JP6251077B2 - ワーククランプトレイおよびその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明はワークの固定と解放が可能なワーククランプトレイ、およびその製造方法に関するものである。
例えば、複数個のワークに同時に印刷を行う場合やワークを実装機に供給する場合、半導体ワークにボンディングを行う場合などには、高い精度でワークを位置決め固定することが要求される。
このような要求に対応するため、これまで種々のワーククランプトレイが提案されている。例えば特許文献1には、底板8、9(ベースプレート)、枠板10、および上板11(カバープレート)といった板状の部材が積層配置されており、可動板3が枠板10の内側において移動可能に配置された治具(ワーククランプトレイ)が開示されている。このワーククランプトレイでは、可動板が円滑に移動することにより、ワークを適切に固定することが可能である。
特開2000-357729号公報
上述したワーククランプトレイでは、特に平面形状が大きい場合にベースプレート或いはカバープレートが撓み易くなり、可動板に接触する可能性がある。この場合には可動板が円滑に移動できず、ワークの適切な固定ができなくなる虞がある。
上述した問題点に鑑み、本発明の目的は、ベースプレート或いはカバープレートの撓み等による不具合を抑えることが可能となるワーククランプトレイを提供することにある。
本発明に係るワーククランプトレイは、ベースプレート、枠プレート、およびカバープレートがこの順に積層配置され、ワークを収容する複数個の位置決め穴が形成された可動プレートが、前記枠プレート内において移動可能に配置され、ベースプレートおよびカバープレートの少なくとも一方には、前記位置決め穴へのワークの収容を可能とする収容穴が形成され、前記可動プレートは、収容されたワークを固定する固定位置と、当該固定されたワークを解放する解放位置と、に移動が可能であり、ベースプレートとカバープレートとが所定間隔となるように支持する柱部が、前記枠プレート内に設けられた構成とする。なお、上記各種のプレートは略板状の部材(プレート部材)であるが、その具体的な外形などは問わない。また、上記各種のプレートは、複数の部材を寄り集めて形成したものであっても構わない。
また、上記構成において、前記可動プレートには、前記柱部が貫通する貫通穴が形成されており、前記貫通穴は、移動する可動プレートと前記柱部との干渉が生じない大きさに設定されている構成としてもよい。
また、上記構成において、前記可動プレートは、前記複数個の位置決め穴それぞれの内周面に設けられた弾性部材を有しており、前記固定位置へ移動した状態において、前記弾性部材がワークを付勢するように形成された構成としてもよい。
また、上記構成において、複数個の前記柱部それぞれが、平面方向に離隔配置されている構成としてもよい。なお、ここでの平面方向は、ベースプレートやカバープレートの平面が広がる方向(換言すれば、積層方向に対して直角の方向)のことである。
また、本発明に係るワーククランプトレイの製造方法は、前記柱部それぞれの切り離しが可能に形成された柱部製造部品を用いて、上記構成のワーククランプトレイを製造する製造方法であって、柱部製造部品における前記柱部それぞれの部分をベースプレートに接着させる接着工程と、前記接着工程の実行後に前記切り離しを行い、柱部製造部品における前記柱部それぞれ以外の部分を除去する除去工程と、を含む製造方法とする。
また、上記方法において、柱部製造部品は、前記離隔配置に合わせて配置された前記柱部それぞれと、前記柱部それぞれが内側に配置された略プレート状に形成されたプレート部と、前記柱部それぞれの側部を前記プレート部に繋ぐ中継部それぞれと、を有し、前記接着工程は、前記柱部それぞれがベースプレートへ接着可能となるように、柱部製造部品を位置決めする処理を含む方法としてもよい。
また、上記方法において、前記除去工程は、前記プレート部をベースプレートから引き離す処理を含み、柱部製造部品は、前記中継部それぞれと前記柱部との接続部分、および、前記中継部それぞれと前記プレート部との接続部分において、前記引き離す処理の際に応力集中が生じるように形成されている方法としてもよい。
本発明のワーククランプトレイによれば、ベースプレートとカバープレートとが所定間隔となるように支持する柱部が枠プレート内に設けられているため、プレート部材の撓み等による不具合を抑えることが可能となる。
