと、
プロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を前記表示部に表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記表示されたパラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピを表示した状態で、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを少なくとも1回実行して第2のレシピを作成するステップと、
を備えたレシピ作成方法。
所定の処理条件、例えば、基板保持具に搭載される基板枚数及び前記基板保持具及び前記処理室の内壁に堆積した累積膜厚値が指定された場合に、前記第2のレシピと、前記指定された基板枚数に対応する第1条件テーブル及び第2条件テーブルとを、ダウンロードするダウンロードステップと、
前記ダウンロードされた第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記ダウンロードされた前記第1条件テーブル及び前記第2条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、
を行うレシピ作成方法。
113…フロントシャッタ、114…ロードポート、115…ボートエレベータ、116…支柱、117…棚板、118…ポッド搬送装置、119…サブ筐体、120…ウエハ搬入搬出口、121…ポッドオープナ、122…載置台、123…キャップ着脱機構、124…移載室、125…ウエハ移載機構、128…アーム、133…クリーンエア、134…クリーンユニット、142…ウエハ搬入搬出開口、147…炉口シャッタ、200…ウ
エハ(基板)、202…処理炉、217…ボート(基板保持具)、219…シールキャップ。
Claims (6)
- 複数の基板が搭載された基板保持具を収容し、前記基板保持具に搭載された複数の基板を処理する処理室と、
基板を処理するためのプロセスパラメータを含む第1のレシピを記憶するレシピ記憶部と、
前記第1のレシピを実行するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記処理室で処理される基板枚数に応じて対応付けた第1条件テーブル及び前記基板保持具及び前記処理室の内壁に堆積した累積膜厚値に応じて対応付けた第2条件テーブルとしてそれぞれ設定し、該基板枚数に応じた第1条件テーブル及び前記累積膜厚値に応じた第2条件テーブルを複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するプロセスパラメータファイル記憶部と、
前記第1のレシピを実行する制御部と、
各種情報を表示する表示部と、を備えた基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記レシピ記憶部に記憶された第1のレシピ中のプロセスパラメータを前記表示部に表示するレシピ表示ステップと、
前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を前記表示部に表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記第1のレシピ中のプロセスパラメータを、前記パラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピ表示ステップと、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第2のレシピを作成するステップと、
前記基板保持具に搭載される基板枚数及び前記累積膜厚値が指定された場合に、前記第2のレシピと、前記指定された基板枚数に対応する前記第1条件テーブル及び前記累積膜厚値に対応する前記第2条件テーブルを、前記制御部へダウンロードするダウンロードステップと、
前記ダウンロードされた第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記ダウンロードされた第1条件テーブル及び第2条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、
を行う基板処理装置。 - 基板を処理するための第1のレシピ中のプロセスパラメータを表示するレシピ表示ステップと、
レシピを実行するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、処理される基板枚数に応じて対応付けた第1条件テーブル及び前記基板を保持する基板保持具及び前記処理室の内壁に堆積した累積膜厚値に応じて対応付けた第2条件テーブル中のパラメータ項目名を表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記プロセスパラメータを、前記パラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピ表示ステップと、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第2のレシピを作成するステップと、
前記基板保持具に搭載される基板枚数及び累積膜厚値が指定された場合に、前記第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記第1条件テーブル及び前記第2条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、
前記第3のレシピを実行するステップと、
を備える半導体装置の製造方法。 - 基板を処理するための第1のレシピ中のプロセスパラメータを表示するレシピ表示ステップと、
レシピを実行するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、処理される基板枚数に応じて対応付けた第1条件テーブル及び前記基板を保持する基板保持具及び前記処理室の内壁に堆積した累積膜厚値に応じて対応付けた第2条件テーブル中のパラメータ項目名を表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記プロセスパラメータを、前記パラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピ表示ステップと、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第2のレシピを作成するステップと、
前記基板保持具に搭載される基板枚数及び累積膜厚値が指定された場合に、前記第2のレシピ中のパラメータ項目名を、前記第1条件テーブル及び前記第2条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第3のレシピを作成するステップと、
を備えるレシピの作成方法。 - ダミー基板を含む基板を処理する処理室と、
前記基板を処理するためのプロセスレシピを記憶するレシピ記憶部と、
