JP6299959B2 - 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 - Google Patents

液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 Download PDF

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Description

本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置に関する。
液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドは、液体としてインクを噴射するヘッド本体と、ヘッド本体を位置決めした状態で固定する固定板と、固定板の上に重ねるように取り付けられるヘッドカバーと、を具備するものがある（特許文献１参照）。
このようなヘッドカバーは、導電性接着剤により固定板と接着される。
ところで、ヘッド本体の液体噴射面側に流路内の圧力変動を吸収するための可撓部であるコンプライアンス部が設けられている場合には、コンプライアンス部にインクや接着剤等の液体が付着するのを抑制しなければならない。
特開２０１１−１５６８４５号公報
コンプライアンス部にインクや接着剤が付着するとコンプライアンス部の機能が損なわれる。
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
本発明はこのような事情に鑑み、コンプライアンス部への液体の浸入を抑制した液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する流路が設けられた流路部材と、該流路部材に固定されて、前記流路部材におけるノズル開口が形成された液体噴射面側を封止する可撓性のコンプライアンス部を有するコンプライアンス基板と、前記流路部材の前記液体噴射面とは反対面側に固定された保持部材と、前記コンプライアンス基板の前記流路部材側の面とは反対側の面に第１接着剤によって接着されて、前記コンプライアンス部との間にコンプライアンス空間を形成する固定板と、を具備し、前記固定板は、前記コンプライアンス基板との接着面と同じ面側において、前記保持部材と第２接着剤によって接着されており、前記液体噴射面側から見た際に、長手方向の両側で前記固定板と前記保持部材が前記第２接着剤で接着されていると共に、前記長手方向の中央側で前記固定板と前記コンプライアンス基板とが前記第１接着剤で接着されており、前記第２接着剤の常温時のヤング率は、前記第１接着剤よりも小さいことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、流路部材の液体噴射面側に設けたコンプライアンス部との間にコンプライアンス空間を形成するように固定板を設けるので、コンプライアンス空間およびコンプライアンス部へのインクの侵入を抑制することができる。また、固定板は、固定板の長手方向の両側では第２接着剤により保持部材と、固定板の長手方向の中央側では第１接着剤によりコンプライアンス基板とそれぞれ接着され、第２接着剤のヤング率は第１接着剤のそれよりも小さいので、長手方向の反りによる応力を第２接着剤によって吸収して、反りを低減することができる。
また、本発明の他の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する流路が設けられた流路部材と、前記流路部材を収容する収容部を第１側に有する保持部材と、前記流路部材の前記第１側にて前記流路部材に固定されて、前記流路部材の前記第１側を封止する可撓性のコンプライアンス部を有するコンプライアンス基板と、前記コンプライアンス基板の前記第１側にて前記コンプライアンス基板に第１接着剤によって接着されて、前記コンプライアンス部との間にコンプライアンス空間を形成する固定板であって、前記保持部材の前記第１側にて前記保持部材に第２接着剤によって接着された固定板と、を具備し、前記第１側から見た際に、前記固定板の長手方向において、前記固定板と前記コンプライアンス基板とが前記第１接着剤によって接着される領域の両側に、前記固定板と前記保持部材とが前記第２接着剤によって接着される領域があり、前記第２接着剤の常温時のヤング率は、前記第１接着剤の常温時のヤング率よりも小さいことを特徴とする液体噴射ヘッド。
かかる態様では、流路部材の液体噴射面側に設けたコンプライアンス部との間にコンプライアンス空間を形成するように固定板を設けるので、コンプライアンス空間およびコンプライアンス部へのインクの侵入を抑制することができる。また、固定板は、固定板の長手方向の両側では第２接着剤により保持部材と、固定板の長手方向の中央側では第１接着剤によりコンプライアンス基板とそれぞれ接着され、第２接着剤のヤング率は第１接着剤のそれよりも小さいので、長手方向の反りによる応力を第２接着剤によって吸収して、反りを低減することができる。
ここで、前記固定板は、前記流路部材側に折り曲げられた折り曲げ部を有し、前記固定板の長辺側の前記折り曲げ部の長さは、短辺側の前記折り曲げ部よりも長く、前記第１接着剤は、前記長辺に沿って前記コンプライアンス部を囲むように設けられており、前記第２接着剤は、前記短辺に沿って設けられていることが好ましい。これによれば、長辺の折り曲げ部を長くすることで、第１接着剤によって一重に封止されているコンプライアンス部に液体が浸入するのを抑制することができると共に、短辺の折り曲げ部が短くて液体が浸入しようとしても、短辺側においては、コンプライアンス部は第１接着剤及び第２接着剤によって二重に封止されているので液体の浸入を抑制することができる。また、絞り加工等で平面度が出しにくい長辺と短辺との角部が第１接着剤及び第２接着剤によって二重
に封止されているので液体の浸入を抑制することができる。
また、前記流路部材と前記保持部材とが第３接着剤によって接着されており、前記第３接着剤は、前記流路部材と前記保持部材との間に連続する軌跡で形成されており、前記軌跡の内側には、前記コンプライアンス基板と前記固定板との間の前記コンプライアンス空間に連通する大気開放路が設けられており、前記大気開放路は、前記第１接着剤と前記第２接着剤との間に形成された部分を介さずに大気開放されていることが好ましい。これによれば、液体が第１接着剤を超えて侵入したとしても、大気開放路を介して液体がコンプライアンス空間内に浸入するのを抑制することができる。
また、前記流路部材には、前記流路内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、該圧力発生手段を保持する空間である保持部と、を具備し、前記コンプライアンス空間と、前記保持部とは、共通する大気解放口を介して大気開放されていることが好ましい。これによれば、保持部とコンプライアンス空間とを同じ大気開放口で大気開放させることで、大気開放口を液体噴射面から遠い位置に配置することが可能となる。
さらに、本発明の他の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する流路が設けられた流路部材と、該流路部材に固定されて、前記流路部材におけるノズル開口が形成された液体噴射面側を封止する可撓性のコンプライアンス部を有するコンプライアンス基板と、前記流路部材の前記液体噴射面とは反対面側に固定された保持部材と、前記コンプライアンス基板の前記流路部材側の面とは反対側の面に第１接着剤によって接着されて、前記コンプライアンス部との間にコンプライアンス空間を形成する固定板と、を具備し、前記固定板は、前記コンプライアンス基板との接着面と同じ面側において、前記保持部材と第２接着剤によって接着されており、前記第１接着剤により接着される前記固定板と前記コンプライアンス部との間隔は、前記第２接着剤により接着される前記固定板と前記保持部材との間隔よりも狭く、前記第１接着剤は、前記第２接着剤よりも、粘度が低いことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる態様では、固定板とコンプライアンス基板との隙間が狭い領域に粘度が比較的低い第１接着剤を用いることで、第１接着剤を薄く塗布しても固定板とコンプライアンス基板とを確実に接着することができ、液体がコンプライアンス空間内に侵入するのを抑制することができる。また、粘度が比較的低い第１接着剤の層を例えば転写により薄く形成することで、第１接着剤がはみ出してコンプライアンス部に付着するのを抑制して、第１接着剤がコンプライアンス部の変形を阻害するのを抑制することができる。さらに、固定板との隙間が広い領域に粘度が比較的高い第２接着剤を用いることで、固定板と保持部材とを確実に接着することができる。また、固定板の同じ面側で接着されるコンプライアンス基板と保持部材とについてそれぞれ固定板との間隔を異ならせているので、保持部材と固定板との間の流路部材やコンプライアンス基板の寸法公差が生じても設計が容易になる。
ここで、前記流路部材と前記保持部材とが第３接着剤によって接着されており、前記第３接着剤は、前記流路部材と前記保持部材との間に連続する軌跡で形成されており、前記軌跡の内側には、前記コンプライアンス基板と前記固定板との間の前記コンプライアンス空間に連通する大気開放路が設けられており、前記大気開放路は、前記第１接着剤と前記第２接着剤との間に形成された部分を介さずに大気開放されていることが好ましい。これによれば、液体が第２接着剤を超えて侵入したとしても、大気開放路を介して液体がコンプライアンス空間内に浸入するのを抑制することができる。
また、前記流路部材には、前記流路内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、該圧力発生手段を保持する空間である保持部と、を具備し、前記コンプライアンス空間と、前記保持部とは、共通する大気解放口を介して大気開放されていることが好ましい。これによれば、保持部とコンプライアンス空間とを同じ大気開放口で大気開放させることで、大気開放口を液体噴射面から遠い位置に配置することが可能となる。