本発明の第1実施形態に係るワーククランプトレイの斜視図である。 第1実施形態に係るベースプレートの平面図である。 第1実施形態に係る枠プレートおよび可動プレートの平面図である。 第1実施形態に係るカバープレートの平面図である。 第1実施形態に係る柱部近傍の垂直断面図である。 第1実施形態におけるワークの位置決め固定の様子を示す説明図である。 本発明の第2実施形態に係るワーククランプトレイの斜視図である。 第2実施形態に係るワーククランプトレイの垂直断面図である。 第2実施形態に係るカバーの平面図である。 第2実施形態に係る精度板の平面図である。 第2実施形態に係る調整板の平面図である。 第2実施形態に係る外ばね板の平面図である。 第2実施形態に係る内ばね板の平面図である。 第2実施形態に係る枠の平面図である。 第2実施形態に係る柱部製造部品の平面図である。 第2実施形態に係るワーククランプトレイの製造に関する説明図である。
以下、本発明に係るワーククランプトレイの実施形態として第1および第2実施形態を例に挙げ、これらについて各図を参照しながら詳述する。但し本発明の内容は、これらの実施形態に何ら限定されるものではない。なお、以下の説明においてx、y、およびzの直交座標軸は、図1(第1実施形態の場合)および図7(第2実施形態の場合)に示す通りである。また、特に断りの無い限り、「平面方向」はxy平面の方向(各プレート部材の平面が広がる方向)であり、「積層方向」はz方向(各プレート部材が積層される方向)であるとする。
[第1実施形態]
まず第1実施形態について説明する。図1に、本実施形態に係るワーククランプトレイ1(以下、「クランプトレイ1」と記すことがある)の斜視図を示す。図1に示すようにクランプトレイ1は、ベースプレート11、枠プレート13、およびカバープレート12の各プレート部材が、この順に積層配置された構成となっている。
また、クランプトレイ1の内部には、可動プレート14(図3を参照)が配置されているとともに、複数個(図1の例では4個)の柱部15が平面方向に離隔配置されている。なお、ベースプレート11と枠プレート13の間、および枠プレート13とカバープレート12の間の少なくとも一方には、可動プレート14の移動を円滑にするため、所定厚さのスペーサープレートが介装されても良い。
次に各プレート部材の構成について、図2〜図4を参照しながら以下に説明する。図2は、ベースプレート11の平面図である。本図に示すようにベースプレート11は、四角形の1つ角部を切り取った形状となっている。なお、図2に点線で示す部分は、ベースプレート11における柱部15の取り付け部分を示している。
図3は、枠プレート13および可動プレート14の平面図である。枠プレート13は、ベースプレート11と同じ外形で、内側に中央空間を有している。可動プレート14は、枠プレート13の中央空間に所定方向(図3に着色矢印で示す方向)へ移動可能に配置されており、複数個(図3の例では16個)の位置決め穴14aが形成されている。
また、四角形状の可動プレート14は、対向する角部から外方に突出する第1突出部14dと第2突出部14eとを有する。第1突出部14dは枠プレート13の切れ目から外方に突出し、第2突出部14eは枠プレート13の切り欠き部に係入している。
また、図3に示すように、可動プレート14の四角形状の各位置決め穴14aには、ワークをx方向に付勢する略U字状の第1板ばね14bとy方向に付勢する略U字状の第2板ばね14c(何れも弾性部材)とが、隣り合う2つの内壁面にそれぞれ可動プレート14と一体に形成されている。
なお、第1板ばね14bと第2板ばね14cとは、可動プレート14と別体に作製し、可動プレート14に取り付けても構わないが、部品数の増加を抑えてクランプトレイ1の組み立て作業を容易化する観点などから、第1板ばね14bと第2板ばね14cは可動プレート14と一体に形成するのが望ましい。第1板ばね14b、第2板ばね14c、および可動プレート14を一体形成する際には、従来公知の形成方法を用いることができ、中でもフォトエッチング加工が好適に使用できる。
また、図3に示すように、枠プレート13の各内壁面には、可動プレート14の移動可能方向へ可動プレート14を付勢するバネ部材(付勢部材)13aが、枠プレート13および可動プレート14と一体に形成されている。枠プレート13、バネ部材13a、および可動プレート14を一体形成する際には、前述のフォトエッチング加工が好適に使用できる。