前記プロセスレシピを実行するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記ダミー基板の累積膜厚に応じて対応付けて条件テーブルとし、前記ダミー基板の累積膜厚に応じた条件テーブルを複数含むプロセスパラメータファイルを記憶するプロセスパラメータファイル記憶部と、
前記プロセスレシピを実行する制御部と、
各種情報を表示する表示部と、を備えた基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記レシピ記憶部に記憶されたプロセスレシピ中のプロセスパラメータを前記表示部に表示するレシピ表示ステップと、
前記プロセスパラメータファイル記憶部に記憶されたプロセスパラメータファイル中のパラメータ項目名を前記表示部に表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記プロセスパラメータを、前記パラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピ表示ステップと、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第1のレシピを作成するステップと、
前記ダミー基板の累積膜厚に応じて、前記第1のレシピと、前記条件テーブルとを、前記制御部へダウンロードするダウンロードステップと、
前記ダウンロードされた第1のレシピ中のパラメータ項目名を、前記ダウンロードされた条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第2のレシピを作成するステップと、
を行う基板処理装置。 - ダミー基板を含む基板を処理するためのレシピ中のプロセスパラメータを表示するレシピ表示ステップと、
レシピを実行するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記ダミー基板の累積膜厚に応じて対応付けた条件テーブル中のパラメータ項目名を表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記プロセスパラメータを、前記パラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピ表示ステップと、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第1のレシピを作成するステップと、
前記ダミー基板の累積膜厚に応じて、前記第1のレシピ中のパラメータ項目名を、前記条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第2のレシピを作成するステップと、
前記第2のレシピを実行するステップと、
を備える半導体装置の製造方法。 - ダミー基板を含む基板を処理するためのレシピ中のプロセスパラメータを表示するレシピ表示ステップと、
レシピを実行するためのプロセスパラメータと、該プロセスパラメータの項目名であるパラメータ項目名とを、前記ダミー基板の累積膜厚に応じて対応付けた条件テーブル中のパラメータ項目名を表示するパラメータ項目名表示ステップと、
前記プロセスパラメータを、前記パラメータ項目名で置換するレシピパラメータ置換ステップと、
前記レシピ表示ステップと、前記パラメータ項目名表示ステップと、前記レシピパラメータ置換ステップとを実行して第1のレシピを作成するステップと、
前記ダミー基板の累積膜厚に応じて、前記第1のレシピ中のパラメータ項目名を、前記条件テーブル中のプロセスパラメータで置換して、第2のレシピを作成するステップと、
を備えるレシピの作成方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013159327A JP6301083B2 (ja) | 2012-09-12 | 2013-07-31 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及びレシピの作成方法 |
US14/022,860 US9690879B2 (en) | 2012-09-12 | 2013-09-10 | Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device, and method of generating recipe |
TW102132793A TWI524459B (zh) | 2012-09-12 | 2013-09-11 | A substrate processing apparatus, a manufacturing method of a semiconductor device, and a method of forming the same |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012200463 | 2012-09-12 | ||
JP2012200463 | 2012-09-12 | ||
JP2013159327A JP6301083B2 (ja) | 2012-09-12 | 2013-07-31 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及びレシピの作成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014075574A JP2014075574A (ja) | 2014-04-24 |
JP6301083B2 true JP6301083B2 (ja) | 2018-03-28 |
Family
ID=50234119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013159327A Active JP6301083B2 (ja) | 2012-09-12 | 2013-07-31 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及びレシピの作成方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9690879B2 (ja) |
JP (1) | JP6301083B2 (ja) |
TW (1) | TWI524459B (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10541163B2 (en) * | 2014-01-20 | 2020-01-21 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing method and substrate processing apparatus |
US20160054731A1 (en) * | 2014-08-19 | 2016-02-25 | Applied Materials, Inc. | Systems, apparatus, and methods for processing recipe protection and security |
