JP6401447B2 - シート供給装置および供給方法、並びにシート貼付装置および貼付方法 - Google Patents

Description

本発明は、シート供給装置および供給方法、並びにシート貼付装置および貼付方法に関する。

従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下単に「ウエハ」という場合がある）（被着体）に接着シートを供給するシート供給装置が知られている（例えば、特許文献１）。
特許文献１に記載のシート供給装置は、剥離材（剥離シート）に接着シートおよび帯状のスペーサシート（周辺シート）が仮着された原反を保持する保持ローラと、保持ローラから繰り出された原反の剥離材から接着シートを剥離するピールプレート（剥離手段）と、剥離材からスペーサシートを剥離するスペーサ巻取ローラとを備え、ピールプレートの前段でスペーサシートをスペーサ巻取ローラで巻き取ることで、剥離材とスペーサシートとの伸縮性の違いによるスペーサシートの剥離材からの剥がれを抑制して、剥離したスペーサシートがウエハとプレスローラ（押圧手段）との間に入り込むことを防止し、接着シートの貼付不良やウエハの損傷が生じないように構成されている。

特開２００７−１５８０３７号公報

しかしながら、特許文献１に記載された従来のシート供給装置では、剥離シートを巻き取る巻取ローラの他に、周辺シートを巻き取る周辺シート巻取ローラが別に存在するため、装置が大型化する上、原反付替え時に、巻き取った剥離シートを巻取ローラから取り外し、新しい原反の剥離シートを当該巻取ローラに接続する作業の他に、巻き取った周辺シートを周辺シート巻取ローラから取り外し、新しい原反の周辺シートを当該周辺シート巻取ローラに接続するなどの作業が増えるという不都合がある。

本発明の目的は、装置の大型化を防止し、原反付替時の作業量の増加を抑制することができるシート供給装置および供給方法、並びにシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。

本発明のシート供給装置は、複数の接着シートおよび単数または複数の周辺シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反を折り返して前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離部を有する剥離手段とを備え、前記繰出手段で繰り出される前記原反における周辺シートの少なくとも一部を前記剥離手段とで挟み込み、当該周辺シートが前記剥離シートに仮着した状態を維持して前記剥離部を通過させる周辺シート押さえ手段を有することを特徴とする。

本発明のシート供給方法は、複数の接着シートおよび単数または複数の周辺シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す工程と、繰り出された原反を剥離手段の剥離部で折り返して前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、前記繰り出される前記原反における周辺シートの少なくとも一部を周辺シート押さえ手段と前記剥離手段とで挟み込み、当該周辺シートが前記剥離シートに仮着した状態を維持して前記剥離部を通過させる工程とを実施することを特徴とする。

本発明のシート貼付装置は、複数の接着シートおよび単数または複数の周辺シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反を折り返して前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離部を有する剥離手段と、前記剥離手段で剥離された接着シートを押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記繰出手段で繰り出される前記原反における周辺シートの少なくとも一部を前記剥離手段とで挟み込み、当該周辺シートが前記剥離シートに仮着した状態を維持して前記剥離部を通過させる周辺シート押さえ手段を有することを特徴とする。

この際、本発明のシート貼付装置において、前記周辺シート押さえ手段は、前記周辺シートに当接する当接手段と、当該当接手段を前記剥離シートに向けて付勢する付勢手段とを有し、前記付勢手段は、前記繰出手段の繰出動作の初期段階において、前記当接手段を一旦前記周辺シートから離間させた後、再度前記周辺シートを当接手段と剥離手段とで挟み込むように制御されることが好ましい。

また、本発明のシート貼付装置において、前記当接手段は、当接部材と、当該当接部材で当接された周辺シート部分を前記原反の繰出方向に送る駆動手段とを備え、前記繰出手段による原反の繰出速度よりも速い速度で前記周辺シートを送ることが好ましい。

本発明のシート貼付方法は、複数の接着シートおよび単数または複数の周辺シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す工程と、繰り出された原反を剥離手段の剥離部で折り返して前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、前記繰り出される前記原反における周辺シートの少なくとも一部を周辺シート押さえ手段と前記剥離手段とで挟み込み、当該周辺シートが前記剥離シートに仮着した状態を維持して前記剥離部を通過させる工程と、剥離された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを実施することを特徴とする。