図4は、カバープレート12の平面図である。カバープレート12はベースプレート11と同じ外形を有しており、ワーク(チップ等でも良い)を収容する複数個の収容穴12aが、各位置決め穴14aに合わせた位置に形成されている。なお、図4に点線で示す部分は、カバープレート13における柱部15の取り付け部分を示している。
ベースプレート11と枠プレート13の接合、および枠プレート13とカバープレート12の接合には、例えばスポット溶接やネジによる締結など、従来公知の接合方法を用いることができる。また、ベースプレート11、カバープレート12、および枠プレート13を磁性体材料で構成した場合には、磁石によってそれらを接合するようにしてもよい。このようにすれば、クランプトレイ1の組立・分解作業が容易となり、枠プレート13や可動プレート14が使用により劣化した場合には新しいものと交換できるようになる。
また、図3に示すように、可動プレート14には、柱部15を貫通させる貫通穴14fが、柱部15それぞれに合わせた位置に形成されている。なお、図3に点線で示す部分は、柱部15が貫通する部分を示している。柱部15は、ベースプレート11とカバープレート12とが所定間隔となるように支持する支持柱であり、主に、カバープレート12(或いはベースプレート11)の撓みを抑える役割を果たす。
すなわち、ベースプレート11とカバープレート12は、外縁付近では枠プレート13によって積層方向へ支持されているが、中央付近では枠プレート13によって支持されていない。そのため、特にクランプトレイ1の平面形状が大きい場合には、カバープレート12(或いはベースプレート11)が撓んで可動プレート14に接触し、可動プレート14が円滑に移動できなくなる等の不具合が生じ得る。そこで、枠プレート13内におけるベースプレート11とカバープレート12の間に柱部15が配置され、このような不具合を防止している。
図5に、図1のA−A線における垂直断面図を示す。本図に示すように、貫通穴14fを挿通するように、ベースプレート11とカバープレート12の間に柱部15が設けられている。なお、貫通穴14fの内周と柱部15の外周との隙間は、可動プレート14の移動量よりも広く設定されている。すなわち、貫通穴14fの大きさは、可動プレート14の移動に伴う可動プレート14と柱部15との干渉が生じない大きさに設定されている。そのため、柱部15が可動プレート14の移動を妨げることはない。また、ベースプレート11とカバープレート12を磁性体材料で構成した場合に、柱部15を磁石で構成しても良い。これにより、クランプトレイの組立・分解が容易になる。
上述した構成のクランプトレイ1において、可動プレート14は通常、バネ部材13aの付勢力によって、枠プレート13と当接するまで図3での右上方向に移動している。これにより、第1突出部14dの位置は、枠プレート13から外方に突出した位置となっている。このとき、図6(a)に示すように、カバープレート12の収容穴12aから第1板ばね14b及び第2板ばね14cが露出している。
クランプトレイ1にワークを位置決め固定する場合には、まず第1突出部14dに力を加え、これをバネ部材13aの付勢力に抗して図3での左下方向に押し入れる。これにより、可動プレート14はその方向に移動し、図4(b)に示すように、第1板ばね14b及び第2板ばね14cはカバープレート12の収容穴12aから見えない位置に移動し、ワークを収容穴12aに収容可能な状態となる。次いで、図4(c)に示すように、収容穴12aおよび位置決め穴14aにワークを収容する。収容穴12aは、ワークの大きさのバラツキを考慮し標準的なワークの外形よりも大きく形成されている。そのためこの段階では、収容されたワークは位置決め固定されていない。
次に、第1突出部14dに加えていた力を外すと、バネ部材13aの付勢力によって可動プレート14は第1突出部14dが外方に突出する位置に移動する。このとき、図6(d)に示すように、第1板ばね14bと第2板ばね14cがワークに当接してワークを右上方向へ移動させることになる。そして、第1板ばね14bと第2板ばね14c及び収容穴12aの内周面によって、ワークは位置決めされるとともに挟持され固定される。このとき可動プレート14は、収容されたワークを押し付けて固定する固定位置にある。
位置決め固定されたワークを収容穴12aから取り出す場合は、第1突出部14dを枠プレート13の中央方向(図3での左下方向)に押せば良い。これにより、可動プレート14が同じ方向へ移動し、第1板ばね14bと第2板ばね14c、及び収容穴12aの内周面とによるワークの挟持が解除され、ワークを取り出すことが可能となる。このとき可動プレート14は、固定されたワークを開放する開放位置にある。