また、前記固定板は、前記流路部材側に折り曲げられた折り曲げ部を有し、前記固定板の長辺側の前記折り曲げ部の長さは、短辺側の前記折り曲げ部よりも長く、前記第１接着剤は、前記長辺に沿って前記コンプライアンス部を囲むように設けられており、前記第２接着剤は、前記短辺に沿って設けられていることが好ましい。これによれば、長辺の折り曲げ部を長くすることで、第１接着剤によって一重に封止されているコンプライアンス部に液体が浸入するのを抑制することができると共に、短辺の折り曲げ部が短くて液体が浸入しようとしても、短辺側においては、コンプライアンス部は第１接着剤及び第２接着剤によって二重に封止されているので液体の浸入を抑制することができる。また、絞り加工等で平面度が出しにくい長辺と短辺との角部が第１接着剤及び第２接着剤によって二重に封止されているので液体の浸入を抑制することができる。
また、前記液体噴射面側から見た際に、長手方向の両側で前記固定板と前記保持部材が前記第２接着剤で接着されていると共に、前記長手方向の中央側で前記固定板と前記コンプライアンス基板とが前記第１接着剤で接着されており、前記第２接着剤の常温時のヤング率は、前記第１接着剤よりも小さいことが好ましい。これによれば、長手方向の反りによる応力を第２接着剤によって吸収して、反りを低減することができる。
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体の浸入を抑制すると共に接着不良を抑制した液体噴射装置を実現できる。
他の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する流路が設けられた流路部材と、該流路部材に固定されて、前記流路部材におけるノズル開口が形成された液体噴射面側を封止する可撓性のコンプライアンス部を有するコンプライアンス基板と、前記流路部材の前記液体噴射面とは反対面側に固定された保持部材と、前記コンプライアンス基板の前記流路部材側の面とは反対側の面に第１接着剤によって接着されて、前記コンプライアンス部との間にコンプライアンス空間を形成する固定板と、を具備し、前記固定板は、前記コンプライアンス基板との接着面と同じ面側において、前記保持部材と第２接着剤によって接着されており、前記液体噴射面側から見た際に、長手方向の両側で前記固定板と前記保持部材が前記第２接着剤で接着されていると共に、前記長手方向の中央側で前記固定板と前記コンプライアンス基板とが前記第１接着剤で接着されており、前記第２接着剤の常温時のヤング率は、前記第１接着剤よりも小さいことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、流路部材の液体噴射面側に設けたコンプライアンス部との間にコンプライアンス空間を形成するように固定板を設けるので、コンプライアンス空間およびコンプライアンス部へのインクの侵入を抑制することができる。また、固定板は、固定板の長手方向の両側では第２接着剤により保持部材と、固定板の長手方向の中央側では第１接着剤によりコンプライアンス基板とそれぞれ接着され、第２接着剤のヤング率は第１接着剤のそれよりも小さいので、長手方向の反りによる応力を第２接着剤によって吸収して、反りを低減することができる。
ここで、前記固定板は、前記流路部材側に折り曲げられた折り曲げ部を有し、前記固定板の長辺側の前記折り曲げ部の長さは、短辺側の前記折り曲げ部よりも長く、前記第１接着剤は、前記長辺に沿って前記コンプライアンス部を囲むように設けられており、前記第２接着剤は、前記短辺に沿って設けられていることが好ましい。これによれば、長辺の折り曲げ部を長くすることで、第１接着剤によって一重に封止されているコンプライアンス部に液体が浸入するのを抑制することができると共に、短辺の折り曲げ部が短くて液体が浸入しようとしても、短辺側においては、コンプライアンス部は第１接着剤及び第２接着剤によって二重に封止されているので液体の浸入を抑制することができる。また、絞り加工等で平面度が出しにくい長辺と短辺との角部が第１接着剤及び第２接着剤によって二重に封止されているので液体の浸入を抑制することができる。
また、前記第１接着剤により接着される前記固定板と前記コンプライアンス部との間隔は、前記第２接着剤により接着される前記固定板と前記保持部材との間隔よりも狭く、前記第１接着剤は、前記第２接着剤よりも、粘度が低いことが好ましい。これによれば、固定板との隙間が狭い領域に、粘度が比較的低い第１接着剤を用いることで、第１接着剤を薄く塗布しても固定板とコンプライアンス基板とを確実に接着することができ、液体がコンプライアンス空間内に侵入するのを抑制することができる。また、粘度が比較的低い第１接着剤の層を例えば転写により薄く形成することで、第１接着剤がはみ出してコンプライアンス部に付着するのを抑制して、第１接着剤がコンプライアンス部の変形を阻害するのを抑制することができる。さらに、固定板との隙間が広い領域に粘度が比較的高い第２接着剤を用いることで、固定板と保持部材とを確実に接着することができる。また、固定板の同じ面側で接着されるコンプライアンス基板と保持部材とについてそれぞれ固定板との間隔を異ならせているので、保持部材と固定板との間の流路部材やコンプライアンス基板の寸法公差が生じても設計が容易になる。
また、前記流路部材と前記保持部材とが第３接着剤によって接着されており、前記第３接着剤は、前記流路部材と前記保持部材との間に連続する軌跡で形成されており、前記軌跡の内側には、前記コンプライアンス基板と前記固定板との間の前記コンプライアンス空間に連通する大気開放路が設けられており、前記大気開放路は、前記第１接着剤と前記第２接着剤との間に形成された部分を介さずに大気開放されていることが好ましい。これによれば、液体が第１接着剤を超えて侵入したとしても、大気開放路を介して液体がコンプライアンス空間内に浸入するのを抑制することができる。
また、前記流路部材には、前記流路内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、該圧力発生手段を保持する空間である保持部と、を具備し、前記コンプライアンス空間と、前記保持部とは、共通する大気解放口を介して大気開放されていることが好ましい。これによれば、保持部とコンプライアンス空間とを同じ大気開放口で大気開放させることで、大気開放口を液体噴射面から遠い位置に配置することが可能となる。
また、上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する流路が設けられた流路部材と、該流路部材に固定されて、前記流路部材におけるノズル開口が形成された液体噴射面側を封止する可撓性のコンプライアンス部を有するコンプライアンス基板と、前記流路部材の前記液体噴射面とは反対面側に固定された保持部材と、前記コンプライアンス基板の前記流路部材側の面とは反対側の面に第１接着剤によって接着されて、前記コンプライアンス部との間にコンプライアンス空間を形成する固定板と、を具備し、前記固定板は、前記コンプライアンス基板との接着面と同じ面側において、前記保持部材と第２接着剤によって接着されており、前記第１接着剤により接着される前記固定板と前記コンプライアンス部との間隔は、前記第２接着剤により接着される前記固定板と前記保持部材との間隔よりも狭く、前記第１接着剤は、前記第２接着剤よりも、粘度が低いことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、固定板とコンプライアンス基板との隙間が狭い領域に粘度が比較的低い第１接着剤を用いることで、第１接着剤を薄く塗布しても固定板とコンプライアンス基板とを確実に接着することができ、液体がコンプライアンス空間内に侵入するのを抑制することができる。また、粘度が比較的低い第１接着剤の層を例えば転写により薄く形成することで、第１接着剤がはみ出してコンプライアンス部に付着するのを抑制して、第１接着剤がコンプライアンス部の変形を阻害するのを抑制することができる。さらに、固定板との隙間が広い領域に粘度が比較的高い第２接着剤を用いることで、固定板と保持部材とを確実に接着することができる。また、固定板の同じ面側で接着されるコンプライアンス基板と保持部材とについてそれぞれ固定板との間隔を異ならせているので、保持部材と固定板との間の流路部材やコンプライアンス基板の寸法公差が生じても設計が容易になる。
ここで、前記流路部材と前記保持部材とが第３接着剤によって接着されており、前記第３接着剤は、前記流路部材と前記保持部材との間に連続する軌跡で形成されており、前記軌跡の内側には、前記コンプライアンス基板と前記固定板との間の前記コンプライアンス空間に連通する大気開放路が設けられており、前記大気開放路は、前記第１接着剤と前記第２接着剤との間に形成された部分を介さずに大気開放されていることが好ましい。これによれば、液体が第２接着剤を超えて侵入したとしても、大気開放路を介して液体がコンプライアンス空間内に浸入するのを抑制することができる。
また、前記流路部材には、前記流路内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、該圧力発生手段を保持する空間である保持部と、を具備し、前記コンプライアンス空間と、前記保持部とは、共通する大気解放口を介して大気開放されていることが好ましい。これによれば、保持部とコンプライアンス空間とを同じ大気開放口で大気開放させることで、大気開放口を液体噴射面から遠い位置に配置することが可能となる。
