JP6257303B2 - 接続体の製造方法、接続方法、及び接続体 - Google Patents
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- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
次いで、異方性導電フィルム1について説明する。異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)1は、図2に示すように、通常、基材となる剥離フィルム2上に導電性粒子4を含有するバインダー樹脂層(接着剤層)3が形成されたものである。異方性導電フィルム1は、図1に示すように、液晶表示パネル10の透明基板12に形成された透明電極17と液晶駆動用IC18との間にバインダー樹脂層3を介在させることで、液晶表示パネル10と液晶駆動用IC18とを接続し、導通させるために用いられる。
また、本発明に係る異方性導電フィルム1は、導電性粒子4を含有するバインダー樹脂層3と、導電性粒子が含まれない絶縁性の接着剤組成物からなる絶縁性接着剤層とを積層されてなる2層構造の異方性導電フィルムとしてもよい。
次いで、異方性導電フィルム1を介して液晶駆動用IC18が透明基板12の透明電極17上に接続された接続体の製造工程について説明する。先ず、異方性導電フィルム1を透明電極17上に仮圧着する。異方性導電フィルム1を仮圧着する方法は、液晶表示パネル10の透明基板12の透明電極17上に、バインダー樹脂層3が透明電極17側となるように、異方性導電フィルム1を配置する。
接続装置30は、異方性導電フィルム1を介して液晶駆動用IC18が透明基板12の透明電極17上に接続された接続体の製造工程に用いるものであり、図1に示すように、仮接続体21が載置されるステージ31と、ステージ31を加熱する加熱機構32と、ステージ31上に載置された透明基板12に異方性導電フィルム1を介して搭載された液晶駆動用IC18を加熱押圧する熱圧着ヘッド33と、熱圧着ヘッド33を移動するヘッド移動機構34とを有する。
次いで、接続装置30を用いた接続工程について説明する。接続工程では、図1に示すように、先ずステージ31に仮接続体21が載置される。仮接続体21は、透明基板12がステージ31上に載置され、液晶駆動用IC18がステージ31の上方に待機する熱圧着ヘッド33と対峙される。
ここで、本接続工程では、熱圧着ヘッド33による加熱押圧処理に先行してステージ31による予備加熱を所定の温度プロファイルで開始し、その後、熱圧着ヘッド33による加熱押圧処理を行う。具体的に、ステージ31の温度制御は加熱機構32によって行われ、温度プロファイルは、ステージ31上に仮接続体21が載置されてから熱圧着ヘッド33による加熱押圧が開始されるまでの全予備加熱時間の50%経過時におけるバインダー樹脂層3の昇温率が、予備加熱による全昇温温度の50%以下とされ、より好ましくは全予備加熱時間の50%経過時におけるバインダー樹脂層3の昇温率が予備加熱による全昇温温度の25%以下とされる。
予備加熱の後、液晶駆動用IC18の上面を所定の加熱温度に昇温された熱圧着ヘッド33により、所定の温度、圧力及び時間で熱加圧することにより、本圧着を行う。熱圧着ヘッド33による熱加圧条件は、バインダー樹脂層3を硬化させる所定の温度(例えば230℃)、圧力(例えば60MPa)、時間(例えば5秒間)に設定される。
上記では、導電性の接着剤としてフィルム形状を有する異方性導電フィルム1について説明したが、ペースト状であっても問題は無い。また、本発明は、導電性粒子4を含有しないバインダー樹脂層からなる絶縁性接着フィルム、及び導電性粒子4を含有しないペースト状のバインダー樹脂を用いた絶縁性接着ペーストによる接続工程に用いてもよい。本発明に係る接着剤は、導電性粒子4の有無や、フィルムやペースト等の形態は問わない。
評価用ICの接続に用いる接着剤として、以下の導電性粒子含有層と絶縁性接着剤層とが積層された2層構造の異方性導電フィルムを作製した。