[第2実施形態]
次に第2実施形態について説明する。なお、以下の説明では、第1実施形態と異なる部分の説明に重点をおき、共通する部分については説明を省略することがある。
図7に、本実施形態に係るワーククランプトレイ2(以下、「クランプトレイ2」と記すことがある)の斜視図を示す。本図に示すようにクランプトレイ2には、ワークを収容可能とする収容穴2aが、25個(x方向)×17個(y方向)のマトリクス状に形成されている。但し、そのうちの5個×5個の所定箇所(図7に点線で示す部分)には、その直下に柱部28a(図8を参照)を設置するため、貫通穴2aは形成されていない。
図8に、図7のB−B線における垂直断面図(但しワークをクランプした状態)を示す。本図に示すようにクランプトレイ2は、ベースプレートP1、中間複合プレートPm(第1実施形態での枠プレート13および可動プレート14に相当)、およびカバープレートP2が、この順に積層配置された構成となっている。また、収容穴2aは位置決め穴2bと一体になって貫通して形態であるため、長いワークを貫通させて収容することも可能である。
ベースプレートP1は、カバー21、精度板22、カバー21、および調整板23が、この順に積層配置された構成となっている。また、中間複合プレートPmは、外ばね板25および内ばね板26が、この順に積層配置された構成となっている。また、カバープレートP2は、調整板23、カバー21、精度板22、およびカバー21が、この順に積層配置された構成となっている。上述した各プレート部材は、例えばステンレス材質により形成されている。
平面方向へほぼ等間隔に離隔配置されている各柱部28aは、ベースプレートP1とカバープレートP2の間に介在しており、ベースプレートP1とカバープレートP2が所定間隔となるように支持する役割を果たす。これにより、ベースプレートP1やカバープレートP2の撓みを抑えることが可能である。
図9は、カバー21の平面図である。カバー21は、2枚組みで精度板22を挟み込むように配置されるプレート部材であり、ワークを収容可能とする収容穴2aが設けられている。また、カバー21における各柱部28aに対応する位置には、スポットマーク21bが設けられている。
図10は、精度板22の平面図である。精度板22は、ワークを収容可能とする収容穴2aが設けられており、内ばね板26とともにワークを挟持して固定するプレート部材である。図11は、調整板23の平面図である。調整板23は、ワークを収容可能とする収容穴2aが設けられており、各柱部28aに対応する位置にはスポットマーク23bが設けられている。
図12は、外ばね板25の平面図である。外ばね板25は、枠状に形成された枠部分25a(第1実施形態での枠プレート13に相当)と、枠部分25内に移動可能に配置された可動部分25b(第1実施形態での可動プレート14の一部に相当)を有する。枠部分25aは、ベースプレートP1と同じ外形で中央空間を有している。
可動部分25bは、枠部分25aの内側にある中央空間に所定方向(図12に着色矢印で示す方向)へ移動可能に配置されており、収容穴2aに対応する位置に位置決め穴2bが設けられている。また、可動部分25bには、角部から外方に突出する突出部25f(第1実施形態での第1突出部14dに相当)が設けられている。また、枠部分25aの各内壁面には、可動部分25bの移動可能方向へ可動部分25bを付勢するバネ部材25c(第1実施形態でのバネ部材13aに相当)が、枠部分25aおよび可動部分25bと一体に形成されている。
なお、可動部分25bにおける柱部28aに対応する位置には、柱部28aを貫通させるための貫通穴25eが設けられている。貫通穴25eは、可動部分25bが移動しても柱部28aに干渉しないように、柱部28aの外径より大きく設定されている。
図13は、内ばね板26(第1実施形態での可動プレート14の一部に相当)の平面図である。内ばね板26は、収容穴2aに対応する位置に位置決め穴2bが設けられており、外ばね板25の可動部分25bに接着固定して用いられる。また、位置決め穴2bには、ワークをx方向に付勢する略U字状の第1板ばね26bとy方向に付勢する略U字状の第2板ばね26cが、内ばね板26と一体に形成されている。
なお、内バネ板26における柱部28aに対応する位置には、柱部28aを貫通させるための貫通穴26fが設けられている。貫通穴26fは、内バネ板26が移動しても柱部28aに干渉しないように、柱部28aの外径より大きく設定されている。