また、前記固定板は、前記流路部材側に折り曲げられた折り曲げ部を有し、前記固定板の長辺側の前記折り曲げ部の長さは、短辺側の前記折り曲げ部よりも長く、前記第１接着剤は、前記長辺に沿って前記コンプライアンス部を囲むように設けられており、前記第２接着剤は、前記短辺に沿って設けられていることが好ましい。これによれば、長辺の折り曲げ部を長くすることで、第１接着剤によって一重に封止されているコンプライアンス部に液体が浸入するのを抑制することができると共に、短辺の折り曲げ部が短くて液体が浸入しようとしても、短辺側においては、コンプライアンス部は第１接着剤及び第２接着剤によって二重に封止されているので液体の浸入を抑制することができる。また、絞り加工等で平面度が出しにくい長辺と短辺との角部が第１接着剤及び第２接着剤によって二重に封止されているので液体の浸入を抑制することができる。
また、前記液体噴射面側から見た際に、長手方向の両側で前記固定板と前記保持部材が前記第２接着剤で接着されていると共に、前記長手方向の中央側で前記固定板と前記コンプライアンス基板とが前記第１接着剤で接着されており、前記第２接着剤の常温時のヤング率は、前記第１接着剤よりも小さいことが好ましい。これによれば、長手方向の反りによる応力を第２接着剤によって吸収して、反りを低減することができる。
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体の浸入を抑制すると共に接着不良を抑制した液体噴射装置を実現できる。
本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態１に係るヘッド本体の分解斜視図である。 本発明の実施形態１に係るヘッド本体の平面図である。 本発明の実施形態１に係るヘッド本体の断面図である。 本発明の実施形態１に係るヘッド本体の断面図である。 本発明の実施形態１に係るヘッド本体の断面図である。 本発明の実施形態１に係るヘッド本体の要部の平面図及び断面図である。 本発明の実施形態１に係る接着軌跡を示す平面図である。 本発明の一実施形態に係る記録装置の概略図である。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図であり、図３は、図２（ａ）のＡ−Ａ′線断面図である。
図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド２００は、液体としてインク滴を噴射するヘッド本体２１０と、ヘッド本体２１０にインクを供給する供給部材２２０と、供給部材２２０に保持された回路基板２５０と、回路基板２５０に接続された外部配線基板２６０と、固定板であるカバーヘッド２７０と、を具備する。
本実施形態のヘッド本体２１０は、詳しくは後述するが、インクを噴射するノズル開口２１が開口する液体噴射面２０ａが設けられている。本実施形態では、ヘッド本体２１０の液体噴射面２０ａに開口するノズル開口２１は、複数が並設されてノズル開口２１の列を構成している。ここで、ノズル開口２１が並設された方向を第１の方向Ｘと称する。また、本実施形態では、第１の方向Ｘに並設されたノズル開口２１の列は、第１の方向Ｘと直交する方向に２列設けられている。本実施形態では、第１の方向Ｘに直交する方向を第２の方向Ｙと称する。また、本実施形態では、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに直交する方向を第３の方向Ｚと称し、第３の方向Ｚにおいて供給部材２２０に対する液体噴射面２０ａ側をＺ１側、液体噴射面２０ａとは反対側をＺ２側と称する。
このようなヘッド本体２１０のノズル開口２１が開口する液体噴射面２０ａ側には、ノズル開口２１を露出した状態で保護するカバーヘッド２７０が固定されている。
また、ヘッド本体２１０の液体噴射面２０ａであるＺ１側とは反対側のＺ２側からは、配線基板１２１が引き出されている。配線基板１２１は、詳しくは後述するが、フレキシブル基板からなり、ヘッド本体２１０の詳しくは後述する圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００に接続されている。
供給部材２２０は、ヘッド本体２１０の液体噴射面２０ａであるＺ１側とは反対側のＺ２側に固定されている。本実施形態では、供給部材２２０に螺合される２つのネジ部材２８０によってヘッド本体２１０は供給部材２２０に固定されている。
供給部材２２０は、供給部材本体２２１と、供給部材本体２２１の両側面、本実施形態では、第２の方向Ｙの両側にそれぞれ設けられた第１蓋部材２２２と第２蓋部材２２３とを具備する。本実施形態では、第２の方向Ｙにおいて、第１蓋部材２２２が設けられた側をＹ１側、第２蓋部材２２３が設けられた側をＹ２側と称する。
供給部材２２０には、液体としてインクが貯留された液体貯留手段（図示なし）からヘッド本体２１０にインクを供給すると共に、ヘッド本体２１０からのインクを液体貯留手段に回収する液体流路４００が設けられている。本実施形態の液体流路４００は、供給流路４１０と回収流路４２０とを有し、供給流路４１０及び回収流路４２０には、インクを貯留する液体貯留手段が直接又はチューブを介して接続されている。
供給流路４１０は、液体貯留手段からのインクをヘッド本体２１０に供給する往路であり、供給部材２２０の第１の方向Ｘの一端部側に設けられている。
また、回収流路４２０は、ヘッド本体２１０からのインクを液体貯留手段に回収する復路であり、供給部材２２０の第１の方向Ｘの他端部側に設けられている。本実施形態では、第１の方向Ｘにおいて、供給流路４１０が設けられた一端部側をＸ１側と称し、回収流路４２０が設けられた他端部側をＸ２側と称する。
また、供給流路４１０には、インクに含まれる気泡やゴミなどの異物を除去するためのフィルター２２４が設けられている。液体貯留手段から供給されたインクは、フィルター２２４を通過して異物が除去されてヘッド本体２１０に供給される。
また、供給部材本体２２１には、第２の方向Ｙの一方面側に開口する第１空間部用凹部２２５と、第２の方向Ｙの他方面側に開口する第２空間部用凹部２２６とが設けられている。
供給部材２２０の第１空間部用凹部２２５の開口は、第１蓋部材２２２によって覆われており、第１空間部用凹部２２５と第１蓋部材２２２との間には第１空間部４３０が形成されている。
また、第２空間部用凹部２２６の開口は、第２蓋部材２２３によって覆われており、第２空間部用凹部２２６と第２蓋部材２２３との間には第２空間部４３１が形成されている。
そして、第２空間部４３１内に本実施形態のリジット基板である回路基板２５０が保持されている。また、供給部材２２０のヘッド本体２１０側、すなわちＺ１側には、第２空間部４３１とＺ１側の面とを連通する連通孔２２８が設けられている。ヘッド本体２１０の配線基板１２１は、連通孔２２８を挿通されて第２空間部４３１内で回路基板２５０と接続されている。
また、供給部材２２０のＺ２側には、第２空間部４３１と外部とを連通する外部配線接続孔２２９が設けられている。外部配線基板２６０は、外部配線接続孔２２９を挿通されて第２空間部４３１内で回路基板２５０と接続されている。なお、外部配線接続孔２２９は、図示しないシール部材によって密封されている。これにより、外部配線接続孔２２９からインクが侵入するのを抑制している。また、外部配線基板２６０は、フレキシブル基板（ＦＰＣ）等からなる。
このように外部の制御回路等からの印刷信号は外部配線基板２６０、回路基板２５０及び配線基板１２１を介して駆動信号としてヘッド本体２１０の圧力発生手段に供給される。
また、第１蓋部材２２２には、第１空間部４３０と外部とを連通する大気開放口２３１が設けられている。そして、供給部材本体２２１の第１空間部用凹部２２５と第２空間部用凹部２２６とを区画する壁部には、第１空間部４３０と第２空間部４３１とを連通する接続路２３０が設けられている。なお、接続路２３０は、大気開放口２３１よりも鉛直方向上側、すなわち、Ｚ２側に設けるのが好ましい。これは、大気開放口２３１から第１空間部４３０内にインクが浸入した際に、第１空間部４３０内のインクが接続路２３０を介して第２空間部４３１に侵入して、回路基板２５０、外部配線基板２６０及び配線基板１２１がインクによって破壊されるのを抑制するためである。すなわち、接続路２３０が大気開放口２３１よりも鉛直方向上側であるＺ２側に配置されることで、第１空間部４３０内に貯留されたインクの液面は大気開放口２３１よりも鉛直方向上になることがない。
そして、詳しくは後述するヘッド本体２１０の大気開放路５００、５１０は、連通孔２２８、第２空間部４３１、接続路２３０、第１空間部４３０及び大気開放口２３１を介して外部と連通して大気開放される。
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド２００では、図示しない液体貯留手段からのインクを供給部材２２０の供給流路４１０を介してヘッド本体２１０に供給され、ヘッド本体２１０の流路をノズル開口２１に至るまでインクで満たした後、記録信号に従い圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００を駆動させることでノズル開口２１からインク滴が噴射される。また、ヘッド本体２１０の内部に導入されたインクは、供給部材２２０の回収流路４２０に流出され、回収流路４２０を介して液体貯留手段に戻される。すなわち、液体貯留手段のインクは、供給流路４１０を介してヘッド本体２１０に供給され、ヘッド本体２１０から回収流路４２０を介して液体貯留手段に回収される、いわゆる循環が行われる。
ここで、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドに搭載されるヘッド本体についてさらに詳細に説明する。なお、図４は、ヘッド本体の分解斜視図であり、図５は、ヘッド本体の液体噴射面側からの平面図及び接着軌跡を示す図であり、図６は、図５のＢ−Ｂ′線断面図であり、図７は、図５のＣ−Ｃ′線断面図であり、図８は図５のＤ−Ｄ′線断面図である。また、図９は、流路形成基板及び保護基板の平面図及びそのＥ−Ｅ′線断面図であり、図１０は、接着軌跡を示す平面図である。