以上のような本発明によれば、剥離シートからの周辺シートの剥がれを防止するために、周辺シートを周辺シート押さえ手段と剥離手段とで挟み込みながら原反を繰り出すので、従来のような周辺シートを巻き取る巻取ローラが必要なくなり、装置の大型化を防止し、原反付替時の作業量の増加を抑制することができる。

この際、周辺シート押さえ手段を当接手段と付勢手段とで構成し、繰出動作の初期段階において、当接手段を一旦周辺シートから離間させた後、再度周辺シートを当接手段と剥離手段とで挟み込むように制御すれば、当接手段の前段で周辺シートが剥離シートから剥がれて剥がれ部が形成されてしまった場合でも、この剥れ部を当接手段と剥離シートとの間に挟み込み、周辺シートが剥離シートに仮着した状態を維持して剥離部を通過させることができるので、当該剥がれ部によって接着シートの貼付に支承を来たすといった不都合を防止することができる。

また、当接手段を当接部材と駆動手段とで構成し、駆動機器にて原反の繰出速度よりも速い速度で周辺シートを繰出方向に送るようにすれば、剥離シートから剥がれようとする周辺シート部分に当該剥離シートから剥がれる隙を与えないようにすることができ、剥離シートからの周辺シートの剥がれをより確実に防止することができる。

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置を示す側面図。 （Ａ）〜（Ｃ）は、シート貼付装置の要部動作説明図。 本発明の変形例を示す側面図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。

図１において、シート貼付装置１は、複数の接着シートＡＳおよび複数の周辺シートＵＳが帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２と、繰出手段２で繰り出された原反ＲＳを折り返して剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離部３１を有する剥離手段としての剥離板３と、剥離板３で剥離された接着シートＡＳを被着体としてのウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ４と、繰出手段２で繰り出される原反ＲＳにおける周辺シートＵＳの一部を剥離板３とで挟み込み、当該周辺シートＵＳが剥離シートＲＬに仮着した状態を維持して剥離部３１を通過させる周辺シート押さえ手段５と、ウエハＷＦを支持して当該ウエハＷＦと押圧ローラ４とを相対移動させる支持手段６とを備えている。なお、シート供給装置は、繰出手段２と、剥離板３と、周辺シート押さえ手段５とで構成されるものである。

接着シートＡＳは、原反ＲＳの短寸幅方向（前後方向）（以下、単に「幅方向」という）の大きさよりも小さい直径を有する円形に形成され、剥離シートＲＬの幅方向の中央部に所定間隔を隔てて仮着されている。周辺シートＵＳは、接着シートＡＳの前後両側であって、剥離シートＲＬの繰出方向に沿う両側２ヶ所に設けられ、本実施形態の場合、剥離シートＲＬの長さと同じ長さの帯状のものが採用されている。

繰出手段２は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２、２３と、駆動機器としての回動モータ２４Ａによって駆動される駆動ローラ２４との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２５と、図示しない駆動機器によって駆動され、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２６とを備えている。

周辺シート押さえ手段５は、両側の周辺シートＵＳに対応して前後に一対設けられ、周辺シートＵＳに当接する当接手段５１と、剥離板３の側面に支持され、当接手段５１を剥離シートＲＬに向けて付勢する付勢手段であって駆動機器としての直動モータ５２と、当接手段５１に対して原反ＲＳの繰出方向上流側に位置して周辺シートＵＳが剥離シートＲＬから剥がれた剥がれ部ＵＳ１（図２（Ａ）参照）を検出する光学センサ等の非接触型センサ、リミットスイッチ等の接触型センサ、カメラ等の撮像手段などにより構成された検出手段５３とをそれぞれ備えている。

各当接手段５１は、原反ＲＳの繰出方向に延出された支持フレーム５４と、支持フレーム５４の一端側に支持され、駆動手段であって駆動機器としての回動モータ５５Ａによって駆動される駆動プーリ５５と、支持フレーム５４の他端側に支持された従動プーリ５６と、駆動プーリ５５および従動プーリ５６に巻回された当接部材としての丸ベルトや平ベルト等のベルト５７とをそれぞれ備えている。

支持手段６は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面６１Ａを有するテーブル６１と、テーブル６１をスライダ６２で支持する駆動機器としてのリニアモータ６３とを備えている。

以上のシート貼付装置１において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、当接手段５１が剥離板３から離間した状態で、作業者が原反ＲＳを図１に示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して運転開始の信号を入力すると、周辺シート押さえ手段５が直動モータ５２を駆動し、原反ＲＳを当接手段５１と剥離板３とで挟み込む。

次いで、繰出手段２および周辺シート押さえ手段５が回動モータ２４Ａ、図示しない駆動機器および回動モータ５５Ａを駆動し、原反ＲＳにおける周辺シートＵＳの一部を周辺シート押さえ手段５と剥離板３とで挟み込みながら原反ＲＳを繰り出す。これにより、周辺シートＵＳが剥離シートＲＬに仮着した状態を維持して剥離部３１を通過させ、回収ローラ２６に回収させることができる。そして、図１に示すように、剥離部３１で折り返された原反ＲＳにおける剥離シートＲＬから、先頭の接着シートＡＳが所定量剥離されたことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると、繰出手段２および周辺シート押さえ手段５が回動モータ２４Ａ、図示しない駆動機器および回動モータ５５Ａの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。

次に、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段がテーブル６１の支持面６１Ａ上にウエハＷＦを載置すると、支持手段６が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持した後、リニアモータ６３を駆動し、テーブル６１を左方向に搬送する。続いて、テーブル６１が所定の位置に到達したことを図示しない検知手段が検知すると、繰出手段２および周辺シート押さえ手段５が回動モータ２４Ａ、図示しない駆動機器および回動モータ５５Ａを駆動し、テーブル６１の搬送に同期させて上述と同様にして原反ＲＳを繰り出し、次の接着シートＡＳが剥離シートＲＬから所定量剥離されたことを図示しない検知手段が検知すると、繰出手段２および周辺シート押さえ手段５が回動モータ２４Ａ、図示しない駆動機器および回動モータ５５Ａの駆動を停止する。これにより、先頭の接着シートＡＳは、剥離板３で剥離シートＲＬから剥離されつつ、押圧ローラ４によってウエハＷＦに押圧されて貼付される。このときも上述と同様に、周辺シートＵＳの一部を周辺シート押さえ手段５と剥離板３とで挟み込みながら原反ＲＳが繰り出されるので、周辺シートＵＳが剥離シートＲＬから剥がれることはない。接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを支持したテーブル６１が所定の位置に到達したことを図示しない検知手段が検知すると、支持手段６がリニアモータ６３および図示しない減圧手段の駆動を停止し、人手または図示しない搬送手段がテーブル６１上のウエハＷＦを支持して次の工程や収納手段等に搬送する。その後、支持手段６がリニアモータ６３を駆動し、テーブル６１を図１に示す位置に移動させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
そして、原反ＲＳを違う原反に切り替える場合には、支持ローラ２１から原反ＲＳを取り外すとともに、剥離シートＲＬを周辺シートＵＳごと回収ローラ２６から取り外した後、違う原反を支持ローラ２１に掛け、当該違う原反を図１に示すように掛け回してそのリード端を回収ローラ２６に固定する。

以上のような実施形態によれば、剥離シートＲＬからの周辺シートＵＳの剥がれを防止するために、周辺シートＵＳを周辺シート押さえ手段５と剥離板３とで挟み込みながら原反ＲＳを繰り出すので、従来のような周辺シートＵＳを巻き取る巻取ローラが必要なくなり、装置の大型化を防止し、原反ＲＳ付替時の作業量の増加を抑制することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、接着シートＡＳの貼付を繰り返し行っているうちに、万が一図２（Ａ）に示すように、剥離シートＲＬと周辺シートＵＳとの伸縮性の違いによる剥がれ部ＵＳ１が形成されてしまった場合、検出手段５３がこの剥がれ部ＵＳ１を検出する。すると、繰出手段２の繰出動作の初期段階すなわち、繰出手段２および周辺シート押さえ手段５が回動モータ２４Ａ、図示しない駆動機器および回動モータ５５Ａを駆動した直後または直前に、周辺シート押さえ手段５が直動モータ５２を駆動し、当接手段５１を一旦周辺シートＵＳから離間させる。そして、図２（Ｂ）に示すように、剥れ部ＵＳ１が原反繰出方向に所定距離繰り出されると、図２（Ｃ）に示すように、周辺シート押さえ手段５が直動モータ５２を駆動し、再度周辺シートＵＳを当接手段５１と剥離板３とで挟み込み、剥れ部ＵＳ１を剥離板３に押さえ付けることで当該剥れ部ＵＳ１を押し潰し、周辺シートＵＳが剥離シートＲＬに仮着した状態を維持して剥離部３１を通過させることができる。これにより、当該剥れ部ＵＳ１が押圧ローラ４とウエハＷＦとの間に入り込まないようにして回収ローラ２６方向へ向かわせることができる。なお、剥離部３１で折り返される周辺シートＵＳの縁部をベルト５７と剥離板３とで挟み込むように構成されているため、剥がれ部ＵＳ１が剥離部３１近傍で形成されることはない。

また、図３（Ａ）に示すように、周辺シート押さえ手段５に代え、両側の周辺シートＵＳに対応して前後に一対設けられ、周辺シートＵＳに当接する当接手段７１と、当接手段７１を剥離シートＲＬに向けて付勢する付勢手段７２とで構成される周辺シート押さえ手段７としてもよい。
各当接手段７１は、左右方向に延出された支持フレーム７１Ａと、支持フレーム７１Ａの右端側に支持され、図示しない駆動手段である駆動機器によって駆動される駆動プーリ７１Ｂと、支持フレーム７１Ａの左端側に支持された第１従動プーリ７１Ｃと、第１従動プーリ７１Ｃの支持軸７１Ｄに回転可能に支持された揺動フレーム７１Ｅと、揺動フレーム７１Ｅの揺動端側に支持された第２従動プーリ７１Ｆと、駆動プーリ７１Ｂ、第１従動プーリ７１Ｃおよび第２従動プーリ７１Ｆに巻回された当接部材としての丸ベルトや平ベルト等のベルト７１Ｇとをそれぞれ備えている。
各付勢手段７２は、剥離板３の側面に支持され、その出力軸７２Ａで支持フレーム７１Ａを支持する駆動機器としての直動モータ７２Ｂと、支持フレーム７１Ａに支持され、その出力軸７２Ｃで揺動フレーム７１Ｅを支持する駆動機器としての直動モータ７２Ｄとをそれぞれ備えている。

このような周辺シート押さえ手段７においても、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。また、接着シートＡＳの貼付を繰り返し行っているうちに、万が一図３（Ａ）に示すように、剥がれ部ＵＳ１が形成されてしまった場合、検出手段５３がこの剥がれ部ＵＳ１を検出すると、繰出手段２の繰出動作の初期段階で、周辺シート押さえ手段７が直動モータ７２Ｂ、７２Ｄを駆動し、同図二点鎖線で示すように、当接手段７１を一旦周辺シートＵＳから離間させた後、再度周辺シートＵＳを当接手段７１と剥離板３とで挟み込み、上述と同様にして剥れ部ＵＳ１を押し潰し、周辺シートＵＳが剥離シートＲＬに仮着した状態を維持して剥離部３１を通過させることができる。なお、直動モータ７２Ｂは省略してもよい。この場合、剥離部３１を通過する前段から剥離部３１を通過した領域にかけて、周辺シートＵＳをベルト７１Ｇと剥離板３とで挟み込むように構成されているため、確実に剥がれ部ＵＳ１が剥離部３１近傍で形成されることを防止することができる。