図14は、枠27の平面図である。枠27は、内ばね板26よりも厚めに形成されており、外ばね板25の枠部分25aとカバープレートP2の間に配置される。これにより、内ばね部26とカバープレートP2の間において、外ばね板25の可動部分25bと内ばね板26を円滑に移動させるためのクリアランスが確保される。
上記構成のクランプトレイ2にワークを位置決め固定するための手順は、第1実施形態でのクランプトレイ1の場合と基本的に同様である。簡潔に説明すると、まず突出部25fに力が加えられ、これがバネ部材25cの付勢力に抗して図12での左下方向に押し入れられる。このようにしてワークを収容穴2aに収容可能な状態とした後、収容穴2aおよび位置決め穴2bにワークが収容される。
そして突出部25fに加えていた力を外すと、外ばね板25の可動部分25bと内ばね板26が、バネ部材25cの付勢力によって押し戻される(固定位置に移動する)。これにより、第1板ばね26bと第2板ばね26c及び精度板22によって、ワークは位置決めされるとともに挟持され固定される。固定されたワークを収容穴2aから取り出す場合は、突出部25fが図12での左下方向に押される。これにより、外ばね板25の可動部分25aと内ばね板26は同じ方向に移動して(開放位置に移動して)、ワークの挟持が解除され、ワークを取り出すことが可能となる。
また、クランプトレイ2を製造する工程としては、基本的には、図8に示すように各プレート部材を下側から順に積層配置し、適宜、スポット溶接やネジによる締結といった従来公知の接合方法を用いる手法が採用され得る。なお、本実施形態では、ベースプレートP1に柱部28aを接着させるための製造工程において、所定の柱部製造部品28が用いられる。
図15に、柱部製造部品28の平面図を示す。柱部製造部品28は、クランプトレイ2(完成品)での柱部28aの離隔配置に合わせて配置された柱部28aそれぞれと、前記柱部28aそれぞれが内側に配置された略プレート状に形成されたプレート部28bと、柱部28aそれぞれの側部をプレート部28bに繋ぐ中継部28cそれぞれと、を有しており、柱部28cそれぞれの切り離しが可能に形成されている。
また、柱部28aと中継部28cの接続部分28dは、極端にくびれた形状であるとともに、所定量の切り欠きが設けられている。また、プレート部28bと中継部28cの接続部分28eには、小さい穴および所定量の切り欠きが設けられている。このように各接続部分(28d、28e)は、その周囲に比べて断面積が著しく小さくなっており、後述する除去工程において応力集中が生じるように形成されている。なお、応力集中が生じるようにするための具体的手法は、上記手法には限られない。
図16は、クランプトレイ2の製造工程の一部である接着工程から除去工程までの様子を、模式的に示している。なお、接着工程は、柱部製造部品28における柱部28aそれぞれの部分を、ベースプレートP1に接着させる工程である。また、除去工程は、接着工程の実行後に柱部製造部品28から柱部28aの切り離しを行い、柱部製造部品28における柱部28aそれぞれ以外の部分(プレート部28bや中継部28c)を除去する工程である。
接着工程では、まず図16(a)に示すように、柱部28aそれぞれがベースプレートP1の正しい位置へ接着可能となるように、柱部製造部品28が位置決めされる。そして位置決めされたまま、各柱部28aがベースプレートP1にスポット溶接される。各柱部28aがベースプレートP1に固着した後、柱部製造部品28のプレート部28bがリフトアップされる。これにより、プレート部28bがベースプレートP1から引き離される。
このようにプレート部28bがリフトアップされると、柱部製造部品28における各接続部分(28d、28e)に応力集中が生じ、その部分が容易に折れ曲がる格好となる。より具体的には、接続部分28eでは山折りとなるように折れ曲がり易く、接続部分28dでは谷折りとなるように折れ曲がり易くなる。これにより、柱部28aを中継部28cから容易に切り離すことが可能である。このようにして柱部28aをベースプレートP1上に設けた後は、中間複合プレートPmおよびカバープレートP2を更に積層配置して接合する工程などを経て、クランプトレイ2が完成する。
[その他]