図示するように、ヘッド本体２１０は、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０、保持部材であるケース部材４０、コンプライアンス基板９１等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されて構成されている。
ヘッド本体２１０を構成する流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２が複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。この方向を圧力発生室１２の並設方向とも称し、第１の方向Ｘと一致する。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向は、第２の方向Ｙと一致する。なお、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された２列は、一方の圧力発生室１２の列に対して、他方の圧力発生室１２の列が第１の方向Ｘで隣り合う圧力発生室１２の間隔の半分だけ第１の方向Ｘにずれた位置に配置されている。これにより、詳しくは後述するノズル開口２１も同様に、ノズル開口２１の２列が半分の間隔だけ第１の方向Ｘにずれて配置されて、第１の方向Ｘの解像度を２倍にしている。もちろん、２列の圧力発生室１２の第１の方向Ｘの位置を同じ位置として、圧力発生室１２の列毎に異なるインクが供給されるようにしてもよい。また、本実施形態では、上述のように、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに直交する方向を第３の方向Ｚと称し、第３の方向Ｚを含む面内において液体噴射方向（後述する被噴射媒体である記録シートＳ側）はＺ１側、反対側はＺ２側となる。
流路形成基板１０の第３の方向Ｚの一方面、すなわち、Ｚ１側の面には連通板１５が接合されている。また、連通板１５のさらに第３の方向ＺのＺ１側には、ノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０が接合されている。本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口する第３の方向ＺのＺ１側が液体噴射面２０ａとなっている。
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。なお、ここで言う面積とは、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを有する面内方向における面積のことである。
また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。
第１マニホールド部１７は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側、すなわちＺ１側に開口して第３の方向Ｚの途中まで設けられている。
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通して第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。
一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側、すなわち、Ｚ２側には、振動板が形成されている。また、振動板上には、第１電極と圧電体層と第２電極とが順次積層されることで、本実施形態の圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００が構成されている。一般的には圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。
また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側、すなわちＺ２側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。保持部３１は、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター３００の列毎に第２の方向Ｙに２つ並んで形成されている。また、保護基板３０には、第２の方向Ｙで並設された２つの保持部３１の間に第３の方向Ｚに貫通する第１接続孔３２が設けられている。圧電アクチュエーター３００の電極から引き出されたリード電極９０の端部は、この第１接続孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と駆動ＩＣ等の駆動回路１２０を実装した配線基板１２１とが、第１接続孔３２内で電気的に接続されている。本実施形態では、流路形成基板１０、連通板１５及び保護基板３０が流路部材に相当する。もちろん、流路部材は特にこれに限定されず、流路部材として連通板１５を設けずに流路形成基板１０を連通板１５に相当する大きさで形成してもよく、流路部材としてさらに他の部材を設けるようにしてもよい。
また、図９に示すように、保護基板３０には、保持部３１と外部とを連通する第１大気開放路５００が設けられている。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００の列毎に設けられた２つの保持部３１は、保護基板３０の第１の方向ＸのＸ１側の端部において、第１大気開放路５００を介して互いに連通して設けられている。すなわち、本実施形態では、２つの保持部３１に対して、１つの第１大気開放路５００が設けられている。なお、２つの保持部３１を互いに連通させずに独立して設け、第１大気開放路５００を独立する保持部３１毎に個別に設けるようにしてもよい。
第１大気開放路５００は、本実施形態では、保持部３１に連通する第１凹部５０１と、第１凹部５０１に連通する第１貫通孔５０２と、第１貫通孔５０２に連通すると共に第１接続孔３２又は第２接続孔４３に連通する第２凹部５０３と、を具備する。
第１凹部５０１は、保護基板３０と流路形成基板１０との接合面に凹形状に形成されて一端が保持部３１に連通して設けられている。なお、第１凹部５０１は、本実施形態では、保護基板３０の第３の方向ＺのＺ１側に開口する溝によって形成されている。もちろん、第１凹部５０１は特にこれに限定されず、例えば、流路形成基板１０の保護基板３０側の面に開口する溝によって形成してもよい。また、第１凹部５０１は、流路形成基板１０に設けられた溝と保護基板３０に設けられた溝とによって形成されていてもよい。
第１貫通孔５０２は、一端が第１凹部５０１に連通すると共に、保護基板３０を厚さ方向である第３の方向Ｚに貫通して設けられている。第１貫通孔５０２は、本実施形態では、保護基板３０の第１の方向Ｘの一端部側、すなわち、Ｘ１側に第２の方向Ｙの一方側であるＹ２側に設けられている。
第２凹部５０３は、保護基板３０と詳しくは後述するケース部材４０との接合面に凹形状に形成されて、一端が第１貫通孔５０２に連通すると共に他端が第１接続孔３２又は第２接続孔４３に連通して設けられている。なお、第２凹部５０３は、本実施形態では、ケース部材４０の保護基板３０側の面に開口する溝によって形成されている。もちろん、第２凹部５０３はこれに限定されず、例えば、保護基板３０のケース部材４０側の面に開口する溝によって形成してもよい。また、第２凹部５０３は、ケース部材４０に設けられた溝と保護基板３０に設けられた溝とによって形成されてもいてもよい。なお、第２凹部５０３は、詳しくは後述する第２大気開放路５１０と連通する。
このような第１凹部５０１、第１貫通孔５０２及び第２凹部５０３で構成された第１大気開放路５００によって保持部３１は、第１接続孔３２又は第２接続孔４３と連通されている。そして、保持部３１に連通する第１大気開放路５００は、第１接続孔３２又は第２接続孔４３を介して供給部材２２０の連通孔２２８と連通される。この結果、保持部３１は、第１大気開放路５００、第１接続孔３２又は第２接続孔４３、供給部材２２０の連通孔２２８、第２空間部４３１、接続路２３０、第１空間部４３０及び大気開放口２３１を介して外部と連通して大気開放される。
また、図４、図６及び図７に示すように、保護基板３０及び連通板１５には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００を流路形成基板１０及び保護基板３０と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、保護基板３０に接合されると共に連通板１５に接合されている。具体的には、ケース部材４０は、Ｚ１側の面に開口して、連通板１５が収容される深さの凹形状を有する第１収容部４１ａを有する。また、第１収容部４１ａは、第２の方向Ｙの側面にも開口して設けられている。すなわち、第１収容部４１ａの第１の方向Ｘの両側には、Ｚ１側に突出する足部４５が設けられており、足部４５のＺ１側の先端面が後述するカバーヘッド２７０に接合されている。このような第１収容部４１ａは、連通板１５を挿入可能なように、連通板１５よりも若干大きな開口で形成されている。
また、第１収容部４１ａの底面、すなわちケース部材４０のＺ１側の面には、さらに流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹形状を有する第２収容部４１ｂが設けられている。この第２収容部４１ｂは、保護基板３０のＺ２側の面よりも若干広い開口面積を有する。そして、第２収容部４１ｂ内に流路形成基板１０及び保護基板３０等が収容されて第２収容部４１ｂのＺ１側の開口が連通板１５によって封止される。
