JP5075769B2 - 半導体チップのピックアップ装置およびこれを用いた半導体チップのピックアップ方法 - Google Patents
半導体チップのピックアップ装置およびこれを用いた半導体チップのピックアップ方法 Download PDFInfo
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Description
前記粘着シートが戴置されるステージと、
前記粘着シートの裏面と接触し、平面視において、前記半導体チップに対して水平方向に移動し、かつ個々に移動可能な複数のスライダーと、
前記ステージに形成され、前記複数のスライダーを収容するスライダー収容部と、
前記ステージに連結し、前記スライダー収容部を吸引する吸引機構と、
を有し、
前記ステージには、前記半導体チップが前記スライダー収容部と対向する位置で前記粘着シートが戴置され、
前記複数のスライダーは、一の前記半導体チップに対向して互いに離間して並行に配置されることを特徴とするピックアップ装置
が提供される。
前記ピックアップ装置は、
前記粘着シートが戴置されるステージと、
一の前記半導体チップに対向して互いに離間して並行に配置され、前記粘着シートの裏面と接触し、平面視において、前記半導体チップに対して水平方向に移動し、かつ個々に移動可能な複数のスライダーと、
前記ステージに形成され、前記複数のスライダーを収容するスライダー収容部と、
前記ステージに連結し、前記スライダー収容部を吸引する吸引機構と、
を備え、
前記スライダー収容部が前記半導体チップと対向する位置で前記粘着シートを前記ステージに戴置し、前記粘着シートを前記スライダーに接触させるステップと、
前記スライダー収容部を吸引するステップと、
平面視において、前記スライダーを前記半導体チップに対して水平方向に移動させるステップと、
を含むことを特徴とする半導体チップのピックアップ方法
が提供される。
2 ピックアップ装置
12 半導体チップ
13 ダイシングシート
100 ステージ
102 スライダー収容部
103 スリット
200 エキスパンダ
201a スライダー
201b スライダー
201c スライダー
201d スライダー
300 ボンディングヘッド
400 ダイマウンタ
500 吸引機構
600 半導体ウェハ
Claims (5)
- 粘着シートの表面に搭載された半導体チップを前記粘着シートから剥離する半導体チップのピックアップ装置であって、
前記粘着シートが戴置されるステージと、
前記粘着シートの裏面と接触し、平面視において、前記半導体チップに対して水平方向に移動し、かつ個々に移動可能な複数のスライダーと、
前記ステージに形成され、前記複数のスライダーを収容するスライダー収容部と、
前記ステージに連結し、前記スライダー収容部を吸引する吸引機構と、
を有し、
前記ステージには、前記半導体チップが前記スライダー収容部と対向する位置で前記粘着シートが戴置され、
前記複数のスライダーは、一の前記半導体チップに対向して互いに離間して並行に配置されることを特徴とする半導体チップのピックアップ装置。 - 前記複数のスライダーは、各スライダーが前記粘着シートと接触する側に少なくとも一以上のスリットを備え、
前記スリットは、前記スライダー収容部に連通していることを特徴とする請求項1に記載の半導体チップのピックアップ装置。 - 前記スリットは、平面視において、前記スライダーの移動方向に対して直角に延伸していることを特徴とする請求項2に記載の半導体チップのピックアップ装置。
- ピックアップ装置を用いて粘着シートの表面に搭載された半導体チップを前記粘着シートから剥離する半導体チップのピックアップ方法であって、
前記ピックアップ装置は、
前記粘着シートが戴置されるステージと、
一の前記半導体チップに対向して互いに離間して並行に配置され、前記粘着シートの裏面と接触し、平面視において、前記半導体チップに対して水平方向に移動し、かつ個々に移動可能な複数のスライダーと、
前記ステージに形成され、前記複数のスライダーを収容するスライダー収容部と、
前記ステージに連結し、前記スライダー収容部を吸引する吸引機構と、
を備え、
前記スライダー収容部が前記半導体チップと対向する位置で前記粘着シートを前記ステージに戴置し、前記粘着シートを前記スライダーに接触させるステップと、
前記スライダー収容部を吸引するステップと、
平面視において、前記スライダーを前記半導体チップに対して水平方向に移動させるステップと、
を含むことを特徴とする半導体チップのピックアップ方法。 - 前記粘着シートを前記スライダーに接触させる前記ステップにおいて、前記半導体チップの周縁部と前記スライダー収容部の周縁部とが対向する位置に前記粘着シートを配置させることを特徴とする請求項4に記載の半導体チップのピックアップ方法。
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