JP6267973B2 - Agドープp型ZnO系半導体結晶層の製造方法 - Google Patents
Agドープp型ZnO系半導体結晶層の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6267973B2 JP6267973B2 JP2014012017A JP2014012017A JP6267973B2 JP 6267973 B2 JP6267973 B2 JP 6267973B2 JP 2014012017 A JP2014012017 A JP 2014012017A JP 2014012017 A JP2014012017 A JP 2014012017A JP 6267973 B2 JP6267973 B2 JP 6267973B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- zno
- layer
- growth
- based semiconductor
- type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Led Devices (AREA)
Description
ZnO系半導体層をエピタキシャル成長できる下地層を成長する第一の工程と、
前記下地層上に、Zn,O,p型不純物のAg,n型不純物の3B族元素を同時供給し、Agと3B族元素が共ドープされたZnO系半導体層を成長する第二の工程と、
Agと3B族元素が共ドープされたZnO系半導体層をアニールして、p型化する第三の工程と、
を含むp型ZnO系半導体結晶層の製造方法
が提供される。
2 ZnOバッファー層、 101 真空チャンバー、
3 n型ZnO層、 102 Znソースガン、
4 アンドープZnO活性層、 103 Oソースガン、
5 CuドープZnO層、 104 Mgソースガン、
6n n側電極、 105 Cuソースガン、
6p p側電極、 106 Gaソースガン、
7 ボンディング電極、 107 ステージ、
11 ZnO基板、 108 基板、
12 ZnOバッファー層、 109 膜厚計、
13 アンドープZnO層、 110 RHEED用ガン、
14 AgドープZnO層 111 スクリーン。
15 ZnO層、
16 Ag層、
17 ZnO:Ag層、
18 ZnO:(Ag+Ga)層
Claims (3)
- ZnO系半導体層をエピタキシャル成長できる下地層を成長する第一の工程と、
前記下地層上に、Zn,O,p型不純物のAg,n型不純物の3B族元素を同時供給し、Agと3B族元素が共ドープされたZnO系半導体層を成長する第二の工程と、
Agと3B族元素が共ドープされたZnO系半導体層をアニールして、p型化する第三の工程と、
を含むp型ZnO系半導体結晶層の製造方法。 - 前記第二の工程において、更にMgを供給する請求項1に記載のp型ZnO系半導体結晶層の製造方法。
- 前記3B族元素の濃度[3B]に対する前記Agの濃度[Ag]の比、[Ag]/[3B]、は1より大である、請求項1または2に記載のp型ZnO系半導体結晶層の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014012017A JP6267973B2 (ja) | 2014-01-27 | 2014-01-27 | Agドープp型ZnO系半導体結晶層の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014012017A JP6267973B2 (ja) | 2014-01-27 | 2014-01-27 | Agドープp型ZnO系半導体結晶層の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015141907A JP2015141907A (ja) | 2015-08-03 |
JP6267973B2 true JP6267973B2 (ja) | 2018-01-24 |
Family
ID=53772122
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014012017A Active JP6267973B2 (ja) | 2014-01-27 | 2014-01-27 | Agドープp型ZnO系半導体結晶層の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6267973B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004189541A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Sharp Corp | ZnO系p型半導体結晶、それを用いた半導体複合体、それを用いた発光素子およびその製造方法 |
JP4270885B2 (ja) * | 2003-01-09 | 2009-06-03 | シャープ株式会社 | 酸化物半導体発光素子 |
JP5176254B2 (ja) * | 2008-04-17 | 2013-04-03 | 国立大学法人九州工業大学 | p型単結晶ZnO |
JP6092586B2 (ja) * | 2012-02-28 | 2017-03-08 | スタンレー電気株式会社 | ZnO系半導体層とその製造方法、及びZnO系半導体発光素子の製造方法 |
-
2014
- 2014-01-27 JP JP2014012017A patent/JP6267973B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015141907A (ja) | 2015-08-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9496350B2 (en) | P-type ZnO based compound semiconductor layer, a ZnO based compound semiconductor element, and an N-type ZnO based compound semiconductor laminate structure | |
JP6100590B2 (ja) | p型ZnO系半導体層の製造方法、ZnO系半導体素子の製造方法、及び、n型ZnO系半導体積層構造 | |
JP6017243B2 (ja) | ZnO系半導体素子、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 | |
JP6116989B2 (ja) | Cuドープp型ZnO系半導体結晶層とその製造方法 | |
JP6100591B2 (ja) | p型ZnO系半導体層の製造方法、ZnO系半導体素子の製造方法、及び、n型ZnO系半導体積層構造 | |
JP6219089B2 (ja) | p型ZnO系半導体層の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 | |
JP6155118B2 (ja) | p型ZnO系半導体層の製造方法、ZnO系半導体素子の製造方法、及び、n型ZnO系半導体積層構造 | |
JP6387264B2 (ja) | p型ZnO系半導体層の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 | |
JP6267973B2 (ja) | Agドープp型ZnO系半導体結晶層の製造方法 | |
JP5912968B2 (ja) | p型ZnO系半導体膜の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 | |
JP6092657B2 (ja) | p型ZnO系半導体層の製造方法、ZnO系半導体素子の製造方法、及び、n型ZnO系半導体積層構造 | |
JP6231841B2 (ja) | p型ZnO系半導体層の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 | |
JP6334929B2 (ja) | p型ZnO系半導体層の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 | |
JP5952120B2 (ja) | p型ZnO系半導体層の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 | |
JP2016033934A (ja) | p型ZnO系半導体層の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 | |
JP6092648B2 (ja) | p型ZnO系半導体単結晶層、及び、ZnO系半導体素子 | |
JP2015115566A (ja) | p型ZnO系半導体層、ZnO系半導体素子、p型ZnO系半導体層の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 | |
JP2014027134A (ja) | p型ZnO系半導体単結晶層、及び、ZnO系半導体素子 | |
JP6419472B2 (ja) | p型ZnO系半導体層の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 | |
JP6470061B2 (ja) | p型ZnO系半導体構造の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 | |
JP2017126605A (ja) | ZnO系半導体構造の製造方法 | |
JP6516258B2 (ja) | ZnO系半導体構造の製造方法 | |
JP6516251B2 (ja) | ZnO系半導体構造の製造方法 | |
JP2014027135A (ja) | p型ZnO系半導体単結晶層、及び、ZnO系半導体素子 | |
JP2016033935A (ja) | p型ZnO系半導体層の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161206 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170922 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170926 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171212 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6267973 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |