JP6062703B2 - 薄型ワーククランプトレイ - Google Patents
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Description
2a カバープレート
3 枠プレート
4a,4b,4c 可動プレート
5a,5b,5c 当て板
6a,6b,6c 弾性部材
7 バネ部(付勢部材)
9a,9b,9c ワーク
21a 収納穴
41a,41b,41c 位置決め穴
Claims (5)
- ベースプレートと、
ベースプレート上に積層配置された枠プレートと、
ワークを収容する複数個の位置決め穴が形成され、ワークを固定する位置とワークを解放する位置とに移動可能に枠プレート内に配置された可動プレートと、
前記位置決め穴内に位置する不動の当て板と、
前記複数個の位置決め穴それぞれの内周面に設けられ、前記当て板の方向にワークを付勢する弾性部材と、
前記枠プレート及び前記可動プレート上に積層配置された複数個の収納穴が形成されたカバープレートと
を有し、
前記位置決め穴及び前記当て板は、2個以上の所定個数の収納穴に対して1つ設けられ、
前記可動プレートをワークを固定する位置とすることにより、前記当て板と前記弾性部材とでワークを挟持することを特徴とする薄型ワーククランプトレイ。 - 前記弾性部材が前記可動プレートと一体に形成されている請求項1記載の薄型ワーククランプトレイ。
- 前記可動プレートを移動方向の一方向側に常に付勢する付勢部材をさらに有する請求項1又は2に記載の薄型ワーククランプトレイ。
- 前記付勢部材が、枠プレートと一体に形成されている請求項3記載の薄型ワーククランプトレイ。
- 前記付勢部材と、可動プレートと、枠プレートとが一体に形成されている請求項4記載の薄型ワーククランプトレイ。
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JP2012228748A JP6062703B2 (ja) | 2012-10-16 | 2012-10-16 | 薄型ワーククランプトレイ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2012228748A JP6062703B2 (ja) | 2012-10-16 | 2012-10-16 | 薄型ワーククランプトレイ |
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