JP6281972B2 - 透明プローブ基板を用いた基板検査装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態1について、本発明を小型半導体基板用の検査装置に適用した場合を例に採って、説明する。
この透明樹脂シート217aの下面には、図4(a)、(b)に示すように、複数の配線パターン217bが形成されている。そして、各配線パターン217bの中心側端部下側には、それぞれ、本発明のプローブ端子(バンプ)217cが形成されている。また、各配線パターン217bの外周側端部は、それぞれ、電極217dに接続されている。バンプ217cは、半導体基板200の検査時に、この半導体基板200の集積回路201内に形成された電極パッド202(図5参照)に当接される。一方、電極217dは、透明樹脂シート217aを貫通して上側に露出しており、後述のようにして、テスト制御部231(図2参照)に、電気的に接続される。
110 装置前室
120 検査室
121 プローバ部
122 テスタ部
200 半導体基板
203 第1の位置合わせマーク
210 プローブ装置
231 テスト制御部
232 位置制御部
211 基台
212 位置調整ステージ
213 半導体基板載置台
214 昇降台
215a,215b,215c 伸縮脚部
216 プローブ載置台
217 プローブ基板
217f 第2の位置合わせマーク
218 ガラス板
219 ポゴピンソケット
220 テスタ基板
221 ガラス押さえ機構
222 カメラ
231 テスト制御部
232 位置制御部
Claims (6)
- 集積回路が形成された処理基板を載置する載置台と、
前記集積回路の電極に当接されるプローブ端子が設けられた、透明なプローブ基板と、
該プローブ基板を介して前記処理基板と対向する位置に配置され、前記集積回路及び前記プローブ端子を含む画像を1つの画像として撮像する撮像部と、
を備え、
前記処理基板には、複数の第1の位置合わせマークが形成されており、
前記プローブ基板には、複数の第2の位置合わせマークが形成されており、
前記撮像部は、前記1つの画像として、前記集積回路及び前記プローブ端子に加えて前記複数の第1の位置合わせマーク及び前記複数の第2の位置合わせマークを含む領域を撮像し、
前記複数の第1の位置合わせマーク及び前記複数の第2の位置合わせマークは、それぞれ、前記プローブ基板と前記処理基板とが位置合わせされたときに、前記撮像部が撮像した画像上で互いに重ならないような位置に形成され、
前記撮像部が1つの画像として撮像した前記複数の第1の位置合わせマーク及び前記複数の第2の位置合わせマークの位置座標をそれぞれ測定し、これらの位置座標を用いて該プローブ基板と該処理基板との間の位置ずれ量を算出する、
ことを特徴とする、透明プローブ基板を用いた基板検査装置。 - 前記処理基板には、前記複数の第1の位置合わせマークとして、2個の該第1の位置合わせマークが形成されており、
前記プローブ基板には、前記複数の第2の位置合わせマークとして、2個の該第2の位置合わせマークが形成されており、
該2個の第1の位置合わせマーク及び該2個の第2の位置合わせマークは、前記プローブ基板と前記処理基板とが位置合わせされたときに、全ての該第1、第2の位置合わせマークが同一直線状に並び、且つ、該2個の第1の位置合わせマークの中心点と該2個の第2の位置合わせマークの中心点とが一致するような位置に形成された、
ことを特徴とする請求項1に記載の、透明プローブ基板を用いた基板検査装置。 - 前記載置台の位置を調整する位置調整ステージと、
前記位置ずれ量に応じて前記位置調整ステージに前記載置台の位置を調整させる位置制御部と、
を更に備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の、透明プローブ基板を用いた基板検査装置。 - 前記プローブ基板のベース材料は、全光線透過率が70%以上の透明樹脂であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の、透明プローブ基板を用いた基板検査装置。
- 前記プローブ基板の、前記処理基板に対する平行度を調整するための平行度調整機構を更に備えることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の、透明プローブ基板を用いた基板検査装置。
- 前記処理基板は、直径が20mm以下の円形または一辺20mmが以下の角形の半導体基板であることを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載の、透明プローブ基板を用いた基板検査装置。
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