以上に説明した通り、各実施形態のワーククランプトレイは、ベースプレート、枠プレート(第2実施形態では枠部25a)、およびカバープレートがこの順に積層配置されている。そしてワークを収容する複数個の位置決め穴が形成された可動プレート(第2実施形態では可動部25bと内バネ板26)が、前記枠プレート内において移動可能に配置されており、ベースプレートおよびカバープレートの少なくとも一方には、前記位置決め穴へのワークの収容を可能とする収容穴が形成されている。
そして可動プレートは、収容されたワークを固定する固定位置と、当該固定されたワークを解放する解放位置と、に移動が可能であり、更に、ベースプレートとカバープレートをこれらの間から支持する柱部が、前記枠プレート内に設けられている。そのため各実施形態のワーククランプトレイによれば、ベースプレートやカバープレートの撓み等による不具合を抑えることが可能である。
本発明は、各種のワークをクランプするワーククランプトレイに利用可能である。
1 ワーククランプトレイ(第1実施形態)
11 ベースプレート
12 カバープレート
12a 収容穴
13 枠プレート
13a ばね部材
14 可動プレート
14a 位置決め穴
14b 第1板ばね
14c 第2板ばね
14d 第1突出部
14e 第2突出部
14f 貫通穴
2 ワーククランプトレイ(第2実施形態)
2a 収容穴
2b 位置決め穴
21 カバー
22 精度板
23 調整板
25 外ばね板
25a 枠部分
25b 可動部分
25c ばね部材
25e 貫通穴
25f 突出部
26 内ばね板
26b 第1板ばね
26c 第2板ばね
26f 貫通穴
27 枠
28 柱部製造部品
28a 柱部
28b プレート部
28c 中継部
28d 柱部と中継部の接続部分
28e プレート部と中継部の接続部分
P1 ベースプレート
P2 カバープレート
Pm 中間複合プレート

Claims (7)

  1. ベースプレート、枠プレート、およびカバープレートがこの順に積層配置され、
    ワークを収容する複数個の位置決め穴が形成された可動プレートが、前記枠プレート内において移動可能に配置され、
    ベースプレートおよびカバープレートの少なくとも一方には、前記位置決め穴へのワークの収容を可能とする収容穴が形成され、
    前記可動プレートは、収容されたワークを固定する固定位置と、当該固定されたワークを解放する解放位置とに移動が可能であり、
    ベースプレートとカバープレートとが所定間隔となるように支持する柱部が、前記枠プレート内に設けられたことを特徴とするワーククランプトレイ。
  2. 前記可動プレートには、前記柱部が貫通する貫通穴が形成されており、
    前記貫通穴は、移動する可動プレートと前記柱部との干渉が生じない大きさに設定されている請求項1記載のワーククランプトレイ。
  3. 前記可動プレートは、
    前記複数個の位置決め穴それぞれの内周面に設けられた弾性部材を有しており、
    前記固定位置へ移動した状態において、前記弾性部材がワークを付勢するように形成された請求項1又は2記載のワーククランプトレイ。
  4. 複数個の前記柱部それぞれが、平面方向に離隔配置されている請求項1〜3のいずれかに記載のワーククランプトレイ。
  5. 前記柱部それぞれの切り離しが可能に形成された柱部製造部品を用いて、請求項4に記載のワーククランプトレイを製造する製造方法であって、
    柱部製造部品における前記柱部それぞれの部分をベースプレートに接着させる接着工程と、
    前記接着工程の実行後に前記切り離しを行い、柱部製造部品における前記柱部それぞれ以外の部分を除去する除去工程と、
    を含むことを特徴とするワーククランプトレイの製造方法。
  6. 柱部製造部品は、
    前記離隔配置に合わせて配置された前記柱部それぞれと、前記柱部それぞれが内側に配置された略プレート状に形成されたプレート部と、前記柱部それぞれの側部を前記プレート部に繋ぐ中継部それぞれと、を有し、
    前記接着工程は、
    前記柱部それぞれがベースプレートへ接着可能となるように、柱部製造部品を位置決めする処理を含む請求項5記載の製造方法。
  7. 前記除去工程は、
    前記プレート部をベースプレートから引き離す処理を含み、
    柱部製造部品は、
    前記中継部それぞれと前記柱部との接続部分、および、前記中継部それぞれと前記プレート部との接続部分において、前記引き離す処理の際に応力集中が生じるように形成されている請求項6記載の製造方法。
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