ビスA型フェノキシ樹脂(商品名YP50、新日鐵化学社製)30質量部、ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂(商品名EP828、三菱化学社製)30質量部、イミダゾール系潜在性硬化剤(商品名PHX3941HP、旭化成株式会社製)40質量部、エポキシ系シランカップリング剤(商品名A−187、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ株式会社製)1質量部、粒子径3.25μmの導電性粒子(商品名ミクロパールAU、積水化学工業社製)35質量部にトルエンを加え固形分50%の組成物を調整した。調整した組成物を剥離フィルム上に塗布し、オーブンで加熱することにより乾燥させ、厚み8μmの導電性粒子含有層を作製した。
ビスA型フェノキシ樹脂(商品名YP50、新日鐵化学社製)25質量部、ビスフェノールA型液状エポキシ樹脂(商品名EP828、三菱化学社製)35質量部、イミダゾール系潜在性硬化剤(商品名PHX3941HP、旭化成株式会社製)40質量部、エポキシ系シランカップリング剤(商品名A−187、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ株式会社製)1質量部にトルエンを加え固形分50%の組成物を調整した。調整した組成物を剥離フィルム上に塗布し、オーブンで加熱することにより乾燥させ、厚み12μmの絶縁性接着剤層を調整した。
評価素子として、外形;2.0mm×20mm、厚み0.5mm、バンプ間スペース;20μm、バンプ高さ;15μm(Au‐plated)の評価用ICを用いた。
評価用ICが接続される評価用ガラス基板として、外形;30mm×50mm、厚み0.5mm、バンプ間スペース;20μmのITOパターングラスを用いた。
先ず、評価用のガラス基板を仮圧着装置の基板支持台上に載置した。基板支持台に載置されたガラス基板の接続面上に、導電性粒子含有層を接続面と対峙させるようにして異方性導電フィルムを配置した。そして、加圧ボンダーのヘッド部を80℃に加熱し、この加熱したヘッド部の加圧面を剥離フィルムの上から絶縁性接着剤層の上面に押し当てて1MPaで2秒間加圧した。この熱加圧により、ガラス基板上に異方性導電フィルムを仮圧着した。その後、剥離フィルムを剥がし、評価用ICのバンプが形成された接続面を、バンプと配線電極とのアライメントを取りながら異方性導電フィルム上に配置することにより、仮接続体を製造した。
実施例1では、本圧着工程の前に、接続装置の加熱ステージに上に仮接続体のガラス基板を固定し、10秒間の予備加熱を行った。加熱ステージは当初30℃に設定され、異方性導電フィルムの温度が仮接続体の搭載後5秒後に45℃、10秒後に90℃となる温度プロファイルとなるように、加熱機構によってステージ温度を調整した。異方性導電フィルムの温度は、評価用ICとガラス基板の間に熱電対を配置することにより測定した。
実施例2では、5秒間の予備加熱を行った。加熱ステージは当初30℃に設定され、異方性導電フィルムの温度が仮接続体の搭載後2.5秒後に45℃、5秒後に90℃となる温度プロファイルとなるように、加熱機構によってステージ温度を調整した。
実施例3では、10秒間の予備加熱を行った。加熱ステージは当初30℃に設定され、異方性導電フィルムの温度が仮接続体の搭載後5秒後に60℃、10秒後に90℃となる温度プロファイルとなるように、加熱機構によってステージ温度を調整した。
比較例1では、予備加熱を行わずに、仮接続体に対して直ちに本圧着工程を行った。本圧着条件は実施例1と同じである。
比較例2では、10秒間の予備加熱を行った。加熱ステージは当初30℃に設定され、異方性導電フィルムの温度が仮接続体の搭載後5秒後に75℃、10秒後に90℃となる温度プロファイルとなるように、加熱機構によってステージ温度を調整した。
実施例及び比較例に係る仮接続体及び接続体の本圧着前反応率、反り量、接続抵抗値の測定、評価方法は以下のとおりである。