また、第１収容部４１ａの底面、すなわちケース部材４０のＺ１側の面には、Ｚ１側の面に開口する凹形状を有する第３マニホールド部４２が形成されている。なお、第２収容部４１ｂと第３マニホールド部４２とは、その開口面に連通板１５が接合されることで、連通することなく区画されている。そして、ケース部材４０に形成された第３マニホールド部４２と、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８とによって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。なお、本実施形態では、流路形成基板１０の第２の方向Ｙを挟んだ両側にマニホールド１００を形成するようにした。もちろん、マニホールド１００は、特にこれに限定されず、例えば、第３マニホールド部４２のみで構成されていてもよく、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２で構成されていてもよい。ただし、本実施形態のようにマニホールド１００を第１マニホールド部１７、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２で構成することで、インクジェット式記録ヘッド２００を大型化することなく、マニホールド１００をできるだけ大きな容積で形成することができる。
なお、第２収容部４１ｂ内において、流路形成基板１０及び保護基板３０は、ケース部材４０に第３接着剤６０３によって接着されている。この第３接着剤６０３は、保護基板３０とケース部材４０との間に設けられている。
また、連通板１５とケース部材４０の第１収容部４１ａの底面であるＺ１側の面とは、第４接着剤６０４によって接着されている。このように連通板１５とケース部材４０とを第４接着剤６０４で接着することで、マニホールド１００内のインクが連通板１５とケース部材４０との間から第２収容部４１ｂ内や外部に流出するのを抑制している。なお、第４接着剤６０４の軌跡については詳しくは後述する。また、本実施形態では、第４接着剤６０４が、特許請求の範囲に記載の第３接着剤に相当する。
また、ケース部材４０には、保護基板３０の第１接続孔３２に連通してケース部材４０を第３の方向Ｚに貫通する第２接続孔４３が設けられている。この第２接続孔４３を挿通した配線基板１２１が第１接続孔３２に挿通されて、圧電アクチュエーター３００から引き出された引き出し配線であるリード電極９０と接続されている。
さらに、ケース部材４０には、特に図示していないが、供給部材２２０の供給流路４１０に連通してマニホールド１００にインクを供給する流入路と、供給部材２２０の回収流路４２０に連通してマニホールド１００内のインクを流出させる流出路と、が設けられている。例えば、流入路を第１の方向Ｘの一方側であるＸ１側に設け、流出路を第１の方向Ｘの他方側であるＸ２側に設けるようにすればよい。なお、供給流路４１０は途中で２つに分岐して同じインクを２つのマニホールド１００に供給してもよく、マニホールド１００毎に独立して流入路を設けるようにしてもよい。同様に、２つのマニホールド１００に連通する流出路が途中で１つに合流してもよく、流出路を途中で合流することなく、マニホールド１００毎に独立して設けるようにしてもよい。
また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板９１が設けられている。このコンプライアンス基板９１が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の開口を封止している。すなわち、本実施形態の流路形成基板１０、連通板１５及び保護基板３０で構成された流路部材の流路とは、第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８であり、コンプライアンス基板９１は、第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側であるＺ１側を封止する。
このようなコンプライアンス基板９１は、本実施形態では、封止膜９２と、固定基板９３と、を具備する。封止膜９２は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成されている。また、固定基板９３は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板９３のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部９４となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜９２のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部９５となっている。
なお、コンプライアンス基板９１は、ノズルプレート２０の周囲に亘って連続して設けられている。すなわち、コンプライアンス基板９１には、ノズルプレート２０が配置される領域に当該ノズルプレート２０よりも若干大きな内径を有する第１露出開口部９６が設けられている。
このようなヘッド本体２１０のノズル開口２１が開口する液体噴射面２０ａ側には、ノズル開口２１を露出した状態で保護するカバーヘッド２７０が固定されている。
カバーヘッド２７０は、図７及び図８に示すように、コンプライアンス基板９１の固定基板９３と、ケース部材４０とに接合される。すなわち、ケース部材４０には、上述のように第１収容部４１ａの第１の方向Ｘの両側に足部４５が形成されているため、カバーヘッド２７０は固定基板９３と、ケース部材４０の足部４５の先端面であるＺ１側の端面とに接合される。
ここで、ケース部材４０の第１収容部４１ａの第３の方向Ｚの深さは、コンプライアンス基板９１の固定基板９３のＺ１側の表面が、足部４５のＺ１側の面よりもＺ１側に突出するように形成されている。すなわち、第３の方向Ｚにおいて、足部４５のＺ１側の面に対するコンプライアンス基板９１のＺ１側の面の高さは、第１収容部４１ａの第３の方向Ｚの深さと、連通板１５とコンプライアンス基板９１とを接合した接合体の高さとによって決定される。このコンプライアンス基板９１のＺ１側の面は、第１収容部４１ａの深さや、連通板１５の厚さ、コンプライアンス基板９１を構成する封止膜９２及び固定基板９３の厚さ及びこれらを接着する接着剤の厚さ等によってばらつきが生じてしまう。このため、第１収容部４１ａの深さ、連通板１５の厚さ、コンプライアンス基板９１を構成する封止膜９２及び固定基板９３の厚さなどの寸法公差や、これらを接着する接着剤の厚さばらつきを考慮して、コンプライアンス基板９１の固定基板９３のＺ１側の表面が、足部４５のＺ１側の面よりもＺ１側となるように形成する。
このようなカバーヘッド２７０は、コンプライアンス基板９１の第１露出開口部９６に連通する第２露出開口部２７１が設けられた板状部材のベース部２７２と、ベース部２７２の第１の方向Ｘの両端部に設けられて、板状部材を第３の方向Ｚに向かって折り曲げて形成した第１折り曲げ部２７３と、ベース部２７２の第２の方向Ｙの両端部に設けられて板状部材を第３の方向Ｚに折り曲げて形成した第２折り曲げ部２７４と、を具備する。
ベース部２７２は、第１の方向Ｘに長尺となるように、すなわち、第１の方向Ｘが長手方向となる矩形状の板状部材で形成されている。
このようなベース部２７２の第２露出開口部２７１は、コンプライアンス基板９１の第１露出開口部９６と略同じ大きさの開口面積で形成されて、ノズルプレート２０の液体噴射面２０ａを露出する。
すなわち、ベース部２７２は、コンプライアンス基板９１のコンプライアンス部９５を覆う大きさ、つまり、固定基板９３の開口部９４の封止膜９２とは反対面側であるＺ１側の開口を塞ぐことが可能な大きさで設けられている。
そして、ベース部２７２は、長手方向である第１の方向Ｘの中央側で、コンプライアンス基板９１の固定基板９３と第１接着剤６０１によって接着されている。また、ベース部２７２は、第１の方向Ｘの両端部側でケース部材４０の足部４５のＺ１側の端面と第２接着剤６０２によって接着されている。
つまり、上述のように、ケース部材４０の足部４５は、第１収容部４１ａの第１の方向Ｘの両側に設けられているため、足部４５は、第１収容部４１ａに収容されたコンプライアンス基板９１の第１の方向Ｘの両側に設けられている。したがって、第１の方向Ｘにおいて、カバーヘッド２７０には、２つの足部４５が第１の方向Ｘの両端部側で第２接着剤６０２によって接着され、足部４５の間に挟まれた位置でコンプライアンス基板９１が第１接着剤６０１によって接着される。
このようなベース部２７２は、本実施形態では、Ｚ２側に平坦面を有するため、第３の方向Ｚにおいて略同じ高さで固定基板９３と足部４５とに跨がって接着されている。もちろん、ベース部２７２を屈曲させて設け、第３の方向Ｚで異なる高さで固定基板９３と足部４５とに跨がって接着させるようにしてもよい。
そして、上述のように、固定基板９３のＺ１側の面は、ケース部材４０の足部４５のＺ１側の面よりもＺ１側に突出して設けられているため、カバーヘッド２７０のベース部２７２と固定基板９３との間隔は、カバーヘッド２７０のベース部２７２と足部４５との間隔よりも狭くなる。つまり、第３の方向Ｚにおいて、カバーヘッド２７０のベース部２７２と固定基板９３との間に設けられた第１接着剤６０１は、カバーヘッド２７０のベース部２７２とケース部材４０の足部４５との間に設けられた第２接着剤６０２よりも薄い厚さで形成される。
ここで、カバーヘッド２７０とコンプライアンス基板９１を接着する第１接着剤６０１は、カバーヘッド２７０と足部４５とを接着する第２接着剤６０２よりも、粘度が低い。なお、粘度とは、接着される２部材間のいずれかの面に接着剤を塗布した状態の粘度のことであり、チキソトロピー指数が種々の接着剤であっても、塗布後の粘度が比較的高い接着剤であれば接着層を厚い状態で維持することができる。逆に塗布後の粘度が比較的低い接着剤であれば接着層を薄い状態で維持することができる。