また、図３（Ｂ）に示すように、周辺シート押さえ手段５に代え、両側の周辺シートＵＳに対応して前後に一対設けられ、周辺シートＵＳに当接する当接手段８１と、当接手段８１を剥離シートＲＬに付勢する付勢手段８２とで構成される周辺シート押さえ手段８としてもよい。
各当接手段８１は、支持フレーム８１Ａと、支持フレーム８１Ａの左端側に支持され、図示しない駆動手段である駆動機器によって駆動される駆動プーリ８１Ｂと、駆動プーリ８１Ｂの支持軸８１Ｃに回転可能に支持された揺動フレーム８１Ｄと、揺動フレーム８１Ｄの上端側に支持された従動プーリ８１Ｅと、駆動プーリ８１Ｂおよび従動プーリ８１Ｅに巻回された当接部材としての丸ベルトや平ベルト等のベルト８１Ｆとをそれぞれ備えている。
各付勢手段８２は、剥離板３の側面に支持され、その出力軸８２Ａで支持フレーム８１Ａを支持する駆動機器としての直動モータ８２Ｂと、支持フレーム８１Ａに支持され、その出力軸８２Ｃで揺動フレーム８１Ｄを支持する駆動機器としての直動モータ８２Ｄとをそれぞれ備えている。

このような周辺シート押さえ手段８においても、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。また、接着シートＡＳの貼付を繰り返し行っているうちに、万が一図３（Ｂ）に示すように、剥がれ部ＵＳ１が形成されてしまった場合、検出手段５３がこの剥がれ部ＵＳ１を検出すると、繰出手段２の繰出動作の初期段階で、周辺シート押さえ手段８が直動モータ８２Ｂ、８２Ｄを駆動し、同図二点鎖線で示すように、当接手段８１を一旦周辺シートＵＳから離間させた後、再度周辺シートＵＳを当接手段８１と剥離板３とで挟み込み、上述と同様にして剥れ部ＵＳ１を押し潰し、周辺シートＵＳが剥離シートＲＬに仮着した状態を維持して剥離部３１を通過させることができる。なお、直動モータ８２Ｂは省略してもよい。この場合、剥離部３１を通過する前段から剥離部３１を通過した領域にかけて、周辺シートＵＳをベルト８１Ｆと剥離板３とで挟み込むように構成されているため、確実に剥がれ部ＵＳ１が剥離部３１近傍で形成されることを防止することができる。

周辺シート押さえ手段５、７および８は、原反ＲＳの繰り出し速度よりも僅かに速い速度でベルト５７、７１Ｇおよび８１Ｆを回行させてもよく、これにより、周辺シートＵＳに剥離シートＲＬから剥がれる隙を与えないようにすることができ、すなわち、周辺シートＵＳが剥離シートＲＬから剥がれようとする前に、ベルト５７、７１Ｇおよび８１Ｆが当該周辺シートＵＳを繰出方向に送るため、剥離シートＲＬからの周辺シートＵＳの剥がれをより確実に防止することができる。
検出手段５３は、省略してもよく、この場合、周辺シートＵＳの浮き上がりの有無にかかわらず、接着シートＡＳの間欠動作における繰出動作が開始される毎や、当該間欠動作の所定回数毎、あるいは所定時間毎等の所定のタイミングで、当接手段５１、７１および８１を一旦周辺シートＵＳから離間させた後、再度周辺シートＵＳを当接手段５１、７１および８１と剥離板３とで挟み込むようにしてもよい。
ウエハＷＦを移動させるとともに、シート供給装置をウエハＷＦの移動の反対方向へ移動させてもよいし、支持手段６を省略し、ウエハＷＦを停止させておいて、シート供給装置を移動させてもよいし、他の装置でウエハＷＦを搬送する場合、本願発明において支持手段６は省略することができる。
周辺シートＵＳは、原反ＲＳの繰出方向に沿う１ヶ所に設けられているものでもよいし、３ヶ所以上に設けられているものでもよく、周辺シート押さえ手段５、７および８の数も、周辺シートＵＳの位置と数に合わせて単数または３以上設けてもよい。
周辺シートＵＳは、剥離シートＲＬの長さよりも短く、所定間隔を隔てた短冊状や枚葉状のものでもよいし、直線状のものの他、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよい。周辺シートＵＳが短冊状や枚葉状のものの場合、周辺シート押さえ手段５、７および８は、当該周辺シートＵＳの一部または全部を剥離板３とで挟み込むように構成してもよい。
当接手段５１、７１、８１および押圧手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ、ローラ等による押圧部材を採用したり、エア噴き付けにより周辺シートＵＳや接着シートＡＳを押さえ付けたりする構成を採用することができる。
周辺シート押さえ手段５、７および８は、駆動プーリ５５、７１Ｂおよび駆動プーリ８１Ｂを駆動させる回動モータ５５Ａおよび図示しない駆動機器を省略してもよい。
周辺シート押さえ手段５、７および８は、付勢手段５２、７２および８２を省略してもよく、この場合、当接手段５１、７１、８１が剥離板３に当接するか、当該剥離板３と微小な隙間をあけた状態で固定されていればよい。
付勢手段は、ゴム、樹脂、ダンパ（ショックアブソーバ）、ばね等で構成してもよい。