試料Aとして未硬化の異方性導電フィルム、試料Bとして本圧着工程前に加熱ステージ上から取出した異方性導電フィルムをそれぞれ採取し、各試料10mgを測定セルにそれぞれ精秤する。そして、これらをそれぞれ示差走差熱量計DSC200(機種名、セイコー電子工業社製)により、30℃から230℃まで昇温速度10℃/分で昇温させた場合の発熱ピーク面積から各試料の発熱量を求める。なお、各試料の発熱量を便宜上、A・Bとする。次に、これらA・Bを用いて、加熱加圧直後のDSC反応率R(%)を下記式1により求めた。
R(%)=(1−B/A)×100 ・・・(式1)
触針式表面粗度計(商品名:SE−3H、小阪研究所社製)を用いて、ガラス基板の下側からスキャンし、評価用ICの本圧着後の評価用ガラス基板面の反り量(μm)を測定した。反り量が比較例1と同等もしくは、より増加したものを×、3μm未満減少したものを○、3μm以上減少したものを◎として評価した。
デジタルマルチメーター(商品名:デジタルマルチメーター7561、横河電機(株)社製)を用いて、環境試験(85℃/85%/500hr)後の接続抵抗(Ω)の測定を行った。バンプと配線電極との接続部を含む抵抗値が10Ω未満であるものを○、10Ω以上30Ω未満であるものを△、30Ω以上であるものを×として評価した。
Claims (7)
- 基板上に未硬化の接着剤を介して電子部品が搭載された仮接続体を、温度制御機構を有するステージ上に載置し、
上記ステージによって上記基板側を加熱するととともに、熱圧着ヘッドによって上記電子部品を上記基板上に加熱押圧し、上記接着剤を介して上記電子部品が上記基板上に接続された接続体の製造方法において、
上記熱圧着ヘッドによる加熱押圧工程よりも先に、上記ステージによって上記基板の予備加熱を行い、
上記ステージ上に上記仮接続体が載置されてから上記熱圧着ヘッドによる加熱押圧までの予備加熱時間の50%経過時における上記接着剤の昇温率が、上記予備加熱による全昇温温度の50%以下である接続体の製造方法。 - 基板上に未硬化の接着剤を介して電子部品が搭載された仮接続体を、温度制御機構を有するステージ上に載置し、
上記ステージによって上記基板側を加熱するととともに、熱圧着ヘッドによって上記電子部品を上記基板上に加熱押圧し、上記接着剤を介して上記電子部品が上記基板上に接続された接続体の製造方法において、
上記熱圧着ヘッドによる加熱押圧工程よりも先に、上記ステージによって上記基板の予備加熱を行い、
上記ステージ上に上記仮接続体が載置されてから上記熱圧着ヘッドによる加熱押圧までの予備加熱時間の50%経過時における上記接着剤の昇温率が、上記予備加熱による全昇温温度の25%以下である接続体の製造方法。 - 上記ステージ上に上記仮接続体が載置されてから上記熱圧着ヘッドによる加熱押圧までの間における上記接着剤の温度プロファイルは、漸次上昇するプロファイルを描く請求項1又は2に記載の接続体の製造方法。
- 上記基板は、ガラス基板であり、上記電子部品はICチップである請求項1〜3のいずれか1項に記載の接続体の製造方法。
- 上記接着剤は、導電性粒子を含有している請求項1〜4のいずれか1項に記載の接続体の製造方法。
- 基板上に未硬化の接着剤を介して電子部品が搭載された仮接続体を、温度制御機構を有するステージ上に載置し、
上記ステージによって上記基板側を加熱するととともに、熱圧着ヘッドによって上記電子部品を上記基板上に加熱押圧し、上記接着剤を介して上記電子部品を上記基板上に接続する接続方法において、
上記熱圧着ヘッドによる加熱押圧工程よりも先に、上記ステージによって上記基板の予備加熱を行い、
上記ステージ上に上記仮接続体が載置されてから上記熱圧着ヘッドによる加熱押圧までの予備加熱時間の50%経過時における上記接着剤の昇温率が、上記予備加熱による全昇温温度の50%以下である接続方法。 - 上記接着剤は、導電性粒子を含有している請求項6記載の接続方法。
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