第１接着剤６０１として、粘度が比較的低い接着剤を用いることで、カバーヘッド２７０と固定基板９３との間に第１接着剤６０１を薄く塗ることができる。これにより、固定基板９３に対してカバーヘッド２７０を所定の圧力で押圧した際に、第１接着剤６０１が固定基板９３とカバーヘッド２７０との間から流出するのを抑制することができる。ちなみに、第１接着剤６０１が流出してコンプライアンス部９５に付着すると、付着した第１接着剤６０１がコンプライアンス部９５の変形を阻害し、コンプライアンス部９５の変形によるマニホールド１００内の圧力吸収を正常に行うことができず、クロストークが発生するなどの不具合が生じる。そして、このような第１接着剤６０１の流出は、例えば、粘度が比較的高い接着剤を第１接着剤６０１として用いた場合、第１接着剤６０１が比較的厚く塗布されることで主に発生する。すなわち、第１接着剤６０１として、粘度が比較的高い接着剤を用いると、第１接着剤６０１の量が増えて流出しやすくなってしまうが、カバーヘッド２７０とコンプライアンス基板９１の間隔を狭くすることで、第１接着剤６０１として粘度が比較的低い接着剤を用いて薄く形成しても、カバーヘッド２７０とコンプライアンス基板９１とを確実に接着することができると共に、第１接着剤６０１を薄く形成して量を少なくすることができるため、第１接着剤６０１が流出するのを抑制することができる。
また、カバーヘッド２７０とケース部材４０の足部４５とを接着する第２接着剤６０２は、カバーヘッド２７０とコンプライアンス基板９１とを接着する第１接着剤６０１よりも粘度が高い。このように第２接着剤６０２として、粘度が比較的高い接着剤を用いることで、カバーヘッド２７０とケース部材４０の足部との間に第２接着剤６０２を厚く塗布することができる。したがって、カバーヘッド２７０とケース部材４０との間を第２接着剤６０２によって確実に接着することができると共に接着剤の不足によりインクが浸入する隙間が発生するのを抑制することができる。
ちなみに、例えば、コンプライアンス基板９１の固定基板９３のＺ１側の表面が、足部４５のＺ１側の面よりもＺ２側となっていると、カバーヘッド２７０を足部４５及びコンプライアンス基板９１に接合した際に、カバーヘッド２７０と足部４５との隙間よりも、カバーヘッド２７０とコンプライアンス基板９１の固定基板９３との隙間の方が大きくなる。このため、カバーヘッド２７０とコンプライアンス基板９１とを接着する第１接着剤６０１として粘度が高い接着剤が必要になる。しかしながら、粘度が高い接着剤を用いて厚く塗布した場合、第１接着剤６０１の量が増えることからはみ出し量も増えてしまい、流出した第１接着剤６０１がコンプライアンス部９５に付着する可能性が高くなる。
また、このような第２接着剤６０２は、硬化後の常温時のヤング率が第１接着剤６０１の硬化後の常温時のヤング率よりも小さいことが好ましい。このように、長手方向の両端部においてカバーヘッド２７０とケース部材４０の足部４５とを接着する第２接着剤６０２のヤング率を小さくすることで、インクジェット式記録ヘッド２００が加熱された際の線膨張係数の違いによる反りの応力を第２接着剤６０２で吸収することができ、インクジェット式記録ヘッド２００の第１の方向Ｘの反りを低減することができる。もちろん、第１接着剤６０１の硬化後のヤング率についても第２接着剤６０２と同様のヤング率に小さくすれば、インクジェット式記録ヘッド２００の反りを低減することができる。ちなみに、インクジェット式記録ヘッド２００が加熱されるのは、例えば、カバーヘッド２７０とケース部材４０の足部４５とを第２接着剤６０２で接着する際に硬化させる際などである。このとき、カバーヘッド２７０とケース部材４０とが同時に加熱されるため、第２接着剤６０２が硬化した後、常温（室温）に冷却された際に、両者の材料の違いによる線膨張係数の違いによって反りが発生する。つまり、反りは第１の方向Ｘにおいて発生しやすいと共に、第１の方向Ｘにおいてカバーヘッド２７０にはケース部材４０とコンプライアンス基板９１の固定基板９３という異なる部材が接着されるため、第１の方向Ｘに反りが発生する。このように第１の方向Ｘでの反りに最も影響を与える長手方向の両端部の第２接着剤６０２について、硬化後のヤング率を小さくすることで、インクジェット式記録ヘッド２００の第１の方向Ｘの反りを効果的に低減することができる。
さらに、このような第２接着剤６０２は、熱収縮率が第１接着剤６０１の熱収縮率よりも小さいことが好ましい。上述の硬化後のヤング率の関係と同様に、熱収縮率がこのような関係であれば、インクジェット式記録ヘッド２００の第１の方向Ｘの反りを低減することができる。
もちろん、カバーヘッド２７０とケース部材４０との線膨張係数が比較的近く、反りの応力が小さい場合には、第２接着剤６０２のヤング率は第１接着剤６０１よりも高いものを用いてもよい。また、熱収縮率についても同様である。
このように第１接着剤６０１によってカバーヘッド２７０とコンプライアンス基板９１の固定基板９３とが接着されることで、カバーヘッド２７０とコンプライアンス部９５との間には、開口部９４によってコンプライアンス空間９７が形成される。このコンプライアンス空間９７が密封されていると、コンプライアンス空間９７内の気体が移動できずに、コンプライアンス部９５が撓み変形できなくなる。したがって、コンプライアンス空間９７を外部に連通させて大気開放する必要がある。しかしながら、カバーヘッド２７０に大気開放口を設けて被噴射媒体側に大気開放するのは好ましくない。これは、被噴射媒体側から大気開放口を介してインクが入り込み、封止膜９２に付着するなどして封止膜９２が撓み変形できなくなり、コンプライアンス部９５が機能しなくなる虞があるからである。また、大気開放口からコンプライアンス空間９７にインクが浸入し、予期せぬタイミングでインクが被噴射媒体に落下して汚してしまう虞がある。このため、本実施形態では、コンプライアンス空間９７を液体噴射面２０ａとは反対面側で第２大気開放路５１０を介して外部と連通させて大気開放させるようにした。
ここで、図７、図８及び図１０に示すように、コンプライアンス空間９７を大気開放させる第２大気開放路５１０は、２つのコンプライアンス空間９７に連通すると共に途中で一つに合流して設けられたものであり、コンプライアンス空間９７に連通する第２貫通孔５１１と、第２貫通孔５１１に連通する第３凹部５１２と、第３凹部５１２に連通する第４凹部５１３と、を具備する。
第２貫通孔５１１は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通して設けられて、一端がコンプライアンス空間９７に連通して設けられている。すなわち、第２貫通孔５１１は、第３の方向Ｚにおいてコンプライアンス空間９７に相対向する位置に設けられている。本実施形態では、コンプライアンス空間９７の第１の方向ＸのＸ１側の端部に連通するように第２貫通孔５１１を設けるようにした。また、第２貫通孔５１１は、各コンプライアンス空間９７に対応してそれぞれ独立して設けられている。
第３凹部５１２は、連通板１５とケース部材４０との接合面に凹形状に形成されて、一端が第２貫通孔５１１に連通する。本実施形態の第３凹部５１２は、ケース部材４０の連通板１５側に開口する溝によって形成されている。このような第３凹部５１２は、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの面内に設けられている。本実施形態では、図１０に示すように、２つのコンプライアンス空間９７に対応して設けられた２つの第２貫通孔５１１に連通する一端部側から第２の方向Ｙに沿って延設されたて合流した後、第１の方向Ｘに沿ってＸ１側からＸ２側に向かって延設されている。なお、第３凹部５１２はこれに限定されず、例えば、連通板１５のケース部材４０側の面に開口する溝によって形成してもよい。また、第３凹部５１２は、ケース部材４０に設けられた溝と連通板１５に設けられた溝とによって形成されていてもよい。
第４凹部５１３は、流路形成基板１０及び保護基板３０とケース部材４０との接合面に凹形状に形成されて、一端が第３凹部５１２に連通する。本実施形態の第４凹部５１３は、ケース部材４０の流路形成基板１０及び連通板１５側に開口する溝によって形成されている。このような第４凹部５１３は、第３凹部５１２に連通する一端部側から流路形成基板１０及び保護基板３０のＸ１側の端面に第３の方向Ｚに沿ってＺ１からＺ２に向かって延設された後、保護基板３０とケース部材４０との間に第１の方向Ｘに沿ってＸ１側からＸ２側に向かって延設されている。なお、第４凹部５１３は、特にこれに限定されず、例えば、流路形成基板１０又は保護基板３０のケース部材４０側の面に開口する溝によって形成してもよい。また、第２凹部５０３は、ケース部材４０に設けられた溝と流路形成基板１０又は保護基板３０に設けられた溝とによって形成されてもいてもよい。
そして、このような第４凹部５１３が、第１大気開放路５００の第２凹部５０３に連通して設けられている。したがって、第２貫通孔５１１、第３凹部５１２、第４凹部５１３を具備する第２大気開放路５１０は、第１大気開放路５００の第２凹部５０３を介して第１接続孔３２又は第２接続孔４３に連通される。また、第２大気開放路５１０が連通された第１接続孔３２又は第２接続孔４３は、第１大気開放路５００と同様に供給部材２２０の連通孔２２８、第２空間部４３１、接続路２３０、第１空間部４３０及び大気開放口２３１を介して外部と連通して大気開放される。
このように、第１大気開放路５００と第２大気開放路５１０とを、液体噴射面２０ａから離れた位置、すなわち、インクジェット式記録ヘッド２００のＺ１側に設けられた液体噴射面２０ａに対して、Ｚ２側に設けられた大気開放口２３１を介して大気開放させることで、液体噴射面２０ａから噴射されたインクが、大気開放口２３１から侵入するのを抑制することができる。また、本実施形態では、第１大気開放路５００と第２大気開放路５１０とを途中で連通させて、１つの大気開放口２３１で外部と連通させて大気開放させるようにした。特に、ヘッド本体２１０内で第１大気開放路５００と第２大気開放路５１０とを連通させることで、供給部材２２０等に大気開放口２３１と第１大気開放路５００及び第２大気開放路５１０とを個別に連通する路が不要になって、構造を簡略化させて、液体噴射面２０ａとは第３の方向Ｚに離れた位置で大気開放させることが可能となる。もちろん、第１大気開放路５００と第２大気開放路５１０とは、ヘッド本体２１０内において途中で連通することなく個別に設けてもよいし、供給部材２２０内においても個別に大気開放口２３１と連通するようにしてもよい。
