JP6258235B2 - ピックアップ装置 - Google Patents
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Description
2 シート
3 入力手段
6 ステージ
6a 可動ステージ部
6b 固定ステージ部
8 シート受け面
12 凹部
14 支持部
18 吸引口
19 空隙
Claims (5)
- シートが載置されるステージを有し、複数のチップが所定間隔で張り付けられたシートからチップを剥離してピックアップするピックアップ装置であって、
前記ステージは、底中央が深くなる凹形状のシート受け面を有する固定ステージ部と、固定ステージ部のシート受け面の底部に設けられた凹部にスライド可能に設けられる可動ステージ部と、前記凹部の周囲のいずれかの位置に、前記シート受け面から突出する支持部とを備え、
ピックアップすべき一のチップを前記可動ステージ部に対応させ、かつ前記一のチップの周縁部を少なくとも一部が可動ステージ部からはみ出させるとともに、前記一のチップと隣合う他のチップを前記支持部に対応させるように設置した後、はみ出し部の下方に形成される空隙に負圧を作用させながら、この空隙が大きくなるように可動ステージ部をスライドさせて、シートをチップと反対側へ吸引することを特徴とするピックアップ装置。 - 前記支持部の上端の高さ位置は、前記シート受け面の最大高さ位置と略同一であることを特徴とする請求項1に記載のピックアップ装置。
- 前記支持部は、可動ステージ部が前記凹部に嵌合した状態で、可動ステージ部の先端部に対面する位置、及び可動ステージの側部に対面する位置に設けられることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のピックアップ装置。
- 前記固定ステージ部のシート受け面に、シートを吸引する吸引口が設けられることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のピックアップ装置。
- チップの厚み寸法が、隣合うチップ同士の相対する端部間の幅寸法よりも大きいことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のピックアップ装置。
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