また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層ＡＤだけの単層のもの、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に中間層を有するもの、基材シートＢＳの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートＢＳを接着剤層ＡＤから剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付するができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、周辺シート押さえ手段は、繰出手段で繰り出される原反における周辺シートの少なくとも一部を剥離手段とで挟み込み、当該周辺シートが剥離シートに仮着した状態を維持して剥離部を通過させることができるものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１…シート貼付装置
２…繰出手段
３…剥離板（剥離手段）
３１…剥離部
４…押圧ローラ（押圧手段）
５、７、８…周辺シート押さえ手段
５１、７１、８１…当接手段
５２…直動モータ（付勢手段）
５５Ａ…回動モータ（駆動手段）
５７、７１Ｇ、８１Ｆ…ベルト（当接部材）
７２、８２…付勢手段
ＡＳ…接着シート
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ…原反
ＵＳ…周辺シート
ＷＦ…ウエハ（被着体）

Claims (6)

1. 複数の接着シートおよび単数または複数の周辺シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
   前記繰出手段で繰り出された原反を折り返して前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離部を有する剥離手段とを備え、
   前記繰出手段で繰り出される前記原反における周辺シートの少なくとも一部を前記剥離手段とで挟み込み、当該周辺シートが前記剥離シートに仮着した状態を維持して前記剥離部を通過させる周辺シート押さえ手段を有することを特徴とするシート供給装置。
2. 複数の接着シートおよび単数または複数の周辺シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す工程と、
   繰り出された原反を剥離手段の剥離部で折り返して前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、
   前記繰り出される前記原反における周辺シートの少なくとも一部を周辺シート押さえ手段と前記剥離手段とで挟み込み、当該周辺シートが前記剥離シートに仮着した状態を維持して前記剥離部を通過させる工程とを実施することを特徴とするシート供給方法。
3. 複数の接着シートおよび単数または複数の周辺シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
   前記繰出手段で繰り出された原反を折り返して前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離部を有する剥離手段と、
   前記剥離手段で剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
   前記繰出手段で繰り出される前記原反における周辺シートの少なくとも一部を前記剥離手段とで挟み込み、当該周辺シートが前記剥離シートに仮着した状態を維持して前記剥離部を通過させる周辺シート押さえ手段を有することを特徴とするシート貼付装置。
4. 前記周辺シート押さえ手段は、前記周辺シートに当接する当接手段と、当該当接手段を前記剥離シートに向けて付勢する付勢手段とを有し、
   前記付勢手段は、前記繰出手段の繰出動作の初期段階において、前記当接手段を一旦前記周辺シートから離間させた後、再度前記周辺シートを当接手段と剥離手段とで挟み込むように制御されることを特徴とする請求項３に記載のシート貼付装置。
5. 前記当接手段は、当接部材と、当該当接部材で当接された周辺シート部分を前記原反の繰出方向に送る駆動手段とを備え、前記繰出手段による原反の繰出速度よりも速い速度で前記周辺シートを送ることを特徴とする請求項３または請求項４に記載のシート貼付装置。
6. 複数の接着シートおよび単数または複数の周辺シートが帯状の剥離シートの一方の面に仮着された原反を繰り出す工程と、
   繰り出された原反を剥離手段の剥離部で折り返して前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、
   前記繰り出される前記原反における周辺シートの少なくとも一部を周辺シート押さえ手段と前記剥離手段とで挟み込み、当該周辺シートが前記剥離シートに仮着した状態を維持して前記剥離部を通過させる工程と、
   剥離された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。

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