ここで、カバーヘッド２７０とケース部材４０の足部４５のＺ２側の端面とを接着する第２接着剤６０２の接着領域、ケース部材４０と保護基板３０及び流路形成基板１０とを接着する第３接着剤６０３の接着領域、及びケース部材４０と連通板１５とを接着する第４の接着領域について、図７、図９に加えて図１０を参照してさらに詳細に説明する。
図示するように、ケース部材４０とカバーヘッド２７０とを接着する第２接着剤６０２の接着領域、つまり、第２接着剤６０２の軌跡は、足部４５のＺ２側の端面において、コンプライアンス基板９１側の辺以外の周縁部に亘って設けられている。すなわち、Ｘ１側の足部４５において、第２接着剤は、第２の方向ＹのＹ１側とＹ２側とに第１の方向Ｘに沿って設けられていると共に、第１の方向ＸのＸ１側において第２の方向Ｙに沿って形成されている。これにより、第２接着剤６０２は、コンプライアンス基板９１側であるＸ２側の辺以外の辺に亘って形成されている。
一方、流路形成基板１０及び保護基板３０とケース部材４０とを接着する第３接着剤６０３は、上述のように、保護基板３０とケース部材４０との間に、保護基板３０の第２の方向Ｙの両側に第１の方向Ｘに沿って設けられている。
また、連通板１５とケース部材４０とを接着する第４接着剤６０４は、マニホールド１００の周囲に亘って連続して設けられている。
また、第４接着剤６０４は、第２の方向ＹのＹ１側の辺及びＹ２側の辺に第１の方向Ｘに沿って足部４５側に向かって延設された第１延設部６０５と、Ｘ１側及びＸ２側の辺に、第２の方向Ｙに沿って延設された第２延設部６０６と、を具備する。
第１延設部６０５は、マニホールド１００の周囲から連続して足部４５に向かって延設されたものである。また、第２延設部６０６は、２つの第１延設部６０５の足部４５側の端部を接続するように連続して設けられている。このような２つの第１延設部６０５及び第２延設部６０６は、Ｘ１側及びＸ２側の両端部にそれぞれ設けられている。そして、第４接着剤６０４の内側、つまり、第４接着剤６０４によって囲まれた部分には、封止された第１封止空間６１０が設けられている。つまり、封止空間は、ケース部材４０と連通板１５との間に、連通板１５の外周に沿って第４接着剤６０４を連続して設けることで形成されている。
このような第１封止空間６１０には、上述したコンプライアンス空間９７を大気開放させる第２大気開放路５１０の第２貫通孔５１１が開口して設けられている。すなわち、連通板１５に形成された第２貫通孔５１１は、第３の方向Ｚから見た際に、コンプライアンス基板９１側では開口部９４に重なる位置に設けられ、ケース部材４０側では封止空間に重なる位置に設けられている。言い換えると、コンプライアンス基板９１の開口部９４は、少なくともＸ１側において、マニホールド１００よりもＸ１側に第４接着剤６０４の接着領域よりも外側に達する大きさで形成されている。
また、第２大気開放路５１０の第３凹部５１２も、第２貫通孔５１１と同様に第１封止空間６１０内に設けられている。さらに、第２大気開放路５１０の第４凹部５１３も第１封止空間６１０内に設けられている。
同様に、保持部３１を大気開放させる第１大気開放路５００の第１凹部５０１、第１貫通孔５０２及び第２凹部５０３も、すべて第１封止空間６１０内に設けられている。したがって、第１大気開放路５００及びこの第１大気開放路５００に連通する第２大気開放路５１０は、第１封止空間６１０内に設けられている。
ちなみに、第４接着剤６０４の第２延設部６０６は、図７及び図８に示すように、第１の方向Ｘにおいて、連通板１５の端面とケース部材４０の第１収容部４１ａの側面との間にまで延設されている。また、ケース部材４０の足部４５とカバーヘッド２７０とを接着する第２接着剤６０２も同様に、第１収容部４１ａの第１の方向Ｘの側面と、連通板１５との間にも設けられている。したがって、足部４５のＺ２側の面とカバーヘッド２７０のＺ１側の面との間には、第２接着剤６０２と第４接着剤６０４の第２延設部６０６とによって封止された第２封止空間６１１が設けられている。
このように、第１封止空間６１０の第１の方向Ｘの両側に第２封止空間６１１を形成することで、第１の方向Ｘで見ると、第１大気開放路５００及び第２大気開放路５１０は、第２封止空間６１１を形成する第２接着剤６０２と、第１封止空間６１０を形成する第４接着剤６０４とによって二重に封止されていることになる。したがって、第１の方向Ｘにおいてカバーヘッド２７０の外側から第１大気開放路５００及び第２大気開放路５１０へのインクの浸入は、第２接着剤６０２と第４接着剤６０４とによって２重に抑制されるため、第１大気開放路５００及び第２大気開放路５１０内へのインクの侵入を抑制することができる。つまり、第１大気開放路５００や第２大気開放路５１０を第１接着剤６０１と第２接着剤６０２との間に形成された部分を介さずに、第１封止空間６１０内を介して大気開放させることで、第１接着剤６０１と第２接着剤６０２との間に形成された部分、つまり第２封止空間６１１に相当する部分にインクが浸入したとしても、第１大気開放路５００及び第２大気開放路５１０を介してインクが侵入するのを抑制することができる。ちなみに、第１大気開放路５００内にインクが浸入すると、保持部３１内の圧電アクチュエーター３００等にインクが付着し、圧電アクチュエーター３００が破壊されてしまうなどの不具合が発生する。また、第１大気開放路５００にインクが浸入すると、配線基板１２１等にインクが付着し、短絡するなどの不具合が発生する。本実施形態では、第１大気開放路５００及び第２大気開放路５１０にインクが浸入するのを抑制して、インクジェット式記録ヘッド２００の内部にインクが浸入することによる不具合を抑制することができる。
なお、このような第１接着剤６０１、第２接着剤６０２、第３接着剤６０３、第４接着剤６０４は、エポキシ系接着剤やシリコーン系接着剤などを用いることができる。
このようなヘッド本体２１０は、図１及び図２に示すように、供給部材２２０の第３の方向Ｚの液体噴射面２０ａ側であるＺ１側の面に、供給部材２２０に螺合される２つのネジ部材２８０によって固定されている。
また、本実施形態では、インクを循環するインクジェット式記録ヘッド２００を例示したが、特にこれに限定されず、循環されない、すなわち、液体貯留手段からインクがインクジェット式記録ヘッド２００に供給されるだけのインクジェット式記録ヘッドであってもよい。
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
例えば、上述した実施形態１では、カバーヘッド２７０の第１折り曲げ部２７３及び第２折り曲げ部２７４を同じ折り曲げ量の長さ、すなわち、第３の方向Ｚへの突出量を同じ大きさとしたが、特にこれに限定されず、例えば、カバーヘッド２７０の第２折り曲げ部２７４のベース部２７２に対する第３の方向Ｚへの突出量を、第１折り曲げ部２７３の突出量よりも大きくするようにしてもよい。このようにカバーヘッド２７０の長尺方向である第１の方向Ｘでは、第１接着剤６０１及び第２接着剤６０２によってコンプライアンス部が二重に封止されているので、第１折り曲げ部の第３の方向Ｚへの突出量を小さくしてもインクの浸入を抑制することができる。また、短尺方向である第２の方向Ｙでは、第１接着剤６０１が長辺である第１の方向Ｘに沿ってコンプライアンス空間９７を囲むように設けられているため、コンプライアンス空間９７が第１接着剤６０１によって一重に封止されているが、第２折り曲げ部２７４の第３の方向Ｚへの突出量を大きくすることで、第２の方向Ｙの両側からのインクの浸入を抑制することができ、コンプライアンス空間９７にインクが浸入するのを抑制することができる。なお、カバーヘッド２７０は、第１折り曲げ部２７３と第２折り曲げ部２７４との角部は、絞り加工等によって形成されるため、加工によるベース部２７２の平面度が低下し易い。しかしながら、この第１折り曲げ部２７３と第２折り曲げ部２７４との角部に近い部分は、第１接着剤６０１と第２接着剤６０２とによって２重に封止されているため、ベース部２７２の平面度が低い場合であってもコンプライアンス空間９７や封止空間を確実に封止することができる。
また、上述した実施形態１では、固定板としてカバーヘッド２７０を例示したが、特にこれに限定されず、固定板として第１折り曲げ部２７３及び第２折り曲げ部２７４の何れか一方のみが設けられたものや、両方が設けられていないベース部２７２のみで構成されたものなどを用いることもできる。
また、上述した各実施形態のインクジェット式記録ヘッド２００は、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置に搭載される。ここで、本実施形態のインクジェット式記録装置について説明する。なお、図１１は、本発明の一実施形態に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置を示す概略斜視図である。
図１１に示すように、インクジェット式記録装置Ｉは、インクジェット式記録ヘッド２００を搭載したキャリッジ３を具備する。キャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動可能に設けられている。
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、インクジェット式記録ヘッド２００を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。
また、インクジェット式記録装置Ｉには、装置本体４に固定されて内部にインクが貯留されたインクタンク等の液体貯留手段２が設けられている。この液体貯留手段２には、インクジェット式記録ヘッド２００にインクを供給する供給管２ａと、インクジェット式記録ヘッド２００からのインクを回収する回収管２ｂとが接続されている。
供給管２ａ及び回収管２ｂは、フレキシブルチューブ等の管状部材からなり、内部にそれぞれインクを供給する供給路と、インクを回収する回収路とが設けられている。そして、供給管２ａの一端がインクジェット式記録ヘッド２００の供給流路４１０に接続され、回収管２ｂの一端が回収流路４２０に接続されることで、液体貯留手段２のインクをインクジェット式記録ヘッド２００に供給すると共に、インクジェット式記録ヘッド２００からのインクを液体貯留手段２に回収する。
なお、特に図示していないが、供給管２ａの途中又は回収管２ｂの途中には、加圧ポンプ又は吸引ポンプ等の圧送手段が設けられており、圧送手段の圧送によってインクは液体貯留手段２とインクジェット式記録ヘッド２００との間を循環する。
なお、図１１示す例では、インクジェット式記録ヘッド２００がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド２００が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
また、上述した例では、液体貯留手段２からインクジェット式記録ヘッド２００にインクを供給すると共に、液体貯留手段２にインクを回収するインクジェット式記録ヘッド２００を例示したが、特にこれに限定されず、液体貯留手段２からインクジェット式記録ヘッド２００にインクを供給するだけのインクジェット式記録ヘッドにも本発明を適用することができる。
さらに、上述した例では、液体貯留手段２が装置本体４に固定されて、供給管２ａを介してインクジェット式記録ヘッド２００にインクを供給するようにしたが、特にこれに限定されず、インクカートリッジ等の液体貯留手段をキャリッジ３に搭載させて、インクジェット式記録ヘッド２００と共に液体貯留手段がキャリッジ軸５に沿って移動させるようにしてもよい。また、液体貯留手段がインクジェット式記録装置Ｉに搭載されていなくてもよい。
なお、上記実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッドを対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
Ｉ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 ２ 液体貯留手段、 ２０ａ 液体噴射面、 ２１ ノズル開口、 ２００ インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 ２１０ ヘッド本体、 ２２０ 供給部材、 ２３１ 大気開放口、 ２５０ 回路基板、 ２７０ カバーヘッド（固定板）、 ４００ 液体流路、 ５００ 第１大気開放路、 ５１０ 第２大気開放路、 ６０１ 第１接着剤、 ６０２ 第２接着剤、 ６０３ 第３接着剤、 ６０４ 第４接着剤、 ６１０ 第１封止空間、 ６１１ 第２封止空間

Claims (11)

  1. 液体を噴射するノズル開口に連通する流路が設けられた流路部材と、
    該流路部材に固定されて、前記流路部材におけるノズル開口が形成された液体噴射面側を封止する可撓性のコンプライアンス部を有するコンプライアンス基板と、
    前記流路部材の前記液体噴射面とは反対面側に固定された保持部材と、
    前記コンプライアンス基板の前記流路部材側の面とは反対側の面に第１接着剤によって接着されて、前記コンプライアンス部との間にコンプライアンス空間を形成する固定板と、を具備し、
    前記固定板は、前記コンプライアンス基板との接着面と同じ面側において、前記保持部材と第２接着剤によって接着されており、
    前記液体噴射面側から見た際に、長手方向の両側で前記固定板と前記保持部材が前記第２接着剤で接着されていると共に、前記長手方向の中央側で前記固定板と前記コンプライアンス基板とが前記第１接着剤で接着されており、
    前記第２接着剤の常温時のヤング率は、前記第１接着剤よりも小さいことを特徴とする液体噴射ヘッド。
  2. 液体を噴射するノズル開口に連通する流路が設けられた流路部材と、
    前記流路部材を収容する収容部を第１側に有する保持部材と、
    前記流路部材の前記第１側にて前記流路部材に固定されて、前記流路部材の前記第１側を封止する可撓性のコンプライアンス部を有するコンプライアンス基板と、
    前記コンプライアンス基板の前記第１側にて前記コンプライアンス基板に第１接着剤によって接着されて、前記コンプライアンス部との間にコンプライアンス空間を形成する固定板であって、前記保持部材の前記第１側にて前記保持部材に第２接着剤によって接着された固定板と、を具備し、
    前記第１側から見た際に、前記固定板の長手方向において、前記固定板と前記コンプライアンス基板とが前記第１接着剤によって接着される領域の両側に、前記固定板と前記保持部材とが前記第２接着剤によって接着される領域があり、
    前記第２接着剤の常温時のヤング率は、前記第１接着剤の常温時のヤング率よりも小さいことを特徴とする液体噴射ヘッド。
  3. 前記固定板は、前記流路部材側に折り曲げられた折り曲げ部を有し、
    前記固定板の長辺側の前記折り曲げ部の長さは、短辺側の前記折り曲げ部よりも長く、
    前記第１接着剤は、前記長辺に沿って前記コンプライアンス部を囲むように設けられており、
    前記第２接着剤は、前記短辺に沿って設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
  4. 前記流路部材と前記保持部材とが第３接着剤によって接着されており、
    前記第３接着剤は、前記流路部材と前記保持部材との間に連続する軌跡で形成されており、
    前記軌跡の内側には、前記コンプライアンス基板と前記固定板との間の前記コンプライアンス空間に連通する大気開放路が設けられており、
    前記大気開放路は、前記第１接着剤と前記第２接着剤との間に形成された部分を介さずに大気開放されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  5. 前記流路部材には、前記流路内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、該圧力発生手段を保持する空間である保持部と、を具備し、
    前記コンプライアンス空間と、前記保持部とは、共通する大気解放口を介して大気開放されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  6. 液体を噴射するノズル開口に連通する流路が設けられた流路部材と、
    該流路部材に固定されて、前記流路部材におけるノズル開口が形成された液体噴射面側を封止する可撓性のコンプライアンス部を有するコンプライアンス基板と、
    前記流路部材の前記液体噴射面とは反対面側に固定された保持部材と、
    前記コンプライアンス基板の前記流路部材側の面とは反対側の面に第１接着剤によって接着されて、前記コンプライアンス部との間にコンプライアンス空間を形成する固定板と、を具備し、
    前記固定板は、前記コンプライアンス基板との接着面と同じ面側において、前記保持部材と第２接着剤によって接着されており、
    前記第１接着剤により接着される前記固定板と前記コンプライアンス部との間隔は、前記第２接着剤により接着される前記固定板と前記保持部材との間隔よりも狭く、
    前記第１接着剤は、前記第２接着剤よりも、粘度が低いことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
  7. 前記流路部材と前記保持部材とが第３接着剤によって接着されており、
    前記第３接着剤は、前記流路部材と前記保持部材との間に連続する軌跡で形成されており、
    前記軌跡の内側には、前記コンプライアンス基板と前記固定板との間の前記コンプライアンス空間に連通する大気開放路が設けられており、
    前記大気開放路は、前記第１接着剤と前記第２接着剤との間に形成された部分を介さずに大気開放されていることを特徴とする請求項６記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  8. 前記流路部材には、前記流路内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、該圧力発生手段を保持する空間である保持部と、を具備し、
    前記コンプライアンス空間と、前記保持部とは、共通する大気解放口を介して大気開放されていることを特徴とする請求項６又は７記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  9. 前記固定板は、前記流路部材側に折り曲げられた折り曲げ部を有し、
    前記固定板の長辺側の前記折り曲げ部の長さは、短辺側の前記折り曲げ部よりも長く、
    前記第１接着剤は、前記長辺に沿って前記コンプライアンス部を囲むように設けられており、
    前記第２接着剤は、前記短辺に沿って設けられていることを特徴とする請求項６〜８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  10. 前記液体噴射面側から見た際に、長手方向の両側で前記固定板と前記保持部材が前記第２接着剤で接着されていると共に、前記長手方向の中央側で前記固定板と前記コンプライアンス基板とが前記第１接着剤で接着されており、
    前記第２接着剤の常温時のヤング率は、前記第１接着剤よりも小さいことを特徴とする請求項６〜９の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  11. 請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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