CN108885992B (zh) * | 2016-03-31 | 2023-08-01 | 株式会社国际电气 | 半导体器件的制造方法、衬底装填方法及记录介质 |
WO2018182502A1 (en) * | 2017-03-31 | 2018-10-04 | Neitas Pte. Ltd. | Information processing device |
WO2018182503A1 (en) * | 2017-03-31 | 2018-10-04 | Neitas Pte. Ltd. | Information processing device |
CN111033714B (zh) * | 2017-09-27 | 2023-12-29 | 株式会社国际电气 | 基板处理装置、半导体器件的制造方法及记录介质 |
JP7174581B2 (ja) * | 2018-09-20 | 2022-11-17 | 株式会社Screenホールディングス | レシピ表示装置、レシピ表示方法、およびレシピ表示プログラム |
JP7399012B2 (ja) * | 2020-03-30 | 2023-12-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム、基板処理方法、および制御装置 |
CN111651418B (zh) * | 2020-05-29 | 2022-03-08 | 腾讯科技(深圳)有限公司 | 一种文档内容下载方法、装置、计算机设备和存储介质 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06250921A (ja) * | 1993-02-22 | 1994-09-09 | Sharp Corp | アクセス装置 |
JP3985922B2 (ja) * | 1998-10-22 | 2007-10-03 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置 |
JP4187229B2 (ja) * | 1999-07-05 | 2008-11-26 | キヤノン株式会社 | 露光装置およびパラメータ変更方法 |
US6415193B1 (en) * | 1999-07-08 | 2002-07-02 | Fabcentric, Inc. | Recipe editor for editing and creating process recipes with parameter-level semiconductor-manufacturing equipment |
JP2001144019A (ja) * | 1999-11-10 | 2001-05-25 | Tokyo Electron Ltd | バッチ式熱処理装置 |
JP3400996B1 (ja) * | 2001-11-02 | 2003-04-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置及び熱処理方法 |
EP1416523B1 (en) * | 2001-08-08 | 2011-04-06 | Tokyo Electron Limited | Heat treatment method and heat treatment device |
JP2003051497A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-21 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理方法および熱処理装置 |
JP4884621B2 (ja) | 2001-09-28 | 2012-02-29 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置、半導体製造方法、半導体製造装置のメンテナンス方法 |
US6694210B1 (en) * | 2002-08-08 | 2004-02-17 | Applied Materials, Inc. | Process recipe modification in an integrated circuit fabrication apparatus |
WO2005010970A1 (ja) * | 2003-07-28 | 2005-02-03 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2005093747A (ja) | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体処理装置 |
US7369913B2 (en) * | 2004-04-02 | 2008-05-06 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Recipe editor and controller |
US7292906B2 (en) * | 2004-07-14 | 2007-11-06 | Tokyo Electron Limited | Formula-based run-to-run control |
JP4664630B2 (ja) * | 2004-07-22 | 2011-04-06 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造装置に対する自動レシピ作成装置及び作成方法 |
US8510790B2 (en) * | 2007-03-12 | 2013-08-13 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus |
JP2009272497A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Hitachi High-Technologies Corp | レシピパラメータ管理装置およびレシピパラメータ管理方法 |
JP2010056367A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Panasonic Corp | 半導体製造装置 |
-
2013
- 2013-07-31 JP JP2013159327A patent/JP6301083B2/ja active Active
- 2013-09-10 US US14/022,860 patent/US9690879B2/en active Active
- 2013-09-11 TW TW102132793A patent/TWI524459B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014075574A (ja) | 2014-04-24 |
US9690879B2 (en) | 2017-06-27 |
TW201428877A (zh) | 2014-07-16 |
TWI524459B (zh) | 2016-03-01 |
US20140074277A1 (en) | 2014-03-13 |
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